專利名稱：基底傳送裝置和用在該基底傳送裝置中的基底引導(dǎo)單元的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在制造基底時(shí)用到的裝置，更具體地說，涉及基底傳 送裝置和用在該基底傳送裝置中的引導(dǎo)單元。
背景技術(shù)：
最近，具有多種功能和更高數(shù)據(jù)處理速度的數(shù)據(jù)處理裝置迅速發(fā) 展起來。每個(gè)這些數(shù)據(jù)處理裝置包括被設(shè)置成用于顯示運(yùn)算信息的顯示 器。雖然通常將陰極射線管(CRT)用作顯示器，但隨著最近半導(dǎo)體技 術(shù)的迅猛發(fā)展，平板顯示器的使用顯著增加。平板顯示器具有輕盈和占 據(jù)空間小的優(yōu)點(diǎn)。雖然存在很多種平板顯示器，但由于液晶顯示器(LCD) 具有低能耗、體積小和驅(qū)動(dòng)電壓低的優(yōu)點(diǎn)，因此LCD已經(jīng)被廣泛使用。要進(jìn)行多項(xiàng)處理來制造這些平板顯示器。用于平板顯示器的基底 由傳送裝置傳送到在其中進(jìn)行各項(xiàng)處理的室中。在處理室中，在處理期 間傳送基底。圖1描述了傳統(tǒng)的傳送裝置900，圖2是圖1中示出的基底 和側(cè)輥的放大立體圖。參照?qǐng)D1和圖2，傳送單元900包括被布置成彼此 平行的可旋轉(zhuǎn)的軸920和設(shè)置在軸920上從而隨軸920 —起旋轉(zhuǎn)的傳送 輥940。在各軸920之間安裝有用于支撐基底S側(cè)面的側(cè)輥960，從而引 導(dǎo)基底S的線性傳送。軸920和傳送輥940的旋轉(zhuǎn)力能使基底S作線性 運(yùn)動(dòng)，并且基底S的線性運(yùn)動(dòng)能使側(cè)輥960旋轉(zhuǎn)。然而，除非精確設(shè)置側(cè)輥960的位置，否則基底S的側(cè)部容易與 側(cè)輥960碰撞而損壞基底S。而且，如果運(yùn)動(dòng)著的基底S上下?lián)u動(dòng)，那 么在基底S和側(cè)輥960之間沿側(cè)輥960的長度方向容易產(chǎn)生摩擦力，因 而損壞基底S。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的示例性實(shí)施例涉及一種基底傳送裝置。在一示例性 實(shí)施例中，所述基底傳送裝置可以包括多個(gè)成排布置的可旋轉(zhuǎn)的軸； 與所述軸固定結(jié)合從而隨所述軸一起旋轉(zhuǎn)的傳送輥；以及引導(dǎo)單元，它 被設(shè)置成用于引導(dǎo)由所述傳送輥傳送的基底的線性運(yùn)動(dòng)，所述引導(dǎo)單元 包括外環(huán)，所述外環(huán)具有與基底底部邊緣接觸的外周面和從所述外周面 向外突出并用于與基底側(cè)部接觸的引導(dǎo)件。在另一示例性實(shí)施例中，所述基底傳送裝置可以包括多個(gè)成排 布置的可旋轉(zhuǎn)的軸；多個(gè)傳送輥，所述傳送輥與所述軸固定結(jié)合從而隨 所述軸一起旋轉(zhuǎn)；以及引導(dǎo)單元，它被設(shè)置成用于引導(dǎo)由所述傳送輥傳 送的基底的線性運(yùn)動(dòng)，并且與所述軸結(jié)合。本發(fā)明的示例性實(shí)施例涉及一種引導(dǎo)單元，所述引導(dǎo)單元被設(shè)置 在基底傳送裝置上從而引導(dǎo)基底的線性運(yùn)動(dòng)。在一示例性實(shí)施例中，所 述引導(dǎo)單元可以包括外環(huán)，它具有形成有通孔的中心，并且包括從其 外周面向外延伸的引導(dǎo)件；內(nèi)環(huán)，它插入所述外環(huán)的通孔中，所述內(nèi)環(huán) 具有形成有通孔的中心；以及設(shè)置在所述外環(huán)和所述內(nèi)環(huán)之間的多個(gè)軸 承。


圖
圖10和圖11分別描述了在楔子完全插入內(nèi)環(huán)的子體中之前的狀 態(tài)和楔子完全插入內(nèi)環(huán)的子體中的狀態(tài)。圖12描述了本發(fā)明引導(dǎo)單元以不同于圖4中所示方向的方向與軸 結(jié)合的狀態(tài)。圖13和圖14分別描述了修改的本發(fā)明引導(dǎo)單元的例子。
圖15和圖16描述了修改的圖4中所示基底傳送裝置的例子。
具體實(shí)施例方式下面參照附圖對(duì)本發(fā)明作更加全面的描述，在這些附圖中示出了本 發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。然而，本發(fā)明可以用很多不同的形式實(shí)施，而不應(yīng)當(dāng)被 理解為受此處描述的實(shí)施例的限制。相反，提供這些實(shí)施例是為了使本發(fā) 明的公開徹底和完整，并且充分地向本領(lǐng)域技術(shù)人員傳達(dá)本發(fā)明的范圍。 在附圖中，為清楚起見擴(kuò)大了各層和區(qū)域的厚度。雖然本發(fā)明的實(shí)施例將會(huì)指定用于制造液晶顯示器板子的矩形玻 璃基底，但本發(fā)明并不限于此并且可以應(yīng)用于任何用于傳送矩形工件的 裝置。圖3描述了具有本發(fā)明的基底傳送裝置20的基底處理設(shè)備1。參 照?qǐng)D3，基底處理設(shè)備1包括多個(gè)室10、基底傳送裝置20和化學(xué)品噴射 部件30。每個(gè)室10限定了對(duì)基底S進(jìn)行處理的空間?；讉魉脱b置20 使基底S在各室10之間和每個(gè)室10的內(nèi)部作線性運(yùn)動(dòng)?；瘜W(xué)品噴射部 件30安裝在室10中，并根據(jù)對(duì)基底S進(jìn)行的處理類型而供應(yīng)諸如清潔 溶液或蝕刻溶液等化學(xué)品。下面對(duì)這些部件作詳細(xì)描述。每個(gè)室IO可以具有大致呈空心長方體的形狀。在各個(gè)室10的一 側(cè)上形成有入口 12，在另一側(cè)上形成有出口 14。經(jīng)由入口 12將基底S 放入室10中，經(jīng)由出口 14將基底S從室10中取出?；譙從這些室 10之中的最前端的室運(yùn)動(dòng)到這些室10之中的最后端的室?；譙在各 個(gè)室10內(nèi)受到預(yù)設(shè)的處理。例如，可以在這些室10之中的一個(gè)室10a 內(nèi)進(jìn)行清潔處理；可以在位于進(jìn)行清潔處理的室10a前面的室10b內(nèi)進(jìn) 行清潔處理；并且可以在位于進(jìn)行清潔處理的室10a后面的室10c內(nèi)進(jìn)行干燥處理。在進(jìn)行清潔處理的室10a的情況下，化學(xué)品噴射部件30可 以包括被設(shè)置成用于向基底S的頂面噴射清潔溶液的上噴射部件32和被 設(shè)置成用于向基底S的底面噴射清潔溶液的下噴射部件34?；讉魉脱b置20被設(shè)置在各個(gè)室10內(nèi)。圖4是圖3中示出的基 底傳送裝置20的立體圖。參照?qǐng)D3和圖4，基底傳送裝置20包括多個(gè)傳 送輥120、多個(gè)軸140和引導(dǎo)單元200。軸140線性地布置在每個(gè)室10 內(nèi)，并且被設(shè)置為從鄰近于入口 12的位置到鄰近于出口 14的位置。上 述多個(gè)傳送輥120在軸140的長度方向上與各個(gè)軸140固定結(jié)合。各軸 140借助于驅(qū)動(dòng)部件(圖未示)而繞它們的中心軸線旋轉(zhuǎn)，并且傳送輥 120隨軸140 —起旋轉(zhuǎn)。驅(qū)動(dòng)部件可以是包括輪子、傳動(dòng)帶和電動(dòng)機(jī)的組件。包括輪子、 傳動(dòng)帶和電動(dòng)機(jī)的組件在現(xiàn)有技術(shù)中是眾所周知的，因此不再作更詳細(xì) 的描述。軸140和傳送輥120借助于驅(qū)動(dòng)部件而旋轉(zhuǎn)，并且當(dāng)基底S的 底面與傳送輥120接觸時(shí)，基底S就沿軸140作線性運(yùn)動(dòng)。每個(gè)軸140 水平布置著，從而水平地傳送基底S。引導(dǎo)單元200布置在軸140的兩端從而引導(dǎo)基底S的線性運(yùn)動(dòng)。 引導(dǎo)單元200在側(cè)向上支撐基底S的側(cè)部Sp從而防止基底S在基底S 的運(yùn)動(dòng)方向上左右搖動(dòng)。在基底S的四個(gè)側(cè)部中，上述側(cè)部S,平行于基 底S的運(yùn)動(dòng)方向。圖5是引導(dǎo)單元200的分解截面圖，圖6是已組裝的引導(dǎo)單元200 的截面圖。圖7是與各軸固定結(jié)合的已組裝的引導(dǎo)單元200的立體圖。參照?qǐng)D5~圖7，引導(dǎo)單元200包括外環(huán)220、內(nèi)環(huán)240、保持架 250、軸承260和固定部件270。外環(huán)220可以具有大致呈圓柱的形狀，在該圓柱的中心處形成有 第一通孔222。將外環(huán)220布置成讓其中心軸線與軸140的中心軸線在同 一直線上。由于外環(huán)220具有與傳送輥120相同的直徑，因此基底S與 傳送輥120的外周面和外環(huán)220的外周面接觸。引導(dǎo)件230沿外環(huán)220的徑向從外環(huán)220的外周面224的中心區(qū) 域向外環(huán)220的外側(cè)延伸。引導(dǎo)件230可以具有大致呈圓環(huán)的形狀。離外環(huán)220的中心越遠(yuǎn)，引導(dǎo)件230的厚度變得越小。引導(dǎo)件230與基底S 的側(cè)部接觸，從而防止基底S在側(cè)向上運(yùn)動(dòng)。引導(dǎo)件230具有傾斜面232，傾斜面232相對(duì)于外環(huán)220的外周 面224以一鈍角傾斜。引導(dǎo)件230相對(duì)于軸線702是對(duì)稱的，軸線702 垂直于外環(huán)220的中心軸線701。當(dāng)基底S在上下方向或左右方向上搖 動(dòng)時(shí)，傾斜面232引導(dǎo)搖動(dòng)著的基底S從而使其載于外環(huán)220的外周面 224上。可選擇地，引導(dǎo)件230可以具有垂直于外環(huán)220的外周面224 的表面?；谝龑?dǎo)件230，將外環(huán)220的外周面224劃分為兩個(gè)區(qū)域，艮口 ， 第一外周面224a和第二外周面224b。引導(dǎo)件230的傾斜面232包括第一 傾斜面232a和第二傾斜面232b。第一傾斜面232a鄰近于第一外周面 224a,第二傾斜面232b鄰近于第二外周面224b。首先，將引導(dǎo)單元200 設(shè)置成使第一外周面224a面向基底S。因而，第一外周面224a與基底S 的底面接觸，并且第一傾斜面232a與基底S的側(cè)部S,接觸。如果第一 外周面224a和第一傾斜面232a由于磨損等原因而變劣，那么可以改變 引導(dǎo)單元200的安裝方向，從而使第二外周面224b面向基底S。在這種 情況下，第二外周面224b與基底S的底面接觸從而支撐基底S，并且第 二傾斜面232b與基底S的側(cè)部S,接觸。圖12描述了安裝成與圖6所示 方向相反的引導(dǎo)單元200。如圖所示，引導(dǎo)件230從外環(huán)220的外周面224的中心區(qū)域向外 環(huán)220的外側(cè)延伸。然而，在該實(shí)施例中，中心區(qū)域不僅包括外環(huán)220 的外周面224的中心，還包括除了用于提供第一外周面224a和第二外周 面224b的外環(huán)220的外周面224兩端以外的區(qū)域。內(nèi)環(huán)240插入外環(huán)220的第一通孔222中。內(nèi)環(huán)240可以具有大 致呈圓柱的形狀，在該圓柱的中心處形成有第二通孔242。軸140插入第 二通孔242中。內(nèi)環(huán)240與軸140固定結(jié)合，從而由于軸140的旋轉(zhuǎn)力 而隨軸140—起旋轉(zhuǎn)。例如，可以將軸140強(qiáng)制性地插入內(nèi)環(huán)240中。內(nèi)環(huán)240包括主體240a和子體240b。在主體240a的中心處形成 的第二通孔部分242a被設(shè)置成具有與軸140大約相同的直徑并且沿軸140的長度方向具有規(guī)則的直徑。在子體240b中形成的第二通孔部分 242b從在主體240a的中心處形成的第二通孔部分242a延伸，并且被設(shè) 置成隨著遠(yuǎn)離內(nèi)環(huán)240時(shí)其直徑增大。也就是說，設(shè)置在主體240a中的 第二通孔242a具有大致呈圓柱的形狀，而設(shè)置在子體240b中的第二通 孔242b具有大致呈圓錐的形狀。在子體240b的外周面上形成有螺紋246。多個(gè)軸承260和一保持架250插入外環(huán)220和內(nèi)環(huán)240之間。保 持架250可以具有大致呈圓環(huán)的形狀。沿保持架環(huán)250的側(cè)面形成有圓 形通孔252。軸承260插入通孔252中，從而可旋轉(zhuǎn)地布置在通孔252 中。軸承260從保持架250中部分地向內(nèi)和向外突出。在內(nèi)環(huán)240的外 周面244和外環(huán)220的內(nèi)周面226上分別形成有彼此對(duì)應(yīng)的凹槽248和 凹槽228。從保持架250中突出的軸承260的部分區(qū)域插入凹槽228和凹 槽248中。軸承260沿保持架250的圓周部以環(huán)狀方式布置著，彼此間 隔一定間距。提供了多個(gè)環(huán)狀布置。在該實(shí)施例中，描述了兩排軸承260。 因而，分擔(dān)了施加到軸承260上的載荷，從而延長軸承260的壽命。由于使用了軸承260，因此外環(huán)220和內(nèi)環(huán)240可以獨(dú)立地旋轉(zhuǎn) 而不受它們的旋轉(zhuǎn)的干擾。也就是說，內(nèi)環(huán)240通過軸140的旋轉(zhuǎn)力而 旋轉(zhuǎn)，外環(huán)220通過與基底S的摩擦力而旋轉(zhuǎn)。軸140插入并穿過內(nèi)環(huán)240的第二通孔242。固定部件270可以 包括楔子280和加壓部件。圖8是圖5中示出的楔子280的立體圖。參照?qǐng)D5和圖8，在楔 子280的中心處形成有第三通孔282，并且軸140 (見圖4)穿過第三通 孔282。楔子280可以具有大致呈圓錐的形狀。楔子280具有與內(nèi)環(huán)240 的子體240b大約相同的長度，并且插入子體240b的第二通孔242b中。 第三通孔282被設(shè)置成在楔子280的長度方向上具有相同的尺寸。楔子 280可以由彈性材料制成。由于楔子包括縱向上的切口部分，因此楔子具 有彼此相對(duì)并且彼此隔開的第一段284a和第二段284b。在楔子280的兩 個(gè)面中，小面積的面稱為正面285，大面積的面稱為背面286。楔子280 的背面286被設(shè)置成大致為平面。楔子280插在軸140上(見圖4)，從 而使其正面285面向內(nèi)環(huán)240。
第一段284a和第二段284b之間的距離d2隨著施加到楔子280外 側(cè)表面上的壓力而增大。如果距離d2增大，則第三通孔282的直徑山也 增大。如果距離d2減小，則直徑d,也減小。在沒有外部壓力的狀態(tài)下， 第三通孔282的直徑d,被設(shè)置為大于軸140的直徑(見圖4)。在從外 部施加壓力從而使第一段284a和第二段284b相互接觸的狀態(tài)下，楔子 280的通孔的直徑d,被設(shè)置為等于或稍微小于軸140的直徑。圖9是圖5中示出的加壓部件的立體圖。參照?qǐng)D5和圖9，加壓 部件被設(shè)置成用于將楔子280向內(nèi)環(huán)240的主體240a推壓。加壓部件可 以包括其中形成有第四通孔294a的帽蓋290。第四通孔294a形成在帽蓋 290的中心處。帽蓋290包括本體292和設(shè)置在本體292后端的加壓壁 294，本體292具有讓內(nèi)環(huán)240的子體240b插入其中的空間。在本體292 的內(nèi)周面上形成有螺紋293，螺紋293對(duì)應(yīng)于在內(nèi)環(huán)240的子體240b上 形成的螺紋246。第四通孔294a在加壓壁294的中心處形成，并且軸140 (見圖4)插入第四通孔294a中。如果帽蓋290旋轉(zhuǎn)至與內(nèi)環(huán)240以螺 旋方式結(jié)合并且向前運(yùn)動(dòng)至主體240a，則加壓壁294將插入在子體240b 的第二通孔242b中的楔子280向主體240a推壓。圖10和圖11描述了通過固定部件270將引導(dǎo)單元200固定到軸 140上的步驟。首先，如圖10所示，楔子280插入子體240b的第二通孔 242b中，其插入方向?yàn)樾ㄗ?80的正面285面對(duì)著內(nèi)環(huán)240的主體240a。 帽蓋290與內(nèi)環(huán)240以螺旋方式結(jié)合，從而使楔子280在子體240b內(nèi)部 向主體240a運(yùn)動(dòng)。如圖11所示，如果第一段284a和第二段284b之間 的距離d2減小并且楔子運(yùn)動(dòng)了預(yù)定距離，則第一段284a和第二段284b 相互接觸。因此，楔子280首先插入子體240b中，此時(shí)楔子280的內(nèi)表 面283與軸140有間隔。然而，當(dāng)楔子向主體240a運(yùn)動(dòng)時(shí)，楔子280的 內(nèi)表面283與軸140接觸。然后，將壓力施加到軸140上，從而使軸140 與內(nèi)環(huán)240固定結(jié)合。下面描述將引導(dǎo)單元200與軸140組裝和結(jié)合起來的方法。參照 圖6，將外環(huán)220、內(nèi)環(huán)240、保持架250和軸承260組裝起來。將軸承 260插入保持架環(huán)250的各個(gè)通孔252中。將內(nèi)環(huán)240強(qiáng)制性地插入保持 架250的內(nèi)部空間254中，從而使保持架250覆蓋內(nèi)環(huán)240。將保持架250和內(nèi)環(huán)240的組裝體強(qiáng)制性地插入外環(huán)220的第一通孔222中。將軸 140插入包括內(nèi)環(huán)240、保持架250、軸承260和外環(huán)220的組裝體中， 然后插入楔子280和帽蓋290中，從而使軸140依次插入內(nèi)環(huán)240的第 二通孔242、楔子280的第三通孔282和帽蓋290的第四通孔294a中。 帽蓋290與內(nèi)環(huán)240的子體240b以螺旋方式結(jié)合，從而將內(nèi)環(huán)240固定 到軸140上。圖12描述了引導(dǎo)單元200以與圖6中所示方向相反的方向進(jìn)行安 裝的狀態(tài)。參照?qǐng)D12，與前面描述的類似，內(nèi)環(huán)240、保持架250、軸承 260和外環(huán)220被組裝起來。與前述相反，軸140依次插入帽蓋290和楔 子280中。然后軸140插入包括內(nèi)環(huán)240、保持架250、軸承260和外環(huán) 220的組裝體中。帽蓋290與內(nèi)環(huán)240的子體240b以螺旋方式結(jié)合，從 而將內(nèi)環(huán)240固定到軸140上。下面描述本發(fā)明的修改的實(shí)施例。圖13描述了修改的引導(dǎo)單元200'。參照?qǐng)D13，引導(dǎo)單元200'包 括具有不同于前述實(shí)施例的結(jié)構(gòu)的內(nèi)環(huán)240'。內(nèi)環(huán)240'包括一個(gè)主體 240a和兩個(gè)分別設(shè)置在主體240a兩側(cè)的子體240b。因此，當(dāng)引導(dǎo)單元 200'以改變的安裝方向插入到軸140上時(shí)，楔子280和帽蓋290更容易 與內(nèi)環(huán)240結(jié)合。圖14描述了另一種修改的引導(dǎo)單元200"。參照?qǐng)D14，引導(dǎo)單元 200"包括具有不同于前述實(shí)施例的結(jié)構(gòu)的外環(huán)220"。外環(huán)220"包括沿著 向外側(cè)方向(徑向)從其外周面的端部延伸的引導(dǎo)件230。如果引導(dǎo)單元 200"中的外環(huán)220"的外周面224和傾斜面232變劣，則外環(huán)220"或引導(dǎo) 單元200"可以用新的替換。圖15描述了修改的基底傳送裝置20'。雖然前述實(shí)施例的引導(dǎo)單 元安裝在安裝有傳送輥120的軸140上，但是基底傳送裝置20'的引導(dǎo)單 元200卻固定地安裝在各個(gè)安裝有傳送輥120的軸140之間的獨(dú)立軸142上。圖16描述了修改的基底傳送裝置20"。圖2中示出的基底傳送裝 置20傳送水平狀態(tài)的基底S，并且包括安裝在軸140兩側(cè)的引導(dǎo)單元200。然而，如圖16所示，軸140傾斜著從而傳送傾斜狀態(tài)的基底S。 在圖16中，附圖標(biāo)記"cc"表示軸的傾斜角度。引導(dǎo)單元200安裝在軸140 的兩側(cè)中較低的一側(cè)上。根據(jù)本發(fā)明，在傳送基底過程中，基底的側(cè)部受到保護(hù)而免于損 壞。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，引導(dǎo)單元的安裝方向可以改變，從而延 長引導(dǎo)單元的壽命。根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例，由于引導(dǎo)單元與安裝 有傳送輥的軸固定結(jié)合，因此引導(dǎo)單元容易安裝。雖然結(jié)合附圖中示出的本發(fā)明實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了描述，但本 發(fā)明并不受所述實(shí)施例的限制。對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員顯而易見的是，在不 脫離本發(fā)明的范圍和精神的情況下，可以對(duì)本發(fā)明作各種替換、修改和 變化。
權(quán)利要求
1.一種基底傳送裝置，包括多個(gè)成排布置的可旋轉(zhuǎn)的軸；與所述軸固定結(jié)合從而隨所述軸一起旋轉(zhuǎn)的傳送輥；以及引導(dǎo)單元，它被設(shè)置成用于引導(dǎo)由所述傳送輥傳送的基底的線性運(yùn)動(dòng)，所述引導(dǎo)單元包括外環(huán)，所述外環(huán)具有與基底底部邊緣接觸的外周面和從所述外周面向外突出并用于與基底側(cè)部接觸的引導(dǎo)件。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基底傳送裝置，其中所述引導(dǎo)單元還包括內(nèi)環(huán)，它具有讓所述軸插入其中的通孔，所述內(nèi)環(huán)與所述軸結(jié)合從 而隨所述軸一起旋轉(zhuǎn)，并且所述內(nèi)環(huán)插入到在所述外環(huán)的中心處形成的通孔中；以及軸承，它們布置在所述內(nèi)環(huán)和所述外環(huán)之間，從而允許所述內(nèi)環(huán)和 所述外環(huán)獨(dú)立地旋轉(zhuǎn)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的基底傳送裝置，其中所述引導(dǎo)單元還包括 環(huán)形保持架，所述保持架布置在所述內(nèi)環(huán)和所述外環(huán)之間并且具有圓周 部，在所述圓周部上形成有讓所述軸承插入其中的孔。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的基底傳送裝置，其中所述軸承被設(shè)置為從 所述保持架向內(nèi)和向外突出，并且在所述內(nèi)環(huán)和所述外環(huán)上分別形成有凹槽，從所述保持架環(huán)中 突出的所述軸承部分地插入所述凹槽中。
5. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的基底傳送裝置，其中所述軸承被布置得形 成多個(gè)環(huán)狀排列。
6. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的基底傳送裝置，其中所述引導(dǎo)單元還包括 被設(shè)置成用于將所述內(nèi)環(huán)固定在所述軸上的固定部件。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的基底傳送裝置，其中所述內(nèi)環(huán)包括 在長度方向上形成有通孔的主體，所述主體的通孔的直徑與所述軸的直徑相同；以及形成有通孔的子體，所述子體的通孔的直徑隨著遠(yuǎn)離所述主體而增 大，所述子體從所述主體延伸，所述固定部件包括楔子，所述楔子具有與所述子體的通孔相同的形 狀，并且具有在其長度方向上被切開從而形成彼此面對(duì)的第一段和第二 段的側(cè)部，當(dāng)所述楔子從所述子體內(nèi)部向所述主體運(yùn)動(dòng)時(shí)，所述第一段和所述 第二段之間的距離減小。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的基底傳送裝置，其中所述楔子含有彈性材料。
9. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的基底傳送裝置，其中所述楔子具有圓錐形狀。
10. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的基底傳送裝置，其中所述固定部件還包 括帽蓋，所述帽蓋被設(shè)置成用于將所述楔子從所述子體內(nèi)部向所述主體 推壓。
11. 根據(jù)權(quán)利要求IO所述的基底傳送裝置，其中在所述子體的外周 面上形成有螺紋，在所述帽蓋的中心處形成有通孔，并且所述軸插入所述帽蓋的通孔中，在所述帽蓋的內(nèi)周面上形成有與所述子體的螺紋相對(duì)應(yīng)的螺紋。
12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的基底傳送裝置，其中所述子體被設(shè)置在 所述主體的兩側(cè)。
13. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基底傳送裝置，其中所述引導(dǎo)件包括傾斜面，所述傾斜面被設(shè)置為與所述外環(huán)的外周面成一鈍角。
14. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基底傳送裝置，其中所述引導(dǎo)件從所述 外環(huán)的外周面的中心部分處突出。
15. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的基底傳送裝置，其中所述傾斜面被設(shè)置 在所述引導(dǎo)件的兩側(cè)。
16. —種基底傳送裝置，包括 多個(gè)成排布置的可旋轉(zhuǎn)的軸；多個(gè)傳送輥，所述傳送輥與所述軸固定結(jié)合從而隨所述軸一起旋轉(zhuǎn)；以及引導(dǎo)單元，它被設(shè)置成用于引導(dǎo)由所述傳送輥傳送的基底的線性運(yùn) 動(dòng)，并且與所述軸結(jié)合。
17. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的基底傳送裝置，其中所述引導(dǎo)單元包括 內(nèi)環(huán)，它具有讓所述軸插入其中的通孔，并且被安裝成通過所述軸的旋轉(zhuǎn)而隨所述軸一起旋轉(zhuǎn)；外環(huán)，它形成有讓所述內(nèi)環(huán)插入其中的通孔，所述外環(huán)包括與基底 底部邊緣接觸的外周面和從所述外周面向外突出并支撐基底側(cè)部的引導(dǎo) 件；以及軸承，它們?cè)O(shè)置在所述內(nèi)環(huán)和所述外環(huán)之間，從而允許所述內(nèi)環(huán)和 所述外環(huán)獨(dú)立地旋轉(zhuǎn)。
18. 根據(jù)權(quán)利要求17所述的基底傳送裝置，其中所述內(nèi)環(huán)包括 在長度方向上形成有通孔的主體，所述主體的通孔的直徑與所述軸的直徑相同；以及形成有通孔的子體，所述子體的通孔的直徑隨著遠(yuǎn)離所述主體而增 大，所述子體從所述主體延伸，所述引導(dǎo)單元包括楔子，所述楔子的中心處形成有讓所述軸插入其 中的通孔，所述楔子的側(cè)部在其長度方向上被切開從而形成彼此面對(duì)的第一段和第二段，所述楔子插入所述子體的通孔中從而將所述軸固定在 所述內(nèi)環(huán)上，并且當(dāng)所述楔子從所述子體內(nèi)部向所述主體運(yùn)動(dòng)時(shí)，所述第一段和 所述第二段之間的距離減小。
19. 根據(jù)權(quán)利要求18所述的基底傳送裝置，其中所述引導(dǎo)單元還包括帽蓋，它被設(shè)置成用于將所述楔子從所述子體內(nèi)部向所述主體推壓， 在所述帽蓋的中心處形成有讓所述軸插入其中的通孔， 在所述子體的外周面上形成有螺紋，并且在所述帽蓋的內(nèi)周面上形成有與所述子體的螺紋相對(duì)應(yīng)的螺紋。
20. —種引導(dǎo)單元，所述引導(dǎo)單元被設(shè)置在基底傳送裝置上從而引導(dǎo)基底的線性運(yùn)動(dòng)，所述引導(dǎo)單元包括外環(huán)，它具有形成有通孔的中心，并且包括從其外周面向外延伸的引導(dǎo)件；內(nèi)環(huán)，它插入所述外環(huán)的通孔中，所述內(nèi)環(huán)具有形成有通孔的中心；以及設(shè)置在所述內(nèi)環(huán)和所述外環(huán)之間的多個(gè)軸承。
21. 根據(jù)權(quán)利要求20所述的引導(dǎo)單元，還包括 布置在所述內(nèi)環(huán)和所述外環(huán)之間的保持架，其中在所述保持架的外周面上形成有孔，并且所述軸承插入所述孔中。
22. 根據(jù)權(quán)利要求21所述的引導(dǎo)單元，其中所述軸承被布置在所述 保持架環(huán)上，從而形成多個(gè)環(huán)狀排列。
23. 根據(jù)權(quán)利要求21所述的引導(dǎo)單元，其中在所述內(nèi)環(huán)和所述外環(huán) 上形成有多個(gè)凹槽，并且所述軸承部分地插入所述凹槽中。
24. 根據(jù)權(quán)利要求21所述的引導(dǎo)單元，其中所述引導(dǎo)件從所述外環(huán) 的中心區(qū)域突出。
25. 根據(jù)權(quán)利要求21所述的引導(dǎo)單元，其中所述引導(dǎo)件為環(huán)形形狀。
26. 根據(jù)權(quán)利要求21所述的引導(dǎo)單元，其中所述內(nèi)環(huán)包括 在長度方向上形成有通孔的主體，所述主體的通孔的直徑與用于傳送基底的軸的直徑相同；以及形成有通孔的子體，所述子體的通孔的直徑隨著遠(yuǎn)離所述主體而增 大，所述子體從所述主體延伸，所述引導(dǎo)單元包括楔子，所述楔子插入所述子體的通孔中，并且具 有在其長度方向上被切開從而形成彼此面對(duì)的第一段和第二段的側(cè)部，當(dāng)所述楔子從所述子體內(nèi)部向所述主體運(yùn)動(dòng)時(shí)，所述第一段和所述 第二段之間的距離減小。
27. 根據(jù)權(quán)利要求26所述的引導(dǎo)單元，還包括帽蓋，它被設(shè)置成用于將所述楔子從所述子體內(nèi)部向所述主體推壓。
28. 根據(jù)權(quán)利要求27所述的引導(dǎo)單元，其中在所述子體的外周面上 形成有螺紋，在所述帽蓋的中心處形成有讓所述軸插入其中的通孔， 并且在所述帽蓋的內(nèi)周面上形成有與所述子體的螺紋相對(duì)應(yīng)的螺紋。
全文摘要
一種基底傳送裝置，包括多個(gè)成排布置的軸和安裝在各個(gè)所述軸上以隨所述軸一起旋轉(zhuǎn)的傳送輥。引導(dǎo)單元被設(shè)置成這樣當(dāng)基底通過所述傳送輥的旋轉(zhuǎn)而傳送時(shí)，所述引導(dǎo)單元防止基底在側(cè)向上搖動(dòng)。所述引導(dǎo)單元包括內(nèi)環(huán)，它形成有讓所述軸插入其中的通孔；外環(huán)，它形成有讓所述內(nèi)環(huán)插入其中的通孔；以及軸承，它設(shè)置在所述內(nèi)環(huán)和所述外環(huán)之間，從而允許所述內(nèi)環(huán)和所述外環(huán)獨(dú)立地旋轉(zhuǎn)。所述外環(huán)包括在側(cè)向上從所述外環(huán)的外周面突出的環(huán)形引導(dǎo)件。所述外環(huán)的外周面與基底的底部邊緣接觸從而支撐基底，并且所述引導(dǎo)件的側(cè)面與基底的側(cè)部接觸從而防止基底在側(cè)向上運(yùn)動(dòng)。所述內(nèi)環(huán)隨所述軸一起運(yùn)動(dòng)，并且所述外環(huán)通過與基底的摩擦力而旋轉(zhuǎn)。
文檔編號(hào)B65G13/00GK101306756SQ200810093868
公開日2008年11月19日 申請(qǐng)日期2008年4月30日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月14日
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