本技術(shù)涉及硅片生產(chǎn)用輔助設備，尤其涉及一種硅片清洗筐上料裝置。

背景技術(shù)：

1、硅片加工過程中需要對硅片進行嚴格的清洗操作，以去除硅片表面的雜質(zhì)，硅片先進行脫膠清洗，然后再進行后續(xù)的烘干等加工操作；完成脫膠清洗后的硅片通過插片機插入清洗筐內(nèi)，然后通過清洗筐上料裝置將插滿硅片的清洗筐移動到下一道加工工位，同時通過清洗筐上料裝置將空的清洗筐移動到插片機處繼續(xù)進行硅片插片操作；現(xiàn)有的清洗筐上料裝置上同時設置有兩個夾爪，兩個夾爪通過同一套驅(qū)動裝置驅(qū)動其移動，當一個夾爪抓插滿硅片的清洗筐后，需要等待另一個抓空的夾爪將空的清洗筐放置在插片工位上，然后抓滿的夾爪才可以帶動滿的清洗筐向下一道加工工位移動，延長了滿的清洗筐移動到一道加工工序的時間，影響后續(xù)清洗加工能效。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、鑒于現(xiàn)有技術(shù)中的上述缺陷或不足，期望提供一種硅片清洗筐上料裝置，提高硅片后續(xù)加工清洗能效。

2、本實用新型提供的一種硅片清洗筐上料裝置，包括：

3、空筐輸送機構(gòu)、滿筐輸送機構(gòu)以及空滿筐切換機構(gòu)，其中，

4、所述空筐輸送機構(gòu)，設置于所述空滿筐切換機構(gòu)的一側(cè)，用于給所述空滿筐切換機構(gòu)提供空筐；

5、所述滿筐輸送機構(gòu)，設置于所述空滿筐切換機構(gòu)的一側(cè)，用于輸送插片工位上的滿筐至下一道工序；

6、所述空滿筐切換機構(gòu)，包括第一移動組件和第二移動組件，且第一移動組件和第二移動組件單獨移動；所述第一移動組件的底部連接有空筐夾取組件，所述第一移動組件能帶動所述空筐夾取組件從所述空筐輸送機構(gòu)上夾取空筐并帶動所述空筐移動至插片工位；所述第二移動組件的底部連接有滿筐夾取組件，所述第二移動組件能帶動所述滿筐夾取組件從插片工位夾取滿筐并直接帶動所述滿筐移動至所述滿筐輸送機構(gòu)上；

7、當所述插片工位上的清洗筐插滿硅片時，所述第二移動組件帶動所述滿筐夾取組件夾取插片工位上的滿筐并向靠近所述滿筐輸送機構(gòu)的方向移動，且所述第一移動組件帶動所述空筐夾取組件夾取空筐移動至插片工位。

8、進一步的，所述空筐輸送機構(gòu)包括空筐翻轉(zhuǎn)組件和空筐輸送帶，所述空筐翻轉(zhuǎn)組件設置于所述空筐輸送帶靠近所述空滿筐切換機構(gòu)的一端；

9、所述滿筐輸送機構(gòu)包括滿筐翻轉(zhuǎn)組件和滿筐輸送帶，所述滿筐翻轉(zhuǎn)組件設置于所述滿筐輸送帶靠近所述空滿筐切換機構(gòu)的一端。

10、進一步的，所述空筐翻轉(zhuǎn)組件和所述滿筐翻轉(zhuǎn)組件均包括放置架、第一轉(zhuǎn)軸和第一驅(qū)動電機，所述放置架的橫截面呈“l(fā)”形，其水平部上設置有限位孔和限位板，其豎直部通過固定座與所述第一轉(zhuǎn)軸固定連接，所述第一轉(zhuǎn)軸的一端通過聯(lián)軸器與所述第一驅(qū)動電機的輸出端連接，啟動所述第一驅(qū)動電機可驅(qū)動所述放置架翻轉(zhuǎn)90度。

11、進一步的，還包括兩根平行設置的y軸支撐梁，所述y軸支撐梁上沿其長度方向設置有y軸滑軌和y軸齒條，所述第一移動組件和所述第二移動組件分別與所述y軸滑軌滑動連接，且所述第一移動組件和所述第二移動組件的一側(cè)均固定連接有y軸驅(qū)動件，所述y軸驅(qū)動件均與所述y軸齒條連接，啟動所述y軸驅(qū)動件能分別帶動第一移動組件或第二移動組件沿y軸方向移動。

12、進一步的，所述第一移動組件和所述第二移動組件均包括相互垂直的x軸支撐梁和z軸支撐梁，所述x軸支撐梁的兩端與所述y軸滑軌滑動連接；

13、所述x軸支撐梁上沿其長度方向設置有x軸滑軌和x軸齒條，所述x軸滑軌滑動連接連接有x軸滑座313，所述z軸支撐梁與相對應的x軸滑座固定連接，所述z軸支撐梁上均固定連接有x軸驅(qū)動件，所述x軸驅(qū)動件與相對應的所述x軸齒條連接；

14、所述第一移動組件的z軸支撐梁的底部固定連接所述空筐夾取組件，所述第二移動組件的z軸支撐梁的底部固定連接所述滿筐夾取組件，兩根所述z軸支撐梁上沿其長度方向設置有z軸滑軌和z軸齒條，所述z軸滑軌內(nèi)滑動連接有z軸滑座，所述z軸滑座通過固定座與所述x軸滑座固定連接，所述固定座上還固定安裝有z軸驅(qū)動件，所述z軸驅(qū)動件與所述z軸齒條連接；啟動所述x軸驅(qū)動件可帶動相對應的空筐夾取組件或滿筐夾取組件沿x軸方向移動，啟動所述z軸驅(qū)動件可帶動相對應的空筐夾取組件或滿筐夾取組件沿z軸方向移動。

15、進一步的，所述空筐夾取組件和所述滿筐夾取組件均包括安裝板、第一氣缸、第二氣缸、第一夾爪和第二夾爪，所述安裝板與所述z軸支撐梁的底部固定連接，所述第一氣缸和所述第二氣缸設置于所述安裝板的底部，所述第一夾爪和所述第二夾爪相對應設置，所述第一夾爪與所述第一氣缸的伸縮端連接，所述第二夾爪與所述第二氣缸的伸縮端連接，啟動所述第一氣缸和所述第二氣缸能帶動所述第一夾爪和所述第二夾爪相互遠離或靠近。

16、進一步的，所述安裝板的下方位于第一夾爪和所述第二夾爪之間還設置有壓塊，所述壓塊與所述安裝板之間連接有彈簧件。

17、進一步的，所述第一夾爪和所述第二夾爪之間的橫截面呈“l(fā)”形。

18、進一步的，兩個所述x軸支撐梁的同側(cè)端部均設置有防撞感應板，所述防撞感應板位于兩個所述x軸支撐梁之間且相對應設置，所述防撞感應板上均設置有接近傳感器。

19、相對于現(xiàn)有技術(shù)而言，本實用新型的有益效果是：

20、本實用新型的空筐輸送機構(gòu)設置在空滿筐切換機構(gòu)的一側(cè)，滿筐輸送機構(gòu)也設置在空滿筐切換機構(gòu)的一側(cè)，滿筐輸送機構(gòu)用于輸送插滿硅片的滿筐到下一道加工位置；空滿筐切換機構(gòu)包括第一移動組件和第二移動組件，其中第一移動組件的底部連接有空筐夾取組件，第二移動組件的底部連接滿筐夾取組件，第一移動組件能驅(qū)動空筐夾取組件從空筐輸送機構(gòu)上夾取空筐并帶動空筐移動到插片工位，第二移動組件能帶動滿筐夾取組件從插片工位夾取插滿硅片的滿筐移動到滿筐輸送機構(gòu)上，隨后通過滿筐輸送機構(gòu)輸送滿筐到下一道加工位置；本申請的第一移動組件和第二移動組件之間能分別移動，并分別驅(qū)動空筐夾取組件和滿筐夾取組件進行移動，當插片工位上的清洗筐插滿硅片時，第二移動組件帶動滿筐夾取組件夾取插片工位上的滿筐，并直接帶動滿筐向靠近滿筐輸送機構(gòu)的方向移動，同時第一移動組件帶動空筐夾取組件夾取空筐移動到插片位置，在插片工位補充空筐，滿筐夾取組件和空筐夾取組件可以分別進行移動和夾取操作，滿筐夾取組件夾取完滿筐后不需要等待空筐下放即可向下一道加工工位移動，減少了滿筐移動到下一道加工工位的移動時間，提高了硅片清洗加工的效率。

21、應當理解，
技術(shù)實現(xiàn)要素：
部分中所描述的內(nèi)容并非旨在限定本實用新型的實施例的關鍵或重要特征，亦非用于限制本實用新型的范圍。本實用新型的其它特征將通過以下的描述變得容易理解。

技術(shù)特征：

1.一種硅片清洗筐上料裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片清洗筐上料裝置，其特征在于，所述空筐輸送機構(gòu)(1)包括空筐翻轉(zhuǎn)組件(11)和空筐輸送帶(12)，所述空筐翻轉(zhuǎn)組件(11)設置于所述空筐輸送帶(12)靠近所述空滿筐切換機構(gòu)(3)的一端；

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種硅片清洗筐上料裝置，其特征在于，所述空筐翻轉(zhuǎn)組件(11)和所述滿筐翻轉(zhuǎn)組件(21)均包括放置架(111)、第一轉(zhuǎn)軸(112)和第一驅(qū)動電機(113)，所述放置架(111)的橫截面呈“l(fā)”形，其水平部上設置有限位孔和限位板(114)，其豎直部通過固定座(115)與所述第一轉(zhuǎn)軸(112)固定連接，所述第一轉(zhuǎn)軸(112)的一端通過聯(lián)軸器與所述第一驅(qū)動電機(113)的輸出端連接，啟動所述第一驅(qū)動電機(113)可驅(qū)動所述放置架(111)翻轉(zhuǎn)90度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片清洗筐上料裝置，其特征在于，還包括兩根平行設置的y軸支撐梁(35)，所述y軸支撐梁(35)上沿其長度方向設置有y軸滑軌(351)和y軸齒條(352)，所述第一移動組件(31)和所述第二移動組件(32)分別與所述y軸滑軌(351)滑動連接，且所述第一移動組件(31)和所述第二移動組件(32)的一側(cè)均固定連接有y軸驅(qū)動件(36)，所述y軸驅(qū)動件(36)均與所述y軸齒條(352)連接，啟動所述y軸驅(qū)動件(36)能分別帶動第一移動組件(31)或第二移動組件(32)沿y軸方向移動。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種硅片清洗筐上料裝置，其特征在于，所述第一移動組件(31)和所述第二移動組件(32)均包括相互垂直的x軸支撐梁(311)和z軸支撐梁(312)，所述x軸支撐梁(311)的兩端與所述y軸滑軌(351)滑動連接；

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種硅片清洗筐上料裝置，其特征在于，所述空筐夾取組件(33)和所述滿筐夾取組件(34)均包括安裝板(341)、第一氣缸(342)、第二氣缸(343)、第一夾爪(344)和第二夾爪(345)，所述安裝板(341)與所述z軸支撐梁(312)的底部固定連接，所述第一氣缸(342)和所述第二氣缸(343)設置于所述安裝板(341)的底部，所述第一夾爪(344)和所述第二夾爪(345)相對應設置，所述第一夾爪(344)與所述第一氣缸(342)的伸縮端連接，所述第二夾爪(345)與所述第二氣缸(343)的伸縮端連接，啟動所述第一氣缸(342)和所述第二氣缸(343)能帶動所述第一夾爪(344)和所述第二夾爪(345)相互遠離或靠近。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種硅片清洗筐上料裝置，其特征在于，所述安裝板(341)的下方位于第一夾爪(344)和所述第二夾爪(345)之間還設置有壓塊(346)，所述壓塊(346)與所述安裝板(341)之間連接有彈簧件(347)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種硅片清洗筐上料裝置，其特征在于，所述第一夾爪(344)和所述第二夾爪(345)之間的橫截面呈“l(fā)”形。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種硅片清洗筐上料裝置，其特征在于，兩個所述x軸支撐梁(311)的同側(cè)端部均設置有防撞感應板(4)，所述防撞感應板(4)位于兩個所述x軸支撐梁(311)之間且相對應設置，所述防撞感應板(4)上均設置有接近傳感器(5)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種硅片清洗筐上料裝置，包括空筐輸送機構(gòu)、滿筐輸送機構(gòu)以及空滿筐切換機構(gòu)，其中，空滿筐切換機構(gòu)包括第一移動組件和第二移動組件，第一移動組件和第二移動組件單獨移動；當插片工位上的清洗筐插滿硅片時，第二移動組件帶動滿筐夾取組件夾取插片工位上的滿筐并向靠近滿筐輸送機構(gòu)的方向移動，且第一移動組件帶動空筐夾取組件夾取空筐移動至插片工位。本實用通過兩組移動組件分別驅(qū)動空筐夾取組件和滿筐夾取組件單獨移動，使得滿筐夾取組件在插片工位夾取滿筐后直接向下一道加工工位移動，不需要等待空筐夾取組件，減小了等待時間，相對縮短了滿筐移動到下一道加工工位的時間，提高了后續(xù)硅片清洗加工的生產(chǎn)效率。

技術(shù)研發(fā)人員：信廣志
受保護的技術(shù)使用者：天津創(chuàng)昱達光伏科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240109
技術(shù)公布日：2024/12/19