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容器輸送裝置及容器輸送設(shè)備的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:11797927

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本發(fā)明涉及具備將半導(dǎo)體基板收納用的容器從下方支承的支承體和使支承體移動的移動機(jī)構(gòu)的容器輸送裝置、以及具備該容器輸送裝置的容器輸送設(shè)備。背景技術(shù)在特開2003-072917號公報(bào)(專利文獻(xiàn)1)中記載了上述那樣的容器輸送裝置的一例。專利文獻(xiàn)1的容器輸送裝置用于將容器相對于保管容器的保管設(shè)備入出庫,具備將半導(dǎo)體基板收存用的容器從下方支承的支承體(升降體142)。在容器的底面上形成有3個被卡合部(嵌合部8),在支承體上具備與在容器的底面上具備的被卡合部卡合的3個定位銷。升降體構(gòu)成為,通過在使3個定位銷卡...
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