夠解決本發(fā)明的課題,則可以在各 工序之前附加其它工序。
[0042] 例如,可以在各工序之前設(shè)置對金屬成型體的接合面進行清潔的處理工序。
[0043] 〈第1工序〉
[0044] 第1工序針對金屬成型體的接合面形成開口部的平均直徑(Db)為1.0? 1000 μπκ最大深度為10?1000 μπι的凹部,或開口部的平均寬度(Wb)為I. 0?1000 μπκ 最大深度為10?1000 μ m的槽。
[0045] 凹部或槽可以在整個接合面形成,只要能夠獲得目標(biāo)的接合強度,也可以在部分 接合面形成。
[0046] 形成凹部(孔)時,形成開口部的平均直徑(Db)為I. 0?1000 μ m、優(yōu)選為30? 1000 μ m,最大深度為10?1000 μ m、優(yōu)選為50?1000 μ m的凹部(孔)。
[0047] 凹部可以以多個凹部有序或無規(guī)地分散的方式形成,可以使多個凹部形成為點線 狀、且以使它們呈直線、曲線或圖形(圓、多邊形、不定形等)的方式形成,也可以以使呈多 個直線、曲線或圖形的方式形成的凹部在多個部位交叉的方式形成。
[0048] 在金屬成型體的接合面形成槽時,形成開口部的平均寬度(Wb)為1.0?ΙΟΟΟμπκ 優(yōu)選為30?1000 μ m,最大深度為10?1000 μ m、優(yōu)選為50?1000 μ m的槽。
[0049] 槽可以以多個槽呈直線、曲線或圖形(圓、多邊形、不定形等)的方式形成,也可以 以使呈多個直線、曲線或圖形的方式形成的槽在多個部位交叉的方式形成。
[0050] 需要說明的是,在第1工序中,可以對于金屬成型體的接合面形成凹部和槽這兩 者。
[0051] 作為第1工序的處理方法,可以在形成凹部或槽時采用選自激光照射、沖壓加工 (7° U只加工)、滾壓加工(転造加工)及切削加工(切削加工)中的方法。滾壓加工尤其 適用于槽的形成。
[0052] 采用照射激光的方法時,可使用公知的激光器。例如,可使用:YV04激光器、YAG激 光器、光纖激光器、半導(dǎo)體激光器、玻璃激光器、紅寶石激光器、He-Ne激光器、氮激光器、螯 合物激光器、染料激光器。
[0053] 激光的照射條件,例如波長、光束直徑、微孔的間隔、頻率等,根據(jù)成為接合對象的 金屬成型體的種類、以使其能夠形成上述范圍的平均開口徑(Db)或上述范圍的平均寬度 (Wb)的方式加以確定,是比第2工序中進行激光照射時更強的照射條件。例如,可以使其為 與第2工序相同的激光照射條件、但掃描次數(shù)多于第2工序。
[0054] 使用激光照射作為第1工序時的條件可以為例如下述條件。
[0055] 輸出優(yōu)選為4?400W。
[0056] 波長優(yōu)選為300?1200nm、更優(yōu)選為500?1070nm。
[0057] 1個掃描的脈沖寬度(1個掃描的激光的照射時間)優(yōu)選為1?100, OOOnsec、更 優(yōu)選為1?IOOnsec。
[0058] 頻率優(yōu)選為1?IOOkHz。
[0059] 光束直徑優(yōu)選為5?200 μ m、更優(yōu)選為5?100 μ m、進一步優(yōu)選為5?50 μ m。
[0060] 焦點位置優(yōu)選為-10?+10mm、更優(yōu)選為-6?+6mm。
[0061] 加工速度優(yōu)選為1?10, 000mm/sec、更優(yōu)選為5?10, 000mm/sec、進一步優(yōu)選為 10 ?10, 000mm/sec〇
[0062] 掃描次數(shù)優(yōu)選為1?20次、更優(yōu)選為1?10次。
[0063] 沖壓加工可采用使用能夠形成給定大小的凹部的針狀的加工工具、或能夠形成給 定大小的槽的具有刀刃的加工工具的方法。
[0064] 滾壓加工適宜作為對圖2所示的圓棒狀的金屬成型體10的表面進行加工的方法, 可形成例如陽螺紋狀的槽。
[0065] 切削加工與滾壓加工同樣地適宜作為對圖2所示的圓棒狀的金屬成型體10的表 面進行加工的方法,此外,還可適用于形成凹部的加工。
[0066] 以下,結(jié)合附圖對第1工序中的實施方式進行說明。
[0067] 圖3(a)是示出了在第1工序中挖開了圓形的凹部(孔)的狀態(tài)的俯視圖,圖3(b) 示出了(a)的厚度方向上的剖視圖(深度方向的形狀)。
[0068] 圖3(b)中,孔的深度方向的形狀為三角形。
[0069] 可以使孔為開口部的形狀選自圖4(a)?(f)所示的形狀、深度方向的形狀選自圖 5(a)?(c)所示的形狀的組合。
[0070] 孔的開口部的形狀沒有特殊限制,可以形成為圖4(a)的圓形、圖4(b)的銀杏的葉 形、圖4(c)的回飛棒形、圖4(d)的橢圓形、圖4(e)的四邊形、圖4(f)的多邊形,也可以形 成為圖示以外的形狀。
[0071] 孔的深度方向的形狀沒有特殊限制,可以形成為圖5(a)的三角形、圖5(b)的四邊 形、圖5(c)的梯型,也可以形成為圖示以外的形狀。
[0072] 圖6(a)是示出了在第1工序中形成了槽的狀態(tài)的俯視圖,圖6(b)示出了(a)的 厚度方向上的剖視圖(深度方向的形狀)。
[0073] 金屬成型體10的接合面12通過第2工序的處理而達成形成有多個微細(xì)的孔、表 面變得粗糙(比處理前更粗糙)的狀態(tài),在此以均等間隔形成有多個槽。
[0074] 圖6(b)中,槽的深度方向的形狀為三角形。
[0075] 可以使槽的開口部的形狀(平面形狀)為選自圖7(a)?(d)所示的形狀、深度方 向的形狀選自圖8(a)?(e)所示的形狀的組合。
[0076] 槽的開口部的形狀(平面形狀)沒有特殊限制,可以形成為圖7(a)的直線的組 合、圖7(b)的與(a)垂直的方向上的寬度更細(xì)的直線的組合、圖7(c)的曲線的組合、圖 7(d)的格子狀的直線的組合,也可以形成為圖示以外的形狀。
[0077] 槽的深度方向的形狀沒有特殊限制,可以形成為圖8(a)的三角形、圖8(b)的四邊 形、圖8 (c)的梯型、圖8⑷的與(c)方向相反的梯型、圖8 (e)的使⑷的梯型發(fā)圓而成的 形狀,也可以形成為圖示以外的形狀。
[0078] 〈第2工序〉
[0079] 第2工序中,對在第1工序中形成了凹部或槽的金屬成型體的接合面形成開口部 的平均直徑(Ds)為0.01?50 μπι的凹部,或開口部的平均寬度(Ws)為0.01?50 μπι的 槽。
[0080] 在金屬成型體的接合面形成凹部(孔)時,形成開口部的平均直徑(Ds)為0. 01? 50 μ m、優(yōu)選為0. 1?50 μ m、進一步優(yōu)選為I. 0?50 μ m的凹部(孔)。
[0081] 也可以認(rèn)為,根據(jù)金屬成型體的表面狀態(tài)不同,在第1工序中未形成凹部或槽的 接合面會存在微細(xì)的凹凸,但即使是這樣的情況下,也要進行用于形成上述范圍的凹部的 處理。此時,與處理前相比,上述接合面形成更多的凹凸,成為更粗糙的狀態(tài)。
[0082] 凹部可以以多個凹部有序或無規(guī)地分散的方式形成,可以使多個凹部形成為點線 狀、且以使它們呈直線、曲線或圖形(圓、多邊形、不定形等)的方式形成,也可以以使呈多 個直線、曲線或圖形的方式形成的凹部在多個部位交叉的方式形成。
[0083] 在金屬成型體的接合面形成槽時,形成開口部的平均寬度(Ws)為0. 01?50 μπκ 優(yōu)選為〇. 1?50 μ m、進一步優(yōu)選為I. 0?50 μ m的槽。
[0084] 槽可以以多個槽呈直線、曲線或圖形(圓、多邊形、不定形等)的方式形成,也可以 以使呈多個直線、曲線或圖形的方式形成的槽在多個部位交叉的方式形成。
[0085] 在第2工序中,可以對于金屬成型體的接合面形成凹部和槽這