技術編號：12743265
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于電子制造中超硬材料化學機械拋光技術領域，特別涉及一種針對藍寶石的拋光組合物。背景技術藍寶石單晶(α-Al2O3)，具有硬度高、透光性好、電絕緣性優(yōu)良和化學性能穩(wěn)定等特點，因此被廣泛用于發(fā)光二極管(LED)半導體外延襯底、精密儀器儀表窗口等領域。目前，藍寶石是應用最廣泛的LED襯底材料。藍寶石的加工工藝基本流程為長晶、切片、研磨、拋光與清洗。藍寶石的拋光技術是制約半導體照明技術發(fā)展的瓶頸問題之一。藍寶石單晶硬度為莫氏9級，僅次于金剛石(莫氏10級)，且化學性質很穩(wěn)定，因此難以加工，生產(chǎn)效...
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