一種晶片傳送控制方法及裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種晶片傳送控制方法及裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中晶片破損導(dǎo)致的疊片問題。本發(fā)明中的晶片傳送控制裝置包括晶片傳送模塊、檢測模塊和控制模塊，所述檢測模塊用于檢測在所述晶片傳送模塊的設(shè)定位置處是否停留有晶片，當(dāng)停留有晶片時(shí)，將檢測信號傳送至所述控制模塊；所述控制模塊，接收所述控制模塊傳送的檢測信號并確定所述晶片的停留時(shí)間，當(dāng)所述停留時(shí)間未超出設(shè)定的時(shí)間閥值時(shí)，控制所述晶片傳送模塊正常傳送晶片，當(dāng)所述停留時(shí)間超出設(shè)定時(shí)間閥值時(shí)，則控制所述晶片傳送模塊停止傳送晶片。本發(fā)明通過檢測晶片的停留時(shí)間，當(dāng)停留時(shí)間超出設(shè)定的閥值，停止傳送晶片，則可避免后續(xù)的晶片疊加到其上。
【專利說明】一種晶片傳送控制方法及裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備制造領(lǐng)域，尤其涉及一種晶片傳送控制方法及裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]ATRM-2000B去膜機(jī)在制作晶片的過程中，需要將晶片傳送至卸載盒un I oadcassette中，一般通過設(shè)置在傳片軌道上的晶片檢測感應(yīng)器來判斷是否正確將晶片傳送至unload cassette,在晶片往unload cassette里面?zhèn)魉偷倪^程中，如果晶片檢測感應(yīng)器未檢測到晶片，則機(jī)臺出現(xiàn)報(bào)警并暫停作業(yè)；如果晶片檢測感應(yīng)器檢測到晶片，傳送晶片的皮帶就停止傳動，當(dāng)晶片進(jìn)入unload cassette中，unload cassette往上移動，因距離變遠(yuǎn)了，晶片檢測感應(yīng)器由檢測有晶片變成無晶片，重復(fù)執(zhí)行晶片傳送的過程，不會出現(xiàn)異常。
[0003]然而在晶片傳送過程中，當(dāng)有晶片破損或者其他異常原因?qū)е履骋黄荒苷魉椭羥nload cassette內(nèi)，并搭載在晶片感應(yīng)器上,unload cassette向上移動時(shí)破損的晶片不會隨unload cassette移動，導(dǎo)致晶片檢測感應(yīng)器感應(yīng)到有晶片的存在，誤認(rèn)為晶片進(jìn)入unload cassette內(nèi)，傳送晶片的皮帶剛起動就停止,這樣正常的晶片就不能傳進(jìn)unload cassette內(nèi)，停留在一個(gè)位置,下一片晶片也不會傳至unload cassette,再下一片晶片也這樣循環(huán)，與前一片擠壓并疊在unload cassette入口處,從而出現(xiàn)異常的疊片現(xiàn)象，但此時(shí)由于晶片檢測感應(yīng)器感應(yīng)到晶片的存在，機(jī)臺并不會發(fā)生報(bào)警，也不會停止作業(yè)，從而造成損失。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的是提供一種晶片傳送控制方法及裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中當(dāng)有晶片破損在晶片感應(yīng)器上，機(jī)臺不會停止作業(yè)的問題。
[0005]本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:
[0006]本發(fā)明一方面提供了一種晶片傳送控制裝置，包括晶片傳送模塊，還包括:與所述晶片傳送模塊連接的檢測模塊，以及和所述檢測模塊和所述晶片傳送模塊分別連接的控制模塊，其中，
[0007]所述檢測模塊，用于檢測在所述晶片傳送模塊的設(shè)定位置處是否停留有晶片，當(dāng)停留有晶片時(shí)，將檢測信號傳送至所述控制模塊；
[0008]所述控制模塊，接收所述控制模塊傳送的檢測信號并確定所述晶片的停留時(shí)間，當(dāng)所述停留時(shí)間未超出設(shè)定的時(shí)間閥值時(shí)，控制所述晶片傳送模塊正常傳送晶片，當(dāng)所述停留時(shí)間超出設(shè)定時(shí)間閥值時(shí)，則控制所述晶片傳送模塊停止傳送晶片。
[0009]本發(fā)明另一方面還提供了一種晶片傳送控制方法，該方法包括:
[0010]檢測在設(shè)定位置處是否停留有晶片，并確定所述晶片的停留時(shí)間；
[0011]當(dāng)所述停留時(shí)間未超出設(shè)定的時(shí)間閥值時(shí)，正常傳送晶片，當(dāng)所述停留時(shí)間超出設(shè)定的時(shí)間閥值時(shí)，停止傳送晶片。
[0012]本發(fā)明提供的晶片傳送控制方法及裝置，通過檢測晶片的停留時(shí)間，能夠判斷出晶片是否為正常傳送，當(dāng)停留時(shí)間超出設(shè)定的閥值，則說明晶片傳送出現(xiàn)異常，此時(shí)停止傳送晶片，則可避免后續(xù)的晶片疊加到其上，發(fā)生疊片。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1A為本發(fā)明實(shí)施例提供的晶片傳送控制裝置構(gòu)成示意圖；
[0014]圖1B為本發(fā)明實(shí)施例提供的晶片傳送控制裝置又一構(gòu)成示意圖；
[0015]圖2為現(xiàn)有技術(shù)中包含有位置傳感器的晶片傳送電路示意圖；
[0016]圖3為本發(fā)明實(shí)施例中串聯(lián)繼電器的常開觸點(diǎn)后的傳送電路示意圖；
[0017]圖4為本發(fā)明實(shí)施例中包含有與繼電器常開觸點(diǎn)并聯(lián)的傳送電路示意圖；
[0018]圖5為本發(fā)明實(shí)施例中實(shí)施晶片傳送控制的局部電路圖；
[0019]圖6為本發(fā)明實(shí)施例中晶片傳送控制方式實(shí)現(xiàn)流程示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0020]本發(fā)明提供的晶片傳送控制方法，檢測晶片在晶片感應(yīng)器上的停留時(shí)間；當(dāng)停留時(shí)間超出設(shè)定的時(shí)間閥值時(shí)，則停止傳送晶片，能夠避免晶片傳送過程中疊片現(xiàn)象的發(fā)生。
[0021]本發(fā)明實(shí)施例一提供了一種晶片傳送控制裝置，是對現(xiàn)有的晶片傳送系統(tǒng)(以下簡稱晶片傳送模塊I)的改進(jìn)。本發(fā)明實(shí)施例中的晶片傳送控制裝置包括與晶片傳送模塊I連接的檢測模塊2，以及和檢測模塊2和晶片傳送模塊I分別連接的控制模塊3，如圖1A所示。
[0022]具體的，本發(fā)明實(shí)施例中檢測模塊2能夠檢測到在晶片傳送模塊I的設(shè)定位置處是否停留有晶片，當(dāng)停留有晶片時(shí)，將停留有晶片的檢測信號發(fā)送至控制模塊3。本發(fā)明實(shí)施例中設(shè)定位置可以是根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行設(shè)置，比如可以選擇經(jīng)常發(fā)生疊片的位置，還可以是設(shè)置晶片檢測感應(yīng)器的位置。
[0023]控制模塊3根據(jù)接收到的檢測模塊傳送的檢測信號，進(jìn)行晶片傳送與否的控制?？刂颇K接收到檢測信號時(shí)，則開始計(jì)時(shí)，將接收到檢測信號的時(shí)間作為晶片的停留時(shí)間，然后根據(jù)該停留時(shí)間控制晶片的傳送與否，當(dāng)停留時(shí)間未炒熟設(shè)定的時(shí)間閥值時(shí)，則控制晶片傳送模塊I正常傳送晶片，當(dāng)停留時(shí)間超出設(shè)定的時(shí)間閥值時(shí)，則控制晶片傳送模塊I停止傳送晶片。本發(fā)明實(shí)施例中設(shè)定的時(shí)間閥值可根據(jù)晶片正常傳送時(shí)所需要的時(shí)間進(jìn)行設(shè)定，停留時(shí)間超出正常傳送所需要的時(shí)間則表明出現(xiàn)異常，當(dāng)然并不引以為限，也可根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行設(shè)置。
[0024]優(yōu)選的，本發(fā)明實(shí)施例中提供的控制模塊3可包括控制信號生成子模塊31和驅(qū)動執(zhí)行子模塊32，如圖1B所示。
[0025]所述控制信號生成子模塊31與檢測模塊2相連接，并接收檢測模塊2傳送的停留有晶片的檢測信號，控制信號生成子模塊31將接收到檢測信號的起始時(shí)間作為晶片停留的起始時(shí)間，最終將接收到檢測信號的時(shí)間作為晶片的停留時(shí)間?？刂菩盘柹勺幽K31根據(jù)確定的晶片停留時(shí)間與設(shè)定的時(shí)間閥值，生成高低電平信號并輸出至所述驅(qū)動執(zhí)行子模塊。具體的，當(dāng)確定的停留時(shí)間未超出設(shè)定的時(shí)間閥值時(shí)，輸出低電平信號，當(dāng)確定的停留時(shí)間超出設(shè)定的時(shí)間閥值時(shí)，輸出高電平信號。
[0026]驅(qū)動執(zhí)行子模塊32接收控制信號生成子模塊輸出的高低電平控制信號，當(dāng)接收到低電平信號時(shí)，控制晶片傳送模塊I正常傳送晶片，當(dāng)接收到高電平信號時(shí)，控制晶片傳送模塊I停止傳送晶片。
[0027]本發(fā)明實(shí)施例提供的晶片傳送控制裝置，通過檢測晶片的停留時(shí)間，能夠判斷出晶片是否為正常傳送，當(dāng)停留時(shí)間超出設(shè)定的閥值，則說明晶片傳送出現(xiàn)異常，此時(shí)停止傳送晶片，則可避免后續(xù)的晶片疊加到其上，發(fā)生疊片。
[0028]本發(fā)明實(shí)施例二將結(jié)合實(shí)際應(yīng)用對實(shí)施例一中的晶片傳送控制裝置進(jìn)行詳細(xì)的說明，當(dāng)然并不引以為限。
[0029]現(xiàn)有的晶片傳送模塊I中有一檢測unload cassette位置的位置傳感器4，如圖2所示，在晶片傳送過程中，unload cassette處于正常狀態(tài)時(shí)，位置傳感器處于閉合狀態(tài)，當(dāng)unload cassette沒有放好,或者沒有放置unload cassette時(shí),則位置傳感器4處于斷開狀態(tài)，從而使整個(gè)傳送電路處于斷路狀態(tài)，停止傳送晶片。
[0030]本發(fā)明實(shí)施例中，將驅(qū)動執(zhí)行子模塊32設(shè)置為一根據(jù)控制信號生成子模塊生成的高低電平控制信號能夠得電或失電的繼電器5，繼電器5有個(gè)線圈，線圈有電流流過時(shí)，常開觸點(diǎn)會閉合，沒有電流流過時(shí)，常開觸點(diǎn)會斷開，本發(fā)明實(shí)施例中可將該繼電器5的常開觸點(diǎn)與位置傳感器4串聯(lián)，當(dāng)繼電器得電時(shí)，該常開觸點(diǎn)處于閉合狀態(tài)，對原始的信號傳送模塊I的電路并沒有改變，可正常傳送晶片，當(dāng)繼電器5失電時(shí)，該常開觸點(diǎn)斷開，從而使得原始傳送電路處于斷路狀態(tài)，停止傳送晶片，如圖3所示為繼電器5的常開觸點(diǎn)與位置傳感器4串聯(lián)的電路不意圖。
[0031 ] 進(jìn)一步的，本發(fā)明實(shí)施例中繼電器5的得電和失電可根據(jù)晶片的停留時(shí)間進(jìn)行控制，通過繼電器5得電或失電進(jìn)行晶片傳送與否的控制。當(dāng)檢測模塊2檢測到晶片傳送模塊I中停留有晶片時(shí)發(fā)送檢測信號至控制信號生成子模塊31，控制信號生成子模塊31能夠根據(jù)接收到檢測信號的時(shí)間確定晶片的停留時(shí)間，當(dāng)該晶片的停留時(shí)間超出設(shè)定的時(shí)間閥值，控制信號生成子模塊31生成低電平信號，使繼電器失電，常開觸點(diǎn)斷開，從而使得晶片傳送模塊I中的晶片傳送電路處于斷路狀態(tài)，停止傳送晶片。晶片的停留時(shí)間未超出設(shè)定的時(shí)間閥值時(shí)，控制信號生成子模塊31生成高電平信號，使繼電器5得電，常開觸點(diǎn)處于閉合狀態(tài)，晶片傳送模塊I正常傳送晶片。
[0032]本發(fā)明實(shí)施例中通過在原有的晶片傳送模塊I的晶片傳送電路上外加一繼電器，通過繼電器的得電或失電控制原始晶片傳送電路的閉合與斷開，使得晶片傳送與否的控制實(shí)現(xiàn)更為簡單。
[0033]更為優(yōu)選的，本發(fā)明實(shí)施例中可將控制信號生成子模塊設(shè)置為一由555定時(shí)器構(gòu)成的可重復(fù)觸發(fā)單穩(wěn)電路。
[0034]具體的，555定時(shí)器構(gòu)成的可重復(fù)觸發(fā)單穩(wěn)電路能夠根據(jù)觸發(fā)信號生成高低電平信號，并且可通過電路中電位器的電阻與電容的大小設(shè)定高低電平脈沖的持續(xù)時(shí)間。因此，本發(fā)明實(shí)施例中可將檢測模塊2輸出的檢測信號作為觸發(fā)信號輸入至可重復(fù)觸發(fā)單穩(wěn)電路的觸發(fā)輸入端，然后通過調(diào)整電位器電阻與電容值的大小來設(shè)定時(shí)間閥值。通過設(shè)定的時(shí)間閥值能夠確定接收到檢測信號的時(shí)間，從而能夠?qū)崿F(xiàn)設(shè)定時(shí)間閥值與晶片停留時(shí)間之間的比較，能夠判斷出該停留時(shí)間是否超出設(shè)定的時(shí)間閥值，并用高低電平信號來反映停留時(shí)間是否超出設(shè)定的時(shí)間閥值，并還可通過該高低電平信號控制繼電器得電或失電，從而控制晶片傳送模塊是否傳送晶片。[0035]進(jìn)一步優(yōu)選的，本發(fā)明實(shí)施例中還可在檢測模塊2中設(shè)置光纖放大器和光纖傳感器進(jìn)行是否存在停留晶片的檢測。光纖傳感器和光纖放大器是用來檢測晶片傳送模塊I中的設(shè)定位置處是否存在停留晶片的。具體的，光纖傳感器中有兩根光纖，一根光纖傳出發(fā)射光，另一根傳回反射光。如果沒有晶片，因沒有反射的物體，就沒有反射光了 ；如果有晶片，光就會經(jīng)傳回反射光的光纖被反射回光纖放大器。光纖放大器根據(jù)光纖傳感器是否傳送回反射光，確定晶片傳送模塊I的設(shè)定位置處是否停留有晶片，當(dāng)停留有晶片時(shí)，將停留有晶片的檢測信號傳送至可重復(fù)觸發(fā)單穩(wěn)電路。
[0036]進(jìn)一步優(yōu)選的，本發(fā)明實(shí)施例中為了能夠?qū)⒐饫w放大器傳送的晶片檢測信號更好的傳送至可重復(fù)觸發(fā)單穩(wěn)電路中，可在光線放大器傳送檢測信號至可重復(fù)觸發(fā)單穩(wěn)電路之前，將其進(jìn)行光耦隔離，將光纖放大器輸出的檢測信號經(jīng)光耦隔離后輸出至可重復(fù)觸發(fā)單穩(wěn)電路中。
[0037]優(yōu)選的，本發(fā)明實(shí)施例中還可設(shè)置一與控制模塊相連接的報(bào)警模塊，也即與繼電器5相連接的報(bào)警模塊，當(dāng)晶片的停留時(shí)間超出設(shè)定的時(shí)間閥值，繼電器5失電時(shí)，發(fā)出停止傳送晶片的報(bào)警提示，當(dāng)然該報(bào)警模塊可以優(yōu)選原有晶片傳送模塊I中的報(bào)警提示模塊。
[0038]進(jìn)一步優(yōu)選的，本發(fā)明實(shí)施例中還可在晶片傳送控制模塊中設(shè)置一與繼電器5的常開觸點(diǎn)并聯(lián)的開關(guān)6，如圖4所示。該開關(guān)6閉合時(shí)，并不會改變原始的晶片傳送電路，開關(guān)6斷開時(shí)，繼電器5起作用，能夠進(jìn)行晶片傳送的監(jiān)控。
[0039]本發(fā)明實(shí)施例中通過開關(guān)6可消除誤報(bào)警，例如當(dāng)光纖傳感器剛好檢測到一片晶片時(shí)，機(jī)臺被暫停作業(yè)，晶片在此處的停留時(shí)間就會超出設(shè)定的時(shí)間閥值，從而會出現(xiàn)誤報(bào)警，這時(shí)就可把開關(guān)6閉合，消除報(bào)警并繼續(xù)傳送晶片，當(dāng)晶片傳送完后，可將開關(guān)6斷開，使繼電器5重新得電，繼續(xù)監(jiān)控晶片傳送模塊I中的晶片傳送情況。
[0040]本發(fā)明上述實(shí)施例的實(shí)施過程，可采用圖5所示的電路，圖5中a部分為光耦隔離電路實(shí)現(xiàn)對光纖放大器輸出的信號進(jìn)行光I禹隔離，b部分為由555定時(shí)器組成的可重復(fù)觸發(fā)單穩(wěn)電路，c部分為通過繼電器以及開關(guān)控制晶片傳送模塊傳送晶片與否的實(shí)現(xiàn)電路。當(dāng)然本發(fā)明實(shí)施例的實(shí)現(xiàn)方式還可采用其他的電路實(shí)現(xiàn)，本發(fā)明僅以此舉例說明，并不引以為限。
[0041]本發(fā)明實(shí)施例三基于與實(shí)施例一和實(shí)施例二相同的思想，還提供了一種晶片傳送方法，該方法的實(shí)現(xiàn)流程如圖6所示，包括:
[0042]步驟S601:檢測晶片在設(shè)定位置處是否停留有晶片，并確定晶片的停留時(shí)間。
[0043]具體的，本發(fā)明實(shí)施例中涉及的設(shè)定位置可以是根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行設(shè)置的，比如可以選擇經(jīng)常發(fā)生疊片的位置，還可以是設(shè)置晶片檢測感應(yīng)器的位置。
[0044]步驟S602:判斷檢測得到的晶片停留時(shí)間是否超出設(shè)定的時(shí)間閥值，根據(jù)檢測得至IJ的停留時(shí)間進(jìn)行晶片傳送與否的控制，當(dāng)超出設(shè)定的時(shí)間閥值時(shí)，轉(zhuǎn)至步驟S603，否則進(jìn)行步驟S604。
[0045]步驟S603:當(dāng)檢測得到的停留時(shí)間超出設(shè)定的時(shí)間閥值時(shí)，停止傳送晶片。
[0046]步驟S604:正常傳送晶片。
[0047]優(yōu)選的，本發(fā)明實(shí)施例中當(dāng)停留時(shí)間超出設(shè)定的時(shí)間閥值時(shí)，可發(fā)送報(bào)警提示，并停止傳送晶片。[0048]進(jìn)一步的，當(dāng)上述報(bào)警提示為誤報(bào)警時(shí)，還可重新控制晶片傳送。
[0049]需要說明的是，本發(fā)明實(shí)施例三適合實(shí)施例一與實(shí)施例二中晶片傳送控制裝置的所有實(shí)施方式，在此不再贅述。
[0050]本發(fā)明實(shí)施例三提供的晶片傳送控制方法，通過檢測晶片的停留時(shí)間，能夠判斷出晶片是否為正常傳送，當(dāng)停留時(shí)間超出設(shè)定的閥值，則說明晶片傳送出現(xiàn)異常，此時(shí)停止傳送晶片，則可避免后續(xù)的晶片疊加到其上，發(fā)生疊片。
[0051]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本發(fā)明進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種晶片傳送控制裝置，包括晶片傳送模塊，其特征在于，該裝置還包括:與所述晶片傳送模塊連接的檢測模塊，以及和所述檢測模塊和所述晶片傳送模塊分別連接的控制模塊，其中， 所述檢測模塊，用于檢測在所述晶片傳送模塊的設(shè)定位置處是否停留有晶片，當(dāng)停留有晶片時(shí)，將檢測信號傳送至所述控制模塊； 所述控制模塊，根據(jù)接收到檢測信號的時(shí)間確定所述晶片的停留時(shí)間，當(dāng)所述停留時(shí)間未超出設(shè)定的時(shí)間閥值時(shí)，控制所述晶片傳送模塊正常傳送晶片，當(dāng)所述停留時(shí)間超出設(shè)定時(shí)間閥值時(shí)，則控制所述晶片傳送模塊停止傳送晶片。
2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述控制模塊包括控制信號生成子模塊和驅(qū)動執(zhí)行子模塊，其中， 所述控制信號生成子模塊，將接收到檢測信號的起始時(shí)間作為晶片停留的起始時(shí)間，并確定晶片的停留時(shí)間，根據(jù)所述停留時(shí)間與設(shè)定的時(shí)間閥值生成高低電平信號并輸出至所述驅(qū)動執(zhí)行子模塊；其中，當(dāng)所述停留時(shí)間未超出設(shè)定的時(shí)間閥值時(shí)，輸出低電平信號，當(dāng)所述停留時(shí)間超出設(shè)定的時(shí)間閥值時(shí)，輸出高電平信號； 驅(qū)動執(zhí)行子模塊，當(dāng)接收到低電平信號時(shí)，控制所述晶片傳送模塊正常傳送晶片，當(dāng)接收到高電平信號時(shí)，控制所述晶片傳送模塊停止傳送晶片。
3.如權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述驅(qū)動執(zhí)行子模塊為一根據(jù)所述控制信號生成子模塊生成的高低電平信號能夠得電或失電的繼電器，其中， 當(dāng)接收到低電平信號時(shí)，所述繼電器得電，所述晶片傳送模塊正常傳送晶片； 當(dāng)接收到高電平信號時(shí)，所述繼電器失電，所述晶片傳送模塊停止傳送晶片。
4.如權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，所述控制信號生成子模塊為一由555定時(shí)器構(gòu)成的可重復(fù)觸發(fā)單穩(wěn)電路。
5.如權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，所述檢測模塊包括光纖放大器和光纖傳感器，其中， 所述光纖傳感器，用于向外傳送發(fā)射光，當(dāng)所述晶片傳送模塊的設(shè)定位置處停留有晶片時(shí)，傳送所述晶片反射回的反射光至所述光纖放大器； 所述光纖放大器，用于根據(jù)所述光纖傳感器是否傳送回反射光，確定所述晶片傳送模塊的設(shè)定位置處是否停留有晶片，當(dāng)停留有晶片時(shí)，傳送停留有晶片的檢測信號至所述可重復(fù)觸發(fā)單穩(wěn)電路。
6.如權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于，所述控制模塊還包括一光耦隔離電路，用于將所述光纖放大器輸出的檢測信號經(jīng)光耦隔離后輸出至所述可重復(fù)觸發(fā)單穩(wěn)電路。
7.如權(quán)利要求3或6所述的裝置，其特征在于，該裝置還包括與所述繼電器連接的報(bào)警模塊，其中，當(dāng)所述繼電器失電時(shí)，所述報(bào)警模塊發(fā)出停止傳送晶片的報(bào)警提示。
8.如權(quán)利要求7所述的裝置，其特征在于，該裝置還包括一與所述繼電器的常開觸點(diǎn)并聯(lián)的開關(guān)，通過所述開關(guān)控制所述繼電器重新得電。
9.一種晶片傳送控制方法，其特征在于，該方法包括: 檢測在設(shè)定位 置處是否停留有晶片，并確定所述晶片的停留時(shí)間； 當(dāng)所述停留時(shí)間未超出設(shè)定的時(shí)間閥值時(shí)，正常傳送晶片，當(dāng)所述停留時(shí)間超出設(shè)定的時(shí)間閥值時(shí)，停止傳送晶片。
10.如權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，該方法還包括: 當(dāng)所述停留時(shí)間超出設(shè)定的時(shí)間閥值時(shí)，發(fā)出報(bào)警提示，并停止傳送晶片。
11.如權(quán)利要求10所述的方法，其特征在于，當(dāng)所述報(bào)警提示為誤報(bào)警時(shí)，該方法還包括: 控制晶片的重新傳送。
【文檔編號】B65H7/02GK103964233SQ201310046214
【公開日】2014年8月6日 申請日期:2013年2月5日 優(yōu)先權(quán)日:2013年2月5日
【發(fā)明者】譚漢軍, 黃仁祿, 曹志兵 申請人:北大方正集團(tuán)有限公司, 深圳方正微電子有限公司