技術(shù)編號：4613936
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種放氣閥，尤其涉及一種還原爐爐筒夾套放氣閥裝置。 背景技術(shù)多晶硅的生長是一個還原過程，將提純的三氯氫硅和氫氣送入還原爐內(nèi)，在 1100° C的硅芯發(fā)熱體表面發(fā)生還原反應(yīng)，沉積生長多晶硅。還原爐爐筒夾套通入導(dǎo)熱油， 以吸收爐內(nèi)熾熱硅芯向爐筒內(nèi)壁輻射的熱量，維持爐筒內(nèi)壁的溫度。吸收了還原爐熱量的高溫導(dǎo)熱油送往導(dǎo)熱油鍋爐房的油水換熱器進(jìn)行降溫，經(jīng)降溫后的導(dǎo)熱油循環(huán)回還原爐爐筒夾套使用。導(dǎo)熱油不斷的對還原爐進(jìn)行循環(huán)降溫，從而保證了生產(chǎn)的正常進(jìn)行。但...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。