本實用新型涉及電池生產設備技術領域，尤其涉及一種鏤空載板自動清洗平臺。

背景技術：

PECVD系統是模塊化系統，在制備硅基異質結電池時，將硅片制絨及清洗預處理之后，硅片通過上料機構放置到載板上，進入預熱腔室，然后完成n(或p)層沉積，之后通過具有冷卻功能的冷卻機構進入下料機構，其中，硅片進入PECVD系統反應時是通過放在鏤空載板上來實現，因此載板有些部分會有硅的沉積，而載板從大氣進入腔室，加熱到冷卻的這種循環(huán)很容易使在載板上的沉積硅剝落到各個腔室內，造成沉積鈍化膜質量的下降。因此需要定期對PECVD鏤空載板進行保養(yǎng)清洗。

目前，對PECVD鏤空載板只能將拆除放置硅片的小框連接線，后取下小框進行手工打磨或者腐蝕清洗，之后在重新對該小框進行串接拼裝回鏤空載板邊框。拆裝小框工作繁重且極易造成邊框螺絲滑牙而損壞邊框，手動打磨小框效率低，打磨效果不均勻，容易在載板上留下磨痕而且產生大量粉塵不利于人身健康。采用溶液腐蝕，危險系數較高，且溶液加熱速度慢，清洗后需純水再次清洗后烘干操作亦十分繁瑣。因此，很有必要開發(fā)一種有效的清洗設備，克服現有技術和設備上的不足，使鏤空載板清洗實現機械化和自動化。

技術實現要素：

針對上述問題，本實用新型提供了一種操作簡單快捷，清洗載板速度快節(jié)省時間，清洗效果好，腐蝕均勻、干凈的鏤空載板自動清洗平臺。

為解決上述技術問題，本實用新型所采用的技術方案是：一種鏤空載板自動清洗平臺，包括底座、設在底座上的支架、設在支架上的清洗槽、堿液回收循環(huán)系統、純水進出水控制系統，所述清洗槽分為上槽和下槽，所述上槽和下槽可拆分連接，所述下槽底面中部設有超聲波板，所述堿液回收循環(huán)系統由堿液回收桶、堿液輸出管、堿液回收管組成，所述堿液輸出管連接堿液回收桶和清洗槽，所述堿液回收管設于清洗槽底部并伸入堿液回收桶內，所述純水進出水控制系統由廢水收集桶、純水進水管、廢水出水管組成，所述純水進水管外接水源并連接到清洗槽底部，所述廢水出水管設于清洗槽底部并伸入廢水收集桶內。

進一步的，所述清洗槽采用耐腐蝕材料不銹鋼或PP材質焊接而成。

進一步的，清洗槽槽體側面設有加強筋，可防止槽體發(fā)生形變。

進一步的，所述清洗槽的上槽和下槽接觸面均設有相對的密封圈，上槽和下槽通過緊固裝置緊密連接，保證清洗時溶液漫過載板而不發(fā)生滲漏。

進一步的，所述下槽設有支撐鏤空載板邊框的支撐架，鏤空載板的內框與上槽和下槽接觸面平齊而不出現上下形變。

由上述對本實用新型結構的描述可知，和現有技術相比，本實用新型具有如下優(yōu)點：

本實用新型集腐蝕、清洗為一體的多功能槽，上下槽配合可直接將鏤空載板的內框放置于溶液中腐蝕而不會對外框造成影響，節(jié)省拆卸工序，清洗工序、組裝工序等，操作簡單快捷，同時免去拆卸鏤空載板保養(yǎng)后再裝配的繁瑣工序，清洗載板速度快節(jié)省時間，提高鏤空載板的保養(yǎng)效率，清洗效果比傳統手工打磨好，打磨均勻、干凈。

附圖說明

構成本申請的一部分的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的不當限定。在附圖中：

圖1為本實用新型一種鏤空載板自動清洗平臺的立體結構示意圖。

具體實施方式

為了使本實用新型的目的、技術方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。

實施例

參考圖1，一種鏤空載板自動清洗平臺，包括底座1、設在底座上的支架2、設在支架上的清洗槽3、堿液回收循環(huán)系統4、純水進出水控制系統5，所述清洗槽3分為上槽31和下槽32，所述上槽31和下槽32可拆分連接，所述下槽32底面中部設有超聲波板6，所述堿液回收循環(huán)系統4由堿液回收桶41、堿液輸出管42、堿液回收管43組成，所述堿液輸出管42連接堿液回收桶41和清洗槽3，所述堿液回收管43設于清洗槽3底部并伸入堿液回收桶41內，所述純水進出水控制系統5由廢水收集桶51、純水進水管52、廢水出水管53組成，所述純水進水管52外接水源并連接到清洗槽3底部，所述廢水出水管53設于清洗槽3底部并伸入廢水收集桶51內。

所述清洗槽3采用耐腐蝕材料不銹鋼或PP材質焊接而成，清洗槽3槽體側面設有加強筋33，可防止槽體發(fā)生形變。

所述清洗槽的上槽31和下槽32接觸面均設有相對的密封圈，上槽31和下槽32通過緊固裝置34緊密連接，保證清洗時溶液漫過載板而不發(fā)生滲漏。

所述下槽32設有支撐鏤空載板邊框的支撐架35，鏤空載板的內框與上槽31和下槽32接觸面平齊而不出現上下形變。

工作原理：首先堿液回收循環(huán)系統4在載板放置于下槽支撐架35上槽通過上下槽密封圈及緊固裝置34與下槽32連接后由耐腐蝕泵進行添加堿液，使堿液漫過載板而不發(fā)生滲漏，待載板覆蓋物被腐蝕反應完成后，堿液排回堿液回收桶41內；然后所述載板覆蓋物腐蝕清潔干凈后，采用純水進水管52純水注入，當液位到達要求后，純水停止注入同時超聲波系統工作，超聲波工作時間到達時，停止超聲波工作同時進行排液處理，廢水通過廢水出水管53排入廢水收集桶51內；經數次以上重復工作確定載板已被清洗干凈后停止上述重復工作，清洗完成后分離上下槽取出載板。

本實用新型集腐蝕、清洗為一體的多功能槽，上下槽配合可直接將鏤空載板的內框放置于溶液中腐蝕而不會對外框造成影響，節(jié)省拆卸工序，清洗工序、組裝工序等，操作簡單快捷，同時免去拆卸鏤空載板保養(yǎng)后再裝配的繁瑣工序，清洗載板速度快節(jié)省時間，提高鏤空載板的保養(yǎng)效率，清洗效果比傳統手工打磨好，打磨均勻、干凈。

以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。