本發(fā)明涉及具備將半導(dǎo)體基板收納用的容器從下方支承的支承體和使支承體移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)的容器輸送裝置、以及具備該容器輸送裝置的容器輸送設(shè)備。

背景技術(shù)：

在特開(kāi)2003－072917號(hào)公報(bào)（專利文獻(xiàn)1）中記載了上述那樣的容器輸送裝置的一例。專利文獻(xiàn)1的容器輸送裝置用于將容器相對(duì)于保管容器的保管設(shè)備入出庫(kù)，具備將半導(dǎo)體基板收存用的容器從下方支承的支承體（升降體142）。在容器的底面上形成有3個(gè)被卡合部（嵌合部8），在支承體上具備與在容器的底面上具備的被卡合部卡合的3個(gè)定位銷。升降體構(gòu)成為，通過(guò)在使3個(gè)定位銷卡合到容器的3個(gè)被卡合部上的狀態(tài)下將容器從下方支承，能夠?qū)⑷萜髟诙ㄎ挥谥С袇^(qū)域的狀態(tài)下支承。

以往，作為收納半導(dǎo)體基板的容器，使用由半導(dǎo)體制程設(shè)備安全準(zhǔn)則（SEMI，Semiconductor Equipment and Materials International）規(guī)格規(guī)定的前端開(kāi)啟式晶圓傳送盒（FOUP，F(xiàn)ront Opening Unified Pod）的情況較多。并且，被收存于這樣的容器的半導(dǎo)體基板（晶片）中，直徑為300mm的圓板形是主流。因此，在上述專利文獻(xiàn)1的容器輸送裝置的升降體上，在與形成在300mm的半導(dǎo)體基板用的FOUP（以下稱作300mmFOUP）上的3個(gè)被卡合部卡合的位置處具備定位銷。

另一方面，近年來(lái)，為了生產(chǎn)性的提高等而生產(chǎn)大型的半導(dǎo)體基板（例如直徑為450mm的圓板形的半導(dǎo)體基板），在容器輸送裝置中，除了作為收存小型的半導(dǎo)體基板的容器的小容器（例如上述300mmFOUP）以外，還需要輸送作為收存大型的半導(dǎo)體基板的容器的大容器（例如由SEMI規(guī)格規(guī)定的形狀的450mm的半導(dǎo)體基板用的容器（以下稱作450mmFOUP））。

在上述SEMI規(guī)格中，關(guān)于上述300mmFOUP及上述450mmFOUP的每一個(gè)，都規(guī)定了在底面上具備3個(gè)槽狀的被卡合部。如果加以說(shuō)明，則在FOUP的底面上具備3個(gè)槽狀的被卡合部，這3個(gè)被卡合部以長(zhǎng)度方向沿著以容器的底面的基準(zhǔn)位置為中心的放射方向的狀態(tài)裝備在容器的底面上。并且，450mmFOUP上的3個(gè)被卡合部（稱作第2被卡合部）與基準(zhǔn)位置的離開(kāi)距離都比300mmFOUP上的3個(gè)被卡合部（稱作第1被卡合部）與基準(zhǔn)位置的離開(kāi)距離中的最大距離長(zhǎng)。

可是，如果在1個(gè)容器輸送裝置上分別設(shè)置300mmFOUP用的支承體和450mmFOUP用的支承體，則導(dǎo)致成本的增大，所以希望將300mmFOUP用的支承體和450mmFOUP用的支承體共用。

但是，如上述說(shuō)明，300mmFOUP上的3個(gè)第1被卡合部的位置與450mmFOUP上的3個(gè)第2被卡合部的位置不同。因此，如果要用300mmFOUP用的支承體支承450mmFOUP，則設(shè)在該支承體上的定位銷（300mmFOUP用的定位銷）與450mmFOUP的底面干涉，所以不能用該支承體適當(dāng)?shù)刂С?50mmFOUP。此外，如果在支承體上的與形成在450mmFOUP上的3個(gè)被卡合部卡合的位置處具備450mmFOUP用的定位銷，則當(dāng)用該支承體支承300mmFOUP時(shí)，450mmFOUP用的定位銷與300mmFOUP的底面干涉，所以不能用該支承體適當(dāng)?shù)刂С?00mmFOUP。

這樣，在小容器和大容器中形成于底面上的3個(gè)被卡合部的位置不同的情況下，不能用對(duì)這些小容器和大容器的兩者兼用的1個(gè)支承體適當(dāng)?shù)刂С行∪萜骷按笕萜鳌?/p>

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

所以，要求有能夠用兼用的1個(gè)支承體適當(dāng)?shù)刂С行∪萜骱痛笕萜鞯膬烧叩娜萜鬏斔脱b置及容器輸送設(shè)備。

鑒于上述情況的容器輸送裝置的特征結(jié)構(gòu)是，容器輸送裝置具備支承體和移動(dòng)機(jī)構(gòu)，前述支承體將半導(dǎo)體基板收納用的容器從下方支承，前述移動(dòng)機(jī)構(gòu)使前述支承體移動(dòng)，作為前述容器，至少包括小容器和大容器這兩種，前述大容器的上下方向觀察時(shí)的大小比前述小容器大，前述小容器在其底面上具備3個(gè)槽狀的第1被卡合部，前述大容器在其底面上具備3個(gè)槽狀的第2被卡合部，3個(gè)前述第1被卡合部分別以其長(zhǎng)度方向沿著前述小容器的底面上的以第1基準(zhǔn)位置為中心的放射方向的狀態(tài)，形成在前述小容器的底面上，3個(gè)前述第2被卡合部分別以其長(zhǎng)度方向沿著前述大容器的底面上的以第2基準(zhǔn)位置為中心的放射方向的狀態(tài)，形成在前述大容器的底面上，3個(gè)前述第2被卡合部的每一個(gè)與前述第2基準(zhǔn)位置的離開(kāi)距離都比3個(gè)前述第1被卡合部的每一個(gè)與前述第1基準(zhǔn)位置的離開(kāi)距離中的最大距離長(zhǎng)，前述支承體具備第1定位部和第2定位部，前述第1定位部將支承在前述支承體上的前述小容器在前述上下方向觀察時(shí)定位在第1支承區(qū)域中，前述第2定位部將支承在前述支承體上的前述大容器在前述上下方向觀察時(shí)定位在第2支承區(qū)域中，前述第2支承區(qū)域設(shè)定成，其一部分與前述第1支承區(qū)域重復(fù)，前述第1定位部具備第1支承體和第1卡合體，前述第1支承體將前述小容器從下方支承，前述第1卡合體與3個(gè)前述第1被卡合部中的至少兩個(gè)從下方卡合，前述第2定位部具備第2支承體、第2卡合體、抵接體，前述第2支承體以前述大容器的底面位于比前述第1卡合體的上端靠上方的位置的高度支承前述大容器，前述第2卡合體在前述上下方向觀察時(shí)裝備在前述第1支承區(qū)域的外側(cè)來(lái)與3個(gè)前述第2被卡合部的一個(gè)卡合，前述抵接體在前述上下方向觀察時(shí)裝備在前述第1支承區(qū)域的外側(cè)，相對(duì)于位于前述第2支承區(qū)域中的前述大容器從與上下方向交叉的方向抵接。

根據(jù)該特征結(jié)構(gòu)，支承在支承體上的小容器被第1定位部在上下方向觀察時(shí)定位在第1支承區(qū)域中，支承在支承體上的大容器被第2定位部在上下方向觀察時(shí)定位在第2支承區(qū)域中。由于第2支承區(qū)域設(shè)定成，其一部分與第1支承區(qū)域重復(fù)，所以與將第1支承區(qū)域和第2支承區(qū)域以不重復(fù)的方式在水平方向上排列來(lái)設(shè)定的情況相比，能夠?qū)崿F(xiàn)支承體的小型化。

由于支承在支承體上的小容器被第1支承體從下方支承，并且第1卡合體卡合在小容器的3個(gè)第1被卡合部中的至少兩個(gè)上，所以能夠用支承體將小容器在定位于第1支承區(qū)域中的狀態(tài)下支承。

并且，由于支承在支承體上的大容器被第2定位部的第2支承體以大容器的底面位于比第1卡合體的上端靠上方的位置的高度支承，所以大容器不會(huì)與第1卡合體干涉，能夠用支承體適當(dāng)?shù)刂С写笕萜鳌?/p>

此外，支承在支承體上的大容器通過(guò)第2卡合體與大容器的3個(gè)第2被卡合部中的1個(gè)卡合、抵接體從與上下方向交叉的方向抵接在大容器上，能夠?qū)⒋笕萜鞫ㄎ辉诘?支承區(qū)域中。特別是，抵接體從與上下方向交叉的方向抵接在大容器上，由此能夠限制大容器繞以第2被卡合部為中心的縱軸心旋轉(zhuǎn)。

并且，由于第2卡合體裝備在第1支承區(qū)域的外側(cè)，所以能夠避免當(dāng)用支承體支承小容器時(shí)第2卡合體與小容器干涉，能夠用支承體適當(dāng)?shù)刂С行∪萜鳌?/p>

這樣，能夠用兼用的1個(gè)支承體適當(dāng)?shù)刂С行∪萜骱痛笕萜鞯膬烧摺?/p>

附圖說(shuō)明

圖1是表示容器輸送設(shè)備的主要部的立體圖。

圖2是表示升降式輸送裝置及容器輸送裝置的俯視圖。

圖3是表示升降式輸送裝置及收存部的俯視圖。

圖4是第1容器輸送裝置的動(dòng)作說(shuō)明圖。

圖5是支承體的俯視圖。

圖6是支承體的側(cè)視圖。

圖7是支承體的后視圖。

圖8是第2載置體的俯視圖。

圖9是第2載置體的A向視圖。

圖10是第2載置體的B向視圖。

圖11是第2載置體的C向視圖。

圖12是第1載置體的俯視圖。

圖13是第1載置體的側(cè)視圖。

圖14是第1載置體的后視圖。

圖15是第3容器輸送裝置的立體圖。

圖16是第3載置體的側(cè)視圖。

具體實(shí)施方式

以下，基于附圖說(shuō)明具備容器輸送裝置的容器輸送設(shè)備的實(shí)施方式。

如圖1所示，在容器輸送設(shè)備中，具備在多個(gè)層之間輸送容器1的升降式輸送裝置2、在頂棚附近行進(jìn)來(lái)輸送容器1的頂棚輸送車3、在將容器1從下方支承的狀態(tài)下將容器1輸送的容器輸送裝置4。

另外，容器1是收納半導(dǎo)體基板的容器，是由SEMI規(guī)格規(guī)定的FOUP（Front Opening Unified Pod）。

升降式輸送裝置2配設(shè)在筒體5的內(nèi)側(cè)。頂棚輸送車3配設(shè)在筒體5的外側(cè)。容器輸送裝置4以從筒體5的內(nèi)側(cè)遍及到外側(cè)的方式配設(shè)。如圖2及圖3所示，在筒體5的內(nèi)部具備收存容器1的收存部6。

在容器輸送設(shè)備中，如果由頂棚輸送車3或作業(yè)者將容器1載置到容器輸送裝置4的外部側(cè)部位8，則該容器1在被容器輸送裝置4從外部側(cè)部位8輸送到內(nèi)部側(cè)部位9后，被升降式輸送裝置2從內(nèi)部側(cè)部位9向收存部6輸送，容器1被向收存部6收存。

此外，收存在收存部6中的容器1在被升降式輸送裝置2從收存部6輸送到容器輸送裝置4的內(nèi)部側(cè)部位9后，被容器輸送裝置4從內(nèi)部側(cè)部位9向外部側(cè)部位8載置輸送。外部側(cè)部位8的容器1被頂棚輸送車3或作業(yè)者從外部側(cè)部位8卸下。

另外，也有用升降式輸送裝置2將容器1從內(nèi)部側(cè)部位9向別的內(nèi)部側(cè)部位9輸送的情況。

〔容器〕

接著，對(duì)容器1進(jìn)行說(shuō)明。

在容器1上，形成有用來(lái)將半導(dǎo)體基板取放的開(kāi)口。另外，將容器1的形成有開(kāi)口的部分設(shè)為容器1的前部，將容器1的與前部相反的一側(cè)設(shè)為容器1的后部，將容器1的前部和后部排列的方向設(shè)為容器1的前后方向。此外，將在上下方向觀察時(shí)相對(duì)于容器1的前后方向正交的方向設(shè)為容器1的左右方向。

如圖2及圖3所示，此外如在圖5中用假想線表示那樣，在容器1中，有小容器1a和上下方向觀察時(shí)（俯視）的大小比小容器1a大的大容器1b。

小容器1a是由SEMI規(guī)格（E47.1）規(guī)定的FOUP，是用來(lái)收存直徑為300mm的半導(dǎo)體基板的FOUP。大容器1b是由SEMI規(guī)格（E158）規(guī)定的FOUP，是用來(lái)收存直徑為450mm的半導(dǎo)體基板的FOUP。

如在圖5～圖15中用假想線表示那樣，在小容器1a中，在其底面上具備3個(gè)槽狀的第1被卡合部11。3個(gè)第1被卡合部11分別以其長(zhǎng)度方向沿著小容器1a的底面上的以第1基準(zhǔn)位置S1為中心的放射方向的狀態(tài)形成在小容器1a的底面上。

小容器1a具備一個(gè)后側(cè)第1被卡合部11r和左右一對(duì)的前側(cè)第1被卡合部11f作為3個(gè)第1被卡合部11，前述前側(cè)第1被卡合部11f裝備在比第1基準(zhǔn)位置S1靠前方的位置，前述后側(cè)第1被卡合部11r在比第1基準(zhǔn)位置S1靠后方且在小容器1a的左右方向上裝備在中央部。

在大容器1b中，在其底面上具備3個(gè)槽狀的第2被卡合部12。3個(gè)第2被卡合部12分別以其長(zhǎng)度方向沿著大容器1b的底面上的以第2基準(zhǔn)位置S2為中心的放射方向的狀態(tài)形成在大容器1b的底面上。

大容器1b具備1個(gè)后側(cè)第2被卡合部12r和左右一對(duì)的前側(cè)第2被卡合部12f作為3個(gè)第2被卡合部12，前述前側(cè)第2被卡合部12f裝備在比第2基準(zhǔn)位置S2靠前方的位置，前述后側(cè)第2被卡合部12r在比第2基準(zhǔn)位置S2靠后方且在大容器1b的左右方向上裝備在中央部。

3個(gè)第2被卡合部12的每一個(gè)與第2基準(zhǔn)位置S2的離開(kāi)距離都比3個(gè)第1被卡合部11的每一個(gè)與第1基準(zhǔn)位置S1的離開(kāi)距離中的最大距離長(zhǎng)。

〔升降式輸送裝置〕

如圖2及圖3所示，升降式輸送裝置2具備借助升降用馬達(dá)14的驅(qū)動(dòng)而沿著導(dǎo)軌15升降的升降臺(tái)16。升降臺(tái)16具備升降主體17、連桿機(jī)構(gòu)18和升降支承體19。

連桿機(jī)構(gòu)18的基部繞沿著上下方向的旋轉(zhuǎn)軸心旋轉(zhuǎn)自如地連結(jié)在升降主體17上，連桿機(jī)構(gòu)18的末端部連結(jié)在升降支承體19上。并且，升降臺(tái)16構(gòu)成為，借助連桿機(jī)構(gòu)18的伸縮，能夠切換成使升降支承體19退回到升降主體17上的狀態(tài)和使升降支承體19突出到收存部6側(cè)或內(nèi)部側(cè)部位9側(cè)的狀態(tài)。此外，升降臺(tái)16構(gòu)成為，通過(guò)使連桿機(jī)構(gòu)18繞旋轉(zhuǎn)軸心旋轉(zhuǎn)，能夠變更使連桿機(jī)構(gòu)18伸縮時(shí)的升降支承體19的進(jìn)退方向。

在升降支承體19上，具備板狀的第1支承部20和從該第1支承部20向上方突出的3個(gè)第1卡合部21。升降支承體19在使3個(gè)第1卡合部21從下方卡合在小容器1a的3個(gè)第1被卡合部11上來(lái)將小容器1a的水平方向上的位置定位的狀態(tài)下，將小容器1a用第1支承部20從下方支承。

此外，在升降支承體19上，具備一對(duì)第2支承部23和1個(gè)第2卡合部22，前述1個(gè)第2卡合部22從第1支承部20向上方突出，前述一對(duì)第2支承部23將大容器1b從下方支承且對(duì)于大容器1b從前方及左右方向抵接。升降支承體19在使第2卡合部22從下方卡合在大容器1b的后側(cè)第2被卡合部12r上且使第2支承部23抵接在大容器1b的側(cè)面上來(lái)將大容器1b的水平方向上的位置定位的狀態(tài)下，將大容器1b用第2卡合部22和一對(duì)第2支承部23從下方支承。

〔收存部〕

在收存部6上，具備將容器1從下方支承的收存支承體26。

在收存支承體26上，具備板狀的第3支承部27和從該第3支承部27向上方突出的兩個(gè)第3卡合部28。收存支承體26在使兩個(gè)第3卡合部28從下方卡合在小容器1a的2個(gè)前側(cè)第1被卡合部11f上來(lái)使小容器1a的水平方向上的位置定位的狀態(tài)下，將小容器1a用第3支承部27從下方支承。

此外，在收存支承體26上，具備從第3支承部27向上方突出的1個(gè)第4卡合部30、將大容器1b從下方支承的一對(duì)第4支承部31、對(duì)于大容器1b從左右方向抵接的兩個(gè)抵接部32。收存支承體26在使第4卡合部30從下方卡合在大容器1b的后側(cè)第2被卡合部12r上且使抵接部32抵接在大容器1b的左右的側(cè)面上來(lái)使大容器1b的水平方向上的位置定位的狀態(tài)下，將大容器1b用第4卡合部30和一對(duì)第4支承部31從下方支承。

〔容器輸送裝置〕

接著，對(duì)容器輸送裝置4進(jìn)行說(shuō)明。

如圖1及圖2所示，作為容器輸送裝置4，具備第1容器輸送裝置4a、第2容器輸送裝置4b、第3容器輸送裝置4c及第4容器輸送裝置4d的4種容器輸送裝置4。

第1容器輸送裝置4a被作為將容器1從第1載置體43（外部側(cè)部位8）向第2載置體44（內(nèi)部側(cè)部位9）輸送的入庫(kù)用的容器輸送裝置4使用。第2容器輸送裝置4b被作為將容器1從第2載置體44（內(nèi)部側(cè)部位9）向第1載置體43（外部側(cè)部位8）輸送的出庫(kù)用的容器輸送裝置4使用。

第3容器輸送裝置4c與第1容器輸送裝置4a同樣被作為入庫(kù)用的容器輸送裝置4使用，并且具備將容器1暫時(shí)保管的緩沖部49（參照?qǐng)D15）。第4容器輸送裝置4d與第2容器輸送裝置4b同樣被作為出庫(kù)用的容器輸送裝置4使用，并且具備將容器1暫時(shí)保管的緩沖部49。

這樣，容器輸送裝置4構(gòu)成為，將容器1從第1載置體43向第2載置體44輸送或?qū)⑷萜?從第2載置體44向第1載置體43輸送。

并且，如圖1所示，第1容器輸送裝置4a和第2容器輸送裝置4b裝備在相同的高度。第3容器輸送裝置4c及第4容器輸送裝置4d裝備在比第1容器輸送裝置4a等低的高度，第3容器輸送裝置4c和第4容器輸送裝置4d裝備在相同的高度。

并且，對(duì)于對(duì)第1容器輸送裝置4a及第2容器輸送裝置4b裝備的第1載置體43，頂棚輸送車3進(jìn)行容器1的裝卸，對(duì)于對(duì)第3容器輸送裝置4c及第4容器輸送裝置4d裝備裝備的第1載置體43，作業(yè)者或在地面上行進(jìn)的地面輸送車進(jìn)行容器1的裝卸。

首先，關(guān)于4種容器輸送裝置4，主要對(duì)共通的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明，對(duì)不同的結(jié)構(gòu)每次加以說(shuō)明。另外，在圖4中例示了第1容器輸送裝置4a。

容器輸送裝置4具備將容器1從下方支承的支承體41、使支承體41沿著第1移動(dòng)方向X及第2移動(dòng)方向Z移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)42、使支承體41繞沿著上下方向的縱軸心旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)（未圖示）。在外部側(cè)部位8，具備設(shè)成位置固定狀態(tài)來(lái)將容器1從下方支承的第1載置體43，在內(nèi)部側(cè)部位9，具備以位置固定狀態(tài)設(shè)置來(lái)將容器1從下方支承的第2載置體44。

移動(dòng)機(jī)構(gòu)42具備第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)45和第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)46，前述第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)45使支承體41沿沿著水平方向的第1移動(dòng)方向X移動(dòng)，前述第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)46使支承體41沿沿著上下方向的第2移動(dòng)方向Z移動(dòng)。如圖4所示，將在第1移動(dòng)方向X上第2載置體44相對(duì)于第1載置體43位于的方向（沿著第1移動(dòng)方向X從第1載置體43朝向第2載置體44的方向）設(shè)為第1方向X1，將與第1方向X1相反的朝向設(shè)為第2方向X2。

第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)45由沿著沿第1移動(dòng)方向X設(shè)定的直線狀的行進(jìn)路徑往復(fù)行進(jìn)的移動(dòng)臺(tái)車構(gòu)成，構(gòu)成為，通過(guò)沿著第1移動(dòng)方向X行進(jìn)，使支承體41沿著第1移動(dòng)方向X移動(dòng)。

第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)46由被第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)45支承的壓力缸裝置構(gòu)成，在第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)46的上端部固定著支承體41。并且，第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)46構(gòu)成為，通過(guò)在上下方向上伸縮，使支承體41沿著第2移動(dòng)方向Z移動(dòng)。

第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)46構(gòu)成為，通過(guò)使支承體41沿著第2移動(dòng)方向Z移動(dòng)，將支承體41向?qū)嵰苿?dòng)高度和空移動(dòng)高度升降。

空移動(dòng)高度被設(shè)定為支承體41位于比第1載置體43及第2載置體44靠下方的位置的高度，為當(dāng)支承體41在空移動(dòng)高度沿第1移動(dòng)方向X移動(dòng)時(shí)支承體41不與第1載置體43及第2載置體44干涉的高度。該空移動(dòng)高度是支承體41在不支承容器1的狀態(tài)下沿著第1移動(dòng)方向X移動(dòng)時(shí)的支承體41的高度。

實(shí)移動(dòng)高度被設(shè)定為支承體41位于比第1載置體43及第2載置體44靠上方的位置的高度，為當(dāng)支承體41在實(shí)移動(dòng)高度上沿第1移動(dòng)方向X移動(dòng)時(shí)支承體41不與第1載置體43及第2載置體44干涉的高度。該實(shí)移動(dòng)高度是支承體41在支承著容器1的狀態(tài)下沿第1移動(dòng)方向X移動(dòng)時(shí)的支承體41的高度。

另外，在圖示于圖4的上側(cè)的容器輸送裝置4和圖示于下側(cè)的容器輸送裝置4中，圖示了支承體41位于實(shí)移動(dòng)高度與空移動(dòng)高度之間的高度的狀態(tài)，支承體41位于與第1載置體43和第2載置體44相同的高度。此外，在圖示于圖4的中間的容器輸送裝置4中，圖示了支承體41位于空移動(dòng)高度的狀態(tài)。

如圖4所示，第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)45構(gòu)成為，通過(guò)使支承體41沿著第1移動(dòng)方向X移動(dòng)，使支承體41在水平方向上向第1位置P1、第2位置P2和第3位置P3移動(dòng)。

第1位置P1被設(shè)定于在使支承體41沿著第2移動(dòng)方向Z移動(dòng)來(lái)在支承體41與第1載置體43之間移載容器1的情況下、在上下方向觀察時(shí)支承體41所位于的位置。即，通過(guò)在支承體41位于第1位置P1的狀態(tài)下使支承體41向?qū)嵰苿?dòng)高度和空移動(dòng)高度升降，能夠在支承體41與第1載置體43之間移載容器1。

第2位置P2被設(shè)定于在使支承體41沿著第2移動(dòng)方向Z移動(dòng)來(lái)在支承體41與第2載置體44之間移載容器1的情況下、在上下方向觀察時(shí)支承體41所位于的位置。即，通過(guò)在支承體41位于第2位置P2的狀態(tài)下使支承體41向?qū)嵰苿?dòng)高度和空移動(dòng)高度升降，能夠在支承體41與第2載置體44之間移載容器1。

第3位置P3在第1移動(dòng)方向X上被設(shè)定在第1位置P1與第2位置P2之間，是借助旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使支承體41繞沿著上下方向的縱軸心旋轉(zhuǎn)的位置。

如圖4所示，在被作為入庫(kù)用的容器輸送裝置4使用的第1容器輸送裝置4a中，在支承體41在實(shí)移動(dòng)高度從第1位置P1向第2位置P2移動(dòng)的途中，在第3位置P3使支承體41在俯視時(shí)順時(shí)針旋轉(zhuǎn)設(shè)定角度（例如50°左右），在支承體41在空移動(dòng)高度從第2位置P2向第1位置P1移動(dòng)的途中，在第3位置P3使支承體41在俯視時(shí)逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)設(shè)定角度（例如50°左右）。因此，相對(duì)于位于第1位置P1的支承體41，位于第2位置P2的支承體41為在俯視時(shí)向順時(shí)針偏移的姿勢(shì)。

第3容器輸送裝置4c由于在第3位置P3使支承體41向與第1容器輸送裝置4a相同的方向旋轉(zhuǎn)設(shè)定角度，所以相對(duì)于位于第1位置P1的支承體41，位于第2位置P2的支承體41為在俯視時(shí)向順時(shí)針偏移的姿勢(shì)。

第2容器輸送裝置4b及第4容器輸送裝置4d由于在第3位置P3使支承體41向與第1容器輸送裝置4a相反的方向旋轉(zhuǎn)設(shè)定角度，所以相對(duì)于位于第1位置P1的支承體41，位于第2位置P2的支承體41為在俯視時(shí)向逆時(shí)針偏移的姿勢(shì)。

此外，作為第1位置P1，設(shè)定作為在支承體41與第1載置體43之間移載小容器1a時(shí)的支承體41的位置的小容器用位置（在圖4中用假想線表示的位置）、作為在支承體41與第1載置體43之間移載大容器1b時(shí)的支承體41的位置的大容器用位置（在圖4中用實(shí)線表示的位置），小容器用位置被設(shè)定在比大容器用位置靠第2方向X2側(cè)。通過(guò)這樣將小容器用位置相對(duì)于大用容器位置設(shè)在第2方向X2側(cè)，如圖12所示，將小容器1a卸到第1載置體43上時(shí)的小容器1a的第1基準(zhǔn)位置S1和將大容器1b卸到第1載置體43上時(shí)的大容器1b的第2基準(zhǔn)位置S2在第1移動(dòng)方向X上位于相同的位置。

如圖15所示，在第3容器輸送裝置4c及第4容器輸送裝置4d中，第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)45構(gòu)成為，通過(guò)使支承體41沿著第1移動(dòng)方向X移動(dòng)，除了第1位置P1、第2位置P2、第3位置P3以外，還使支承體41在水平方向上向第4位置P4移動(dòng)。

第4位置P4在第1移動(dòng)方向X上，在第1位置P1與第3位置P3之間設(shè)定有1個(gè)或多個(gè)，被設(shè)定于在使支承體41沿著第2移動(dòng)方向Z移動(dòng)來(lái)在支承體41與第3載置體48之間移載容器1的情況下、在上下方向觀察時(shí)支承體41所位于的位置。即，通過(guò)在支承體41位于第4位置P4的狀態(tài)下使支承體41向?qū)嵰苿?dòng)高度和空移動(dòng)高度升降，能夠在支承體41與第3載置體48之間移載容器1。

接著，對(duì)支承體41進(jìn)行說(shuō)明，基于由支承體41支承容器1的狀態(tài)，將沿著由支承體41支承的容器1的前后方向的方向稱作支承體41的前后方向，將沿著由支承體41支承的容器1的左右方向的方向稱作支承體41的左右方向來(lái)進(jìn)行說(shuō)明。此外，在前后方向或左右方向中，將由支承體41支承的容器1的基準(zhǔn)位置存在的朝向稱作內(nèi)方，將其相反的朝向稱作外方來(lái)進(jìn)行說(shuō)明。此外，將容器1的前后方向上的前側(cè)設(shè)為支承體41的前后方向上的前側(cè)。另外，圖5是沿著上下方向觀察時(shí)的支承體41的俯視圖，圖6是沿著左右方向觀察時(shí)的支承體41的側(cè)視圖，圖7是沿著前后方向觀察時(shí)的支承體41的后視圖。

如圖5～圖7所示，支承體41具備第1定位部51和第2定位部52，前述第1定位部51將支承在支承體41上的小容器1a在上下方向觀察時(shí)定位于第1支承區(qū)域T1中，前述第2定位部52將支承在支承體41上的大容器1b在上下方向觀察時(shí)定位于第2支承區(qū)域T2中。第2支承區(qū)域T2以其一部分與第1支承區(qū)域T1重復(fù)的方式設(shè)定。

順便說(shuō)一下，第1支承區(qū)域T1是由第1定位部51定位的小容器1a的底面存在的區(qū)域，第2支承區(qū)域T2是由第2定位部52定位的大容器1b的底面存在的區(qū)域。并且，支承體41以容器1的前側(cè)朝向第1方向X1的姿勢(shì)支承容器1。

第1定位部51具備第1支承體53和第1卡合體54。

第1支承體53形成為平板狀，將小容器1a的底面從下方支承。在第1支承體53上，以從第1支承體53向上方突出的狀態(tài)固定著3個(gè)第1銷55，3個(gè)第1銷55位于第1支承區(qū)域T1的內(nèi)側(cè)。并且，3個(gè)第1銷55是當(dāng)用支承體41支承小容器1a時(shí)從下方與小容器1a的3個(gè)第1被卡合部11卡合的部件，作為與第1被卡合部11卡合的第1卡合體54發(fā)揮功能。

第1定位部51構(gòu)成為，通過(guò)在使3個(gè)第1銷55（第1卡合體54）卡合在小容器1a的3個(gè)第1被卡合部11上的狀態(tài)下用第1支承體53將小容器1a從下方支承，能夠?qū)⑿∪萜?a在定位于第1支承區(qū)域T1中的狀態(tài)下支承。

第2定位部52具備第2支承體56、第2卡合體57和抵接體58。如圖7所示，第2支承體56以大容器1b的底面位于比第1卡合體54的上端靠上方的高度支承大容器1b。

在第1支承體53的上表面上固定著第1限制支承體59。該第1限制支承體59位于第1支承區(qū)域T1的外側(cè)且第2支承區(qū)域T2的內(nèi)側(cè)，如后述那樣，作為第2支承體56及抵接體58發(fā)揮功能。作為第1限制支承體59，具備位于第1支承區(qū)域T1的右側(cè)的第1限制支承體59和位于第1支承區(qū)域T1的左側(cè)的第1限制支承體59的一對(duì)第1限制支承體59。

并且，一對(duì)第1限制支承體59分別形成為兩級(jí)的階梯狀。第1限制支承體59的形成下級(jí)的部分作為將位于第2支承區(qū)域T2中的大容器1b從下方支承的第2支承體56發(fā)揮功能。此外，第1限制支承體59的形成上級(jí)的部分作為從左右方向相對(duì)于位于第2支承區(qū)域T2中的大容器1b抵接的抵接體58發(fā)揮功能。順便說(shuō)一下，第1限制支承體59的形成下級(jí)的部分相對(duì)于形成上級(jí)的部分在左右方向上位于內(nèi)側(cè)（支承的大容器1b的第2基準(zhǔn)位置S2存在的一側(cè)）。

一對(duì)第1限制支承體59設(shè)在前后方向上的相互相同的位置。并且，如圖5所示，在由支承體41將大容器1b支承在第2支承區(qū)域T2中的狀態(tài)下，第1限制支承體59（在本例中是第1限制支承體59的一部分）位于比前側(cè)第2被卡合部12f靠后側(cè)的位置。此外，在由支承體41將大容器1b支承在第2支承區(qū)域T2中的狀態(tài)下，第1限制支承體59位于比后側(cè)第2被卡合部12r靠前側(cè)的位置，在本例中相對(duì)于第2基準(zhǔn)位置S2位于前側(cè)。此外，在本例中，第1限制支承體59位于比大容器1b的前后方向的中央部靠前側(cè)的位置。因此，一對(duì)第1限制支承體59以將大容器1b的比前后方向的中央部靠前側(cè)且左右方向的兩端部從下方支承的方式裝備。此外，一對(duì)第1限制支承體59以在比后側(cè)第2被卡合部12r靠前側(cè)（在本例中，比大容器1b的前后方向的中央部靠前側(cè)）對(duì)大容器1b從左右方向的兩側(cè)抵接的方式裝備。

順便說(shuō)一下，一對(duì)第1限制支承體59的形成下級(jí)的部分也作為相對(duì)于位于第1支承區(qū)域T1中的小容器1a從左右方向抵接的部件發(fā)揮功能。

在第1支承體53上，以從第1支承體53向上方突出的狀態(tài)固定著1個(gè)第2銷60，該第2銷60位于第1支承區(qū)域T1的外側(cè)且位于第2支承區(qū)域T2的內(nèi)側(cè)。并且，第2銷60是當(dāng)用支承體41支承大容器1b時(shí)從下方與大容器1b的后側(cè)第2被卡合部12r卡合來(lái)支承大容器1b的部件，作為將大容器1b從下方支承的第2支承體56及與第2被卡合部12卡合的第2卡合體57發(fā)揮功能。

第2定位部52構(gòu)成為，通過(guò)在使第2卡合體57（第2銷60）與大容器1b的后側(cè)第2被卡合部12r卡合且第1限制支承體59對(duì)大容器1b從左右方向抵接的狀態(tài)下用第2支承體56（第2銷60和一對(duì)第1限制支承體59）將大容器1b從下方支承，能夠?qū)⒋笕萜?b在定位于第2支承區(qū)域T2中的狀態(tài)下支承。

如果對(duì)支承體41（第1支承體53）加以說(shuō)明，則支承體41的前端邊緣形成為沿著左右方向的直線狀，支承體41的后端部形成為在前后方向上越靠后部側(cè)則左右方向上的間隔越窄的尖細(xì)形狀。

并且，在支承體41位于第2位置P2的狀態(tài)下，支承體41的前端邊緣成為沿著一對(duì)第2限制支承體71排列的排列方向（在俯視中相對(duì)于第1移動(dòng)方向X偏移的方向）的姿勢(shì)，并且支承體41的后端部的一方的邊緣部呈沿著第1移動(dòng)方向X的姿勢(shì)。

接著，對(duì)第2載置體44進(jìn)行說(shuō)明。另外，圖8是沿著上下方向觀察時(shí)的第2載置體44的俯視圖，圖9是沿著寬度方向Y（與第1移動(dòng)方向X正交的水平方向）觀察時(shí)的第2載置體44的側(cè)視圖（A向視圖），圖10是沿著第1移動(dòng)方向X觀察時(shí)的第2載置體44的主視圖（B向視圖），圖11是沿著支承的容器1的前后方向觀察時(shí)的第2載置體44的主視圖（C向視圖）。以下，使用以位于第2位置P2的支承體41為基準(zhǔn)的各方向（前后方向及左右方向），對(duì)第2載置體44的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。如上述那樣，在本實(shí)施方式中，由于在第3位置P3將支承體41旋轉(zhuǎn)設(shè)定角度，所以位于第2位置P2的支承體41的前后方向?yàn)橄鄬?duì)于第1移動(dòng)方向X以該設(shè)定角度交叉的方向，位于第2位置P2的支承體41的左右方向?yàn)橄鄬?duì)于寬度方向Y以該設(shè)定角度交叉的方向。

如圖8～圖11所示，第2載置體44具備第3定位部63和第4定位部64，前述第3定位部63將支承在第2載置體44上的小容器1a在上下方向觀察時(shí)定位在第3支承區(qū)域T3中，前述第4定位部64將支承在第2載置體44上的大容器1b在上下方向觀察時(shí)定位在第4支承區(qū)域T4中。第4支承區(qū)域T4設(shè)定為，使其一部分與第3支承區(qū)域T3重復(fù)。此外，在支承體41位于第2位置P2的狀態(tài)下，第1支承區(qū)域T1和第3支承區(qū)域T3為相同的區(qū)域，第2支承區(qū)域T2和第4支承區(qū)域T4為相同的區(qū)域。

第3定位部63具備第3支承體65和第3卡合體66。

第3支承體65將在支承體41的左右方向（在沒(méi)有第3位置P3處的支承體41的旋轉(zhuǎn)的情況下與寬度方向Y一致）上隔開(kāi)間隔的狀態(tài)下裝備的一對(duì)第3支承體65作為組，以兩組第3支承體65在支承體41的前后方向（在沒(méi)有第3位置P3處的支承體41的旋轉(zhuǎn)的情況下與第1移動(dòng)方向X一致）上隔開(kāi)間隔的狀態(tài)裝備，小容器1a被兩組第3支承體65（4個(gè)第3支承體65）從下方支承。在兩組第3支承體65中的在支承體41的前后方向上位于前側(cè)（在沒(méi)有第3位置P3處的支承體41的旋轉(zhuǎn)的情況下在第1移動(dòng)方向X上為第1方向X1側(cè)）的一對(duì)第3支承體65的每一個(gè)上，以從第3支承體65向上方突出的狀態(tài)固定著第3銷67。這兩個(gè)第3銷67位于第3支承區(qū)域T3內(nèi)。并且，兩個(gè)第3銷67是當(dāng)用第2載置體44支承小容器1a時(shí)從下方與小容器1a的兩個(gè)前側(cè)第1被卡合部11f卡合的部件，作為從下方與一對(duì)前側(cè)第1被卡合部11f卡合的一對(duì)第3卡合體66發(fā)揮功能。

第3定位部63構(gòu)成為，通過(guò)在使兩個(gè)第3卡合體66與小容器1a的兩個(gè)前側(cè)第1被卡合部11f卡合的狀態(tài)下用第3支承體65將小容器1a從下方支承，能夠?qū)⑿∪萜?a在定位于第3支承區(qū)域T3中的狀態(tài)下支承。

第4定位部64具備第4支承體68、第4卡合體69和第2抵接體70。

在第2載置體44上固定著3個(gè)第2限制支承體71。該第2限制支承體71位于第3支承區(qū)域T3的外側(cè)，如后述那樣作為第4支承體68及第2抵接體70發(fā)揮功能。作為第2限制支承體71，具備相對(duì)于第3支承區(qū)域T3位于支承體41的左右方向的一側(cè)的第2限制支承體71、相對(duì)于第3支承區(qū)域T3位于支承體41的左右方向的另一側(cè)的第2限制支承體71、相對(duì)于第3支承區(qū)域T3位于支承體41的前后方向的后方側(cè)的第2限制支承體71的3個(gè)第2限制支承體71。以下，將相對(duì)于第3支承區(qū)域T3位于支承體41的左右方向的一側(cè)的第2限制支承體71、相對(duì)于第3支承區(qū)域T3位于支承體41的左右方向的另一側(cè)的第2限制支承體71稱作一對(duì)第2限制支承體71。

并且，3個(gè)第2限制支承體71分別形成為兩級(jí)的階梯狀。第2限制支承體71的各自的形成下級(jí)的部分作為將位于第4支承區(qū)域T4中的大容器1b從下方支承的第4支承體68發(fā)揮功能。此外，一對(duì)第2限制支承體71的形成上級(jí)的部分作為對(duì)于位于第4支承區(qū)域T4中的大容器1b從支承體41的左右方向（在沒(méi)有第3位置P3處的支承體41的旋轉(zhuǎn)的情況下與寬度方向Y一致）抵接的第2抵接體70發(fā)揮功能。順便說(shuō)一下，一對(duì)第2限制支承體71的形成下級(jí)的部分相對(duì)于形成上級(jí)的部分在支承體41的左右方向上位于內(nèi)側(cè)（支承的大容器1b的第2基準(zhǔn)位置S2存在的一側(cè)）。

一對(duì)第2限制支承體71在由第2載置體44將大容器1b支承在第4支承區(qū)域T4中的狀態(tài)下位于比第2基準(zhǔn)位置S2在支承體41的前后方向上靠前側(cè)的位置。因此，一對(duì)第2限制支承體71以將大容器1b的前后方向的前部且左右方向的兩端部從下方支承的方式裝備。此外，一對(duì)第2限制支承體71裝備成在比后側(cè)第2被卡合部12r在支承體41的前后方向上靠前側(cè)，對(duì)大容器1b從支承體41的左右方向（在沒(méi)有第3位置P3處的支承體41的旋轉(zhuǎn)的情況下與寬度方向Y一致）的兩側(cè)抵接。

順便說(shuō)一下，一對(duì)第2限制支承體71的形成下級(jí)的部分也作為相對(duì)于位于第3支承區(qū)域T3的小容器1a從支承體41的左右方向（在沒(méi)有第3位置P3處的支承體41的旋轉(zhuǎn)的情況下與寬度方向Y一致）抵接的部件發(fā)揮功能。

在第2載置體44上，在從該第2載置體44向上方突出的狀態(tài)下固定著1個(gè)第4銷72，該第4銷72位于第3支承區(qū)域T3的外側(cè)且位于第4支承區(qū)域T4的內(nèi)側(cè)。并且，第4銷72當(dāng)用第2載置體44支承大容器1b時(shí)與大容器1b的后側(cè)第2被卡合部12r從下方卡合來(lái)支承大容器1b，作為將大容器1b從下方支承的第4支承體68及與第2被卡合部12卡合的第4卡合體69發(fā)揮功能。

第4定位部64構(gòu)成為，在使第4卡合體69卡合在大容器1b的后側(cè)第2被卡合部12r且第2限制支承體71對(duì)大容器1b從左右方向抵接的狀態(tài)下，用第4支承體68（1個(gè)第4銷72和一對(duì)第2限制支承體71）將大容器1b從下方支承，由此能夠?qū)⒋笕萜?b在定位于第4支承區(qū)域T4的狀態(tài)下支承。

如圖5所示，第1支承區(qū)域T1和第2支承區(qū)域T2的位置關(guān)系設(shè)定為，使位于第1支承區(qū)域T1的小容器1a的第1基準(zhǔn)位置S1位于比位于第2支承區(qū)域T2的大容器1b的第2基準(zhǔn)位置S2靠第1方向X1側(cè)的位置。通過(guò)這樣將第1支承區(qū)域T1相對(duì)于第2支承區(qū)域T2設(shè)定在靠近第1方向X1側(cè)的位置，使第2銷60相對(duì)于第1支承區(qū)域T1位于第1移動(dòng)方向X的第2方向X2側(cè)的外側(cè)，并且當(dāng)將小容器1a卸在第2載置體44上時(shí)以靠近第1方向X1側(cè)的狀態(tài)載置。

接著，對(duì)第1載置體43進(jìn)行說(shuō)明。

第1載置體43具備第5定位部75和第6定位部76，前述第5定位部75將支承在第1載置體43上的小容器1a在上下方向觀察時(shí)定位在第5支承區(qū)域T5中，前述第6定位部76將支承在第1載置體43上的大容器1b在上下方向觀察時(shí)定位在第6支承區(qū)域T6中。第6支承區(qū)域T6設(shè)定為，使其一部分與第5支承區(qū)域T5重復(fù)。

順便說(shuō)一下，第5支承區(qū)域T5是由第5定位部75定位的小容器1a的底面存在的區(qū)域，第6支承區(qū)域T6是由第6定位部76定位的大容器1b的底面存在的區(qū)域。

另外，在支承體41位于第1位置P1的小容器用位置的狀態(tài)下，第1支承區(qū)域T1和第5支承區(qū)域T5為相同的區(qū)域，在支承體41位于第1位置P1的大容器用位置的狀態(tài)下，第2支承區(qū)域T2和第6支承區(qū)域T6為相同的區(qū)域。

第5定位部75具備第5支承體77和第5卡合體78。

第5支承體77將在寬度方向Y上以隔開(kāi)間隔的狀態(tài)下裝備的一對(duì)第5支承體77作為組，以在第1移動(dòng)方向X上隔開(kāi)間隔的狀態(tài)具備兩組第5支承體77，小容器1a被兩組第5支承體77（4個(gè)第5支承體77）從下方支承。兩組第5支承體77中的在第1移動(dòng)方向X上位于第1方向X1側(cè)的一對(duì)第5支承體77的每一個(gè)上，以從第5支承體77向上方突出的狀態(tài)固定著第5銷79。該兩個(gè)第5銷79位于第5支承區(qū)域T5內(nèi)。并且，兩個(gè)第5銷79當(dāng)用第1載置體43將小容器1a支承時(shí)從下方與小容器1a的兩個(gè)前側(cè)第1被卡合部11f卡合，作為從下方與一對(duì)前側(cè)第1被卡合部11f卡合的一對(duì)第5卡合體78發(fā)揮功能。

第5定位部75構(gòu)成為，通過(guò)在使兩個(gè)第5卡合體78與小容器1a的兩個(gè)前側(cè)第1被卡合部11f卡合的狀態(tài)下用第5支承體77將小容器1a從下方支承，能夠?qū)⑿∪萜?a在定位于第5支承區(qū)域T5中的狀態(tài)下支承。

第6定位部76具備第6支承體80和第3抵接體81。

在第1載置體43上固定著第3限制支承體82。該第3限制支承體82位于第5支承區(qū)域T5的外側(cè)，如后述那樣，作為第6支承體80及第3抵接體81發(fā)揮功能。作為第3限制支承體82，具備相對(duì)于第5支承區(qū)域T5位于寬度方向Y的一側(cè)的一對(duì)第3限制支承體82、相對(duì)于第5支承區(qū)域T5位于寬度方向Y的另一側(cè)的一對(duì)第3限制支承體82、相對(duì)于第5支承區(qū)域T5位于第1移動(dòng)方向X的一側(cè)的一對(duì)第3限制支承體82、相對(duì)于第5支承區(qū)域T5位于第1移動(dòng)方向X的另一側(cè)的一對(duì)第3限制支承體82的共計(jì)8個(gè)第3限制支承體82。

并且，8個(gè)第3限制支承體82中的相對(duì)于第5支承區(qū)域T5位于寬度方向Y的兩側(cè)的4個(gè)形成為兩級(jí)的階梯狀。第3限制支承體82的形成下級(jí)的部分作為將位于第6支承區(qū)域T6中的大容器1b從下方支承的第6支承體80發(fā)揮功能。此外，第3限制支承體82的形成上級(jí)的部分作為相對(duì)于位于第6支承區(qū)域T6的大容器1b從第1移動(dòng)方向X或?qū)挾确较験抵接的第3抵接體81發(fā)揮功能。順便說(shuō)一下，第3限制支承體82的形成下級(jí)的部分相對(duì)于形成上級(jí)的部分在第1移動(dòng)方向X及寬度方向Y上位于內(nèi)側(cè)（支承的大容器1b的第2基準(zhǔn)位置S2存在的一側(cè)）。

并且，8個(gè)第3限制支承體82中的其余的4個(gè)（相對(duì)于第5支承區(qū)域T5位于第1移動(dòng)方向X的兩側(cè)的4個(gè)）具備對(duì)大容器1b從外側(cè)的斜下方抵接的傾斜面，作為第6支承體80及第3抵接體81發(fā)揮功能。

8個(gè)第1限制支承體59裝備為，在由第1載置體43將大容器1b支承在第6支承區(qū)域T6中的狀態(tài)下將大容器1b中的周緣部從下方支承。此外，8個(gè)第3限制支承體82裝備為，對(duì)大容器1b從第1移動(dòng)方向X的兩側(cè)及寬度方向Y的兩側(cè)抵接。

順便說(shuō)一下，8個(gè)第3限制支承體82中的一對(duì)第3限制支承體82的形成下級(jí)的部分也作為相對(duì)于位于第5支承區(qū)域T5的小容器1a從寬度方向Y抵接的部件發(fā)揮功能。

第6定位部76構(gòu)成為，在第3限制支承體82對(duì)于大容器1b從第1移動(dòng)方向X的兩側(cè)及寬度方向Y的兩側(cè)抵接的狀態(tài)下，用第6支承體80（8個(gè)第2限制支承體71）將大容器1b從下方支承，由此能夠?qū)⒋笕萜?b在定位于第6支承區(qū)域T6中的狀態(tài)下支承。

如圖15及圖16所示，第3載置體48具備第7定位部87和第8定位部88，前述第7定位部87將支承在第3載置體48上的小容器1a在上下方向觀察時(shí)定位在第7支承區(qū)域中，前述第8定位部88將支承在第3載置體48上的大容器1b在上下方向觀察時(shí)定位在第8支承區(qū)域中。第8支承區(qū)域設(shè)定為，使其一部分與第7支承區(qū)域重復(fù)。

順便說(shuō)一下，第7支承區(qū)域是由第7定位部87定位的小容器1a的底面存在的區(qū)域，第8支承區(qū)域是由第8定位部88定位的大容器1b的底面存在的區(qū)域。

第7定位部87具備第7支承體89和第7卡合體90。

第7支承體89與第5支承體77同樣具備兩組，小容器1a用兩組第7支承體89（4個(gè)第7支承體89）將小容器1a從下方支承。在兩組第7支承體89中的在第1移動(dòng)方向X上位于第1方向X1側(cè)的一對(duì)第7支承體89的每一個(gè)上，以從第7支承體89向上方突出的狀態(tài)固定著第7銷91。該兩個(gè)第7銷91位于第7支承區(qū)域內(nèi)。并且，兩個(gè)第7銷91當(dāng)用第3載置體48將小容器1a支承時(shí)從下方與小容器1a的兩個(gè)前側(cè)第1被卡合部11f卡合，作為與一對(duì)前側(cè)第1被卡合部11f從下方卡合的一對(duì)第7卡合體90發(fā)揮功能。

第7定位部87構(gòu)成為，通過(guò)在使兩個(gè)第7卡合體90與小容器1a的兩個(gè)前側(cè)第1被卡合部11f卡合的狀態(tài)下用第7支承體89將小容器1a從下方支承，能夠?qū)⑿∪萜?a在定位于第7支承區(qū)域中的狀態(tài)下支承。

第8定位部88具備第8支承體92和第4抵接體93。

在第3載置體48上固定著第4限制支承體94。該第4限制支承體94位于第7支承區(qū)域的外側(cè)，如后述那樣作為第8支承體92及第4抵接體93發(fā)揮功能。作為第4限制支承體94，具備相對(duì)于第7支承區(qū)域位于寬度方向Y的兩側(cè)的一對(duì)第4限制支承體94、相對(duì)于第7支承區(qū)域位于第1移動(dòng)方向X的第2方向X2側(cè)的一對(duì)第4限制支承體94的共計(jì)4個(gè)第4限制支承體94。

并且，4個(gè)第4限制支承體94形成為兩級(jí)的階梯狀。第4限制支承體94的形成下級(jí)的部分作為將位于第8支承區(qū)域的大容器1b從下方支承的第8支承體92發(fā)揮功能。此外，第4限制支承體94的形成上級(jí)的部分作為相對(duì)于位于第8支承區(qū)域的大容器1b從第1移動(dòng)方向X或?qū)挾确较験抵接的第4抵接體93發(fā)揮功能。順便說(shuō)一下，第4限制支承體94的形成下級(jí)的部分相對(duì)于形成上級(jí)的部分在第1移動(dòng)方向X及寬度方向Y上位于內(nèi)側(cè)（支承的大容器1b的第2基準(zhǔn)位置S2存在的一側(cè)）。

4個(gè)第4限制支承體94裝備成，在用第3載置體48將大容器1b支承在第8支承區(qū)域中的狀態(tài)下，將大容器1b的周緣部從下方支承。此外，4個(gè)第4限制支承體94裝備成，對(duì)大容器1b從第1移動(dòng)方向X的第2方向X2側(cè)及寬度方向Y的兩側(cè)抵接。

順便說(shuō)一下，4個(gè)第4限制支承體94中的一對(duì)第4限制支承體94的形成下級(jí)的部分也作為相對(duì)于位于第7支承區(qū)域的小容器1a從寬度方向Y抵接的部件發(fā)揮功能。

這樣，支承在支承體41上的小容器1a被第1定位部51定位在第1支承區(qū)域T1，支承在支承體41上的大容器1b被第2定位部52定位在第2支承區(qū)域T2。

并且，由于支承在支承體41上的大容器1b被第2定位部52的第2支承體56以大容器1b的底面位于比第1卡合體54的上端靠上方的位置的高度支承，所以大容器1b不會(huì)與第1卡合體54干涉，能夠用支承體41適當(dāng)?shù)刂С写笕萜?b。

此外，支承在支承體41上的大容器1b通過(guò)第2卡合體57與大容器1b的3個(gè)第2被卡合部12中的1個(gè)卡合且抵接體58從左右方向與大容器1b抵接，能夠?qū)⒋笕萜?b定位在第2支承區(qū)域T2。

這樣，能夠用支承體41將小容器1a和大容器1b的兩者適當(dāng)?shù)刂С小?/p>

〔其他實(shí)施方式〕

（1）在上述實(shí)施方式中，在外部側(cè)部位8具備第1載置體43，在內(nèi)部側(cè)部位9具備第2載置體44，但也可以不具備第1載置體43和第2載置體44中的一方或兩者，而容器輸送裝置4在與外部的輸送裝置或作業(yè)者之間直接交接容器1。

具體而言，例如也可以在第1容器輸送裝置4a的外部側(cè)部位8上不具備第1載置體43，而頂棚輸送車3向位于第1位置P1的支承體41上卸下容器1。

（2）在上述實(shí)施方式中，由容器輸送裝置4僅進(jìn)行從第1載置體43向第2載置體44的容器1的輸送和從第2載置體44向第1載置體43的容器1的輸送中的一方的輸送，但也可以用容器輸送裝置4進(jìn)行從第1載置體43向第2載置體44的容器1的輸送和從第2載置體44向第1載置體43的容器1的輸送的兩者的輸送。

（3）在上述實(shí)施方式中，將第4卡合體69裝備在相對(duì)于位于第4支承區(qū)域T4的大容器1b的第2基準(zhǔn)位置S2偏向?qū)挾确较験的一側(cè)的位置，但也可以將第4卡合體69裝備在相對(duì)于位于第4支承區(qū)域T4的大容器1b的第2基準(zhǔn)位置S2在第1移動(dòng)方向X上排列的位置。這樣在第4定位部64上具備第4卡合體69，也可以與第1載置體43同樣，以容器1的前后方向沿著第1移動(dòng)方向X的姿勢(shì)用第2載置體44支承容器1。

（4）在上述實(shí)施方式中，使當(dāng)在支承體41與第1載置體43之間移載小容器1a時(shí)使支承體41停止的位置（小容器用位置）和當(dāng)在支承體41與第1載置體43之間移載大容器1b時(shí)使支承體41停止的位置（大容器用位置）不同，但也可以將這些位置在第1移動(dòng)方向X上設(shè)定在相同的位置。

（5）在上述實(shí)施方式中，將支承體41構(gòu)成為，以容器1的前側(cè)朝向第1方向X1的姿勢(shì)支承容器1，但也可以將支承體41構(gòu)成為，以容器1的前側(cè)朝向第2方向X2的姿勢(shì)支承容器1，或以容器1的前側(cè)朝向?qū)挾确较験的一側(cè)的姿勢(shì)支承容器1。

（6）在上述實(shí)施方式中，在支承體41上具備3個(gè)第1卡合體54，當(dāng)用支承體41支承小容器1a時(shí)使第1卡合體54卡合在小容器1a的全部3個(gè)第1被卡合部11上，但也可以在支承體41上僅具備兩個(gè)第1卡合體54，當(dāng)用支承體41支承小容器1a時(shí)使第1卡合體54僅與小容器1a的3個(gè)第1被卡合部11中的兩個(gè)（例如兩個(gè)前側(cè)第1被卡合部11f）卡合。

（7）在上述實(shí)施方式中表示的支承容器1的部件的形態(tài)及與容器1的側(cè)面抵接的部件的形態(tài)也可以適當(dāng)變更。具體而言，也可以代替將抵接體58對(duì)容器1從左右方向抵接來(lái)限制容器1的旋轉(zhuǎn)，而將抵接體58對(duì)容器1在前后方向抵接來(lái)限制容器1的旋轉(zhuǎn)。此外，也可以用3個(gè)第1銷55支承小容器1a來(lái)在第1銷55中具備作為第1支承體53的功能。

（8）在上述實(shí)施方式中，在容器輸送裝置4中具備第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)45和第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)46，使支承體41在第1移動(dòng)方向X和第2移動(dòng)方向Z的兩方向上移動(dòng)，但在與外部的輸送裝置或作業(yè)者之間直接交接容器1的情況下，或?qū)⒌?載置體43或第2載置體44升降自如地構(gòu)成的情況下，也可以在容器輸送裝置4中僅具備第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)45，使支承體41僅在第1移動(dòng)方向X上移動(dòng)。

（9）在上述實(shí)施方式中，將容器輸送裝置4構(gòu)成為，在設(shè)置在相同高度的第1載置體43與第2載置體44之間輸送容器1，但也可以使容器輸送裝置4為堆垛起重機(jī)或上述實(shí)施方式的升降式輸送裝置2，容器輸送裝置4構(gòu)成為，在設(shè)置成相互不同高度的第1載置體43與第2載置體44之間輸送容器1。

順便說(shuō)一下，例如在使容器輸送裝置4為升降式輸送裝置2的情況下，也可以將升降支承體19作為支承體，將收存支承體26作為第1載置體，用容器輸送裝置4在收存支承體26與第2載置體44之間輸送容器1。此外，在使容器輸送裝置4為堆垛起重機(jī)的情況下，也可以將物品收存貨架的貨架板作為第1載置體，將裝備在入出庫(kù)部位的接貨臺(tái)作為第2載置體。

（10）在上述實(shí)施方式中，使容器1為FOUP，但容器1也可以是用于多個(gè)工廠間的輸送的前開(kāi)口運(yùn)裝箱（FOSB，F(xiàn)ront Opening Shipping Box）等其他容器。

〔上述實(shí)施方式的概要〕

以下，對(duì)在上述中說(shuō)明的容器輸送裝置及容器輸送設(shè)備的概要進(jìn)行說(shuō)明。

容器輸送裝置具備支承體和移動(dòng)機(jī)構(gòu)，前述支承體將半導(dǎo)體基板收納用的容器從下方支承，前述移動(dòng)機(jī)構(gòu)使前述支承體移動(dòng)，作為前述容器，至少包括小容器和大容器這兩種，前述大容器的上下方向觀察時(shí)的大小比前述小容器大，前述小容器在其底面上具備3個(gè)槽狀的第1被卡合部，前述大容器在其底面上具備3個(gè)槽狀的第2被卡合部，3個(gè)前述第1被卡合部分別以其長(zhǎng)度方向沿著前述小容器的底面上的以第1基準(zhǔn)位置為中心的放射方向的狀態(tài)，形成在前述小容器的底面上，3個(gè)前述第2被卡合部分別以其長(zhǎng)度方向沿著前述大容器的底面上的以第2基準(zhǔn)位置為中心的放射方向的狀態(tài)，形成在前述大容器的底面上，3個(gè)前述第2被卡合部的每一個(gè)與前述第2基準(zhǔn)位置的離開(kāi)距離都比3個(gè)前述第1被卡合部的每一個(gè)與前述第1基準(zhǔn)位置的離開(kāi)距離中的最大距離長(zhǎng)，前述支承體具備第1定位部和第2定位部，前述第1定位部將支承在前述支承體上的前述小容器在前述上下方向觀察時(shí)定位在第1支承區(qū)域中，前述第2定位部將支承在前述支承體上的前述大容器在前述上下方向觀察時(shí)定位在第2支承區(qū)域中，前述第2支承區(qū)域設(shè)定成，其一部分與前述第1支承區(qū)域重復(fù)，前述第1定位部具備第1支承體和第1卡合體，前述第1支承體將前述小容器從下方支承，前述第1卡合體與3個(gè)前述第1被卡合部中的至少兩個(gè)從下方卡合，前述第2定位部具備第2支承體、第2卡合體、抵接體，前述第2支承體以前述大容器的底面位于比前述第1卡合體的上端靠上方的位置的高度支承前述大容器，前述第2卡合體在前述上下方向觀察時(shí)裝備在前述第1支承區(qū)域的外側(cè)來(lái)與3個(gè)前述第2被卡合部的一個(gè)卡合，前述抵接體在前述上下方向觀察時(shí)裝備在前述第1支承區(qū)域的外側(cè)，相對(duì)于位于前述第2支承區(qū)域中的前述大容器從與上下方向交叉的方向抵接。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，支承在支承體上的小容器被第1定位部在上下方向觀察時(shí)定位在第1支承區(qū)域中，支承在支承體上的大容器被第2定位部在上下方向觀察時(shí)定位在第2支承區(qū)域中。由于第2支承區(qū)域設(shè)定成，其一部分與第1支承區(qū)域重復(fù)，所以與將第1支承區(qū)域和第2支承區(qū)域以不重復(fù)的方式在水平方向上排列來(lái)設(shè)定的情況相比，能夠?qū)崿F(xiàn)支承體的小型化。

由于支承在支承體上的小容器被第1支承體從下方支承，并且第1卡合體卡合在小容器的3個(gè)第1被卡合部中的至少兩個(gè)上，所以能夠用支承體將小容器在定位于第1支承區(qū)域中的狀態(tài)下支承。

并且，由于支承在支承體上的大容器被第2定位部的第2支承體以大容器的底面位于比第1卡合體的上端靠上方的位置的高度支承，所以大容器不會(huì)與第1卡合體干涉，能夠用支承體適當(dāng)?shù)刂С写笕萜鳌?/p>

此外，支承在支承體上的大容器通過(guò)第2卡合體與大容器的3個(gè)第2被卡合部中的1個(gè)卡合且抵接體從與上下方向交叉的方向抵接在大容器上，能夠?qū)⒋笕萜鞫ㄎ辉诘?支承區(qū)域中。特別是，抵接體從與上下方向交叉的方向抵接在大容器上，由此能夠限制大容器繞以第2被卡合部為中心的縱軸心旋轉(zhuǎn)。

并且，由于第2卡合體裝備在第1支承區(qū)域的外側(cè)，所以能夠避免當(dāng)用支承體支承小容器時(shí)第2卡合體與小容器干涉，能夠用支承體適當(dāng)?shù)刂С行∪萜鳌?/p>

這樣，能夠用兼用的1個(gè)支承體適當(dāng)?shù)刂С行∪萜骱痛笕萜鞯膬烧摺?/p>

容器輸送設(shè)備具備容器輸送裝置、第1載置體、第2載置體，前述第1載置體以位置固定狀態(tài)裝備，將前述容器從下方支承，前述第2載置體以位置固定狀態(tài)裝備，將前述容器從下方支承，前述容器輸送裝置構(gòu)成為，將前述容器從前述第1載置體向前述第2載置體輸送或?qū)⑶笆鋈萜鲝那笆龅?載置體向前述第1載置體輸送。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，容器輸送裝置將容器向載置體（第1載置體或第2載置體）卸下，外部的輸送裝置或作業(yè)者將卸下到該載置體上的容器向別的部位輸送。因此，容器輸送裝置即使外部的輸送裝置或作業(yè)者沒(méi)有等待在既定的位置上，也能夠?qū)⑷萜餍断?，向下個(gè)輸送作業(yè)轉(zhuǎn)移，所以與在容器輸送裝置與外部的輸送裝置或作業(yè)者之間直接交接容器的情況相比，能夠?qū)⑷萜餍矢玫剌斔汀?/p>

這里，優(yōu)選的是，前述移動(dòng)機(jī)構(gòu)具備第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)和第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)，前述第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)使前述支承體沿沿著水平方向的第1移動(dòng)方向移動(dòng)，前述第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)使前述支承體沿沿著上下方向的第2移動(dòng)方向移動(dòng)，前述第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成為，在使前述支承體沿著前述第2移動(dòng)方向移動(dòng)來(lái)在前述支承體與前述第1載置體之間移載前述容器的情況下，使前述支承體向在前述上下方向觀察時(shí)前述支承體位于的第1位置移動(dòng)，在使前述支承體沿著前述第2移動(dòng)方向移動(dòng)來(lái)在前述支承體與前述第2載置體之間移載前述容器的情況下，使前述支承體向在前述上下方向觀察時(shí)前述支承體位于的第2位置移動(dòng)，將在前述第1移動(dòng)方向上前述第2載置體相對(duì)于前述第1載置體位于的方向設(shè)為第1方向，將與前述第1方向相反的朝向設(shè)為第2方向，前述第1支承區(qū)域與前述第2支承區(qū)域的位置關(guān)系設(shè)定為，使位于前述第1支承區(qū)域中的前述小容器的前述第1基準(zhǔn)位置與位于前述第2支承區(qū)域中的前述大容器的前述第2基準(zhǔn)位置相比，位于更靠前述第1方向側(cè)的位置，作為前述第1位置，設(shè)定小容器用位置和大容器用位置，前述小容器用位置是在前述支承體與前述第1載置體之間移載前述小容器時(shí)的前述支承體的位置，前述大容器用位置是在前述支承體與前述第1載置體之間移載前述大容器時(shí)的前述支承體的位置，前述小容器用位置設(shè)定在比前述大容器用位置更靠前述第2方向側(cè)的位置。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，設(shè)定為，使位于第1支承區(qū)域中的小容器的第1基準(zhǔn)位置位于比位于第2支承區(qū)域的大容器的第2基準(zhǔn)位置更靠第1方向側(cè)的位置。因此，與使第1基準(zhǔn)位置和第2基準(zhǔn)位置在第1移動(dòng)方向上位于相同位置的情況相比，小容器在靠近第1方向側(cè)的狀態(tài)下被支承。因而，當(dāng)容器輸送裝置將容器輸送到第2載置體上時(shí)能夠?qū)⑿∪萜髟诳拷?方向側(cè)的狀態(tài)下移載，外部的輸送裝置或作業(yè)者容易將支承在該第2載置體上的小容器從第1方向側(cè)卸下。

此外，作為在支承體與第1載置體之間移載小容器時(shí)的支承體的位置的小容器用位置設(shè)定在比作為在支承體與第1載置體之間移載大容器時(shí)的支承體的位置的大容器用位置靠第2方向側(cè)。這樣，由于將小容器用位置設(shè)定在比大容器用位置靠第2方向側(cè)，所以即使如上述那樣用支承體將小容器在靠近第1方向側(cè)的狀態(tài)下支承，容器輸送裝置在將容器向第1載置體卸下時(shí)也能夠?qū)⑿∪萜髟诒却笕萜骺拷?方向側(cè)的狀態(tài)下卸下，外部的輸送裝置或作業(yè)者容易將支承在該第1載置體上的小容器從第2方向側(cè)卸下。

此外，優(yōu)選的是，在前述容器上，形成有用來(lái)取放半導(dǎo)體基板的開(kāi)口，將前述容器的形成有前述開(kāi)口的部分設(shè)為前述容器的前部，將前述容器的與前部相反的一側(cè)設(shè)為前述容器的后部，將前述容器的前部和后部排列的方向設(shè)為前后方向，將相對(duì)于該前后方向在前述上下方向觀察時(shí)正交的方向設(shè)為左右方向，前述小容器具備1個(gè)后側(cè)第1被卡合部和左右一對(duì)的前側(cè)第1被卡合部作為3個(gè)前述第1被卡合部，前述左右一對(duì)的前側(cè)第1被卡合部裝備在比前述第1基準(zhǔn)位置靠前方的位置，前述1個(gè)后側(cè)第1被卡合部在比前述第1基準(zhǔn)位置靠后方且在前述左右方向上裝備在中央部，前述大容器具備1個(gè)后側(cè)第2被卡合部和左右一對(duì)的前側(cè)第2被卡合部作為3個(gè)前述第2被卡合部，前述左右一對(duì)的前側(cè)第2被卡合部裝備在比前述第2基準(zhǔn)位置靠前方的位置，前述1個(gè)后側(cè)第2被卡合部在比前述第2基準(zhǔn)位置靠后方且在前述左右方向上裝備在中央部，前述第2卡合體在前述支承體將前述大容器從下方支承的情況下與前述后側(cè)第2被卡合部卡合，前述移動(dòng)機(jī)構(gòu)具備第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)和第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)，前述第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)使前述支承體沿沿著水平方向的第1移動(dòng)方向移動(dòng)，前述第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)使前述支承體沿沿著上下方向的第2移動(dòng)方向移動(dòng)，前述第2載置體具備第3定位部和第4定位部，前述第3定位部將支承在前述第2載置體上的前述小容器在前述上下方向觀察時(shí)定位在第3支承區(qū)域中，前述第4定位部將支承在前述第2載置體上的前述大容器在前述上下方向觀察時(shí)定位在第4支承區(qū)域中，前述第4支承區(qū)域設(shè)定成，使其一部分與前述第3支承區(qū)域重復(fù)，前述第3定位部具備第3支承體和一對(duì)第3卡合體，前述第3支承體將前述小容器的前述左右方向的兩端部從下方支承，前述一對(duì)第3卡合體與前述一對(duì)前述前側(cè)第1被卡合部從下方卡合，前述第4定位部具備第4支承體、第4卡合體、第2抵接體，前述第4支承體將前述大容器的前述左右方向的兩端部支承，以前述大容器的底面位于比前述第3卡合體的上端靠上方的位置的高度支承前述大容器，前述第4卡合體與前述后側(cè)第2被卡合部卡合，前述第2抵接體在前述上下方向觀察時(shí)裝備在從前述第3支承區(qū)域偏離的位置，相對(duì)于位于前述第4支承區(qū)域的前述大容器從側(cè)方抵接，前述第2載置體在相對(duì)于位于前述第4支承區(qū)域中的前述大容器的前述第2基準(zhǔn)位置，在前述上下方向觀察時(shí)向相對(duì)于前述第1移動(dòng)方向正交的方向的一側(cè)偏倚的位置處具備前述第4卡合體。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，支承在第2載置體上的小容器被第3定位部在上下方向觀察時(shí)定位在第3支承區(qū)域中，支承在第2載置體上的大容器被第4定位部在上下方向觀察時(shí)定位在第4支承區(qū)域中。第4支承區(qū)域設(shè)定為，其一部分與第3支承區(qū)域重復(fù)，所以與將第3支承區(qū)域和第4支承區(qū)域以不重復(fù)的方式在水平方向上排列設(shè)定的情況相比能夠?qū)崿F(xiàn)第2載置體的小型化。

被第2載置體支承的小容器被第3支承體支承小容器的左右方向的兩端部，并且一對(duì)第3卡合體從下方與小容器的一對(duì)前側(cè)第1被卡合部卡合。因此，能夠用第2載置體將小容器在定位于第3支承區(qū)域中的狀態(tài)下支承。

被第2載置體支承的大容器被第4支承體支承大容器的左右方向的兩端部，并且第4卡合體從下方與大容器的后側(cè)第2被卡合部卡合。因此，能夠用第2載置體將大容器在定位于第4支承區(qū)域中的狀態(tài)下支承。

并且，第4定位部在相對(duì)于位于第4支承區(qū)域的大容器的第2基準(zhǔn)位置在上下方向觀察時(shí)偏向與第1移動(dòng)方向正交的方向的一側(cè)的位置處具備第4卡合體。這樣，通過(guò)在上下方向觀察時(shí)偏向與第1移動(dòng)方向正交的方向的一側(cè)的位置具備第4卡合體，容易在相對(duì)于第4卡合體在第1移動(dòng)方向上正交的方向的另一側(cè)確保用來(lái)使移動(dòng)機(jī)構(gòu)等容器輸送裝置的一部分在第1移動(dòng)方向上移動(dòng)的空間。

附圖標(biāo)記說(shuō)明

1 容器；1a 小容器；1b 大容器；4 容器輸送裝置；11 第1被卡合部；12 第2被卡合部；41 支承體；42 移動(dòng)機(jī)構(gòu)；43 第1載置體；44 第2載置體；45 第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)；46 第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)；51 第1定位部；52 第2定位部；53 第1支承體；54 第1卡合體；56 第2支承體；57 第2卡合體；58 抵接體；P1 第1位置；P2 第2位置；S1 第1基準(zhǔn)位置；S2 第2基準(zhǔn)位置；T1 第1支承區(qū)域；T2 第2支承區(qū)域。