本發(fā)明涉及一種用于保護(hù)化學(xué)藥品容器的罩組件，更具體地涉及一種用于保護(hù)半導(dǎo)體工藝中所使用的化學(xué)藥品容器的罩組件。

背景技術(shù)：

通常，在半導(dǎo)體制造工藝中使用的化學(xué)物質(zhì)的純度非常重要，即始終需要維持高純度。因此，使用最多的是玻璃瓶，其在維持高純度方面被認(rèn)為最安全。

這里的問題是容納在所述玻璃瓶中的有毒化學(xué)物質(zhì)由于玻璃瓶破碎而泄露到外部，從而直接地乃至間接地對(duì)人、裝置、設(shè)施和半導(dǎo)體制品等造成污染，并且由于玻璃瓶的特性而直接傷害人的皮膚等的可能性很大。

實(shí)際上，在半導(dǎo)體制造工藝中，為了緊固和去除該玻璃瓶而經(jīng)常移動(dòng)該玻璃瓶，在該情況下，存在經(jīng)常發(fā)生破碎現(xiàn)象的問題，而媒體等已對(duì)此詳細(xì)報(bào)道過。

如上所述，最近越來越關(guān)注環(huán)境和安全，因此在如上所述由于含有化學(xué)物質(zhì)的玻璃瓶破碎而發(fā)生有毒物質(zhì)泄漏時(shí)，首先對(duì)操作人員造成人體傷害且對(duì)半導(dǎo)體企業(yè)的公眾形象提升造成不利影響，因此實(shí)際上需要非常積極地采取針對(duì)此的應(yīng)對(duì)措施。

此外，最近將玻璃瓶改變?yōu)樗芰喜馁|(zhì)，欲改善現(xiàn)有的玻璃瓶的問題，然而在塑料材料的容器中由于析出而不能充分地維持化學(xué)溶液的純度，因此預(yù)計(jì)玻璃瓶的使用將持續(xù)相當(dāng)長的時(shí)間。

作為記載有用于防止容納有化學(xué)物質(zhì)溶液的玻璃容器的移動(dòng)過程中由于玻璃破碎而可能發(fā)生的化學(xué)溶液泄漏的內(nèi)容的現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)，可以參考美國授權(quán)專利第6817485號(hào)(2014年11月16日)，然而，在上述文獻(xiàn)中公開了從由保護(hù)壓力容器包裹的內(nèi)部容器排出高純度的化學(xué)物質(zhì)的方法。

在上述文獻(xiàn)中公開了，在提供設(shè)置有從外部包裹容納有化學(xué)物質(zhì)的內(nèi)部容器的另外的保護(hù)壓力容器的雙重結(jié)構(gòu)的狀態(tài)下，通過設(shè)置在所述內(nèi)部容器的內(nèi)側(cè)的液體排出管穩(wěn)定地排出高純度的化學(xué)物質(zhì)的方案，然而，在上述文獻(xiàn)中具有如下問題：沒有公開針對(duì)能夠使容納在保護(hù)壓力容器內(nèi)的內(nèi)部容器露出的保護(hù)壓力容器的分離方案的任何結(jié)構(gòu)和沒有公開在內(nèi)部容器破碎的情況下保護(hù)壓力容器防止化學(xué)物質(zhì)泄漏的具體方案。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

技術(shù)問題

本發(fā)明旨在解決上述現(xiàn)有技術(shù)的問題，其目的在于提供用于保護(hù)化學(xué)藥品容器的罩組件，該罩組件在容納化學(xué)物質(zhì)的玻璃瓶的外表面上形成可分離的兩段以上的構(gòu)件，從而即使玻璃瓶在被操作者處理或移動(dòng)時(shí)由于沖擊而發(fā)生破碎，該罩組件也能使容納在玻璃瓶中的化學(xué)物質(zhì)向外部的泄漏最小化，以防止對(duì)周邊造成不良影響。

技術(shù)方案

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的用于保護(hù)容納半導(dǎo)體制造工藝中所使用的高純度化學(xué)物質(zhì)的內(nèi)部容器的罩組件包括：第一罩構(gòu)件，所述第一罩構(gòu)件包裹所述內(nèi)部容器的一部分；第二罩構(gòu)件，所述第二罩構(gòu)件包裹所述內(nèi)部容器的另一部分；以及連接構(gòu)件，所述連接構(gòu)件連接所述第一罩構(gòu)件和所述第二罩構(gòu)件，其中，所述連接構(gòu)件可以包括連接主體，其形成在所述第一罩構(gòu)件和所述第二罩構(gòu)件中的一者上且用于被接合至另一者。

此外，在根據(jù)本發(fā)明的罩組件中，還可以包括把手，所述把手能夠從所述第一罩構(gòu)件和所述第二罩構(gòu)件中的任一者拆卸。

此外，在根據(jù)本發(fā)明的罩組件中，所述把手可以以冰激凌錐形杯的打開方式進(jìn)行拆卸。

此外，在根據(jù)本發(fā)明的罩組件中，還可以包括移動(dòng)用把手，所述移動(dòng)用把手一體地接合至所述第一罩構(gòu)件和所述第二罩構(gòu)件中的任一者上。

此外，在根據(jù)本發(fā)明的罩組件中，在設(shè)置有偶數(shù)個(gè)所述移動(dòng)用把手時(shí)，偶數(shù)個(gè)所述移動(dòng)用把手可以被設(shè)置成每兩個(gè)移動(dòng)用把手面向彼此。

此外，在根據(jù)本發(fā)明的罩組件中，所述連接構(gòu)件還可包括密封構(gòu)件，所述密封構(gòu)件設(shè)置在所述第一罩構(gòu)件和所述第二罩構(gòu)件之間。

此外，在根據(jù)本發(fā)明的罩組件中，所述連接主體從所述第一罩構(gòu)件的下端以階梯形式突出，且在所述第二罩構(gòu)件的上端可以形成有階梯式爪，所述階梯式爪用于卡止緊固以階梯形式突出的所述連接主體。

此外，在根據(jù)本發(fā)明的罩組件中，所述連接主體為從所述第一罩構(gòu)件沿朝向所述第二罩構(gòu)件的方向突出的突起形狀，在所述第二罩構(gòu)件的上端可以形成有輔助連接主體，所述輔助連接主體沿朝向所述連接主體的方向突出地形成以與所述連接主體沿上下方向彼此交替地設(shè)置。

此外，在根據(jù)本發(fā)明的罩組件中，所述連接構(gòu)件還包括延伸部，所述延伸部可以分別形成在所述連接主體和所述第一罩構(gòu)件之間以及所述輔助連接主體和所述第二罩構(gòu)件之間。

此外，在根據(jù)本發(fā)明的罩組件中，所述第一罩構(gòu)件被設(shè)置成其下端覆蓋所述第二罩構(gòu)件的上端的外周面，所述連接主體以鋸齒形狀從所述第一罩構(gòu)件的下端的內(nèi)周面突出形成，在所述第二罩構(gòu)件的上端的外周面上突出形成有鋸齒形狀的輔助連接主體。

此外，在根據(jù)本發(fā)明的罩組件中，所述第一罩構(gòu)件被設(shè)置成其下端覆蓋所述第二罩構(gòu)件的上端的外周面，所述連接主體以螺紋形式形成在所述第一罩構(gòu)件的下端的內(nèi)周面上，在所述第二罩構(gòu)件的上端的外周面上形成有螺紋形狀的輔助連接主體，所述輔助連接主體與所述連接主體嚙合，所述第一罩構(gòu)件和所述第二罩構(gòu)件通過所述第一連接主體和所述輔助連接主體之間的螺紋接合而接合，所述螺紋接合通過所述第一罩構(gòu)件和所述第二罩構(gòu)件的相對(duì)旋轉(zhuǎn)來實(shí)現(xiàn)。

此外，在根據(jù)本發(fā)明的罩組件中，在所述第一罩構(gòu)件的下面形成多個(gè)鋸齒，所述多個(gè)鋸齒沿與所述第一罩構(gòu)件的旋轉(zhuǎn)方向相反的方向傾斜，在所述第二罩構(gòu)件的、與所述多個(gè)鋸齒接觸的部分處形成有與所述鋸齒嚙合的嚙合部，所述嚙合部沿與所述第二罩構(gòu)件的旋轉(zhuǎn)方向相反的方向傾斜。

此外，在根據(jù)本發(fā)明的罩組件中，所述第一罩構(gòu)件和所述第二罩構(gòu)件分別由包括聚乙烯(polyethylene，PE)、聚丙烯(polypropylene，PP)、聚苯乙烯(polystyrene，PS)、聚偏二氯乙烯(polyvinylidenechloride：PVDC)、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(polyethyleneterephthalate，PET)、聚甲基丙烯酸甲酯(Polymethylmethacrylate，PMMA)、苯酚樹脂(phenolformaldehyde，PF)、三聚氰胺樹脂(melamineformaldehyde，MF)、脲樹脂(ureaformaldehyde，UF)、聚甲醛(polyacetal、polyoxymethylene(POM)，polyformaldehyde)、壓克力(Acryl)樹脂,聚酰胺/尼龍(polyamide/Nylon PA/Nylon)、聚甲基戊烯(polymethylpentene，PMP)、聚碳酸酯(polycarbonate，PC)、聚乙烯醇(polyvinylalcohol，PVA)、聚丁烯(polyvutene-1，PB-1)、丁二烯樹脂(butadienresins，BDR)、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯(acrylonitrile-butadienee styrene，ABS)、丙烯腈-苯乙烯(acrylonitrile styrene，AS)、聚甲基丙烯酸-苯乙烯(polymethacrylstyrene，MS)、聚對(duì)苯二甲酸丁二酯(polybutyleneterephthalate，PBT)、聚芳砜(polyarylsulfon，PASF)、聚芳酯(polyarylate，PAR)、羥基丁基聚酯(hydroxybutyl polyester，HBP)、聚丙烯腈(polyacrylonitrile，PAN)、氟樹脂(fluoro resins，F(xiàn)R)(聚偏氟乙烯(PVDF)、聚四氟乙烯(PTFE)、氟化乙烯丙烯共聚物(FEP)、可溶性聚四氟乙烯(PFA)、乙烯-四氟乙烯共聚物(ETFE)、特氟龍(Teflon)、乙烯三氟氯乙烯共聚物(ECTFE)、聚三氟氯乙烯(PCTFE))、聚苯醚(polyphenyleneether，PPE)、離聚物(Ionomer)樹脂、纖維增強(qiáng)塑料(Fiber Reinforced Plastics，F(xiàn)RP)、乙烯/醋酸乙烯酯共聚物(ethylenevinylacetate，EVA)、甲基丙烯酸甲酯-丙烯腈-丁二烯-苯乙烯(methylmethacrylate-acrylonitrile-butadiene-styrene，MABS)、聚萘二甲酸乙二醇酯(polyethylenenaphthalate，PEN)、硅(silicone)樹脂、環(huán)氧(epoxy)樹脂、聚醚酰亞胺(polyetherimide)、聚苯硫醚(polyphenylene sulfide，PPS)、聚醚砜(polyethersulfone，PES)、聚(環(huán)己烷-1,4-二亞甲基對(duì)苯二甲酸酯)(poly(cyclohexane-1,4-dimethyleneterephthalate)，PCT)、乙烯-乙烯醇共聚物(ethylenevinylalcohol，EVOH)、聚酰亞胺(polyimide，PI)、聚醚醚酮(polyetheretherketone，PEEK)、聚乳酸(polylactide，polylactic acid，PLA)、聚丁二酸己二酸丁二醇共聚物(polybutylenesuccinate-co-adipate，PBSA)、Ecozen和熱塑性彈性體(Thermo Plastic Elastomer，TPE)中的一者的材料制成。

此外，在根據(jù)本發(fā)明的罩組件中，還包括第三罩構(gòu)件，所述第三罩構(gòu)件設(shè)置在第一罩構(gòu)件和第二罩構(gòu)件的上側(cè)且包裹所述內(nèi)部容器的上部，所述第三罩構(gòu)件可以包括包裹所述內(nèi)部容器的注入口部分的蓋和將所述蓋連接至所述第一罩構(gòu)件和所述第二罩構(gòu)件中的任一者的連接部。

此外，在根據(jù)本發(fā)明的罩組件中，在所述第一罩構(gòu)件和所述第二罩構(gòu)件的內(nèi)表面上形成有多個(gè)緩沖突起，所述緩沖突起可以防止由于在所述內(nèi)部容器和所述第一罩構(gòu)件之間以及在所述內(nèi)部容器和所述第二罩構(gòu)件之間所形成的微小間隙而導(dǎo)致的所述內(nèi)部容器的振蕩。

有益效果

如上所述的本發(fā)明的用于保護(hù)化學(xué)藥品容器的罩組件可以在容納化學(xué)物質(zhì)的玻璃瓶的外部形成可分離接合的兩段以上的保護(hù)構(gòu)件，從而即使玻璃瓶在被操作人員處理或移動(dòng)時(shí)由于沖擊而發(fā)生破碎時(shí)，該罩組件也能使溶液向外部的泄漏最小化，以防止對(duì)周邊造成不良影響。

本發(fā)明在容納如下在半導(dǎo)體制造中所使用的高純度化學(xué)溶液的玻璃瓶破碎時(shí)防止該化學(xué)溶液泄漏：感光劑(Photo Resist)、自組裝(Directed Self Assembly，DSA)、通過化學(xué)收縮的幫助光刻分辨率增強(qiáng)(Resolution Enhancement of Lithography by Assist of Chemical Shrink，RELACS)、用于增強(qiáng)分辨率的收縮輔助膜(Shrink Assist Film for Enhanced Resolution，SAFIER)、底部防反射涂層(Bottom Anti Reflection Coating，BARC)、頂部防反射涂層(Top Anti Reflection Coating，TARC)、浸入式頂部涂層材料、旋涂電介質(zhì)(Spin On Dielectric，SOD)，旋涂硬掩模(旋涂碳、旋涂金屬)、多功能硬掩膜(Multi Function Hard Mask，MFHM)、HMDS、稀釋劑(溶劑)、顯影劑、表面活性劑、泥漿等。

此外，本發(fā)明用能夠加工的透明或不透明天然或合成樹脂材料形成可分離接合的2段以上的保護(hù)構(gòu)件，并用以包裹玻璃瓶的外部，因此能夠提供最小化或完全防止化學(xué)物質(zhì)的泄漏的方案。

附圖說明

圖1a是根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的用于保護(hù)容器的罩組件的截面圖，

圖1b是用于說明可拆卸把手的概念性截面圖，

圖1c是具有兩個(gè)把手的根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的用于保護(hù)容器的罩組件的截面圖，

圖2是在圖1的罩組件中去除上部罩構(gòu)件的狀態(tài)的圖，

圖3是根據(jù)本發(fā)明的第1實(shí)施例的罩組件的連接結(jié)構(gòu)圖，

圖4是根據(jù)本發(fā)明的第2實(shí)施例的罩組件的連接結(jié)構(gòu)圖，

圖5是根據(jù)本發(fā)明的第3實(shí)施例的罩組件的連接結(jié)構(gòu)圖，

圖6是根據(jù)本發(fā)明的第4實(shí)施例的罩組件的連接結(jié)構(gòu)圖，

圖7是根據(jù)本發(fā)明的第5實(shí)施例的罩組件的連接結(jié)構(gòu)圖，

圖8是根據(jù)本發(fā)明的第6實(shí)施例的罩組件的連接結(jié)構(gòu)圖，

圖9是根據(jù)本發(fā)明的第7實(shí)施例的罩組件的連接結(jié)構(gòu)圖，

圖10是根據(jù)本發(fā)明的第8實(shí)施例的罩組件的連接結(jié)構(gòu)圖，

圖11是根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例的用于保護(hù)容器的罩組件的截面圖，

圖12是示出構(gòu)成圖11的罩組件的上部罩構(gòu)件、下部罩構(gòu)件、蓋構(gòu)件分離狀態(tài)的圖，

圖13是示出蓋構(gòu)件的結(jié)構(gòu)的圖，

圖14是根據(jù)本發(fā)明的第9實(shí)施例的罩組件的連接結(jié)構(gòu)圖，

圖15是根據(jù)本發(fā)明的第10實(shí)施例的罩組件的連接結(jié)構(gòu)圖，

圖16是根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例的用于保護(hù)容器的罩組件的截面圖。

具體實(shí)施方式

下面參照附圖更詳細(xì)地說明本發(fā)明的實(shí)施例。但是本發(fā)明可以體現(xiàn)為各種不同形式，而不限于下文所公開的實(shí)施例，本發(fā)明的實(shí)施例僅是為了充分公開本發(fā)明且向本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員充分地說明本發(fā)明的范圍而提供的。附圖中相同的附圖標(biāo)記指示相同的元件。

為了解決現(xiàn)有技術(shù)的問題，本發(fā)明提供用于保護(hù)化學(xué)藥品容器的罩組件的各種實(shí)施例。圖1a和圖1c是根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的用于保護(hù)化學(xué)藥品容器的罩組件的截面圖，圖1b是用于說明可拆卸把手的概念性截面圖，圖2是在圖1的罩組件中去除第一罩構(gòu)件的狀態(tài)的圖。圖3至圖10示出根據(jù)本發(fā)明的各種實(shí)施例的罩組件的連接結(jié)構(gòu)。

首先，說明根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的用于保護(hù)化學(xué)藥品容器的罩組件(以下稱為“本組件”)。

如圖1a所示，本罩組件10包括：第一罩構(gòu)件11，其包裹容納有化學(xué)物質(zhì)的內(nèi)部容器1的一部分；第二罩構(gòu)件15，其包裹內(nèi)部容器1的另一部分；以及連接構(gòu)件20，其包裹第一罩構(gòu)件11和第二罩構(gòu)件15。

在本實(shí)施例中公開了用于保護(hù)化學(xué)藥品容器的罩組件分成第一罩構(gòu)件11和第二罩構(gòu)件15并結(jié)合的結(jié)構(gòu)，然而，根據(jù)情況，也完全可以設(shè)置成分成三段以上并結(jié)合。

在將一體成型的本罩組件10套在內(nèi)部容器1上的過程中，為了防止由于在本罩組件10和內(nèi)部容器1之間存在的空氣層而不能貼緊的情況，可以在第一罩構(gòu)件11或第二罩構(gòu)件15上形成另外的空氣排出槽(空氣路徑)。

此外，可以在本罩組件的第一罩構(gòu)件100和第二罩構(gòu)件200的內(nèi)表面上形成有多個(gè)緩沖突起150、250。緩沖突起150、250執(zhí)行防止由于可以在化學(xué)藥品容器和罩組件之間形成的微小間隙而導(dǎo)致的容器移動(dòng)的功能，此外，緩沖突起150、250還執(zhí)行緩和在化學(xué)藥品容器和罩組件之間施加的沖擊的功能。

此外，本發(fā)明可以為基于罩組件10沿前后方向設(shè)置第一罩構(gòu)件11和第二罩構(gòu)件15的結(jié)構(gòu)。

第一罩構(gòu)件11和第二罩構(gòu)件15分別執(zhí)行防止在內(nèi)部容器1破碎時(shí)化學(xué)藥品泄漏的功能，因此需要優(yōu)異的耐化學(xué)性和一定以上的剛性。

如下列出可以用作第一罩構(gòu)件11和第二罩構(gòu)件15的材料的材料。

Ecozen、熱塑性彈性體(Thermo Plastic Elastomer，TPE)、聚氯乙稀(polyvinylchloride，PVC)、聚乙烯(polyethylene，PE)、聚丙烯(polypropylene，PP)、聚苯乙烯(polystyrene，PS)、聚偏二氯乙烯(polyvinylidenechloride：PVDC)、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(polyethyleneterephthalate，PET)、聚甲基丙烯酸甲酯(Polymethylmethacrylate，PMMA)、苯酚樹脂(phenolformaldehyde，PF)、三聚氰胺樹脂(melamineformaldehyde，MF)、脲樹脂(ureaformaldehyde，UF)、聚甲醛(polyacetal、polyoxymethylene(POM)，polyformaldehyde)、壓克力(Acryl)樹脂,聚酰胺/尼龍(polyamide/Nylon PA/Nylon)、聚甲基戊烯(polymethylpentene，PMP)、聚碳酸酯(polycarbonate，PC)、聚乙烯醇(polyvinylalcohol，PVA)、聚氨酯(polyurethane，PU)、聚丁烯(polyvutene-1，PB-1)、丁二烯樹脂(butadienresins，BDR)、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯(acrylonitrile-butadienee styrene，ABS)、丙烯腈-苯乙烯(acrylonitrile styrene，AS)、聚甲基丙烯酸-苯乙烯(polymethacrylstyrene，MS)、聚對(duì)苯二甲酸丁二酯(polybutyleneterephthalate，PBT)、聚芳砜(polyarylsulfon，PASF)、聚芳酯(polyarylate，PAR)、羥基丁基聚酯(hydroxybutyl polyester，HBP)、聚丙烯腈(polyacrylonitrile，PAN)、氟樹脂(fluoro resins，F(xiàn)R)(聚偏氟乙烯(PVDF)、聚四氟乙烯(PTFE)、氟化乙烯丙烯共聚物(FEP)、可溶性聚四氟乙烯(PFA)、乙烯-四氟乙烯共聚物(ETFE)、特氟龍(Teflon)、乙烯三氟氯乙烯共聚物(ECTFE)、聚三氟氯乙烯(PCTFE))、聚苯醚(polyphenyleneether，PPE)、離聚物(Ionomer)樹脂、纖維增強(qiáng)塑料(Fiber Reinforced Plastics，F(xiàn)RP)、乙烯/醋酸乙烯酯共聚物(ethylenevinylacetate，EVA)、甲基丙烯酸甲酯-丙烯腈-丁二烯-苯乙烯(methylmethacrylate-acrylonitrile-butadiene-styrene，MABS)、聚萘二甲酸乙二醇酯(polyethylenenaphthalate，PEN)、硅(silicone)樹脂、環(huán)氧(epoxy)樹脂、聚醚酰亞胺(polyetherimide)、聚苯硫醚(polyphenylene sulfide，PPS)、聚醚砜(polyethersulfone，PES)、聚(環(huán)己烷-1,4-二亞甲基對(duì)苯二甲酸酯)(poly(cyclohexane-1,4-dimethyleneterephthalate)，PCT)、乙烯-乙烯醇共聚物(ethylenevinylalcohol，EVOH)、聚酰亞胺(polyimide，PI)、聚醚醚酮(polyetheretherketone，PEEK)、聚乳酸(polylactide，polylactic acid，PLA)、聚丁二酸己二酸丁二醇共聚物(polybutylenesuccinate-co-adipate，PBSA)、玻璃紙橡膠、紙或加工紙、金屬、金屬管、木材、玻璃、陶瓷、搪瓷、淀粉(Starch)。

根據(jù)本罩組件，可以將上述列出的材料中的一種以上組合以制造第一罩構(gòu)件11和第二罩構(gòu)件15。

參照?qǐng)D1a，第一罩構(gòu)件11可以位于第二罩構(gòu)件15之上。

圖2示出將第一罩構(gòu)件11和第二罩構(gòu)件15中的第一罩構(gòu)件11從內(nèi)部容器11的表面去除的狀態(tài)。

也就是說，在將化學(xué)物質(zhì)注入內(nèi)部容器1中后，通過本罩組件10密封內(nèi)部容器1，且可以在該狀態(tài)下將內(nèi)部容器1輸送到諸如半導(dǎo)體生產(chǎn)線的需求方。

此外，本罩組件80包括在第一罩構(gòu)件11和第二罩構(gòu)件15中的一者上形成的把手80。

在完成輸送后，為了使用內(nèi)部容器1，操作者利用一體地或單獨(dú)地接合至第一罩構(gòu)件11上的把手80，將第一罩構(gòu)件11從第二罩構(gòu)件15分離。

尤其是，把手80可以可拆卸地形成在第一罩構(gòu)件11和第二罩構(gòu)件15中的任一者上。這是把手80單獨(dú)地接合至第一罩構(gòu)件11的情況。

把手80可以以打開冰激凌錐形杯(ice cream cone)的方式從第一罩構(gòu)件11拆卸。例如，參照?qǐng)D1b，在第一罩構(gòu)件11上可以包括插入把手80的端部的孔。此時(shí)，在孔的內(nèi)周面上可以形成預(yù)定的槽口88。因此，孔具有其內(nèi)周面和把手80的端部可以摩擦接觸的負(fù)公差，其入口可以具有比其內(nèi)部的寬度小的寬度。通過該結(jié)構(gòu)，操作者可以以與打開冰激凌錐形杯的方法類似的方法將把手80從第一罩構(gòu)件11拆卸?？梢栽O(shè)置一個(gè)以上該把手。作為參考，在圖1a中示出設(shè)置有一個(gè)該把手80的結(jié)構(gòu)。

此外，參照?qǐng)D1c，在本發(fā)明中，在將本罩組件10接合至內(nèi)部容器1的外表面后，為了移動(dòng)完成組裝的容器1，可以附接另外的移動(dòng)用把手89?？梢栽O(shè)置多個(gè)移動(dòng)用把手89。尤其是，可以設(shè)置有偶數(shù)個(gè)移動(dòng)用把手89。在該情況下，偶數(shù)個(gè)移動(dòng)用把手89可以設(shè)置成每兩個(gè)移動(dòng)用把手89面向彼此。例如，如圖1b所示，可以設(shè)置兩個(gè)移動(dòng)用把手89，在該情況下，兩個(gè)移動(dòng)用把手89可以設(shè)置成彼此相對(duì)。

接著，參照?qǐng)D3至圖10說明連接形成本罩組件10的第一罩構(gòu)件11和第二罩構(gòu)件15的連接構(gòu)件的各種實(shí)施例。

如圖3所示，連接構(gòu)件的第1實(shí)施例可以為從第二罩構(gòu)件15的內(nèi)側(cè)突出的連接主體20接合至在第一罩構(gòu)件11的內(nèi)側(cè)形成的連接槽中的結(jié)構(gòu)。

如圖4所示，連接構(gòu)件的第2實(shí)施例30為從第一罩構(gòu)件11的內(nèi)側(cè)突出的連接主體31接合至在第二罩構(gòu)件15的內(nèi)側(cè)形成的連接槽中的結(jié)構(gòu)。其中，接合構(gòu)件30包括設(shè)置在第一罩構(gòu)件11的下方和第二罩構(gòu)件15之間的另外的密封構(gòu)件33。

此外，圖5所示的連接構(gòu)件的第3實(shí)施例40是在沒有另外的密封構(gòu)件33的情況下從第一罩構(gòu)件11的內(nèi)側(cè)突出的連接主體41接合至在第二罩構(gòu)件15的內(nèi)側(cè)形成的連接槽中的結(jié)構(gòu)，其中，第一罩構(gòu)件11的下端43直接接合至第二罩構(gòu)件15上。

如圖6所示，連接構(gòu)件的第4實(shí)施例50為從第一罩構(gòu)件11的內(nèi)側(cè)突出的連接主體51接合至在第二罩構(gòu)件15上形成的連接槽中的結(jié)構(gòu)。連接主體51可以為其上端或下端的一部分區(qū)域突出的結(jié)構(gòu)，上述突出部分可以對(duì)應(yīng)于在所述連接槽上額外地形成的鎖定點(diǎn)。其中，連接構(gòu)件50包括在第一罩構(gòu)件11的下方和第二罩構(gòu)件15之間設(shè)置的另外的密封構(gòu)件53。密封構(gòu)件53可以為位于在第二罩構(gòu)件15的上端形成的槽中的結(jié)構(gòu)。

如圖7所示，連接構(gòu)件的第5實(shí)施例60為從第一罩構(gòu)件11的下端以階梯形式突出的連接主體接合至在第二罩構(gòu)件15上形成的階梯式爪的下端上的結(jié)構(gòu)。

如圖8所示，在連接構(gòu)件的第6實(shí)施例70中，連接主體71從第一罩構(gòu)件11的內(nèi)側(cè)朝向第二罩構(gòu)件15突出形成。此時(shí)，在第二罩構(gòu)件15的上端形成有輔助連接主體73，該輔助連接主體73沿朝向連接主體71的方向突出以與連接主體71沿上下方向彼此交替地設(shè)置。

如圖8所示，第一連接主體71和輔助連接主體73可以為沿上下方向彼此交叉地設(shè)置的結(jié)構(gòu)。此時(shí)，連接構(gòu)件可以包括延伸部。延伸部可以將第一連接主體71連接至第一罩構(gòu)件11，且可以將第二連接主體73連接至第二罩構(gòu)件15。通過該結(jié)構(gòu)可以維持第一連接主體71和第二連接主體73接合的狀態(tài)。

此外，如圖9所示，在連接構(gòu)件的第7實(shí)施例中，第一罩構(gòu)件11可以設(shè)置成其下端覆罩第二罩構(gòu)件15的上端的外周面。此時(shí)，連接主體81以從第一罩構(gòu)件11的下端的內(nèi)周面突出形成的鋸齒形狀形成。此外，輔助連接主體83以鋸齒形狀突出形成在第二罩構(gòu)件15的上端的外周面上。第一罩構(gòu)件11和第二罩構(gòu)件15可以通過第一連接主體81和輔助連接主體83的嚙合而接合。

此外，如圖10的(a)所示，在連接構(gòu)件的第8實(shí)施例中，在第一罩構(gòu)件11被設(shè)置成其下端覆罩第二罩構(gòu)件15的上端的外周面時(shí)，連接主體可以為在第一罩構(gòu)件11的下端的內(nèi)周面上形成的螺紋形狀。此時(shí)，在第二罩構(gòu)件15上可以形成有輔助連接主體。輔助連接主體93形成在第二罩構(gòu)件15的上端的外周面上，且為與連接主體嚙合的螺紋形狀。第一罩構(gòu)件11和第二罩構(gòu)件15可以通過連接主體和輔助連接主體93的螺紋接合而接合。

為了螺紋接合連接主體和輔助連接主體93，第一罩構(gòu)件11和第二罩構(gòu)件15可以彼此相對(duì)旋轉(zhuǎn)。相對(duì)旋轉(zhuǎn)可以指第一罩構(gòu)件11相對(duì)于處于靜止?fàn)顟B(tài)的第二罩構(gòu)件15旋轉(zhuǎn)，或第二罩構(gòu)件15相對(duì)于處于靜止?fàn)顟B(tài)的第一罩構(gòu)件11旋轉(zhuǎn)，或者作為另一示例，可以指第一罩構(gòu)件11和第二罩構(gòu)件15彼此沿相反方向旋轉(zhuǎn)。

此外，如圖10的(b)所示，在第8實(shí)施例中，在第一罩構(gòu)件11的下面形成多個(gè)鋸齒111，該多個(gè)鋸齒111沿與第一罩構(gòu)件11的旋轉(zhuǎn)方向相反的方向傾斜，在第二罩構(gòu)件15的、與多個(gè)鋸齒111接觸的部分處形成有與鋸齒111嚙合的嚙合部，該嚙合部沿與第二罩構(gòu)件15的旋轉(zhuǎn)方向相反的方向傾斜。因此，第一罩構(gòu)件11和第二罩構(gòu)件15緊密連接，從而可以在不施加一定水平以上的外力的情況下，防止第一罩構(gòu)件11和第二罩構(gòu)件15的螺紋接合斷開。

此外，本罩組件可以包括第三罩構(gòu)件，該第三罩構(gòu)件設(shè)置在第一罩構(gòu)件11和第二罩構(gòu)件15的上側(cè)且包裹內(nèi)部容器1的上部。

第三罩構(gòu)件可以包括包裹內(nèi)部容器1的注入口部分的蓋和將蓋連接至第一罩構(gòu)件11和第二罩構(gòu)件15中的任一者的連接部。下文將在根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例的用于保護(hù)化學(xué)藥品容器的罩組件中詳細(xì)描述該第三罩構(gòu)件。

作為參考，應(yīng)當(dāng)明白，本發(fā)明的一實(shí)施例和其他實(shí)施例的結(jié)構(gòu)可以彼此交叉適用。

如圖11和圖12所示，根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例的用于保護(hù)化學(xué)藥品容器的罩組件可以以包裹容納化學(xué)物質(zhì)的內(nèi)部容器1的外表面的形式設(shè)置，具體地，包括第一罩構(gòu)件100、第二罩構(gòu)件200、在所述第一罩構(gòu)件100和第二罩構(gòu)件200的連接區(qū)域中形成的連接構(gòu)件300、以及設(shè)置在第一罩構(gòu)件100的上側(cè)的第三罩構(gòu)件400。

作為一個(gè)示例，所述第一罩構(gòu)件100和第二罩構(gòu)件200的截面內(nèi)徑可以為168.2mm至171.5mm，在其內(nèi)部以緊密接觸方式容納化學(xué)藥品容器，第一罩構(gòu)件100和第二罩構(gòu)件200的厚度可以為0.1mm至16.0mm。

第一罩構(gòu)件100為包裹化學(xué)藥品容器的上部的部分，連接在第二罩構(gòu)件200和第四罩構(gòu)件400之間以保護(hù)化學(xué)藥品容器。在第一罩構(gòu)件100的外殼上部可以形成把手(未示出)，可以在彼此對(duì)稱的位置上形成兩個(gè)以上所述把手。

第二罩構(gòu)件200為包裹化學(xué)藥品容器的下部的部分，完全密封化學(xué)藥品容器的底面，延伸至所述容器的中段部，通過第一罩構(gòu)件100和連接構(gòu)件300密封。在第二罩構(gòu)件200上沿高度方向可以形成用于檢查容器的液位的透明顯示窗(未示出)。

第一罩構(gòu)件100和第二罩構(gòu)件200可以形成為具有相同的截面內(nèi)徑(168.2mm至171.5mm)。連接第一罩構(gòu)件100和第二罩構(gòu)件200的連接構(gòu)件300可以在化學(xué)藥品容器的各部分中容器截面的外徑最大的部分處形成。這是因?yàn)椋诘谝徽謽?gòu)件100和第二罩構(gòu)件200的截面內(nèi)徑小于168.2mm時(shí)，不適合作為在半導(dǎo)體工藝中使用的化學(xué)藥品容器的規(guī)格的1加侖容器，從而不能插入化學(xué)藥品容器，且在第一罩構(gòu)件100和第二罩構(gòu)件200的截面內(nèi)徑超過171.5mm時(shí)，雖然能容易地插入化學(xué)藥品容器，但是化學(xué)藥品容器在罩組件內(nèi)部晃動(dòng)，具有存在破碎的風(fēng)險(xiǎn)的問題。

如果在裝載在半導(dǎo)體工藝線上時(shí)再次分離罩組件，則需要消耗時(shí)間來從化學(xué)藥品容器分離罩組件，且可能在分離中無意間損壞化學(xué)藥品容器。

第一罩構(gòu)件100、第二罩構(gòu)件200、連接構(gòu)件300、以及第三罩構(gòu)件400可以為塑料材質(zhì)，優(yōu)選可以包括在上述列出的罩構(gòu)件的材料中選擇的任一種材料。上述材料是即使化學(xué)藥品容器破碎也不容易被儲(chǔ)存在容器中的化學(xué)藥品溶解的材料，且為與在半導(dǎo)體工藝中使用的化學(xué)藥品的溶解度差異比較大的塑料。

如上所述，第一罩構(gòu)件100和第二罩構(gòu)件200的厚度可以為0.1mm至16.0mm。這是因?yàn)?，在第一罩?gòu)件100和第二罩構(gòu)件200的厚度小于0.1mm時(shí)，由化學(xué)藥品容器的破碎而生成的玻璃碎片可能引起化學(xué)藥品泄漏，且在第一罩構(gòu)件100和第二罩構(gòu)件200的厚度超過16.0時(shí)，在不分離罩構(gòu)件時(shí)不能將化學(xué)藥品容器裝載在半導(dǎo)體工藝線上。

連接構(gòu)件300為連接第一罩構(gòu)件100和下罩20的區(qū)域。連接構(gòu)件300包括在第一罩構(gòu)件100的下端部以圓弧形狀形成的第一連接部和在下罩的上端部以圓弧形狀形成的第二連接部。

參照?qǐng)D12，第三罩構(gòu)件400連接至第一罩構(gòu)件100的上側(cè)，以密封化學(xué)藥品容器的上部。第三罩構(gòu)件400包括包裹化學(xué)藥品容器的上部的蓋和將蓋連接至第一罩構(gòu)件11和第二罩構(gòu)件15中的任一者的連接部420。例如，連接部420可以將罩410與第一罩構(gòu)件100連接。罩41可以包括內(nèi)部容器1的注入口部分。

如圖13所示，第三罩構(gòu)件400包括罩410和連接部420，連接部420包括形成有沿圓周方向切開的切槽423的啟封環(huán)(virgin-ring)422和接合至啟封環(huán)422的一端的突出球424。此外，在連接部420上形成連接突起425，以接合并固定至在第一罩構(gòu)件100的上端部形成的連接槽125，相反，也可以在連接部420上形成連接槽，且在第一罩構(gòu)件100上形成連接突起。

在用手指把持在連接部420上形成的突出球424的狀態(tài)下向突出球424施加力時(shí)，啟封環(huán)422借助沿圓周方形形成的切槽423掉落，以使第一罩構(gòu)件100和第三罩構(gòu)件400分離。

第三罩構(gòu)件400的蓋410緊密接觸受保護(hù)的化學(xué)藥品容器的罩部分以使漏液的風(fēng)險(xiǎn)變小，第三罩構(gòu)件400為在使用時(shí)需要快速去除以排出化學(xué)藥品的部分，通過在第三罩構(gòu)件400上形成連接部420而更容易地與第一罩構(gòu)件100分離。

此外，在連接部420上形成連接部導(dǎo)向件426，以形成密閉地容納第一罩構(gòu)件100的上端部的結(jié)構(gòu)，且可以在通過連接部導(dǎo)向件426連接第三罩構(gòu)件400和第一罩構(gòu)件100的狀態(tài)下，保持不向容器方向下降或不容易分離的狀態(tài)。

除了在本發(fā)明的一實(shí)施例中公開的實(shí)現(xiàn)例之外，連接構(gòu)件300還可以以如下方式實(shí)現(xiàn)。

連接構(gòu)件300以在第一罩構(gòu)件100的下端部形成的第一連接部和在第二罩構(gòu)件200的上端部形成的第二連接部接合的結(jié)構(gòu)形成，第一連接部和第二連接部中的一者可以為突出的連接突起320，且另一者可以為與連接突起320接合的階梯式爪310。此外，在階梯式爪310和連接突起320之間還可以包括O型環(huán)。

如圖14所示，連接構(gòu)件300包括階梯式爪形狀的連接主體310和輔助連接主體320。然而，本發(fā)明的要求保護(hù)的范圍不一定限于此。

階梯式爪形狀的連接主體310為向外側(cè)突出的爪形狀，輔助連接主體320被配置成其截面為斜線形狀，以使第一罩構(gòu)件100和第二罩構(gòu)件200容易接合但不分離。

如圖15所示，根據(jù)另一實(shí)施例的連接構(gòu)件300'包括在第一罩構(gòu)件100的下端部形成的連接主體和在第二罩構(gòu)件200的上端部成的輔助連接主體。

連接主體包括容納輔助連接主體320的容納部310'和連接導(dǎo)向件330'，且形成有突起和槽。

此外，輔助連接體形成在第二罩構(gòu)件200的上端部，且與第一連接部同樣地形成有突起和槽，且包括插入由容納部310'和連接導(dǎo)向件330'形成的槽中的插入連接主體320'。

也就是說，連接主體和輔助連接主體借助在容納連接主體310'和插入連接主體320'上彼此對(duì)應(yīng)地形成的突起和槽而接合，且可以防止第一罩構(gòu)件300借助接觸導(dǎo)向件330'而朝向容器方向推入。

此外，如圖16所示，可以在本罩組件的第一罩構(gòu)件100和第二罩構(gòu)件200的內(nèi)表面上形成有多個(gè)緩沖突起150、250。緩沖突起150、250可以執(zhí)行防止由于在化學(xué)藥品容器和罩組件之間可能形成的微小間隙而導(dǎo)致的容器移動(dòng)的功能。此外，可以執(zhí)行緩沖施加在化學(xué)藥品容器和罩組件之間的沖擊的功能。

可以在蓋410的上側(cè)內(nèi)表面上附接緩沖構(gòu)件450，其與化學(xué)藥品容器的蓋接觸以緩沖施加在該化學(xué)藥品容器的蓋上的沖擊。

其結(jié)果是，緩沖突起150、250和緩沖構(gòu)件450制約化學(xué)藥品容器在罩組件內(nèi)的上下左右移動(dòng)，以可以防止或緩和可能施加在化學(xué)藥品容器和罩組件之間的沖擊。

上述罩組件和容器的結(jié)合方法如上述參照?qǐng)D11至圖12所述為將化學(xué)藥品容器1插入第二罩構(gòu)件200中。在化學(xué)藥品容器1插入第二罩構(gòu)件200的狀態(tài)下，使第一罩構(gòu)件100接近化學(xué)藥品容器1的上部，并沿第一罩構(gòu)件100的插入方向施加力，以將在第二罩構(gòu)件200上形成的第二連接部和在第一罩構(gòu)件100上形成的第一連接部密封固定?？梢灶A(yù)先在第一罩構(gòu)件100的上部連接第三罩構(gòu)件300。

在密封固定第一罩構(gòu)件100和第二罩構(gòu)件200之間的連接構(gòu)件300時(shí)，可以沿連接構(gòu)件300的外表面卷繞密封帶(未示出)以再次進(jìn)行密封。該密封帶包括在半導(dǎo)體工藝中可用的所有種類的帶。換句話說，在半導(dǎo)體工藝中可用的所有帶可用作密封帶。

上述本發(fā)明在容納化學(xué)物質(zhì)的玻璃瓶外部由能夠分成兩段以上并接合的保護(hù)部件構(gòu)件，從而即使由于操作者處理或移動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的沖擊而發(fā)生所述玻璃瓶破碎時(shí)，也能使其溶液向外部的泄漏最小化，以防止對(duì)周邊造成不良影響。

以上說明了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，但是本發(fā)明可以使用各種變化、變更和等同方案。應(yīng)當(dāng)明白，本發(fā)明可以同樣應(yīng)用適當(dāng)變型后的上述實(shí)施例。因此，上述記載內(nèi)容不用于限定由所附權(quán)利要求書的范圍所限定的本發(fā)明的范圍。

此外，在本發(fā)明的詳細(xì)說明中說明了具體實(shí)施例，但是本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，在不脫離本發(fā)明的范圍的情況下，可以進(jìn)行各種變型。