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玻璃基板傳送設(shè)備的制作方法

文檔序號:12899152閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.玻璃基板傳送設(shè)備,其特征在于,所述玻璃基板傳送設(shè)備包括:

氣浮平臺(100、200、300),用于平面支撐玻璃基板;

換向裝置(400),設(shè)置在所述氣浮平臺的中心區(qū)域,用于帶動玻璃基板原處旋轉(zhuǎn);以及

驅(qū)動裝置(500),沿所述氣浮平臺的高度方向可升降地設(shè)置在所述氣浮平臺內(nèi);

其中,所述驅(qū)動裝置設(shè)置成能夠在升高時僅與玻璃基板的中心區(qū)域接觸且能沿不同的路徑傳送玻璃基板。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板傳送設(shè)備,其特征在于,所述氣浮平臺包括中間氣浮平臺(200),所述中間氣浮平臺(200)上形成有用于設(shè)置所述換向裝置的中心孔(203)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的玻璃基板傳送設(shè)備,其特征在于,所述中間氣浮平臺(200)上形成有與所述中心孔(203)連通且沿第一傳送路徑(X)延伸的用于設(shè)置驅(qū)動裝置的第二直槽(201)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的玻璃基板傳送設(shè)備,其特征在于,所述氣浮平臺還包括組裝在所述中間氣浮平臺(200)相對側(cè)的第一氣浮平臺(100)和第二氣浮平臺(300);所述第一氣浮平臺(100)和第二氣浮平臺(300)上分別形成有沿第一傳送路徑(X)延伸且能與所述第二直槽(201)對齊的第一直槽(101)和第三直槽(301)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的玻璃基板傳送設(shè)備,其特征在于,所述中間氣浮平臺(200)上還形成有與所述中心孔(203)連通的沿第二傳送路徑(Y) 延伸的第四直槽(202)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的玻璃基板傳送設(shè)備,其特征在于,所述第一傳送路徑(X)與所述第二傳送路徑(Y)相互垂直。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的玻璃基板傳送設(shè)備,其特征在于,所述中間氣浮平臺(200)的靠近所述中心孔(203)處的所述第二直槽(201)和所述第四直槽(202)上分別形成有與所述中間氣浮平臺(200)共面的第一梁(201’)和第二梁(202’)。

8.根據(jù)權(quán)利要求5-7中任意一項權(quán)利要求所述的玻璃基板傳送設(shè)備,其特征在于,所述驅(qū)動裝置(500)為多套且分別成對地設(shè)置在所述第一直槽(101)、第二直槽(201)、第三直槽(301)以及第四直槽(202)內(nèi)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的玻璃基板傳送設(shè)備,其特征在于,所述驅(qū)動裝置(500)包括:動力源和設(shè)置在所述動力源上的移動機構(gòu),所述移動機構(gòu)用于吸附并帶動所述玻璃基板移動,所述動力源為所述移動機構(gòu)提供動力。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的玻璃基板傳送設(shè)備,其特征在于,所述動力源為直線致動器(501);

所述移動機構(gòu)包括升降氣缸(502)和固定連接在所述升降氣缸(502)頂部的真空吸盤(503)。

11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的玻璃基板傳送設(shè)備,其特征在于,所述驅(qū)動裝置(500)包括:用于接應(yīng)玻璃基板到所述換向裝置的第一驅(qū)動單元(500a) 和用于將所述玻璃基板送走的第二驅(qū)動單元(500b);所述第一驅(qū)動單元(500a)和所述第二驅(qū)動單元(500b)在所述第一直槽(101)、第二直槽(201)、第三直槽(301)以及第四直槽(202)內(nèi)分別前后布置且形成有速度相同的重疊區(qū)。

12.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的玻璃基板傳送設(shè)備,其特征在于,所述驅(qū)動裝置(500)包括:用于接應(yīng)玻璃基板到所述換向裝置的第一驅(qū)動單元(500a)和用于將所述玻璃基板送走的第二驅(qū)動單元(500b);所述第一驅(qū)動單元(500a)和所述第二驅(qū)動單元(500b)在所述第一直槽(101)、第二直槽(201)、第三直槽(301)以及第四直槽(202)內(nèi)分別前后布置且形成有速度相同的重疊區(qū)。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板傳送設(shè)備,其特征在于,所述換向裝置(400)包括驅(qū)動電機(401)、設(shè)置在所述驅(qū)動電機(401)上方的升降裝置(402)以及固定連接在所述升降裝置(402)頂部的圓盤狀的旋轉(zhuǎn)吸附器(403)。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的玻璃基板傳送設(shè)備,其特征在于,所述驅(qū)動電機(401)為直驅(qū)電機。

15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板傳送設(shè)備,其特征在于,所述氣浮平臺的與玻璃基板相對應(yīng)的表面由多孔導(dǎo)電材料制成。

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的玻璃基板傳送設(shè)備,其特征在于,所述多孔導(dǎo)電材料為碳石墨。

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