技術(shù)總結(jié)
一種半自動晶圓貼膜機，包括玻璃導(dǎo)軌柱、圓形玻璃、安裝柱、鐵環(huán)、支撐柱、溫控開關(guān)、真空開關(guān)、主體、真空器、溫控器、卷軸、上蓋板、劃刀和晶圓臺，所述安裝柱設(shè)置在主體后側(cè)邊緣，所述卷軸橫向設(shè)置在安裝柱上，所述上蓋板通過轉(zhuǎn)軸設(shè)置在安裝柱上，上蓋板中間位置背面?zhèn)仍O(shè)置有圓形玻璃，所述圓形玻璃上設(shè)置有可推動圓形玻璃轉(zhuǎn)圈的帶把手劃刀，所述主體上設(shè)置有晶圓臺及鐵環(huán)，所述晶圓臺上表面高于主體上表面，所述鐵環(huán)上表面高于晶圓臺上表面，所述主體前側(cè)邊緣設(shè)置有用于支撐上蓋板往下蓋合時的支撐柱，所述主體內(nèi)部設(shè)置有真空器和溫控器。本實用新型具有貼膜精準(zhǔn)、無氣泡的有點，一個人即可完成，貼膜效果和質(zhì)量良好。

技術(shù)研發(fā)人員：那洪亮;韓開宇
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中山市東翔微電子有限公司
文檔號碼：201720122659
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.10
技術(shù)公布日：2017.09.26