1.一種紫外線處理裝置，其特征在于，
具有：
紫外線燈，放射紫外線；
平面部件，具有大致矩形的平面區(qū)域；
平板部分，設(shè)置于該平面部件，沿著所述平面區(qū)域的一邊以及與該一邊接連的兩邊以比該平面區(qū)域突出的狀態(tài)延伸；
保持部件，在平板狀的被處理物與所述平板部分的表面之間形成間隙的狀態(tài)下，保持平板狀的被處理物；
處理氣體供給口，沿著所述平面區(qū)域的所述一邊設(shè)置；
處理氣體排出口，在所述平面區(qū)域的與所述一邊對置的另一邊載置所述被處理物從而形成該處理氣體排出口；以及
紫外線照射窗，設(shè)置在所述平面部件的所述平面區(qū)域中的與所述處理氣體供給口相比靠近另一邊側(cè)、且所述處理氣體供給口與所述處理氣體排出口之間，照射來自所述紫外線燈的紫外線。
2.如權(quán)利要求1所述的紫外線處理裝置，其特征在于，
所述處理氣體排出口通過使所述平面區(qū)域的與所述一邊對置的另一邊被開放而形成。
3.如權(quán)利要求1或2所述的紫外線處理裝置，其特征在于，
所述平板部分的表面與被處理物之間所形成的間隙的大小為0.1～3mm的范圍。