技術編號：40397924
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本技術涉及硅片生產用輔助設備，尤其涉及一種硅片清洗筐上料裝置。背景技術、硅片加工過程中需要對硅片進行嚴格的清洗操作，以去除硅片表面的雜質，硅片先進行脫膠清洗，然后再進行后續(xù)的烘干等加工操作；完成脫膠清洗后的硅片通過插片機插入清洗筐內，然后通過清洗筐上料裝置將插滿硅片的清洗筐移動到下一道加工工位，同時通過清洗筐上料裝置將空的清洗筐移動到插片機處繼續(xù)進行硅片插片操作；現(xiàn)有的清洗筐上料裝置上同時設置有兩個夾爪，兩個夾爪通過同一套驅動裝置驅動其移動，當一個夾爪抓插滿硅片的清洗筐后，需要等待另一個抓空的...
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該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。