專利名稱：還原爐爐筒夾套放氣閥裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種放氣閥，尤其涉及一種還原爐爐筒夾套放氣閥裝置。
背景技術(shù)：
多晶硅的生長(zhǎng)是一個(gè)還原過程，將提純的三氯氫硅和氫氣送入還原爐內(nèi)，在 1100° C的硅芯發(fā)熱體表面發(fā)生還原反應(yīng)，沉積生長(zhǎng)多晶硅。還原爐爐筒夾套通入導(dǎo)熱油， 以吸收爐內(nèi)熾熱硅芯向爐筒內(nèi)壁輻射的熱量，維持爐筒內(nèi)壁的溫度。吸收了還原爐熱量的高溫導(dǎo)熱油送往導(dǎo)熱油鍋爐房的油水換熱器進(jìn)行降溫，經(jīng)降溫后的導(dǎo)熱油循環(huán)回還原爐爐筒夾套使用。導(dǎo)熱油不斷的對(duì)還原爐進(jìn)行循環(huán)降溫，從而保證了生產(chǎn)的正常進(jìn)行。但生產(chǎn)的過程中難免發(fā)生一些意外情況停電或者油泵停止運(yùn)行時(shí)，導(dǎo)熱油瞬間停止循環(huán)，而還原爐內(nèi)的1100° C的硅棒還在散熱，還原爐爐筒夾套內(nèi)的導(dǎo)熱油迅速氣化膨脹，如果未能及時(shí)泄壓，將會(huì)導(dǎo)致發(fā)生重大安全事故。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種因停電或者油泵停止運(yùn)行而引起的還原爐爐桶夾套壓力過高時(shí)，能夠自動(dòng)打開氣動(dòng)開關(guān)球閥對(duì)還原爐桶夾套進(jìn)行泄壓的裝置。為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型所采取的技術(shù)方案是其特征在于所述裝置包括第一手動(dòng)閥、第二手動(dòng)閥、氣動(dòng)開關(guān)球閥、二位五通電磁閥、電源和壓力變送器，所述第一手動(dòng)閥位于還原爐與放油氣管間，所述第二手動(dòng)閥位于放油氣管的下端，在靠近第二手動(dòng)閥的上端放油氣管上接有一氣動(dòng)開關(guān)球閥，所述氣動(dòng)開關(guān)球閥與二位五通電磁閥連通，所述電源和壓力變送器與所述二位五通電磁閥連接。采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于當(dāng)突然停電時(shí)，所述裝置可以自動(dòng)打開氣動(dòng)開關(guān)球閥對(duì)還原爐爐筒夾套內(nèi)的油氣進(jìn)行泄壓，避免發(fā)生重大安全事故；當(dāng)全廠導(dǎo)熱油系統(tǒng)的壓力高于0. 并且電磁閥處于帶電狀態(tài)(表示全廠供電正常)時(shí)，所述裝置還可以自動(dòng)關(guān)閉氣動(dòng)開關(guān)球閥，保證全廠導(dǎo)熱油系統(tǒng)正常循環(huán)。
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。


圖1是本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型氣動(dòng)開關(guān)球閥開狀態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實(shí)用新型氣動(dòng)開關(guān)球閥關(guān)狀態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本實(shí)用新型二位五通電磁閥結(jié)構(gòu)示意圖。其中1、第一手動(dòng)閥2、氣動(dòng)開關(guān)球閥3、二位五通電磁閥4、壓力變送器5、放油氣管6、第二手動(dòng)閥7、進(jìn)氣口一 8、進(jìn)氣口二 9、排氣口三10、出氣口四11、進(jìn)氣口五12、 出氣口六13、排氣口七。
具體實(shí)施方式
如
圖1所示，所述還原爐爐筒夾套放氣閥裝置，其特征在于所述裝置包括第一手動(dòng)閥1、第二手動(dòng)閥6、氣動(dòng)開關(guān)球閥2、二位五通電磁閥3、電源和壓力變送器4，所述第一手動(dòng)閥1位于還原爐與放油氣管5間，所述第二手動(dòng)閥6位于放油氣管5的下端，所述裝置在靠近第二手動(dòng)閥6的上端放油氣管5上接有一氣動(dòng)開關(guān)球閥2，所述氣動(dòng)開關(guān)球閥2與二位五通電磁閥3連通，所述二位五通電磁閥3受所述電源和壓力變送器4的控制。如
圖1所示，二位五通電磁閥3受電源和壓力變送器4的控制，第一手動(dòng)閥1和第二手動(dòng)閥6為常開狀態(tài)。正常狀態(tài)下二位五通電磁閥3 —直處于通電狀態(tài)(它的電采集于全廠總進(jìn)線，能代表全廠電源的狀態(tài))。當(dāng)壓力變送器4檢測(cè)到全廠導(dǎo)熱油系統(tǒng)壓力低于0. 3MPa時(shí)(說明供油壓力不足， 還原爐冷卻導(dǎo)熱油流量不夠)，壓力變送器4發(fā)出信號(hào)，使二位五通電磁閥3處于斷電狀態(tài)， 則壓縮空氣通過的順序?yàn)檫M(jìn)氣口五11-出氣口六12-出氣口四10-排氣口三9，然后再?gòu)臍鈩?dòng)開關(guān)球閥2的進(jìn)氣口二 8進(jìn)入氣動(dòng)開關(guān)球閥2，由壓縮空氣推動(dòng)活塞帶動(dòng)齒輪，使氣動(dòng)開關(guān)球閥2打開，將還原爐爐桶夾套中的高壓釋放(還原爐爐桶夾套中的導(dǎo)熱油因過度受熱而汽化，導(dǎo)致還原爐爐桶夾套中的壓力過高)。當(dāng)突然停電時(shí)，二位五通電磁閥3處于斷電狀態(tài)(這時(shí)導(dǎo)熱油循環(huán)泵斷電，全廠導(dǎo)熱油系統(tǒng)壓力肯定低于0. 3MPa),則壓縮空氣通過的順序?yàn)檫M(jìn)氣口五11-出氣口六12-出氣口四10-排氣口三9，然后再?gòu)臍鈩?dòng)開關(guān)球閥2的進(jìn)氣口二 8進(jìn)入氣動(dòng)開關(guān)球閥2，由壓縮空氣推動(dòng)活塞帶動(dòng)齒輪，使氣動(dòng)開關(guān)球閥2打開，將還原爐爐桶夾套中的高壓釋放。當(dāng)壓力變送器4檢測(cè)到全廠導(dǎo)熱油系統(tǒng)壓力高于0. 3MPa,并且二位五通電磁閥3 處于通電狀態(tài)時(shí)，壓縮空氣依次通過順序?yàn)檫M(jìn)氣口五11-出氣口四10-出氣口六12-排氣口七13，然后再?gòu)臍鈩?dòng)開關(guān)球閥2的進(jìn)氣口一 7進(jìn)入氣動(dòng)開關(guān)球閥2，由壓縮空氣推動(dòng)活塞，帶動(dòng)齒輪，使氣動(dòng)開關(guān)球閥2關(guān)閉，保證全廠導(dǎo)熱油系統(tǒng)正常循環(huán)。此裝置有效的保證了生產(chǎn)安全運(yùn)行，避免了停電或者超壓引發(fā)重大安全事故。
權(quán)利要求1. 一種還原爐爐筒夾套放氣閥裝置，其特征在于所述裝置包括第一手動(dòng)閥(1)、第二手動(dòng)閥(6)、氣動(dòng)開關(guān)球閥(2)、二位五通電磁閥(3)、電源和壓力變送器(4)，所述第一手動(dòng)閥(1)位于還原爐與放油氣管(5)間，所述第二手動(dòng)閥(6)位于放油氣管(5)的下端，在靠近第二手動(dòng)閥(6)的上端放油氣管(5)上接有一氣動(dòng)開關(guān)球閥(2)，所述氣動(dòng)開關(guān)球閥(2) 與所述二位五通電磁閥(3)連通，所述電源和壓力變送器(4)與所述二位五通電磁閥(3)連接。
專利摘要一種還原爐爐筒夾套放氣閥裝置，其特征在于所述裝置包括第一手動(dòng)閥、第二手動(dòng)閥、氣動(dòng)開關(guān)球閥、二位五通電磁閥、電源和壓力變送器，所述第一手動(dòng)閥位于還原爐與放油氣管間，所述第二手動(dòng)閥位于放油氣管的下端，所述裝置在靠近第二手動(dòng)閥的上端放油氣管上接有一氣動(dòng)開關(guān)球閥，所述氣動(dòng)開關(guān)球閥與所述二位五通電磁閥連通，所述電源和壓力變送器與所述二位五通電磁閥連接。當(dāng)突然停電時(shí)，所述裝置可以自動(dòng)打開氣動(dòng)開關(guān)球閥對(duì)還原爐爐筒夾套內(nèi)的油氣進(jìn)行泄壓，避免發(fā)生重大安全事故；當(dāng)全廠導(dǎo)熱油系統(tǒng)的壓力高于0.3MPa并且電磁閥處于通電狀態(tài)(表示全廠供電正常)時(shí)，所述裝置還可以自動(dòng)關(guān)閉氣動(dòng)開關(guān)球閥，保證全廠導(dǎo)熱油系統(tǒng)正常循環(huán)。
文檔編號(hào)F27D7/00GK202201713SQ20112027072
公開日2012年4月25日 申請(qǐng)日期2011年7月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月28日
發(fā)明者馮謹(jǐn), 常召雷, 李延輝 申請(qǐng)人:河北東明中硅科技有限公司