技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種拋光組合物，屬于電子制造中超硬材料化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明的組合物包括混合型磨料、無(wú)機(jī)金屬鹽、表面活性劑、pH值調(diào)節(jié)劑及水，其中混合型磨料是由粒徑0.1?10nm氧化硅和其他磨料組成；本發(fā)明組合物的pH值為9.0～12.0，適用于藍(lán)寶石的拋光。本發(fā)明不僅明顯提高藍(lán)寶石拋光去除速率，而且能改善藍(lán)寶石晶片的表面質(zhì)量，拋光后晶片表面光滑，無(wú)劃痕、麻點(diǎn)等表面缺陷。

技術(shù)研發(fā)人員：潘國(guó)順;周艷;龔樺;鄒春莉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：清華大學(xué);深圳清華大學(xué)研究院
文檔號(hào)碼：201610622320
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.01
技術(shù)公布日：2017.01.25