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一種基板放置位置的修正裝置、方法和系統(tǒng)與流程

文檔序號(hào):12085422閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種基板放置位置的修正裝置,其特征在于,應(yīng)用于支撐架,所述支撐架包括支撐架面板,所述裝置包括:距離傳感器組、傳輸組件和處理單元,所述距離傳感器組包括設(shè)置于所述支撐架面板的第一邊緣一側(cè)的至少兩個(gè)距離傳感器,以及設(shè)置于所述支撐架面板的第二邊緣一側(cè)的至少一個(gè)距離傳感器,所述第一邊緣與所述第二邊緣為所述支撐架面板的兩個(gè)相交的邊緣;

所述至少兩個(gè)距離傳感器用于在監(jiān)測(cè)到所述支撐架面板的位置發(fā)生變化時(shí),獲取所述至少兩個(gè)距離傳感器分別與所述第一邊緣的距離,所述至少一個(gè)距離傳感器用于在監(jiān)測(cè)到所述支撐架面板的位置發(fā)生變化時(shí)獲取所述至少一個(gè)距離傳感器與所述第二邊緣的距離;

所述傳輸組件與所述距離傳感器組連接,用于將所述至少兩個(gè)距離傳感器分別與所述第一邊緣的距離以及所述至少一個(gè)距離傳感器與所述第二邊緣的距離發(fā)送給所述處理單元;

所述處理單元用于根據(jù)所述至少兩個(gè)距離傳感器分別與所述第一邊緣的距離以及所述至少一個(gè)距離傳感器與所述第二邊緣的距離獲取針對(duì)當(dāng)前要放置在所述支撐架面板上的基板的位置修正參數(shù)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述處理單元還用于將所述位置修正參數(shù)發(fā)送給用于放置基板的機(jī)器人,用于控制所述機(jī)器人根據(jù)所述位置修正參數(shù)對(duì)所述當(dāng)前要放置在所述支撐架面板上的基板的位置進(jìn)行修正。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的裝置,其特征在于,所述設(shè)置于所述支撐架面板的第一邊緣一側(cè)的至少兩個(gè)距離傳感器包括:第一距離傳感器、第二距離傳感器,且所述第一距離傳感器和所述第二距離傳感器與所述第一邊緣距離相等,所述設(shè)置于所述支撐架面板的第二邊緣一側(cè)的至少一個(gè)距離傳感器包括:第三距離傳感器;

所述第一距離傳感器用于獲取所述第一距離傳感器與所述第一邊緣之間的第一距離;所述第二距離傳感器用于獲取所述第二距離傳感器與所述第一邊緣之間的第二距離;所述第三位置傳感器用于獲取所述第三距離傳感器與所述第二邊緣之間的第三距離。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置,其特征在于,所述傳輸組件包括:第一焊接基板和第二焊接基板,所述第一焊接基板與所述第一距離傳感器以及所述第二距離傳感器連接,所述第二焊接基板與所述第三距離傳感器連接;

所述第一焊接基板用于從所述第一距離傳感器接收所述第一距離,以及從所述第二距離傳感器接收所述第二距離,并將所述第一距離和所述第二距離傳輸給所述處理單元;所述第二焊接基板用于從所述第三距離傳感器接收所述第三距離,并將所述第三距離傳輸給所述處理單元;

所述處理單元用于根據(jù)所述第一距離、所述第二距離和所述第三距離獲取所述位置修正參數(shù)。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置,其特征在于,所述處理單元用于:

根據(jù)所述第一距離和所述第二距離,以及所述第一距離傳感器與所述第二距離傳感器之間的距離獲取所述支撐架面板的扭轉(zhuǎn)角度;

獲取所述第一距離和第一參考距離之間的第一差值,以及所述第二距離和所述第二參考距離之間的第二差值;其中,所述第一參考距離和所述第二參考距離是所述支撐架面板的位置發(fā)生變化之前所述第一距離傳感器和所述第二距離傳感器分別與所述第一邊緣的距離;

根據(jù)所述第三距離獲取所述第三距離和所述第三參考距離的之間的第三差值,所述第三參考距離是所述支撐架面板的位置發(fā)生變化之前所述第三距離傳感器與所述第二邊緣的距離。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述裝置還包括:底座、設(shè)置于所述底座上方的支撐架底座、縱向定位件和橫向定位氣缸;

所述支撐架放置在所述支撐架底座上;

所述縱向定位件用于在初始設(shè)置時(shí)設(shè)置所述支撐架底座在縱向上的位置,以便設(shè)置所述支撐架達(dá)到所述縱向上的目標(biāo)位置;

所述橫向定位氣缸用于在初始設(shè)置時(shí)調(diào)整所述支撐架底座在橫向上的位置,以便設(shè)置所述支撐架達(dá)到所述橫向上的目標(biāo)位置。

7.一種基板放置位置的修正方法,其特征在于,應(yīng)用于權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的基板放置位置的修正裝置,所述方法包括:

通過設(shè)置在支撐架面板的第一邊緣一側(cè)至少兩個(gè)距離傳感器獲取所述至少兩個(gè)距離傳感器分別與所述第一邊緣的距離;

通過設(shè)置于所述支撐架面板的第二邊緣一側(cè)的至少一個(gè)距離傳感器獲取所述至少一個(gè)距離傳感器與所述第二邊緣的距離;

根據(jù)所述至少兩個(gè)距離傳感器分別與所述第一邊緣的距離以及所述至少一個(gè)距離傳感器與所述第二邊緣的距離獲取針對(duì)當(dāng)前要放置在所述支撐架面板上的基板的位置修正參數(shù)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法,其特征在于,所述方法還包括:

將所述位置修正參數(shù)發(fā)送給用于放置基板的機(jī)器人,用于控制所述機(jī)器人根據(jù)所述位置修正參數(shù)對(duì)所述當(dāng)前要放置在所述支撐架面板上的基板的位置進(jìn)行修正。

9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的方法,其特征在于,所述設(shè)置于所述支撐架面板的第一邊緣一側(cè)的至少兩個(gè)距離傳感器包括:第一距離傳感器、第二距離傳感器,且所述第一距離傳感器和所述第二距離傳感器與所述第一邊緣距離相等,所述設(shè)置于所述支撐架面板的第二邊緣一側(cè)的至少一個(gè)距離傳感器包括:第三距離傳感器;所述通過設(shè)置在支撐架面板的第一邊緣一側(cè)至少兩個(gè)距離傳感器獲取所述至少兩個(gè)距離傳感器分別與所述第一邊緣的距離,包括:

通過所述第一距離傳感器獲取所述第一距離傳感器與所述第一邊緣之間的第一距離;

通過所述第二距離傳感器獲取所述第二距離傳感器與所述第一邊緣之間的第二距離;

所述通過設(shè)置于所述支撐架面板的第二邊緣一側(cè)的至少一個(gè)距離傳感器獲取所述至少一個(gè)距離傳感器與所述第二邊緣的距離,包括:

通過所述第三位置傳感器獲取所述第三距離傳感器與所述第二邊緣之間的第三距離。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法,其特征在于,所述根據(jù)所述至少兩個(gè)距離傳感器分別與所述第一邊緣的距離以及所述至少一個(gè)距離傳感器與所述第二邊緣的距離獲取針對(duì)當(dāng)前要放置在所述支撐架面板上的基板的位置修正參數(shù),包括:

根據(jù)所述第一距離和所述第二距離,以及所述第一距離傳感器與所述第二距離傳感器之間的距離獲取所述支撐架面板的扭轉(zhuǎn)角度;

獲取所述第一距離和第一參考距離之間的第一差值,以及所述第二距離和所述第二參考距離之間的第二差值;其中,所述第一參考距離和所述第二參考距離是所述支撐架面板的位置發(fā)生變化之前所述第一距離傳感器和所述第二距離傳感器分別與所述第一邊緣的距離;

根據(jù)所述第三距離獲取所述第三距離和所述第三參考距離的之間的第三差值,所述第三參考距離是所述支撐架面板的位置發(fā)生變化之前所述第三距離傳感器與所述第二邊緣的距離。

11.一種基板放置系統(tǒng),其特征在于,所述系統(tǒng)包括:支撐架、權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的基板放置位置的修正裝置,以及用于放置基板的機(jī)器人。

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