專利名稱：表膜收納容器的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及用于收納表膜的表膜收納容器，尤其是涉及鋪展后的表膜用膜的面積為IOOOcm2以上的大型表膜用的表膜收納容器，該表膜用于制造構成LSI、液晶顯示器 (LCD)的薄膜晶體管(TFT)、濾色器(CF)等時的光刻工序中，被用來防止異物附著在光掩模、光罩(reticle)上。
背景技術：
雖然本實用新型是關于表膜的收納容器的技術，但首先對于表膜進行說明。以往，在制造半導體裝置、液晶顯示器等的微細電路圖案時的光刻工序中，通常采用被稱作表膜的防塵部件來防止異物向光掩模、光罩的附著。表膜是以如下方式構成的例如將表膜用膜張設、粘接在表膜框體(以下也稱為 “表膜框架”。)的上緣面上，然后在該表膜框體的下緣面涂敷粘合材料而形成掩模用粘合材料層，且以規(guī)定的粘接力使保護膜粘合在該掩模用粘合材料層上。其中，上述表膜用膜是厚度為ΙΟμπι以下的硝酸纖維素、纖維素衍生物或者含氟聚合物等透明的高分子膜，上述表膜框體具有與光掩?；蛘吖庹值男螤钕嗯浜系男螤睿摫砟た蝮w的厚度和寬度為數(shù)毫米左右ο該掩模用粘合材料層是用于將表膜粘著在光掩?；蛘吖庹稚系牟牧蠈?，另外，保護膜是為了在掩模用粘合材料層發(fā)揮上述作用之前維持粘合材料的粘接力而保護掩模用粘合材料層的粘接面的保護膜。通常，這樣的表膜自制造表膜的廠商(以下也稱為“制造者”)供應給制造光掩模或者光罩(以下也稱為“掩模等”。)的廠商(以下也稱為“使用者”。)。在使用者那里，在將表膜粘貼到掩模等上之后，將被表膜所保護的掩模等供應給半導體廠商、液晶面板廠商等進行光刻的廠商。在將該表膜自制造者搬送給使用者的過程中，一般情況下，為了防止異物附著在表膜上，或者防止表膜受損，而將該表膜收納到由蓋和用于載置該表膜的托盤構成的表膜收納容器內，然后將該表膜收納容器收納到防塵袋等中來進行搬運。不過，對于表膜收納容器來說，需要具有用于使塵埃不會附著到表膜上的密封性。 另外，對于表膜收納容器來說，為了防止蓋與表膜用膜相接觸而將表膜用膜弄臟或損壞，要求表膜收納容器具有能夠可靠地保持與表膜用膜的非接觸狀態(tài)的保持性。表膜收納容器通常是通過將ABS、丙烯等樹脂注塑成型或者真空成形而制造的。利用上述成形方法是因為其具有如下優(yōu)點所成形的表膜收納容器的表面平滑，附著異物、塵埃的可能性小；由于一體成形，所以沒有接縫，因而灰塵、異物進入的可能性??；還能夠容易地制造復雜形狀的表膜收納容器；批量生產性優(yōu)異、能夠實現(xiàn)低成本化。對于主要用于液晶用表膜的、一邊超過了 500mm那樣的大型的表膜收納容器，一般使用將ABS、丙烯樹脂等合成樹脂薄片真空成形而成的容器。這是因為，在自1處或者多處澆口將樹脂高速注入到金屬模內的注塑成型中，由于樹脂的流動距離過長，所以在制法上有困難。相對于此，在真空成形中，僅通過將加熱后的樹脂薄片蓋在金屬模上并進行真空抽吸就能夠形成表膜收納容器，因此，能夠容易地成形出大型的表膜收納容器。但是，在真空成形的情況下，存在如下問題無法成形出厚壁的容器，而且，雖然能夠利用加強筋實現(xiàn)某種程度的加固，但基本上只是彎折相同板厚的薄片，所以難以制作出高剛性的容器。因此，針對表膜收納容器，需要利用某些方法來抑制蓋、表膜載置臺的變形。因此，本申請人提出如下技術通過在托盤或者蓋的至少一方上安裝加固板而抑制表膜收納容器的變形、防止由于局部性地向掩模用粘合材料層的一部分施加重量而產生使內外連通的縫隙(air pass:使內外連通的縫隙)或者由于卷曲、撓曲而使托盤、蓋與表膜相接觸(參照專利文獻1)。另外，本申請人還提出如下技術通過在托盤或者蓋的至少一方上設置加強筋而抑制表膜收納容器在搬運過程中因高溫而導致蓋、托盤卷曲等所引起的變形，防止異物進入(參照專利文獻2)。另外，作為不采用加固件的方法，提出了如下一種表膜收納容器通過在托盤上設置橫切托盤外形對角線且不與其他加強筋相交叉的多條加強筋而尤其提高了扭曲方向的剛性(參照專利文獻3)。另外，提出了如下一種表膜收納容器通過在托盤的用于載置表膜框架的載置臺的外側或者內側的任意一方設置臺階部，且將表膜框架載置于比臺階部低的位置上，而使表膜在輸送過程中不易活動，降低了表膜框架底面的粘合材料卷縮的危險性(參照專利文獻4)。專利文獻1 日本特開2005-49765號公報專利文獻2 日本特開2000-173887號公報專利文獻3 日本特開2008-139417號公報專利文獻4 日本特開2007-47238號公報如上述那樣，表膜收納容器通常是通過將ABS、丙烯等樹脂注塑成型或者真空成形而制造的。因此，在以往的用其他加固板來提高剛性的情況下，雖然能夠獲得足夠的剛性，但重量會增加，因此，存在如下問題表膜用膜的面積越大，為了確保足夠的剛性，加固板就越變得比容器主體還重。而且，不僅需要加固板本身，還需要用于將加固板連結到容器主體上的零件，此外，還需要用以將該零件組裝到容器主體上的工時，因此，與僅使用容器主體的情況相比，成本大幅度增加。另外，在以往的、不是利用加固板而用加強筋來提高剛性的情況下，能夠降低上述那樣的重量增加的問題。但是，若如專利文獻2所示地將加強筋的形狀形成為沿連結外形對角線方向而設成的X字型，則由于加強筋上存在交叉部，而可能會導致扭曲方向的剛性極度下降、托盤會沿任意一方的對角線扭轉，以對頂點接近的方式彎曲。另外，雖然專利文獻3那樣的加強筋的配置能夠有效地提高托盤在傾斜的扭曲方向上的剛性，但是，由于加強筋的頂點附近存在于邊的中央附近，或者加強筋不存在于邊的中央附近，因此，存在如下問題在搬挪托盤時，在用人手搬運兩短邊側或兩長邊側的嵌合部附近，或者用叉車移動中央附近等情況下，對于邊的中央附近產生應力的邊而言，有向垂直的折痕方向的剛性減弱的傾向。另外，在向掩模粘貼大型表膜時利用自動取膜機的情況下，需要吸附把持托盤的底面，因此，有托盤的底面最好比較平整的傾向。相對于此，若如專利文獻3所示地配置加強筋，則表膜收納容器越大型化，越需要設置多條加強筋，所以存在比較平整的面減少、難以吸附保持托盤的底面的這一問題。此外，專利文獻4中所示的表膜收納容器僅在載置臺的外側或者內側這兩者中的某一方具有臺階部，因此，在將外力施加到整個表膜收納容器上的情況下，無法維持表膜的載置臺平坦性、無法防止在搬運表膜時產生的表膜用膜的褶皺(相當于后述的比較例1)。根據(jù)上述情況，例如，在用于收納張設后的表膜用膜的面積(以下也簡稱為“面積”)超過5000cm2到達8000cm2，甚至達到IOOOOcm2以上的那樣的大型表膜的表膜收納容器的情況下，無法不使用加固體而僅靠表膜容器主體獲得足夠的剛性和底面的平面性、以防止表膜用膜的褶皺的產生。

實用新型內容因此，為了解決上述問題，本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)一種表膜收納容器能夠解決上述問題，以致想到了本實用新型，該表膜收納容器具有托盤中央底面、自該托盤中央底面向上部側隆起并用于載置表膜的大致多邊環(huán)狀的載置臺、自該載置臺的外周緣向水平方向延伸的外延部，在該托盤中央底面和該載置臺之間以及該載置臺和該外延部之間分別具有緩沖部。S卩，本實用新型的表膜收納容器具有托盤和蓋，該托盤用于載置表膜，該表膜在表膜框體的一緣面上張設有表膜用膜，該蓋自該托盤的上部進行覆蓋，其特征在于，該托盤具有托盤中央底面、自該托盤中央底面向上部側隆起并用于載置表膜的大致多邊環(huán)狀的載置臺、自該載置臺的外周緣向水平方向延伸的外延部，在該托盤中央底面和該載置臺之間以及該載置臺和該外延部之間分別具有緩沖部。此外，優(yōu)選該托盤中央底面和該載置臺之間的緩沖部是在與該托盤中央底面和該載置臺不同的高度上分成兩個以上的臺階的臺階部，該載置臺和該外延部之間的緩沖部是在與該載置臺和該外延部不同的高度上分成兩個以上的臺階的臺階部。此外，優(yōu)選該托盤中央底面與該載置臺之間的緩沖部的、形成于該載置臺的角部附近的部分的面積向該托盤中央底面方向增大而相對變大。此外，優(yōu)選該托盤中央底面與該載置臺之間的緩沖部的、形成于該載置臺的角部附近的部分自該托盤中央底面向該表膜框體的該載置臺方向立起，并且具有橫切該托盤外形對角線的垂直面。此外，優(yōu)選在該托盤中央底面的該載置臺附近形成有上述表膜框體的高度方向的第二臺階部。根據(jù)本實用新型的表膜收納容器，即使不采用加固板也能夠確保表膜收納容器的剛性，尤其是能夠確保載置臺的剛性和平坦性，因此，能夠防止在搬運表膜時發(fā)生表膜褶皺的情況。

圖1是表示第1實施方式的表膜收納容器整體結構的概略剖視圖。圖2是表示圖1所示的表膜收納容器的托盤的概略主視圖。圖3是圖2所示的III-III線剖視圖。[0036]圖4是表示第2實施方式的表膜收納容器整體結構的概略剖視圖。圖5是表示圖4所示的表膜收納容器的托盤的概略主視圖。圖6是圖5所示的VI-VI線剖視圖。圖7是用于說明形成于第1水平面部15b的角部A上的大致三角形狀的尺寸等的圖。
具體實施方式
第1實施方式下面，參照附圖來說明本實用新型的優(yōu)選實施方式。圖1是表示第1實施方式的表膜收納容器整體結構的概略剖視圖。圖2是表示圖1所示的表膜收納容器的托盤的概略主視圖。圖3是圖2所示的III-III線剖視圖。另外，在所有圖中，對于同一或相當?shù)牟糠謽俗⑼桓綀D標記。收納容器如圖1所示，表膜收納容器1由用于載置表膜4的托盤2、蓋在托盤2的頂面上并覆蓋托盤2頂面的蓋3構成。而且，托盤2和蓋3由粘合帶等(未圖示)密封固定或者由夾具等(未圖示)連結件固定。被收納在表膜收納容器1中的表膜4包括與光掩模、光罩等(未圖示)的形狀相配合的大致多邊環(huán)狀的表膜框架4b、張設、粘接在表膜框架4b的上緣面的表膜用膜如、涂敷在表膜框架4b下緣面上的掩模用粘合材料層如。表膜用膜如是厚度為10 μ m以下的硝化纖維素、纖維素衍生物或者含氟聚合物等透明的高分子膜。表膜框架4b是具有與光掩模、光罩等(未圖示)的形狀相配合的形狀、且厚度和寬度為數(shù)毫米左右的表膜框體。掩模用粘合材料層4c是涂敷有粘合材料的層，為了維持粘合材料的粘接力，而在掩模用粘合材料層4c的表面上粘接有保護膜。因此，表膜框架4b的高度方向是指將表膜用膜如上提的表膜框架4b的厚度方向，在圖1中表示上下方向。托盤2和蓋3的材質優(yōu)選為工程塑料、增強塑料、金屬等。從輕量化、成型性的觀點出發(fā)，多選擇塑料材料，可以采用丙烯樹脂、丙烯腈樹脂、聚碳酸酯樹脂、聚對苯二甲酸乙二醇脂樹脂、丙烯腈· 丁二烯·苯乙烯樹脂等。此外，關于托盤2和蓋3的材質，除上述樹脂之外，還可以采用聚對苯二甲酸乙二醇脂之外的聚酯樹脂、聚乙烯、聚丙烯等烯烴類樹脂、 聚苯乙烯、丙烯腈·苯乙烯樹脂等聚苯乙烯類樹脂等。為了防止由靜電引起的異物附著，可以對上述樹脂賦予制電性。另外，也可以采用纖維增強塑料。在選擇金屬的情況下，從輕量化的觀點出發(fā)，可以采用鋁、鋁合金、鎂合金等?？梢圆捎蒙鲜龅牟馁|，通過真空成形、注塑成型、或者粘結等裝配方法來制造托盤 2和蓋3。尤其是，在采用大型的托盤2、蓋3的情況下，優(yōu)選利用真空成形來制造托盤2和蓋3。優(yōu)選托盤2、蓋3的壁厚為Imm 10mm。托盤2和蓋3的尺寸根據(jù)被收納的表膜4的大小而設定，且具有比所收納的表膜 4稍大的尺寸。另外，為了易于確認內部的情況，優(yōu)選蓋3是透明或者半透明的，為了易于確認所附著的異物，優(yōu)選托盤2是黑色的。托盤2和蓋3彼此的周緣部相嵌合，為了防止異物從外部進入，優(yōu)選托盤2和蓋3之間的間隙越窄越好。如圖2和圖3所示，托盤2包括在與蓋3相對的一側具有開口部的托盤中央底面 5、用于載置表膜4的載置臺6、用于與蓋3相嵌合的嵌合部7。載置臺的緩沖部載置臺6自托盤中央底面5的周圍向托盤2的頂面?zhèn)?，即載置有表膜4的一側隆起。而且，載置臺6在表膜框架4b的高度方向上具有緩沖部，表膜4載置于載置臺6上隆起的最高的水平部分13上。在此，作為緩沖部只要是加強筋、分成兩個以上的臺階的臺階部等能夠吸收外力以使得施加到整個收納殼體上的外力不會直接波及到載置臺的結構，就能起到本實用新型的效果，因此對于緩沖部沒有特別限定。在載置臺6的托盤2外緣側形成有第一垂直面部14a，其自水平部分13沿大致垂直方向下方向下延伸；第一水平面部15a，其自第一垂直面部1 的下端朝向托盤2的外緣方向大致水平地延伸；第二垂直面部16a，其自第一水平面部1 的前端進一步沿大致垂直方向下方向下延伸且與嵌合部7連續(xù)。另外，在載置臺6的托盤中央底面5側形成有第一垂直面部14b，其自水平部分 13沿大致垂直方向下方向下延伸；第一水平面部15b，其自第一垂直面部14b的下端朝向托盤2的中心方向(托盤中央底面5側)大致水平地延伸；第二垂直面部16b，其自第一水平面部15b的前端進一步沿大致垂直方向下方向下延伸且與托盤中央底面5連續(xù)。如此，由水平部分13、第一垂直面部14a、第一水平面部1 和第二垂直面部16a 在載置臺6的托盤2外緣側形成表膜框架4b的高度方向的緩沖部8，由水平部分13、第一垂直面部14b、第一水平面部1 和第二垂直面部16b在載置臺6的托盤中央底面5側形成表膜框架4b的高度方向的緩沖部9。另外，第一垂直面部14a，14b、第二垂直面部16a，16b、第一水平面部15a，15b的長度是根據(jù)表膜的大小而變動的，可以彼此相同，也可以不同。此外，優(yōu)選該托盤中央底面5與該載置臺6之間的緩沖部8的、形成于該載置臺6 的角部6a附近的部分的面積向該托盤中央底面方向增大而相對變大。通過將托盤中央底面5與該載置臺6之間的緩沖部8的、形成于該載置臺6的角部附近的部分的面積配置為向該托盤中央底面方向變大，能夠提高表膜收納容器的扭曲方向的剛性。由此，將第二垂直面部16b配置在將托盤2外形的對角線橫切的位置上，以使得第一水平面部15b的配置在載置臺6的角部6a附近的4個角部A呈大致三角形狀。即，對于緩沖部9來說，將第一水平面部15b的配置在載置臺6的角部6a附近的角部A形成為大致三角形狀，并且，將第二垂直面部16b配置在與托盤2外形的對角線相交叉的位置上。通過以上述方式形成緩沖部 9，能夠提高針對托盤2的扭曲的剛性而且能夠確保載置臺6的平坦性。另外，在將第二垂直面部16b配置在與托盤2外形對角線相交叉的位置時，第二垂直面部16b可以構成在能夠發(fā)揮提高針對托盤2的扭曲的剛性且確保載置臺6的平坦性的效果的范圍內，不要求必須具有嚴格的垂直性。在此，參照圖7，對于形成于第一水平面部15b的角部A上的大致三角形狀的尺寸等進行說明。如圖7所示，將托盤2外形的長邊的長度設為X、將形成于角部A上的大致三角形狀的、與托盤2外形的長邊平行的邊的長度設為χ。在這種情況下，三角形狀的、與托盤2外形長邊平行的邊的長度χ相對于托盤2外形長邊的長度X的比例(χ/Χ)優(yōu)選為0. 5 50 %，更優(yōu)選為1 45 %，更進一步優(yōu)選為3 40 %，更進一步優(yōu)選為5 30 %，更進一步優(yōu)選為8 25%，最優(yōu)選為10 20%。如此，若將三角形狀的、與托盤2外形長邊平行的邊的長度χ相對于托盤2外形長邊的長度X的比例設定在這樣的范圍內，則尤其能夠提高剛性。因此，在本實施方式中，將三角形狀的、與托盤2外形長邊平行的邊的長度χ相對于托盤2外形長邊的長度X的比例(χ/Χ)設定為14%。另外，將托盤2外形的短邊的長度設為Y、將形成于角部A上的大致三角形狀的、 與托盤2外形的短邊平行的邊的長度設為y。在這種情況下，三角形狀的、與托盤2外形短邊平行的邊的長度y相對于托盤2外形短邊的長度Y的比例(y/Y)優(yōu)選為0.5 50%，更優(yōu)選為1 45%，更進一步優(yōu)選為3 40%，更進一步優(yōu)選為10 40%、最優(yōu)選為15 35%。如此，若將三角形狀的、與托盤2外形短邊平行的邊的長度y相對于托盤2外形短邊的長度Y的比例設定在這樣的范圍內，則尤其能夠提高剛性。因此，在本實施方式中，將三角形狀的、與托盤2外形短邊平行的邊的長度y相對于托盤2外形短邊的長度Y的比例(y/ Y)設定為17.5%另外，優(yōu)選托盤2外形的對角線與第二垂直面部16b所成的角度為30 110°，更優(yōu)選為70 100°，最優(yōu)選為90°。另外，優(yōu)選形成于載置臺6上的緩沖部是相對于載置臺沿垂直方向形成的1級以上的臺階，由于載置臺6自身狹窄而優(yōu)選為1 3級。從形成性等的關系出發(fā)，優(yōu)選形成于載置臺6上的緩沖部是相對于載置臺沿垂直方向形成的1 3級的臺階。另外，由于形成于載置臺6上的緩沖部形成在載置臺6的兩側，因此，平衡性好、剛性也高。而且，水平部分13的平坦性也優(yōu)異。水平部分13是用于載置表膜框架4b的場所， 所以若水平部分13的平坦性變差，則掩模用粘合材料層4c的粘合材料會隨著水平部分13 的平坦性的變差而變形，而往往會在向掩模粘貼時產生使內外連通的縫隙等問題。曲率半徑此外，優(yōu)選將水平部分13和第一垂直面部14a間、第一垂直面部14a和第一水平面部15a間、第一水平面部15a和第二垂直面部16a間、第二垂直面部16a和嵌合部7間、水平部分13和第一垂直面部14b間、第一垂直面部14b和第一水平面部15b間、第一水平面部 15b和第二垂直面部16b間、第二垂直面部16b和托盤中央底面5間都形成為具有規(guī)定的曲率半徑的連接構造。若上述部分以直角相連接，則應力有向頂點集中的傾向，因此，集中應力會作用到該連接部分。相對于此，通過使該連接部分多少具有曲率半徑，能夠實現(xiàn)應力的分散，且對成形時的樹脂的流動、脫模也有效。對于曲率半徑，優(yōu)選為0.5mm以上。曲率半徑的上限也根據(jù)載置臺6的大小來適當?shù)卦O置最佳范圍，只要在300mm以下即可，在200mm 以下更好，進一步優(yōu)選在IOOmm以下。其中，優(yōu)選為2mm 30mm，更優(yōu)選為2mm 20mm，進一步優(yōu)選為2mm 15mm。此外，對于上述緩沖部所成的角度，沒有限定為必須是90°，可以適當進行設定，從制造托盤2的觀點等出發(fā)，也可以將上述的角度形成為鈍角。嵌合部嵌合部7包括自載置臺6的外周緣向水平方向延伸的外延部7a、自外延部7a的周端部向上方延伸的最外延部7b。而且，該嵌合部7呈與蓋3對應的形狀，在將蓋3蓋在托盤2上時，嵌合部7能夠與蓋3貼緊。另外，嵌合部7還可以具有自最外延部7b的周端部向外方延伸的緣部(未圖示)。若將最外延部7b的高度設為在將載置臺6的自外延部7a開始的高度設為1時的 0.7倍以上，進而為1倍以上，則能夠進一步提高容器的剛性。若從搬運(hand ling)性、容器的使用性出發(fā)，優(yōu)選將3倍以下作為上限值。在未使用加固件的情況下，有時會發(fā)生嵌合部7隨著時間的經(jīng)過而卷曲、導致平坦性變差的情況，但通過在載置臺6附近設置緩沖部和將最外延部7b的高度設在上述范圍中，能夠進一步抑制該卷曲。第二實施方式接下來，參照圖4和圖5來說明第2實施方式的表膜收納容器。圖4是表示第2 實施方式的表膜收納容器整體結構的概略剖視圖。圖5是表示圖4所示的表膜收納容器的托盤的概略主視圖。圖6是圖5所示的VI-VI線剖視圖。收納容器表膜收納容器21基本上與第1實施方式的表膜收納容器1相同，僅是托盤的形狀與第1實施方式的表膜收納容器1的托盤的形狀不同。因此，下面僅說明與第1實施方式的表膜收納容器1不同的部分，對于其他部分的說明從略。如圖4所示，表膜收納容器21由用于載置表膜4的托盤22和用于覆蓋托盤22的頂面的蓋3構成。而且，托盤2和蓋3由粘合帶等(未圖示)密封固定或者由夾具等(未圖示)連結件固定。如圖5和圖6所示，托盤22包括在與蓋3相對的一側具有開口部的托盤中央底面25、用于載置表膜4的載置臺26、用于與蓋3相嵌合的嵌合部27。托盤中央底面的第二臺階部為了不對自動取膜而吸附托盤底面產生影響，在托盤中央底面25上，在表膜框架 4b的高度方向上形成有一對第二臺階部37。第二臺階部37是配置在載置臺沈的長邊側附近的大致三角形狀的凹坑，且形成有自托盤中央底面25沿垂直方向下方向下延伸的垂直面部37a、與垂直面部37a的下端緣相連接的平面狀的底面部37b。載置臺的緩沖部載置臺沈自托盤中央底面25的周緣向用于載置表膜4的一側隆起。而且，載置臺26在表膜框架4b的高度方向上具有緩沖部，表膜4載置于載置臺沈上的隆起的最高的水平部分33上。在載置臺沈的托盤22外緣側形成有第一垂直面部34a，其自水平部分33沿大致垂直方向下方向下延伸；第一水平面部35a，其自第一垂直面部34a的下端朝向托盤22的外緣方向大致水平地延伸；第二垂直面部36a，其自第一水平面部3 的前端進一步沿大致垂直方向下方向下延伸且與嵌合部27連續(xù)。另外，在載置臺沈的托盤中央底面25側形成有第一垂直面部34b，其自水平部分33沿大致垂直方向下方向下延伸；第一水平面部35b，其自第一垂直面部34b的下端朝向托盤22的中心方向(托盤中央底面25側)大致水平地延伸；第二垂直面部36b，其自第一水平面部35b的前端進一步沿大致垂直方向下方向下延伸且與托盤中央底面25連續(xù)。如此，水平部分33、第一垂直面部34a、第一水平面部3 和第二垂直面部36a在載置臺26的托盤22外緣側形成表膜框架4b的高度方向的緩沖部觀，水平部分33、第一垂直面部34b、第一水平面部3 和第二垂直面部36b在載置臺沈的托盤中央底面25側形成表膜框架4b的高度方向的緩沖部四。此外，將第二垂直面部36b配置在將托盤22外形的對角線橫切的位置上，以使得第一水平面部35b的配置在載置臺沈的角部附近的4個角部B呈大致三角形狀。在此，形成于第一水平面部35b的角部B上的大致三角形狀的尺寸等的范圍基本上與在第1實施方式中所說明的、形成于第一水平面部15b的角部A上的大致三角形狀的尺寸等的范圍相同(參照圖7)。在此，在第2實施方式中，將三角形狀的、與托盤22外形長邊平行的邊的長度χ相對于托盤22外形長邊的長度X的比例(χ/Χ)設為15%，將三角形狀的、與托盤22外形短邊平行的邊的長度y相對于托盤22外形短邊的長度Y的比例(y/Y) 設為33%。而且，載置臺沈的長邊側僅形成有第一垂直面部34b，未形成第一水平面部3 和第二垂直面部36b。S卩，對于緩沖部四來說，將第一水平面部35b的配置在載置臺沈的角部附近的角部B形成為大致三角形狀，并且，將第二垂直面部36b配置在與托盤22外形的對角線相交叉的位置上。此外，雖然未在載置臺26的長邊側設置緩沖部四，但代替緩沖部四地在托盤中央底面25的載置臺沈附近設置了第二臺階部37。另外，如此，在載置臺沈的長邊側上，可以僅在一側上設置第二臺階部，也可以在兩側上都設置第二臺階部。曲率半徑此外，優(yōu)選不僅將水平部分33和第一垂直面部34a間、第一垂直面部3 和第一水平面部35a間、第一水平面部3 和第二垂直面部36a間、第二垂直面部36a和嵌合部 27間、水平部分33和第一垂直面部34b間、第一垂直面部34b和第一水平面部35b間、第一水平面部3 和第二垂直面部36b間、第二垂直面部36b和托盤中央底面25間都形成為具有規(guī)定的曲率半徑的連接構造，而且還將托盤中央底面25和垂直面部37a間、垂直面部 37a和底面部37b間也都形成為具有規(guī)定的曲率半徑的連接構造。若上述部分以直角相連接，則應力有向頂點集中的傾向，因此，集中應力會作用到該連接部分。相對于此，通過使該連接部分多少具有曲率半徑，則能夠實現(xiàn)應力的分散，且對成形時的樹脂的流動、脫模也有效。對于曲率半徑，優(yōu)選為0.5mm以上。曲率半徑的上限也根據(jù)載置臺6的大小來適當?shù)卦O置最佳范圍，只要在300mm以下即可，在200mm以下更好，進一步優(yōu)選在IOOmm以下。其中，優(yōu)選為2mm 30mm，更優(yōu)選為2mm 20mm，進一步優(yōu)選為2mm 15mm。此外，對于上述臺階所呈的角度，沒有限定為必須是90°，可以適當進行設定，從制造托盤22的觀點等出發(fā)，也可以將上述的角度形成為鈍角。嵌全部嵌合部27包括自載置臺沈的外周緣向水平方向延伸的外延部27a、自外延部 27a的周端部向上方延伸的最外延部27b。而且，該嵌合部27呈與蓋3對應的形狀，在將蓋 3蓋在托盤22上時，嵌合部27能夠與蓋3貼緊。另外，嵌合部27還可以具有自最外延部 27b的周端部向外方延伸的緣部(未圖示)。以上，參照附圖說明了本實用新型的優(yōu)選實施方式，但本實用新型并非限定于該例。顯然，對于本領域技術人員來說，可以在權利要求書所記載的思想的范疇內想到各種變更例或者修正例，這些變更例或者修正例當然也要屬于本實用新型的技術的范圍。例如，在第1實施方式中對載置臺6的第二垂直面部16b為直線狀(平面狀)的情況進行了說明，但載置臺6的第二垂直面部16b的形狀并不限定于此，例如，可以如圖7 的16b'所示，是凹型的圓弧狀(曲面狀)，也可以如圖7的16b"，是凸型的圓弧狀(曲面狀)。在這種情況下，對于托盤2外形的對角線與第二垂直面部16b所成的角，用第二垂直面部16b的托盤2外形對角線與第二垂直面部16b所交叉位置的切線與托盤2外形的對角線所成的角來表示。另外，第2實施方式的第二垂直面部36b也同樣如此。另外，載置臺6并非要是完整的環(huán)狀，例如，可以是僅與托盤2外形的短邊平行的部分，也可以是僅與托盤2外形的長邊平行的部分。另外，該載置臺6也可以是將與托盤2 外形的短邊或者長邊平行的部分作為中心的二的字型的、彼此相對的形狀。實施例下面表示具體的實施例和比較例，并且，詳細說明對于實施例和比較例的評價。實施例1實施例1采用第2實施方式的表膜收納容器，該表膜收納容器的托盤采用了 ABS 樹脂制的真空成型品，其外徑尺寸為寬度IOOOmmX長度1600mm、高度60mm、壁厚6mm。而且，分別在托盤中央底面和載置臺之間以及載置臺和外延部之間設置了緩沖部，此外，將載置臺的角部附近的第一水平面部形成為三角形狀，而且，在托盤中央底面設置了三角形狀的臺階(參照圖4)。將上述的實施例1的表膜收納容器設置在實驗室的桌子之上，且將表膜收納容器的3處角部與桌子一起夾住固定，用彈簧秤以2. 5kgf的力拉剩下的1處角部，并用金屬尺測量表膜收納容器的卷曲(變形量)。確認此時的膜褶皺。測量結果表示在表1中。實施例2實施例2采用第1實施方式的表膜收納容器，該表膜收納容器的托盤采用了 ABS 樹脂制的真空成型品，其外徑尺寸為寬度950mmX長度1400mm、高度85mm、壁厚5mm。而且，分別在托盤中央底面和載置臺之間以及載置臺和外延部之間設置了緩沖部(參照圖 2)，除此之外，進行了與實施例1相同的實驗。測量結果表示在表1中。比較例1比較例1采用以實施例1的表膜收納容器為基礎、不使載置臺隆起且僅在配置于載置臺內側的托盤中央底面和載置臺之間設置緩沖部的結構，與實施例1相同地進行了實驗。測量結果表示在表1中。比較例2比較例2采用以實施例1的表膜收納容器為基礎、在隆起的載置臺上沒有緩沖部的結構，且與實施例1相同地進行了實驗。測量結果表示在表1中。比較例3比較例3采用以實施例2的表膜收納容器為基礎、在隆起的載置臺上沒有緩沖部的結構，且與實施例1相同地進行了實驗。測量結果用表1來表示。表 權利要求1.一種表膜收納容器，其具有托盤和蓋，該托盤用于載置表膜，該表膜在表膜框體的一緣面上張設有表膜用膜，該蓋自該托盤的上部進行覆蓋，其特征在于，該托盤具有托盤中央底面、自該托盤中央底面向上部側隆起并用于載置表膜的大致多邊環(huán)狀的載置臺、自該載置臺的外周緣沿水平方向延伸的外延部，在該托盤中央底面和該載置臺之間以及該載置臺和該外延部之間分別具有緩沖部。
2.根據(jù)權利要求1所述的表膜收納容器，其特征在于，該托盤中央底面和該載置臺之間的緩沖部是在與該托盤中央底面和該載置臺不同的高度上分成兩個以上的臺階的臺階部，該載置臺和該外延部之間的緩沖部是在與該載置臺和該外延部不同的高度上分成兩個以上的臺階的臺階部。
3.根據(jù)權利要求1所述的表膜收納容器，其特征在于，該托盤中央底面與該載置臺之間的緩沖部的、形成于該載置臺的角部附近的部分的面積向該托盤中央底面方向增大而相對變大。
4.根據(jù)權利要求2所述的表膜收納容器，其特征在于，該托盤中央底面與該載置臺之間的緩沖部的、形成于該載置臺的角部附近的部分的面積向該托盤中央底面方向增大而相對變大。
5.根據(jù)權利要求1至4中任一項所述的表膜收納容器，其特征在于，該托盤中央底面與該載置臺之間的緩沖部的、形成于該載置臺的角部附近的部分自該托盤中央底面向該表膜框體的該載置臺方向立起，并且具有橫切該托盤外形對角線的垂直
6.根據(jù)權利要求1至4中任一項所述的表膜收納容器，其特征在于，在該托盤中央底面的該載置臺附近形成有上述表膜框體的高度方向的第二臺階部。
7.根據(jù)權利要求5所述的表膜收納容器，其特征在于，在該托盤中央底面的該載置臺附近形成有上述表膜框體的高度方向的第二臺階部。
專利摘要本實用新型涉及表膜收納容器。其即使不采用加固板也能夠確保表膜收納容器的剛性，尤其是能夠確保載置臺的剛性和平坦性，能夠防止在搬運表膜時發(fā)生表膜褶皺的情況。該表膜收納容器具有托盤和蓋，該托盤用于載置表膜，該表膜在表膜框體的一緣面上張設有表膜用膜，該蓋自該托盤的上部進行覆蓋，其特征在于，該托盤具有托盤中央底面、自該托盤中央底面向上部側隆起并用于載置表膜的大致多邊環(huán)狀的載置臺、自該載置臺的外周緣向水平方向延伸的外延部，在該托盤中央底面和該載置臺之間以及該載置臺和該外延部之間分別具有緩沖部。
文檔編號B65D85/00GK202110373SQ20112014776
公開日2012年1月11日 申請日期2011年5月10日 優(yōu)先權日2010年5月10日
發(fā)明者廣瀨隆德, 竹下輝樹 申請人:旭化成電子材料株式會社