專利名稱：一種傳送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及液晶制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于傳送基板的傳送裝置。
背景技術(shù)：
目前，在制造兩面都需要鍍膜的基板時(shí)，例如在制造電容式觸摸屏的陣列基板時(shí)， 由于基板的正反面都需要鍍膜，在制作完正面的驅(qū)動(dòng)側(cè)(TFT Driving Side)之后，就會(huì)把基板翻面并運(yùn)送到其他地方制作反面的感應(yīng)側(cè)(Sensing Side)。在運(yùn)送基板的過程中會(huì)使用傳送裝置，如使用圖1所示的機(jī)械手對(duì)基板進(jìn)行轉(zhuǎn)移，使用如圖2所示的傳送匣 (Cassette)承裝基板運(yùn)送到所需的地方。在這過程中，機(jī)械手和傳送匣上的支柱會(huì)在基板底面形成多個(gè)接觸點(diǎn)，如圖3所示，其中，大圓點(diǎn)為機(jī)械手在取出基板時(shí)頂起基板，機(jī)械手上的支柱在基板底面形成的接觸點(diǎn)，小圓點(diǎn)為機(jī)械手將基板放入傳送匣后基板落到傳送匣中，傳送匣上的支柱在基板底面形成的接觸點(diǎn)，執(zhí)行這些動(dòng)作的過程中，都容易造成基板底面鍍膜的劃傷，由于上述接觸點(diǎn)大部分位于基板的有效區(qū)域(即在基板的有效區(qū)域會(huì)布線)，會(huì)造成制造出的產(chǎn)品良率降低。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型提供了一種傳送裝置，用以實(shí)現(xiàn)在傳送基板過程中減少基板有效區(qū)域與傳送裝置的接觸點(diǎn)。本實(shí)用新型提供的一種傳送裝置，包括傳送匣、機(jī)械手和至少一個(gè)支撐盤；其中，支撐盤上設(shè)置第一卡槽、第二卡槽、以及用于支撐基板的共享支撐面；機(jī)械手包括中央機(jī)械臂和邊緣機(jī)械臂；中央機(jī)械臂上設(shè)置至少一組第一支撐盤支柱，用于在機(jī)械手傳送基板時(shí)與第一卡槽配合支撐支撐盤；邊緣機(jī)械臂上設(shè)置至少兩個(gè)第一基板支柱，用于支撐基板；傳送匣包括至少一組中央托臂和邊緣托臂；中央托臂上設(shè)置至少一組第二支撐盤支柱，用于在機(jī)械手傳送基板到傳送匣中后，與第二卡槽配合支撐支撐盤，使第一支撐盤支柱在機(jī)械手退出傳送匣時(shí)可與所述第一卡槽脫離；同組中的邊緣托臂上共設(shè)置至少兩個(gè)第二基板支柱，用于支撐基板。本實(shí)用新型還提供了一種傳送裝置，包括傳送匣、機(jī)械手和至少三個(gè)支撐盤；其中，支撐盤上設(shè)置第一卡槽、第二卡槽、以及用于支撐基板的共享支撐面；機(jī)械手包括至少一個(gè)機(jī)械臂；機(jī)械臂上共設(shè)置至少三組第一支撐盤支柱，用于在機(jī)械手傳送基板時(shí)與第一卡槽配合支撐支撐盤；傳送匣包括至少一組托臂，每組托臂包括至少兩個(gè)托臂；托臂上設(shè)置與每組第一支撐盤支柱位置對(duì)應(yīng)的第二支撐盤支柱，用于在機(jī)械手傳送基板到傳送匣中后，與第二卡槽配合支撐支撐盤，使第一支撐盤支柱在機(jī)械手退出傳送匣時(shí)可與第一卡槽脫離。[0012]本實(shí)用新型的有益效果包括本實(shí)用新型提供的一種傳送裝置，支撐盤上設(shè)置第一卡槽、第二卡槽，以及用于支撐基板的共享支撐面；機(jī)械手包括中央機(jī)械臂和邊緣機(jī)械臂，中央機(jī)械臂上設(shè)置至少一組第一支撐盤支柱，用于在機(jī)械手傳送基板時(shí)與第一卡槽配合支撐支撐盤，邊緣機(jī)械臂上設(shè)置至少兩個(gè)第一基板支柱，用于支撐基板；傳送匣包括至少一組中央托臂和邊緣托臂，中央托臂上設(shè)置至少一組第二支撐盤支柱，用于在機(jī)械手傳送基板到傳送匣中后，與第二卡槽配合支撐支撐盤，使第一支撐盤支柱在機(jī)械手退出傳送匣時(shí)可與第一卡槽脫離，同組中的邊緣托臂上共設(shè)置至少兩個(gè)第二基板支柱，用于支撐基板。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的傳送裝置中，中央機(jī)械臂的第一支撐盤支柱和中央托臂的第二支撐盤支柱共享一個(gè)支撐盤，只有支撐盤會(huì)和基板的有效區(qū)域接觸，留下接觸點(diǎn)，和現(xiàn)有技術(shù)中的傳送裝置相比，減少了傳送裝置在基板的有效區(qū)域的接觸點(diǎn)，從而降低了在運(yùn)送過程中對(duì)基板有效區(qū)域劃傷的可能性，提高了制造出的產(chǎn)品良率。本實(shí)用新型提供的另一種傳送裝置，支撐盤上設(shè)置第一卡槽、第二卡槽、以及用于支撐基板的共享支撐面；機(jī)械手包括至少一個(gè)機(jī)械臂，機(jī)械臂上共設(shè)置至少三組第一支撐盤支柱，用于在機(jī)械手傳送基板時(shí)與第一卡槽配合支撐所述支撐盤；傳送匣包括至少一組托臂，每組托臂包括至少兩個(gè)托臂，托臂上設(shè)置與每組第一支撐盤支柱位置對(duì)應(yīng)的第二支撐盤支柱，用于在機(jī)械手傳送基板到傳送匣中后，與第二卡槽配合支撐支撐盤，使第一支撐盤支柱在機(jī)械手退出傳送匣時(shí)可與第一卡槽脫離。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的傳送裝置中， 機(jī)械臂的第一支撐盤支柱和托臂的第二支撐盤支柱共享一個(gè)支撐盤，只有支撐盤會(huì)和基板的有效區(qū)域接觸，留下接觸點(diǎn)，和現(xiàn)有技術(shù)中的傳送裝置相比，減少了傳送裝置在基板的有效區(qū)域的接觸點(diǎn)，從而降低了在運(yùn)送過程中對(duì)基板有效區(qū)域劃傷的可能性，提高了制造出的產(chǎn)品良率。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中機(jī)械手的示意圖；圖2為現(xiàn)有技術(shù)中傳送匣的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為現(xiàn)有技術(shù)中基板通過傳送裝置運(yùn)送后形成的接觸點(diǎn)的分布圖；圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的機(jī)械手的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的傳送匣的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的支撐盤的俯視圖；圖7為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的支撐盤的立體圖；圖8為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的中央機(jī)械臂和中央托臂的配合示意圖；圖9為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的傳送裝置的俯視圖；圖10為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的基板通過傳送裝置運(yùn)送后形成的接觸點(diǎn)的分布圖之一；圖11為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的另一傳送裝置的俯視圖；圖12為為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的基板通過傳送裝置運(yùn)送后形成的接觸點(diǎn)的分布圖之二；圖13為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的第一支撐盤支柱和第二支撐盤支柱的結(jié)構(gòu)示意圖之二。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例提供的傳送裝置的具體實(shí)施方式
進(jìn)行詳細(xì)地說明。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種傳送裝置，包括傳送匣、機(jī)械手和至少一個(gè)用于支撐基板的支撐盤；其中，支撐盤上設(shè)置第一卡槽、第二卡槽、以及用于支撐基板的共享支撐面；機(jī)械手如圖 4所示，包括中央機(jī)械臂1和邊緣機(jī)械臂0和3)；中央機(jī)械臂1上設(shè)置至少一組第一支撐盤支柱4，用于在機(jī)械手傳送基板時(shí)與第一卡槽配合支撐支撐盤；邊緣機(jī)械臂0和幻上設(shè)置至少兩個(gè)第一基板支柱(為圖4中邊緣機(jī)械臂2和3上的圓點(diǎn))，即在邊緣機(jī)械臂O和 3)上一共設(shè)置至少兩個(gè)第一基板支柱，用于支撐基板。傳送匣如圖5所示，包括至少一組中央托臂5和邊緣托臂6 ；中央托臂5上設(shè)置至少一組第二支撐盤支柱7，用于在機(jī)械手傳送基板到傳送匣中后，與第二卡槽配合支撐支撐盤，使第一支撐盤支柱4在機(jī)械手退出傳送匣時(shí)可與第一卡槽脫離；同組中的邊緣托臂6 上一共設(shè)置有至少兩個(gè)第二基板支柱8，用于支撐基板。具體地，上述支撐盤如圖6和圖7所示，其中，圖6為支撐盤的仰視圖，圖7為支撐盤的立體圖，支撐盤上設(shè)置有和第一支撐盤支柱4匹配的第一卡槽9，和第二支撐盤支柱7 匹配的第二卡槽10，以及用于支撐基板的共享支撐面11。圖4 圖7是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的傳送裝置的一個(gè)具體實(shí)例的結(jié)構(gòu)圖，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的傳送裝置并不限于上述圖中的結(jié)構(gòu)，下面詳細(xì)說明本實(shí)用新型實(shí)施例提供的傳送裝置中的各個(gè)部件的具體結(jié)構(gòu)。具體地，和現(xiàn)有技術(shù)的機(jī)械臂在機(jī)械手中的位置相比，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的機(jī)械手中邊緣機(jī)械臂0和幻分別向外移動(dòng)到對(duì)應(yīng)于支撐基板的邊緣區(qū)域，使得邊緣機(jī)械臂0和；3)上的第一基板支柱與基板接觸時(shí)，產(chǎn)生的接觸點(diǎn)位于基板的邊緣區(qū)域，而通常在基板的邊緣區(qū)域上不會(huì)布線，因此，在此處產(chǎn)生的損壞也就不會(huì)影響到基板的正常使用。由于本實(shí)用新型實(shí)施例提供的機(jī)械手中邊緣機(jī)械臂O和3)位于機(jī)械手的邊緣處，光靠邊緣機(jī)械臂0和；3)上的第一基板支柱無法支撐整個(gè)基板，基板會(huì)因重力作用在其中間位置發(fā)生彎曲形變而滑落，因此，在機(jī)械手上還設(shè)置了中央機(jī)械臂1，用以支撐基板，并防止基板發(fā)生彎曲形變而滑落。具體地，上述機(jī)械手中的中央機(jī)械臂1在機(jī)械手中的位置并不只限于位于機(jī)械手的正中間，中央機(jī)械臂1的個(gè)數(shù)也并不限于1個(gè)，可以根據(jù)機(jī)械手承載的基板具體尺寸而定。具體地，在中央機(jī)械臂1上可以設(shè)置至少一組第一支撐盤支柱4，并不限定其位于中央機(jī)械臂1上的具體位置。較佳地，第一支撐盤支柱4可以設(shè)置在對(duì)應(yīng)于承載的基板的中心位置，以便基板在機(jī)械手支撐的支撐盤上更穩(wěn)定。較佳地，在機(jī)械手的第一支撐盤支柱4與第一卡槽9配合支撐住支撐盤后，支撐盤的共享支撐面11與第一基板支柱的頂部共面，這樣能夠保證機(jī)械手平穩(wěn)支撐基板。較佳地，當(dāng)機(jī)械手只有一組第一支撐盤支柱4和兩個(gè)第一基板支柱時(shí)，第一支撐盤支柱4和兩個(gè)第一基板支柱所在的位置最好不共線，這樣能夠增強(qiáng)基板在機(jī)械手上的穩(wěn)定性。如圖8所示為中央機(jī)械臂1和中央托臂5的配合原理示意圖。如圖8所示，在中央機(jī)械臂1上在與第二支撐盤支柱7對(duì)應(yīng)的位置上可以設(shè)置有讓位槽12，用于機(jī)械手在傳送基板到傳送匣中時(shí)，第二支撐盤支柱7進(jìn)入到讓位槽12內(nèi)，與第二卡槽10配合支撐支撐盤，使第一支撐盤支柱4在機(jī)械手退出傳送匣時(shí)可與第一卡槽9脫離。其中，讓位槽12的形狀可以是方形，也可以是圓弧形，并不限于圖8中所描述的形狀，只要第二支撐盤支柱7能夠進(jìn)入讓位槽12，卡入支撐盤的第二卡槽10后替代第一支撐盤支柱4托起支撐盤即可。可選的，和圖8所示的結(jié)構(gòu)相反，也可以在中央托臂5上在與第一支撐盤支柱4對(duì)應(yīng)的位置設(shè)置有讓位槽，用于機(jī)械手在傳送基板到傳送匣中時(shí)，第一支撐盤支柱4進(jìn)入到讓位槽內(nèi)，使得第二支撐盤支柱7與第二卡槽10配合支撐支撐盤，使第一支撐盤支柱4在機(jī)械手退出傳送匣時(shí)可與第一卡槽9脫離。其中，讓位槽的形狀可以是方形，也可以是圓弧形，并不限定具體形狀，只要第一支撐盤支柱4能夠進(jìn)入讓位槽，使得第二支撐盤支柱7能夠卡入支撐盤的第二卡槽10后替代第一支撐盤支柱4托起支撐盤即可。如圖8中所示的一組第一支撐盤支柱4可以包括三個(gè)第一支撐盤支柱，這三個(gè)第一支撐盤支柱并不共線，這樣便于三個(gè)第一支撐盤支柱與第一卡槽9配合托起支撐盤，保持支撐盤的穩(wěn)定性。對(duì)應(yīng)地，一組第二支撐盤支柱7可以為一個(gè)第二支撐盤支柱，這樣，當(dāng)機(jī)械手傳送基板到傳送匣中時(shí)，第二支撐盤支柱7可以位于三個(gè)第一支撐盤支柱組成的圓環(huán)的中心位置，這樣的設(shè)計(jì)有利于各個(gè)支撐盤支柱穩(wěn)定支撐支撐盤。可選的，和圖8所示的結(jié)構(gòu)相反，也可以是一組第一支撐盤支柱4中包括一個(gè)第一支撐盤支柱，一組第二支撐盤支柱7包括三個(gè)第二支撐盤支柱，這三個(gè)第二支撐盤支柱并不共線，當(dāng)機(jī)械手傳送基板到傳送匣中時(shí)，第一支撐盤支柱4位于三個(gè)第二支撐盤支柱組成的圓環(huán)的中心位置，這樣的設(shè)計(jì)有利于各個(gè)支撐盤支柱穩(wěn)定支撐支撐盤。上述圖8中僅僅是對(duì)讓位槽、第一支撐盤支柱和第二支撐盤支柱的設(shè)置舉例，在實(shí)際應(yīng)用中，對(duì)一組第一支撐盤支柱和一組第二支撐盤支柱的個(gè)數(shù)并不做具體地限定，一組第一支撐盤支柱或一組第二支撐盤支柱也可以是對(duì)稱的兩個(gè)子支撐盤支柱，當(dāng)然也可以設(shè)置為多個(gè)，只要能穩(wěn)定支撐支撐盤即可，在此不做贅述。具體地，在本實(shí)用新型實(shí)施例中，支撐盤的截面形狀、第一卡槽9和第二卡槽10的形狀，以及共享支撐面11的形狀，可以是如圖6所示的圓形，也可以是正方形，或是三角形， 在此不做限定。較佳地，在傳送匣的第二支撐盤支柱7與第二卡槽10配合支撐住支撐盤后，支撐盤的共享支撐面11與第二基板支柱8的頂部共面。較佳地，在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的傳送匣中，每組中央托臂5和邊緣托臂6可以交叉布置，如圖5所示，也可以平行布置，即將圖5中所示的邊緣托臂6設(shè)置在平行于中央托臂5的傳送匣內(nèi)的邊緣處，這樣機(jī)械手在進(jìn)入傳送匣后，機(jī)械手的邊緣機(jī)械臂0和3)位于傳送匣的邊緣托臂的內(nèi)側(cè)，在本實(shí)用新型實(shí)施例中對(duì)中央托臂和邊緣托臂在傳送匣上具體的設(shè)置位置不做具體限定。下面以中央托臂5和邊緣托臂6交叉布置為例說明。具體地，每組中央托臂5和邊緣托臂6共同支撐一個(gè)基板，在傳送匣中可以設(shè)置有多組中央托臂5和邊緣托臂6，這樣一個(gè)傳送匣可以同時(shí)運(yùn)送多個(gè)基板。在圖5所示的支撐匣結(jié)構(gòu)示例中，一個(gè)中央托臂5和四個(gè)邊緣托臂6組成一組共同支撐一個(gè)基板，當(dāng)然每組中設(shè)置的中央托臂5和邊緣托臂6的數(shù)量和位置并不限于圖5所示的數(shù)量和位置，可以根據(jù)實(shí)際需要決定設(shè)置的數(shù)量和位置。具體地，和現(xiàn)有技術(shù)的托臂在傳送匣中的位置相比，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的傳送匣中邊緣托臂6設(shè)置在傳送匣內(nèi)則的邊緣處，使得邊緣托臂6上的第二基板支柱8與基板接觸時(shí)，產(chǎn)生的接觸點(diǎn)位于基板的邊緣區(qū)域，因此，在基板的接觸點(diǎn)上產(chǎn)生的損壞不會(huì)影響到基板的正常使用。較佳地，如圖5所示，邊緣托臂6上在與中央機(jī)械臂1和邊緣機(jī)械臂0和3)對(duì)應(yīng)的位置設(shè)置有退位槽(13和14)，機(jī)械手在傳送基板到傳送匣中后，能夠從退位槽(13和 14)退出傳送匣。其中，退位槽(13和14)的截面形狀不限于圖5所示的形狀，可以根據(jù)機(jī)械手上的中心機(jī)械臂1和邊緣機(jī)械臂O和幻的具體截面形狀而定，退位槽(13和14)的截面形狀設(shè)置成能讓機(jī)械手在傳送匣中放下基板后，順利退出傳送匣即可，在本實(shí)用新型實(shí)施例中不做具體限定。下面對(duì)使用本實(shí)用新型實(shí)施例提供的機(jī)械手在傳送匣中放入和取出基板的具體過程進(jìn)行詳細(xì)地說明機(jī)械手上的中央機(jī)械臂1的第一支撐盤支柱4托起的支撐盤和邊緣機(jī)械臂O和 3)的第一基板支柱共同支撐基板，在機(jī)械手移動(dòng)到傳送匣的其中一組中央托臂5和邊緣托臂6的上方時(shí)，向下運(yùn)動(dòng)一段距離，使得機(jī)械手的中央機(jī)械臂1和邊緣機(jī)械臂O和3)下降到退位槽(13和14)內(nèi)，在此期間，傳送匣的第二支撐盤支柱7進(jìn)入支撐盤的第二卡槽10 中與第二卡槽10配合托起支撐盤，機(jī)械手的第一支撐盤支柱4退出支撐盤的第一卡槽9，然后，機(jī)械手通過傳送匣的邊緣托臂6上的退位槽(13和14)退出傳送匣，完成在傳送匣中放入基板的過程。傳送匣上的每組中央托臂5的第二支撐盤支柱7托起的支撐盤和邊緣托臂6的第二基板支柱8共同支撐基板，在機(jī)械手通過退位槽(13和14)進(jìn)入到傳送匣其中一組中央托臂5和邊緣托臂6的下方時(shí)，機(jī)械手向上運(yùn)動(dòng)一段距離，使得傳送匣的第二支撐盤支柱7 脫離支撐盤的第二槽位10，機(jī)械手上的第一支撐盤支柱4進(jìn)入支撐盤的第一槽位9托起支撐盤，并和機(jī)械手上的第一基板支柱共同托起基板，之后，支撐基板的機(jī)械手退出傳送匣， 完成在傳送匣中取出基板的過程。其中，圖9為機(jī)械手進(jìn)入傳送匣后，兩者共同支撐支撐盤時(shí)的俯視圖，箭頭方向?yàn)闄C(jī)械手的運(yùn)動(dòng)方向。在上述整個(gè)過程中，傳送裝置在基板上留下的接觸點(diǎn)如圖10所示，基板中間位置的圓點(diǎn)為支撐盤的共享支撐面在基板上留下的接觸點(diǎn)，和圖3中在現(xiàn)有傳送裝置運(yùn)送后的基板上留下的接觸點(diǎn)相比，可以明顯的看到，在基板的有效區(qū)域上留下的接觸點(diǎn)減少了，從而可以減少運(yùn)送過程中對(duì)基板的劃傷，提高產(chǎn)品的良率。在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的上述傳送裝置中，不限定第一支撐盤支柱、第一基板支柱、第二支撐盤支柱和第二基板支柱的上表面的具體形狀，可以是圓形，可以是方形，還可以是三角形，即本實(shí)用新型實(shí)施例中不限定傳送裝置與基板的接觸點(diǎn)的具體形狀，可以根據(jù)支撐基板的具體需要設(shè)置。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種傳送裝置，支撐盤上設(shè)置第一卡槽、第二卡槽，以及用于支撐基板的共享支撐面；機(jī)械手包括中央機(jī)械臂和邊緣機(jī)械臂，中央機(jī)械臂上設(shè)置至少一組第一支撐盤支柱，用于在機(jī)械手傳送基板時(shí)與第一卡槽配合支撐支撐盤，邊緣機(jī)械臂上設(shè)置至少兩個(gè)第一基板支柱，用于支撐基板；傳送匣包括至少一組中央托臂和邊緣托臂，中央托臂上設(shè)置至少一組第二支撐盤支柱，用于在機(jī)械手傳送基板到傳送匣中后，與第二卡槽配合支撐支撐盤，使第一支撐盤支柱在機(jī)械手退出傳送匣時(shí)可與第一卡槽脫離，同組中的邊緣托臂上共設(shè)置至少兩個(gè)第二基板支柱，用于支撐基板。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的傳送裝置中，中央機(jī)械臂的第一支撐盤支柱和中央托臂的第二支撐盤支柱共享一個(gè)支撐盤，只有支撐盤會(huì)和基板的有效區(qū)域接觸，留下接觸點(diǎn)，和現(xiàn)有技術(shù)中的傳送裝置相比，減少了傳送裝置在基板的有效區(qū)域的接觸點(diǎn)，從而降低了在運(yùn)送過程中對(duì)基板有效區(qū)域劃傷的可能性，提高了制造出的產(chǎn)品良率。本實(shí)用新型實(shí)施例還提供了另一種傳送裝置，包括傳送匣、機(jī)械手和至少三個(gè)用于支撐基板的支撐盤；其中，支撐盤上設(shè)置第一卡槽、第二卡槽、以及用于支撐基板的共享支撐面；機(jī)械手包括至少一個(gè)機(jī)械臂；全部的機(jī)械臂上共設(shè)置至少三組第一支撐盤支柱， 用于在機(jī)械手傳送基板時(shí)與第一卡槽配合支撐支撐盤；傳送匣包括至少一組托臂，每組托臂包括至少兩個(gè)托臂；托臂上設(shè)置與每組第一支撐盤支柱位置對(duì)應(yīng)的第二支撐盤支柱，用于在機(jī)械手傳送基板到傳送匣中后，與第二卡槽配合支撐支撐盤，使第一支撐盤支柱在機(jī)械手退出傳送匣時(shí)可與第一卡槽脫離。具體地，在上述第二種傳送裝置中，機(jī)械手上可以設(shè)置多個(gè)機(jī)械臂，在此并不限定機(jī)械手上設(shè)置的機(jī)械臂的個(gè)數(shù)，只要在機(jī)械臂上設(shè)置的第一支撐盤支柱托起的支撐盤能夠平穩(wěn)支撐基板即可。傳送匣中包括的一組托臂，每組中的托臂位于同一平面，通過支撐盤共同支撐基板，在傳送匣中可以包括多組托臂，這樣一個(gè)傳送匣可以同時(shí)運(yùn)送多個(gè)基板。本實(shí)用新型實(shí)施例中并不限定每傳送匣中每組托臂的個(gè)數(shù)，只要托臂上的第二支撐盤支柱和機(jī)械手上的第一支撐盤支柱可以共同支撐同一支撐盤即可，這樣相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)中的傳送裝置，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的第二種傳送裝置通過機(jī)械手和傳送匣共享支撐盤支撐基板，能將和基板上的接觸點(diǎn)減少一倍。較佳地，當(dāng)機(jī)械臂上只設(shè)置三組第一支撐盤支柱時(shí)，三組第一支撐盤支柱所在的位置不共線。下面通過一個(gè)具體的實(shí)例說明本實(shí)用新型實(shí)施例提供的第二種轉(zhuǎn)送裝置中各部件的結(jié)構(gòu)。如圖11所示，為機(jī)械手進(jìn)入傳送匣后，兩者共同支撐支撐盤時(shí)的俯視圖。其中，機(jī)械手設(shè)置有兩個(gè)機(jī)械臂15，每個(gè)機(jī)械臂上設(shè)置有三組第一支撐盤支柱(圖中未示出)；傳送匣上的設(shè)置有和機(jī)械手位置對(duì)應(yīng)的兩個(gè)托臂16，每個(gè)托臂上設(shè)置有三個(gè)第二支撐盤支柱 (圖中未示出)；第一支撐盤支柱和第二支撐盤支柱對(duì)應(yīng)設(shè)置，能夠相互替代支撐同一支撐盤17，使得在整個(gè)傳送裝置運(yùn)送基板后，只有支撐盤的共享支撐面在基板上留下接觸點(diǎn)。如圖12所示為傳送裝置在基板上留下的接觸點(diǎn)，和現(xiàn)有技術(shù)中的傳送裝置在基板上留下的接觸點(diǎn)相比，可以明顯的看到，在基板的有效區(qū)域上留下的接觸點(diǎn)減少了，從而可以減少運(yùn)送過程中對(duì)基板的劃傷，提高產(chǎn)品的良率。此外，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的第二種傳送裝置中的支撐盤的具體結(jié)構(gòu)和第一種傳送裝置中的支撐盤的具體結(jié)構(gòu)相類似，在此不再贅述。較佳地，圖13為圖12中的機(jī)械手上的第一支撐盤支柱和傳送匣的第二支撐盤支柱的具體結(jié)構(gòu)圖，機(jī)械臂15上在與第二支撐盤支柱對(duì)應(yīng)的位置可以設(shè)置有讓位槽18，用于機(jī)械手在傳送基板到傳送匣中時(shí)，第二支撐盤支柱進(jìn)入到讓位槽18內(nèi)，與第二卡槽配合支撐支撐盤，使第一支撐盤支柱在機(jī)械手退出傳送匣時(shí)可與第一卡槽脫離。其中，讓位槽18 的形狀可以是方形，也可以是圓弧形，并不限定具體形狀，只要第二支撐盤支柱能夠進(jìn)入讓位槽18，使得第二支撐盤支柱能夠卡入支撐盤的第二卡槽后替代第一支撐盤支柱托起支撐盤即可。可選的，和圖13所示的結(jié)構(gòu)相反，也可以為托臂16上在與第一支撐盤支柱對(duì)應(yīng)的位置設(shè)置有讓位槽，當(dāng)機(jī)械手在傳送基板到傳送匣中時(shí)，第一支撐盤支柱進(jìn)入到讓位槽內(nèi)， 第二支撐盤支柱與第二卡槽配合支撐支撐盤，使第一支撐盤支柱在機(jī)械手退出傳送匣時(shí)可與第一卡槽脫離。讓位槽的形狀可以是方形，也可以是圓弧形，并不限定具體形狀，只要第一支撐盤支柱能夠進(jìn)入讓位槽，使得第二支撐盤支柱能夠卡入支撐盤的第二卡槽后替代第一支撐盤支柱托起支撐盤即可。較佳地，機(jī)械臂15上的一組第一支撐盤支柱的具體結(jié)構(gòu)可以如圖13所示，包括三個(gè)第一支撐盤支柱(圖13中的虛線處)，這三個(gè)第一支撐盤支柱并不共線，這樣便于三個(gè)第一支撐盤支柱與第一卡槽配合托起支撐盤，保持支撐盤的穩(wěn)定性。對(duì)應(yīng)地，一組第二支撐盤支柱可以為一個(gè)第二支撐盤支柱，這樣，當(dāng)機(jī)械手傳送基板到傳送匣中時(shí)，第二支撐盤支柱位于三個(gè)第一支撐盤支柱組成的圓環(huán)的中心位置，這樣的設(shè)計(jì)有利于各個(gè)支撐盤支柱穩(wěn)定支撐支撐盤?？蛇x的，和圖13所示的結(jié)構(gòu)相反，也可以是一組第一支撐盤支柱中包括一個(gè)第一支撐盤支柱，一組第二支撐盤支柱總包括三個(gè)第二支撐盤支柱，這三個(gè)第二支撐盤支柱并不共線，當(dāng)機(jī)械手傳送基板到傳送匣中時(shí)，第一支撐盤支柱位于三個(gè)第二支撐盤支柱組成的圓環(huán)的中心位置，這樣的設(shè)計(jì)有利于各個(gè)支撐盤支柱穩(wěn)定支撐支撐盤。在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的上述傳送裝置中，不限定第一支撐盤支柱、第一基板支柱的上表面的具體形狀，可以是圓形，可以是方形，還可以是三角形，此外，本實(shí)用新型實(shí)施例中不限定傳送裝置中的支撐盤與基板的接觸點(diǎn)的具體形狀，可以根據(jù)支撐基板的具體需要設(shè)置。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的另一種傳送裝置，支撐盤上設(shè)置第一卡槽、第二卡槽、以及用于支撐基板的共享支撐面；機(jī)械手包括至少一個(gè)機(jī)械臂，機(jī)械臂上設(shè)置至少三組第一支撐盤支柱，用于在機(jī)械手傳送基板時(shí)與第一卡槽配合支撐所述支撐盤；傳送匣包括至少一組托臂，每組托臂包括至少兩個(gè)托臂，托臂上設(shè)置與每組第一支撐盤支柱位置對(duì)應(yīng)的第二支撐盤支柱，用于在機(jī)械手傳送基板到傳送匣中后，與第二卡槽配合支撐支撐盤，使第一支撐盤支柱在機(jī)械手退出傳送匣時(shí)可與第一卡槽脫離。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的傳送裝置中，機(jī)械臂的第一支撐盤支柱和托臂的第二支撐盤支柱共享一個(gè)支撐盤，只有支撐盤會(huì)和基板的有效區(qū)域接觸，留下接觸點(diǎn)，和現(xiàn)有技術(shù)中的傳送裝置相比，減少了傳送裝置在基板的有效區(qū)域的接觸點(diǎn)，從而降低了在運(yùn)送過程中對(duì)基板有效區(qū)域劃傷的可能性，提高了制造出的產(chǎn)品良率。 顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1 一種傳送裝置，其特征在于，包括傳送匣、機(jī)械手和至少一個(gè)支撐盤；其中，所述支撐盤上設(shè)置第一卡槽、第二卡槽、以及用于支撐基板的共享支撐面；所述機(jī)械手包括中央機(jī)械臂和邊緣機(jī)械臂；所述中央機(jī)械臂上設(shè)置至少一組第一支撐盤支柱，用于在所述機(jī)械手傳送基板時(shí)與所述第一卡槽配合支撐所述支撐盤；所述邊緣機(jī)械臂上設(shè)置至少兩個(gè)第一基板支柱，用于支撐基板；所述傳送匣包括至少一組中央托臂和邊緣托臂；所述中央托臂上設(shè)置至少一組第二支撐盤支柱，用于在所述機(jī)械手傳送基板到所述傳送匣中后，與所述第二卡槽配合支撐所述支撐盤，使所述第一支撐盤支柱在機(jī)械手退出傳送匣時(shí)可與所述第一卡槽脫離；同組中的所述邊緣托臂上共設(shè)置至少兩個(gè)第二基板支柱，用于支撐基板。
2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述中央機(jī)械臂上在與所述第二支撐盤支柱對(duì)應(yīng)的位置設(shè)置有讓位槽，用于所述機(jī)械手在傳送基板到所述傳送匣中時(shí)，所述第二支撐盤支柱進(jìn)入到所述讓位槽內(nèi)，與所述第二卡槽配合支撐所述支撐盤，使所述第一支撐盤支柱在機(jī)械手退出傳送匣時(shí)可與所述第一卡槽脫離；或所述中央托臂上在與所述第一支撐盤支柱對(duì)應(yīng)的位置設(shè)置有讓位槽，用于所述機(jī)械手在傳送基板到所述傳送匣中時(shí)，所述第一支撐盤支柱進(jìn)入到所述讓位槽內(nèi)，所述第二支撐盤支柱與所述第二卡槽配合支撐所述支撐盤，使所述第一支撐盤支柱在機(jī)械手退出傳送匣時(shí)可與所述第一卡槽脫離。
3.如權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，一組所述第一支撐盤支柱中包括三個(gè)第一支撐盤支柱，一組第二支撐盤支柱包括一個(gè)第二支撐盤支柱，當(dāng)所述機(jī)械手傳送基板到所述傳送匣中時(shí)，所述第二支撐盤支柱位于所述三個(gè)第一支撐盤支柱組成的圓環(huán)的中心位置；或一組所述第一支撐盤支柱中包括一個(gè)第一支撐盤支柱，一組第二支撐盤支柱包括三個(gè)第二支撐盤支柱，當(dāng)所述機(jī)械手傳送所述基板到傳送匣中時(shí)，所述第一支撐盤支柱位于所述三個(gè)第二支撐盤支柱組成的圓環(huán)的中心位置。
4.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述中央托臂和所述邊緣托臂交叉布置。
5.如權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，所述邊緣托臂上在與所述中央機(jī)械臂和所述邊緣機(jī)械臂對(duì)應(yīng)的位置設(shè)置有退位槽，用于所述機(jī)械手傳送基板到所述傳送匣中后，從所述退位槽退出所述傳送匣。
6.如權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述第一支撐盤支柱與所述第一卡槽配合支撐所述支撐盤后，所述支撐盤的共享支撐面與所述第一基板支柱的頂部共面。
7.如權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述第二支撐盤支柱與所述第二卡槽配合支撐所述支撐盤后，所述支撐盤的共享支撐面與所述第二基板支柱的頂部共面。
8.如權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，當(dāng)所述機(jī)械手只有一組第一支撐盤支柱和兩個(gè)第一基板支柱時(shí)，所述第一支撐盤支柱和所述兩個(gè)第一基板支柱所在的位置不共線。
9.一種傳送裝置，其特征在于，包括傳送匣、機(jī)械手和至少三個(gè)支撐盤；其中，所述支撐盤上設(shè)置第一卡槽、第二卡槽、以及用于支撐基板的共享支撐面；所述機(jī)械手包括至少一個(gè)機(jī)械臂；所述至少一個(gè)機(jī)械臂上共設(shè)置至少三組第一支撐盤支柱，用于在所述機(jī)械手傳送基板時(shí)與所述第一卡槽配合支撐所述支撐盤；所述傳送匣包括至少一組托臂，每組托臂包括至少兩個(gè)托臂；所述托臂上設(shè)置與每組所述第一支撐盤支柱位置對(duì)應(yīng)的第二支撐盤支柱，用于在所述機(jī)械手傳送基板到所述傳送匣中后，與所述第二卡槽配合支撐所述支撐盤，使所述第一支撐盤支柱在機(jī)械手退出傳送匣時(shí)可與所述第一卡槽脫離。
10.如權(quán)利要求9所述的裝置，其特征在于，所述機(jī)械臂上在與所述第二支撐盤支柱對(duì)應(yīng)的位置設(shè)置有讓位槽，用于所述機(jī)械手在傳送基板到所述傳送匣中時(shí)，所述第二支撐盤支柱進(jìn)入到所述讓位槽內(nèi)，與所述第二卡槽配合支撐所述支撐盤，使所述第一支撐盤支柱在機(jī)械手退出傳送匣時(shí)可與所述第一卡槽脫離；或所述托臂上在與所述第一支撐盤支柱對(duì)應(yīng)的位置設(shè)置有讓位槽，用于所述機(jī)械手在傳送基板到所述傳送匣中時(shí)，所述第一支撐盤支柱進(jìn)入到所述讓位槽內(nèi)，所述第二支撐盤支柱與所述第二卡槽配合支撐所述支撐盤，使所述第一支撐盤支柱在機(jī)械手退出傳送匣時(shí)可與所述第一卡槽脫離。
11.如權(quán)利要求10所述的裝置，其特征在于，一組所述第一支撐盤支柱中包括三個(gè)第一支撐盤支柱，一組第二支撐盤支柱包含一個(gè)第二支撐盤支柱，當(dāng)所述機(jī)械手傳送基板到所述傳送匣中時(shí)，所述第二支撐盤支柱位于所述三個(gè)第一支撐盤支柱組成的圓環(huán)的中心位置；或一組所述第一支撐盤支柱包括一個(gè)第一支撐盤支柱，一組第二支撐盤支柱中包括三個(gè)第二支撐盤支柱，當(dāng)所述機(jī)械手傳送基板到所述傳送匣中時(shí)，所述第一支撐盤支柱位于所述三個(gè)第二支撐盤支柱組成的圓環(huán)的中心位置。
12.如權(quán)利要求9-11任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，當(dāng)所述機(jī)械臂上只設(shè)置三組第一支撐盤支柱時(shí)，所述三組第一支撐盤支柱所在的位置不共線。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種傳送裝置，包括機(jī)械手、傳送匣和支撐盤，機(jī)械手上的中央機(jī)械臂的第一支撐盤支柱和傳送匣上的中央托臂的第二支撐盤支柱共享一個(gè)支撐盤，僅支撐盤和基板的有效區(qū)域接觸，留下接觸點(diǎn)，和現(xiàn)有技術(shù)中的傳送裝置相比，減少了傳送裝置在基板的有效區(qū)域的接觸點(diǎn)，從而降低了在運(yùn)送過程中對(duì)基板有效區(qū)域劃傷的可能性，提高了制造出的產(chǎn)品良率。
文檔編號(hào)B65G47/74GK202321624SQ20112048631
公開日2012年7月11日 申請(qǐng)日期2011年11月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月29日
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