1.一種光學(xué)元件揮發(fā)溶劑循環(huán)回收利用的自動(dòng)清洗方法，所述的光學(xué)元件為無(wú)磨料水溶解超精密拋光后的KDP光學(xué)晶體元件，以下簡(jiǎn)稱工件，其特征在于：具體方法包括以下步驟：
A、上料
旋動(dòng)鎖緊把手B(45)，打開(kāi)進(jìn)料口門(mén)(42)，操作人員將盛有待清洗工件的清洗籃放入進(jìn)料槽(1)，然后關(guān)閉進(jìn)料口門(mén)(42)，旋動(dòng)鎖緊把手B(45)將進(jìn)料口門(mén)(42)關(guān)閉，打開(kāi)工作開(kāi)關(guān)啟動(dòng)清洗過(guò)程；處于初始位置的提拉氣缸(2)伸出氣缸缸桿至進(jìn)料槽(1)，連接在其底部的吊籃架(4)上的掛鉤(5)鉤住清洗籃，然后提拉氣缸(2)缸桿縮回至上極限位置，同時(shí)帶動(dòng)整個(gè)清洗籃及工件向上移動(dòng)，并給控制系統(tǒng)發(fā)出信號(hào)；控制系統(tǒng)檢測(cè)到信號(hào)后使隔門(mén)氣缸A(15)帶動(dòng)隔門(mén)A(13)向沿隔門(mén)滑軌A(39)下運(yùn)動(dòng)將隔門(mén)打開(kāi)，同時(shí)無(wú)桿氣缸(8)水平移動(dòng)，帶動(dòng)提拉氣缸(2)進(jìn)入超聲清洗工位；
B、超聲清洗
清洗開(kāi)關(guān)開(kāi)啟之前，超聲清洗槽(9)中已經(jīng)注滿了專用的清洗液；當(dāng)控制系統(tǒng)檢測(cè)到無(wú)桿氣缸(8)運(yùn)動(dòng)至超聲清洗槽(9)上方時(shí)，隔門(mén)A(13)在隔門(mén)氣缸A(15)的帶動(dòng)下關(guān)閉，超聲清洗槽(9)被單獨(dú)隔離開(kāi)來(lái)，同時(shí)超聲清洗槽(9)中的超聲波振子(10)開(kāi)始振動(dòng)；提拉氣缸(2)缸桿緩慢將工件放入超聲清洗槽(9)的清洗液中，工件懸浮在超聲清洗槽(9)中進(jìn)行超聲波清洗，清洗時(shí)間可自行設(shè)定；清洗完成后，超聲振動(dòng)停止，提拉氣缸(2)將工件向上提至上極限位置，隔門(mén)氣缸B(16)向下運(yùn)動(dòng)將超聲清洗槽(9)和噴淋清洗槽(21)之間的隔門(mén)B(14)沿隔門(mén)滑軌B(40)向下打開(kāi)，然后無(wú)桿氣缸(8)帶動(dòng)提拉氣缸(2)和工件移向噴淋清洗工位；
C、噴淋清洗
當(dāng)控制系統(tǒng)檢測(cè)到無(wú)桿氣缸(8)帶動(dòng)工件運(yùn)動(dòng)至噴淋清洗槽(21)上方時(shí)，隔門(mén)B(14)在隔門(mén)氣缸B(16)的帶動(dòng)下關(guān)閉，噴淋清洗槽(21)被單獨(dú)隔離開(kāi)來(lái)；提拉氣缸(2)將工件緩慢放入噴淋清洗槽(21)中，此時(shí)位于噴淋清洗槽(21)前后壁上的噴淋清洗頭(23)噴射出專用清洗液對(duì)工件進(jìn)行噴淋清洗，噴淋壓力和噴淋時(shí)間均設(shè)置可調(diào)，工件在提拉氣缸(2)的帶動(dòng)進(jìn)行上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)均勻清洗；清洗完成后，噴淋清洗頭(23)停止噴射清洗液，提拉氣缸(2)帶動(dòng)工件運(yùn)動(dòng)至上極限位置，同時(shí)位于噴淋清洗槽(21)和烘干出料槽(26)之間的隔門(mén)C(25)打開(kāi)，無(wú)桿氣缸(8)帶動(dòng)提拉氣缸(2)和工件移向烘干出料工位；
D、烘干出料
當(dāng)控制系統(tǒng)檢測(cè)到無(wú)桿氣缸(8)帶動(dòng)工件運(yùn)動(dòng)至烘干出料槽(26)上方時(shí)，隔門(mén)C(25)關(guān)閉，烘干出料槽(26)被單獨(dú)隔離開(kāi)來(lái)；提拉氣缸(2)將工件緩慢放入烘干出料槽(26)中，此時(shí)送風(fēng)管A(27)和送風(fēng)管B(28)吹出純凈干燥的氮?dú)鈱埩粼诠ぜ砻娴囊讚]發(fā)的清洗液帶走，風(fēng)淋的溫度、時(shí)間和氣壓大小均設(shè)置可調(diào)；待工件被烘干后，蜂鳴器發(fā)出警報(bào)提醒操作人員進(jìn)行出料；操作人員此時(shí)旋動(dòng)出料口門(mén)(29)上的鎖緊把手A(32)打開(kāi)出料口門(mén)(29)取出盛有被清洗工件的清洗籃，然后關(guān)閉出料口門(mén)(29)，鎖緊門(mén)把手A，并給控制系統(tǒng)發(fā)出信號(hào)進(jìn)行復(fù)位動(dòng)作；控制系統(tǒng)接收到復(fù)位動(dòng)作后，提拉氣缸(2)開(kāi)始向上運(yùn)動(dòng)至上極限位置，同時(shí)隔門(mén)A(13)、隔門(mén)B(14)、隔門(mén)C(25)在各自隔門(mén)氣缸的帶動(dòng)下打開(kāi)，從而使主體內(nèi)所有腔室連通，此時(shí)無(wú)桿氣缸(8)帶動(dòng)提拉氣缸(2)和清洗吊籃架(4)回復(fù)至起始位置，然后隔門(mén)A(13)、隔門(mén)B(14)、隔門(mén)C(25)在各自隔門(mén)氣缸向的帶動(dòng)下關(guān)閉，繼續(xù)保持各個(gè)工位隔離密閉；如此完成一個(gè)完整的清洗過(guò)程；
E、循環(huán)回收
清洗準(zhǔn)備階段，儲(chǔ)液箱中的清洗液通過(guò)液泵經(jīng)過(guò)濾器將干凈的專用清洗液注入超聲清洗槽(9)；噴淋清洗時(shí)，儲(chǔ)液箱中的清洗液通過(guò)液泵經(jīng)過(guò)濾器將干凈的專用清洗液通入噴淋清洗槽(21)前后壁上的噴淋清洗頭(23)，噴頭噴出具有一定壓力的清洗液噴淋被清洗工件；烘干時(shí)，氣源將干凈的氮?dú)馔ㄈ胛挥诤娓沙隽喜?26)內(nèi)壁的吹風(fēng)管A和吹風(fēng)管B，加速被清洗工件表面清洗液的揮發(fā)，實(shí)現(xiàn)烘干過(guò)程；清洗過(guò)程中，位于超聲清洗槽(9)、噴淋清洗槽(21)和烘干出料槽(26)上方的排氣管道(46)將揮發(fā)出來(lái)的廢氣導(dǎo)流至冷凝室，冷凝室內(nèi)布置有冷凝銅管，壓縮機(jī)提供的冷媒經(jīng)過(guò)冷凝管形成低溫，廢氣接觸冷凝管被液化經(jīng)冷凝室底部的排液管流至廢液箱；清洗產(chǎn)生的廢液分別經(jīng)超聲清洗槽(9)的排液口A(11)和噴淋清洗槽(21)底部的排液口B(24)流入廢液箱，以便回收利用。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光學(xué)元件揮發(fā)溶劑循環(huán)回收利用的自動(dòng)清洗方法，其特征在于：步驟B所述的超聲清洗的頻率為80-120kHz，清洗時(shí)間為0-10min；步驟C所述的噴淋壓力為0.04-0.4MPa，噴淋時(shí)間為0-10min；步驟D所述的風(fēng)淋的溫度為20-50℃，風(fēng)淋時(shí)間為0-10min，風(fēng)淋氣壓大小為0.1-0.6MPa。