本實(shí)用新型涉及晶圓貼膜技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種半自動晶圓貼膜機(jī)。

背景技術(shù)：

在晶圓生產(chǎn)行業(yè)的后續(xù)工藝中，晶圓需要貼膜以進(jìn)行保護(hù)，但如果采用人工手動進(jìn)行貼膜，不僅操作繁瑣，往往需要兩人配合才能完成，而且由于貼膜過程中有氣泡而使得的貼膜效果差，并因此而導(dǎo)致返工，同時，人工貼膜會因人而異，貼膜位置不一致使得劃片及不能自動工作，這樣會導(dǎo)致整個晶圓貼膜效率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供一種半自動貼晶圓膜機(jī)，可將膠膜準(zhǔn)確貼到晶圓上且無氣泡。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案為：一種半自動晶圓貼膜機(jī)，包括玻璃導(dǎo)軌柱、圓形玻璃、安裝柱、鐵環(huán)、支撐柱、溫控開關(guān)、真空開關(guān)、主體、真空器、溫控器、卷軸、上蓋板、劃刀和晶圓臺，所述安裝柱設(shè)置在主體后側(cè)邊緣，所述卷軸橫向設(shè)置在安裝柱上，所述上蓋板通過轉(zhuǎn)軸設(shè)置在安裝柱上，上蓋板中間位置背面?zhèn)仍O(shè)置有能沿著設(shè)置在上蓋板背面?zhèn)鹊娜舾蓚€玻璃導(dǎo)軌柱滑動轉(zhuǎn)圈的圓形玻璃，所述圓形玻璃上設(shè)置有能推動圓形玻璃轉(zhuǎn)圈的帶把手的劃刀，所述主體上設(shè)置有晶圓臺以及能箍住晶圓臺的鐵環(huán)，所述晶圓臺上表面高于主體上表面，所述鐵環(huán)上表面高于晶圓臺上表面，所述主體前側(cè)邊緣設(shè)置有用于支撐上蓋板往下蓋合時的支撐柱，所述主體內(nèi)部設(shè)置有真空器和溫控器，所述主體前側(cè)面板設(shè)置有對應(yīng)分別連接至真空器、溫控器的真空開關(guān)和溫控開關(guān)。

進(jìn)一步地，所述晶圓臺上表面設(shè)置有兩個以上的氣孔。

進(jìn)一步地，所述晶圓臺上表面設(shè)置有兩條以上的定位線。

本實(shí)用新型的有益效果為：晶圓和膠膜精準(zhǔn)對位，劃刀沿著定位線將膠膜切割，真空器和溫控器有效將晶圓上的膠膜吸附在晶圓上，具有貼膜精準(zhǔn)、無氣泡，一個人即可完成，貼膜效果和質(zhì)量良好。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中，1-玻璃導(dǎo)軌柱，2-圓形玻璃，3-安裝柱，4-鐵環(huán)，5-氣孔，6-定位線，7-支撐柱，8-溫控開關(guān)，9-真空開關(guān)，10-主體，11-真空器，12-晶圓臺，13-溫控器，14-卷軸，15-上蓋板，16-劃刀。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步說明：

如圖1所示，一種半自動晶圓貼膜機(jī)，包括玻璃導(dǎo)軌柱1、圓形玻璃2、安裝柱3、鐵環(huán)4、支撐柱7、溫控開關(guān)8、真空開關(guān)9、主體10、真空器11、溫控器13、卷軸14、上蓋板15、劃刀16和晶圓臺12，所述安裝柱3設(shè)置在主體10后側(cè)邊緣，用于放置膠膜的卷軸14橫向設(shè)置在安裝柱3上，所述上蓋板15通過轉(zhuǎn)軸設(shè)置在安裝柱3上，上蓋板15中間位置背面?zhèn)仍O(shè)置有可沿著設(shè)置在上蓋板15背面?zhèn)鹊娜舾蓚€玻璃導(dǎo)軌柱1滑動轉(zhuǎn)圈的圓形玻璃2，所述圓形玻璃2上設(shè)置有可推動圓形玻璃2轉(zhuǎn)圈的帶把手的劃刀16，所述主體10上設(shè)置有晶圓臺12及剛好可箍住晶圓臺12的鐵環(huán)4，所述晶圓臺12上表面高于主體10上表面，所述鐵環(huán)4上表面高于晶圓臺12上表面，所述主體10前側(cè)邊緣設(shè)置有用于支撐上蓋板15往下蓋合時的支撐柱7，所述主體10內(nèi)部設(shè)置有真空器11和溫控器13，所述主體10前側(cè)面板設(shè)置有對應(yīng)分別連接至真空器11、溫控器13的真空開關(guān)9和溫控開關(guān)8。

進(jìn)一步地，所述晶圓臺12上表面設(shè)置有兩個以上的氣孔5。

進(jìn)一步地，所述晶圓臺12上表面設(shè)置有兩條以上的定位線6。

工作過程及原理：

使用時，將設(shè)置在卷軸14上的膠膜拉出，膠膜覆蓋放在晶圓臺12面上的晶圓，真空器11通過氣孔5在晶圓臺12上表面形成局部真空，溫控器13將晶圓臺12上表面形成一定溫度，作為一個最佳實(shí)施例，設(shè)置在50°最為合適，這樣的溫度使得膠膜的粘度合適，通過鐵環(huán)4將晶圓臺12面上的膠膜壓住，蓋下上蓋板15，劃刀16剛好對準(zhǔn)定位線6，推動劃刀16，劃刀16沿著鐵環(huán)4和晶圓臺12面間的定位線6轉(zhuǎn)圈并切割下膠膜，切割下的膠膜粘在晶圓表面上，由于晶圓臺12上表面是局部真空環(huán)境，不會產(chǎn)生氣泡，使得貼膜效果良好，上述過程在一人操作下即可完成。

上述實(shí)施例和說明書中描述的只是說明本實(shí)用新型的原理和最佳實(shí)施例，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下，本實(shí)用新型還會有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。