專利名稱：高溫烘烤晶舟的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明有關(guān)于一種晶舟，特別是有關(guān)于一種高溫烘烤晶舟。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)中，從晶圓制成集成電路晶片時(shí)通常包括對晶圓一再處理的幾個(gè)步驟，測試、存放及搬運(yùn)。由于晶圓的易碎性質(zhì)及其貴重價(jià)格，必須在制造過程中適當(dāng)?shù)乇Ｗo(hù)，而晶舟的目的即為提供這種保護(hù)措施。
在高溫烘烤過程中，金屬制成的晶舟可用在高于攝氏三百度的溫度中。然而在烘烤過程中，晶圓因運(yùn)輸時(shí)，其邊緣與晶舟相碰撞，而使晶圓的邊緣造成一些損傷或是晶圓破裂。
如圖1顯示根據(jù)先前技術(shù)實(shí)施例的晶舟的透視圖，一晶舟100用于搬運(yùn)及存放晶圓，晶舟100包括一前端構(gòu)件110、二側(cè)壁板120、一后端構(gòu)件130、復(fù)數(shù)個(gè)固定槽140、二圓柱玻璃棒150及二支撐桿160，側(cè)壁板120分別固定于前端構(gòu)件110及后端構(gòu)件130之間，復(fù)數(shù)個(gè)固定槽140設(shè)置于各個(gè)側(cè)壁板120上，二圓柱玻璃棒150分別位于各側(cè)壁板的下方，而支撐桿160固定于側(cè)壁板120及圓柱玻璃棒150之間。
前端構(gòu)件110及后端構(gòu)件130用于保護(hù)晶圓，復(fù)數(shù)個(gè)固定槽140則是用于容納晶圓，石英制成的圓柱玻璃棒150用于支撐晶圓。而因?yàn)閳A柱玻璃棒150與晶圓的接觸面積太小，當(dāng)圓柱玻璃棒150與晶圓接觸時(shí)難以減少緩沖而使晶圓容易在其邊緣處有一些損傷或是損壞晶圓。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供防止晶圓產(chǎn)生碰撞的晶舟結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的另一目的為基座的材料必須能承受至少攝氏三百度的溫度，因?yàn)榇祟惥е垌毷褂糜诟邷睾婵尽?br> 根據(jù)前述本發(fā)明的目的，提供一高溫烘烤晶舟改良構(gòu)造，其包括一彈片擋板以減少碰撞的程度，降低晶圓受損的可能性。
為達(dá)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)特征如下一種高溫烘烤晶舟，該高溫烘烤晶舟包含一前端構(gòu)件；二側(cè)壁板相對地設(shè)置于該前端構(gòu)件的兩端；一后端構(gòu)件位于該二側(cè)壁板之間；及二彎曲的彈片擋板相對地設(shè)置于該二側(cè)壁板的下方。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)實(shí)施例的晶舟的透視圖。
圖2為本發(fā)明實(shí)施例的晶舟的透視圖。
圖中符號說明100 晶舟110 前端構(gòu)件120 側(cè)壁板130 后端構(gòu)件140 固定槽150 圓柱玻璃棒160 支撐桿200 晶舟210 前端構(gòu)件
220 側(cè)壁板230 后端構(gòu)件240 固定槽250 彈片擋板260 支撐桿具體實(shí)施方式
本發(fā)明一些實(shí)施例在此會做更詳細(xì)的描述，然而，本發(fā)明可以廣泛地在其它的實(shí)施例施行，而本發(fā)明的范圍不受已提出的專利申請范圍的限制。其中本發(fā)明所描述的附圖只是范例，在本發(fā)明的精神中這些附圖有多種的變化，不應(yīng)有限定的認(rèn)知，所有的變化被認(rèn)為是申請專利范圍的部份。
當(dāng)晶圓經(jīng)過測試后，必須將晶圓放入爐中將油墨烘干，而油墨是為了標(biāo)記不良的晶片。然而，由于運(yùn)送過程中間的顛簸，晶圓容易在運(yùn)輸?shù)倪^程中，其邊緣因與晶舟相碰撞，而使晶圓的邊緣造成一些損傷或是晶圓破裂，本發(fā)明因而提供一種高溫烘烤晶舟的改良結(jié)構(gòu)。
圖2顯示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的晶舟的的透視圖。一用于搬運(yùn)及存放晶圓的晶舟200，晶舟200包括一前端構(gòu)件210、二側(cè)壁板220、一后端構(gòu)件230、復(fù)數(shù)個(gè)固定槽240、二彈片擋板250及二支撐桿260，側(cè)壁板220分別固定于前端構(gòu)件210及后端構(gòu)件230兩端之間，復(fù)數(shù)個(gè)固定槽240設(shè)置于各個(gè)側(cè)壁板220上，二彈片擋板250分別位于各側(cè)壁板的下方，而支撐桿260固定于側(cè)壁板220及彈片擋板250之間。
如圖2所示，彈片擋板250在本發(fā)明中用于保護(hù)晶圓，該彈片擋板由金屬制成且能承受高于攝氏三百度的溫度。應(yīng)注意彈片擋板的材質(zhì)不可為電鍍否則將會污染晶圓。此外，擋板也可為其它能承受高于攝氏三百度而不熔化的材料。彈片擋板具有一斜面以增加與晶圓的接觸面積及當(dāng)彈片擋板與晶圓接觸時(shí)可形成緩沖。
彈片擋板250為具彈性的材質(zhì)，其可有其它不同形狀，用以避免與高溫烘烤的晶圓產(chǎn)生碰撞。晶圓邊緣與彈片擋板直接地接觸，由于有更多的面積與彈片擋板直接地接觸，晶圓受到損傷的機(jī)會就會降低。
雖然本發(fā)明的實(shí)施例在上述有詳細(xì)的描述說明，其目的在使熟悉此技藝的人士能了解本發(fā)明的內(nèi)容并加以實(shí)施，當(dāng)不能以的限定本發(fā)明專利范圍，即凡其它未脫離本發(fā)明所揭示的精神所完成的等效的各種變化或修改都涵蓋在本發(fā)明所揭露的范圍內(nèi)，均應(yīng)包含在所述的申請專利范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種高溫烘烤晶舟，該高溫烘烤晶舟包含一前端構(gòu)件；二側(cè)壁板相對地設(shè)置于該前端構(gòu)件的兩端；一后端構(gòu)件位于該二側(cè)壁板之間；及二彎曲的彈片擋板相對地設(shè)置于該二側(cè)壁板的下方。
2.如權(quán)利要求1所述的高溫烘烤晶舟，其中各個(gè)該側(cè)壁板具有復(fù)數(shù)個(gè)縱向溝槽及一橫向支撐桿。
3.如權(quán)利要求1所述的高溫烘烤晶舟，其中該彈片擋板位于該側(cè)壁板的下方。
4.如權(quán)利要求3所述的高溫烘烤晶舟，其中該側(cè)壁板連結(jié)于該支撐桿。
5.如權(quán)利要求1所述的高溫烘烤晶舟，其中該側(cè)壁板包含復(fù)數(shù)個(gè)固定槽。
6.如權(quán)利要求5所述的高溫烘烤晶舟，其中該固定槽用于放置晶圓。
7.如權(quán)利要求1所述的高溫烘烤晶舟，其中該彈片擋板由金屬制成。
8.如權(quán)利要求7所述的高溫烘烤晶舟，其中彈片擋板可承受高于攝氏三百度的溫度。
9.如權(quán)利要求1所述的高溫烘烤晶舟，其中該彈片擋板具有一斜面以增加與晶圓的接觸面積。
全文摘要
本發(fā)明揭露一種高溫烘烤晶舟，其中高溫烘烤晶舟包含一前端構(gòu)件、二片側(cè)壁板、一后端構(gòu)件、復(fù)數(shù)個(gè)固定槽、二片彈片擋板及二支支撐桿。使用此種高溫烘烤晶舟可將晶圓受損的機(jī)會減至最低。
文檔編號F27D5/00GK1953153SQ200510116398
公開日2007年4月25日 申請日期2005年10月20日 優(yōu)先權(quán)日2005年10月20日
發(fā)明者戴碧輝 申請人:京元電子股份有限公司