專利名稱：熱板排風(fēng)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種半導(dǎo)體集成電路制造裝置，特別是涉及一種熱板排風(fēng)裝置。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有涂布機在光刻膠涂布后熱板烘烤針對產(chǎn)生的有機排風(fēng)所采用的是扁錐形單孔排氣式熱板排風(fēng)裝置，如


圖1所示，包括扁錐形蓋板11、導(dǎo)入口 12及轉(zhuǎn)接套口 13，其中扁錐形蓋板11及轉(zhuǎn)接套口 13通過導(dǎo)入口 12相接。如圖2所示，為扁錐形單孔排氣式熱板排風(fēng)裝置使用示意圖，扁錐形蓋板11安裝在升降板15上，升降板15安裝在熱板16上方，通過排風(fēng)口 14對硅片17進行散熱。如圖所示，排氣氣流類似傘式向上，氣流中間大，兩邊小，均一性不好，且排風(fēng)效果差，速度慢，穩(wěn)定性較差，對于I微米以下普通光刻膠成膜來說基本上可以接受，但是對于有機溶劑成分很高的厚Polyimide(厚度16微米以上)涂布成膜工藝來說，大量的有機蒸汽以及硅片上留下的十幾微米的光刻膠膜所受排氣穩(wěn)定性的影響將非常嚴(yán)重，直接影響了 Polyimide劃片槽寬度的穩(wěn)定性。如圖3所示，為利用現(xiàn)有的扁錐形單孔排氣式熱板排風(fēng)裝置，Polyimide劃片槽寬度的穩(wěn)定性測試圖，在硅片的上(top)、下(bottom)、左(left)、右(right)及中間(center)位置取5個點對其進行測試,從圖中可以看出，5個點劃片槽寬度波動劇烈，穩(wěn)定性差。

實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種熱板排風(fēng)裝置，能改善排風(fēng)效果，提高排風(fēng)速度及穩(wěn)定性。為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供的一種熱板排風(fēng)裝置，包括一熱板主蓋板、排風(fēng)導(dǎo)入口及一排風(fēng)轉(zhuǎn)接套口，所述熱板主蓋板及排風(fēng)轉(zhuǎn)接套口通過所述排風(fēng)導(dǎo)入口相接，所述熱板主蓋板的底面分布有均勻而密集的排風(fēng)口。較佳的，所述排風(fēng)口為圓形、方形或多邊形。較佳的，所述排風(fēng)口的大小根據(jù)實際需要進行調(diào)節(jié)。較佳的，所述熱板主蓋板的底面與加熱硅片平行。較佳的，所述排風(fēng)導(dǎo)入口設(shè)置在所述熱板主蓋板的側(cè)面中部。較佳的,還包括排風(fēng)動力端,所述排風(fēng)動力端與所述排風(fēng)轉(zhuǎn)接套口相連接。較佳的，所述排風(fēng)動力端為獨立排風(fēng)動力端。本實用新型熱板排風(fēng)裝置大大提高排風(fēng)效果和速度及穩(wěn)定性，直接提高了Polyimide劃片槽寬度的穩(wěn)定性。
以下結(jié)合附圖和具體實施方式
對本實用新型作進一步詳細(xì)的說明:
圖1是現(xiàn)有的熱板排風(fēng)裝置結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是現(xiàn)有的熱板排風(fēng)裝置使用狀態(tài)示意圖；[0015]圖3是利用現(xiàn)有的熱板排風(fēng)裝置Polyimide劃片槽寬度的穩(wěn)定性測試圖；圖4是本實用新型的熱板排風(fēng)裝置結(jié)構(gòu)示意圖；圖5是本實用新型的熱板排風(fēng)裝置使用狀態(tài)示意圖；圖6是利用本實用新型的熱板排風(fēng)裝置Polyimide劃片槽寬度的穩(wěn)定性測試圖。主要附圖標(biāo)記說明:扁錐形蓋板11 導(dǎo)入口 12轉(zhuǎn)接套口 13排風(fēng)口 14升降板15上熱板 16硅片17熱板主蓋板31排風(fēng)導(dǎo)入口 32排風(fēng)轉(zhuǎn)接套口 33 排風(fēng)口 34升降板35熱板36硅片37
具體實施方式
為使貴審查員對本實用新型的目的、特征及功效能夠有更進一步的了解與認(rèn)識，以下配合附圖詳述如后。如圖4、圖5所示，本實用新型的熱板排風(fēng)裝置，包括一熱板主蓋板31、排風(fēng)導(dǎo)入口32及一排風(fēng)轉(zhuǎn)接套口 33，所述熱板主蓋板31及排風(fēng)轉(zhuǎn)接套口 33通過所述排風(fēng)導(dǎo)入口 32相接，排風(fēng)轉(zhuǎn)接套口 33的另一端與獨立排風(fēng)動力端相連接(圖上為標(biāo)出)，所述熱板主蓋板31的底面分布有均勻而密集的排風(fēng)口 34，可以大大提高排風(fēng)效果和速度。其中，所述排風(fēng)口 34的形狀可以為圓型、方形、多邊形或者其他形狀；所述排風(fēng)口 34的大小可以根據(jù)實際需要進行調(diào)節(jié)。較佳的所述熱板主蓋板31的底面與加熱硅片37平行，較佳的所述排風(fēng)導(dǎo)入口 32設(shè)置在所述熱板主蓋板31的側(cè)面中部。在使用中熱板主蓋板31設(shè)置在升降板35上，升降板35安裝在熱板36上方。如圖6所示，為利用本實用新型的熱板排風(fēng)裝置Polyimide劃片槽寬度的穩(wěn)定性測試圖，在娃片的上(top)、下(bottom)、左(left)、右(right)及中間(center)位置取5個點對其進行測試，從圖中可以看出，5個點劃片槽寬度波動平穩(wěn)，與圖3相比，穩(wěn)定性有了明顯的改進。以上通過具體實施例對本實用新型進行了詳細(xì)的說明，但這些并非構(gòu)成對本實用新型的限制。在不脫離本實用新型原理的情況下，本領(lǐng)域的技術(shù)人員還可做出許多變形和改進，這些也應(yīng)視為本實用新型的保護范圍。
權(quán)利要求1.一種熱板排風(fēng)裝置，其特征在于，包括一熱板主蓋板、排風(fēng)導(dǎo)入口及一排風(fēng)轉(zhuǎn)接套口，所述熱板主蓋板及排風(fēng)轉(zhuǎn)接套口通過所述排風(fēng)導(dǎo)入口相接，所述熱板主蓋板的底面分布有均勻而密集的排風(fēng)口。
2.如權(quán)利要求1所述的熱板排風(fēng)裝置，其特征在于，所述排風(fēng)口為圓形、方形或多邊形。
3.如權(quán)利要求1所述的熱板排風(fēng)裝置，其特征在于，所述排風(fēng)口的大小根據(jù)實際需要進行調(diào)節(jié)。
4.如權(quán)利要求1所述的熱板排風(fēng)裝置，其特征在于，所述熱板主蓋板的底面與加熱硅片平行。
5.如權(quán)利要求1所述的熱板排風(fēng)裝置，其特征在于，所述排風(fēng)導(dǎo)入口設(shè)置在所述熱板主蓋板的側(cè)面中部。
6.如權(quán)利要求1所述的熱板排風(fēng)裝置，其特征在于，還包括排風(fēng)動力端，所述排風(fēng)動力端與所述排風(fēng)轉(zhuǎn)接套口相連接。
7.如權(quán)利要求6所述的熱板排風(fēng)裝置，其特征在于，所述排風(fēng)動力端為獨立排風(fēng)動力端。
專利摘要本實用新型公開了一種熱板排風(fēng)裝置，包括一熱板主蓋板、排風(fēng)導(dǎo)入口及一排風(fēng)轉(zhuǎn)接套口，所述熱板主蓋板及排風(fēng)轉(zhuǎn)接套口通過所述排風(fēng)導(dǎo)入口相接，所述熱板主蓋板的底面分布有均勻而密集的排風(fēng)口。本實用新型熱板排風(fēng)裝置能大大提高排風(fēng)效果和速度及穩(wěn)定性，直接提高了Polyimide劃片槽寬度的穩(wěn)定性。
文檔編號B05D3/06GK202984039SQ20122061434
公開日2013年6月12日 申請日期2012年11月19日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月19日
發(fā)明者丘志春, 陳顯旻, 吳長明 申請人:上海華虹Nec電子有限公司