專利名稱:清掃單元、具有它的處理液涂敷裝置和利用它的清掃方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及在基板上涂敷藥液的噴墨方式的處理液涂敷裝置,更詳細(xì)地說(shuō),涉及 清掃噴出處理液的噴嘴的清掃單元、具有它的處理液涂敷裝置和利用它的清掃方法。
背景技術(shù):
顯示影像的液晶顯示裝置由蒸鍍了多種薄膜的兩塊基板和夾在兩塊基板之間的 液晶層構(gòu)成。通常,由于在各基板上形成的薄膜具有多種形狀的圖案,所以為了保證圖案的 精密度,通過(guò)蒸鍍工序和光刻工序來(lái)形成。為了這樣地形成一個(gè)薄膜,由于利用使用昂貴的 掩膜的光刻工序,所以提高了制造成本,增加了制造工序的時(shí)間。最近,作為代替這樣的薄膜形成方法的方案,使用了利用噴墨打印方式的薄膜形 成方法。噴墨打印方式由于在基板的特定位置上涂敷藥液形成薄膜,所以不需要另外的蝕 刻工序。這樣的噴墨打印方式可以在形成液晶顯示裝置的彩色濾光片或定向膜等中使用。通常,噴墨打印裝置具有在基板上涂敷藥液的噴頭以及清掃噴頭的第一清掃單元 和第二清掃單元。噴頭具有噴出藥液的多個(gè)噴嘴,把藥液涂敷在基板的特定位置上。通常, 在噴墨打印裝置中使用的藥液的粘性高、揮發(fā)性強(qiáng),容易凝固。特別是在涂敷藥液后,藥液 可以殘留在噴嘴的噴出口周圍,這樣的殘留藥液凝固在噴出口的周圍,會(huì)堵塞噴嘴的噴出 口,或者在此后涂敷藥液時(shí),涂敷在基板上,從而形成不均勻的膜。為了防止這種情況,第一清掃單元和第二清掃單元清掃多個(gè)噴嘴,從而提高產(chǎn)品 的成品率。第一清掃單元刮掉殘存在噴頭的藥液噴出面上的藥液,從而第一次去除上述藥 液噴出面上的藥液,第二清掃單元以物理的方式擦拭藥液噴出面,去除藥液噴出面上的藥 液。具體地說(shuō),第一清掃單元具有刮板,刮板把藥液噴出面上的藥液刮掉。第二清掃單元具 有擦拭件,擦拭件與藥液噴出面接觸,擦掉藥液。特別是當(dāng)刮板在刮掉藥液的過(guò)程中與噴嘴碰撞時(shí),為了防止損壞噴嘴,刮板要由 柔軟材料構(gòu)成。這樣的柔軟材料的表面摩擦系數(shù)高,難以把表面加工成平坦面。因此,即使 在由第一清掃單元進(jìn)行第一次清掃后,在藥液噴出面上仍附有很多藥液,所以在第二次清 掃時(shí),增加了擦拭件的使用量。此外,附在刮板上端部的藥液難以流到刮板的下端部,并且 加工單價(jià)增加,難以更換。專利文獻(xiàn)1 日本專利公開(kāi)公報(bào)特開(kāi)2006-248102號(hào)
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種可以提高對(duì)噴出處理液的噴嘴進(jìn)行清掃的清掃效率的 清掃單元。此外,本發(fā)明的目的是提供一種具有上述清掃單元的藥液涂敷裝置。此外,本發(fā)明的目的是提供一種利用上述清掃單元對(duì)藥液涂敷裝置的噴嘴進(jìn)行清 掃的清掃方法。按照用于實(shí)現(xiàn)上述本發(fā)明目的的一個(gè)特征的清掃單元,其具有刮板和固定構(gòu)件。
刮板為板形,刮掉殘存在噴出處理液的噴頭的處理液噴出面上的處理液。固定構(gòu) 件連接所述刮板,固定所述刮板的位置。具體地說(shuō),所述固定構(gòu)件包括第一固定部和第二固定部。第一固定部配置成與所 述刮板的一個(gè)面相對(duì)。第二固定部設(shè)置成夾著所述刮板與所述第一固定部相對(duì),與所述第 一固定部連接,把所述刮板固定在所述第一固定部上。另一方面,所述刮板包括基底板,該基底板由壓縮紙(壓縮紙)材料構(gòu)成。此外,所述刮板還可以包括涂層。涂層涂敷在所述基底板的外面,由合成樹(shù)脂材料 構(gòu)成。此外,按照用于實(shí)現(xiàn)上述本發(fā)明目的的一個(gè)特征的處理液涂敷裝置,其具有基板 支承構(gòu)件、至少一個(gè)噴頭、第一清掃單元以及第二清掃單元。對(duì)象物放置在基板支承構(gòu)件上。噴頭在放置于所述基板支承構(gòu)件上的對(duì)象物上涂 敷處理液。第一清掃單元刮掉殘存在所述噴頭的處理液噴出面上的處理液。第二清掃單元 擦掉殘存在所述處理液噴出面上的處理液。具體地說(shuō),所述第一清掃單元包括刮板。刮板為板形,刮掉殘存在所述處理液噴出 面上的處理液。所述第一清掃單元還可以包括固定構(gòu)件。固定構(gòu)件與所述刮板連接,固定所述刮 板的位置。此外,按照用于實(shí)現(xiàn)上述本發(fā)明目的的一個(gè)特征的藥液涂敷裝置的清掃方法如下 所述。首先,用固定構(gòu)件固定板形的刮板。然后,把噴出處理液的噴頭配置在所述刮板的上 部。然后,所述刮板在配置成與所述噴頭的處理液噴出面垂直的狀態(tài)下,刮掉殘存在所述處 理液噴出面上的處理液。按照本發(fā)明,由于刮板為板形,其形狀容易改變,所以可以使刮板與殘存在噴出面 上的處理液的接觸面積最小。由此,清掃單元可以提高清掃效率,并且可以降低制造成本。
圖1是簡(jiǎn)要表示本發(fā)明一個(gè)實(shí)施方式的薄膜形成裝置的立體圖。圖2是表示圖1所示的噴墨打印部的立體圖。圖3是表示圖2所示的噴墨打印部的俯視圖。圖4是表示圖2所示的第一清掃單元的局部分解立體圖。圖5是表示圖4所示的第一清掃單元的俯視圖。圖6是表示圖5所示的固定構(gòu)件和刮板的局部分解立體圖。圖7是表示圖6所示的刮板的俯視圖。圖8是沿圖7的剖切線1-1’剖切的剖視圖。圖9是表示在去除處理液時(shí),圖6所示的刮板和第一噴頭的位置關(guān)系的側(cè)視圖。圖10是表示圖6所示的刮板的另一個(gè)例子的圖。圖11是表示在去除處理液時(shí),圖10所示的刮板和第一噴頭的位置關(guān)系的側(cè)視圖。圖12是表示圖6所示的第一固定部的另一個(gè)例子的圖。圖13是表示圖2所示的第一清掃單元清掃第一噴頭組件和第二噴頭組件的過(guò)程 的流程圖。
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圖14是表示在去除處理液時(shí),圖6所示的刮板和第一噴頭的配置關(guān)系的圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明100噴墨打印部200處理液供給部300裝料部400卸料部500分度器(4 ^寸)部600烘干部700主控制部
具體實(shí)施例方式下面,參照附圖對(duì)本發(fā)明優(yōu)選的實(shí)施方式進(jìn)行更詳細(xì)的說(shuō)明。下面,作為處理液涂 敷裝置,以用于形成液晶顯示裝置的彩色濾光片的噴墨打印裝置為一個(gè)例子進(jìn)行說(shuō)明,但 處理液涂敷裝置除了彩色濾光片以外也可以形成各種各樣的薄膜,可以廣泛用于形成液晶 顯示裝置以外的多種裝置中的薄膜或特定圖案。圖1是簡(jiǎn)要表示本發(fā)明一個(gè)實(shí)施方式的薄膜形成裝置的立體圖。參照?qǐng)D1,薄膜形成裝置1000可以包括噴墨打印部100、處理液供給部200、裝料部 300、卸料部400、分度器部500、烘干部600以及主控制部700。噴墨打印部100在基板上涂敷處理液,例如涂敷RGB墨水,從而在基板上形成彩色 濾光片。在該實(shí)施方式中,所述噴墨打印部100涂敷RGB墨水,形成彩色濾光片。可是,所 述噴墨打印部100除了 RGB墨水以外也可以涂敷其它多種處理液,由此,可以在基板上形成 與處理液對(duì)應(yīng)的薄膜,例如可以在基板上形成定向膜等多種薄膜。所述主控制部700設(shè)置在所述噴墨打印部100的一側(cè),控制所述噴墨打印部100 的工序條件,所述噴墨打印部100按照所述主控制部700的控制進(jìn)行涂敷工序。所述處理液供給部200設(shè)置在所述噴墨打印部100的一側(cè)。所述處理液供給部 200貯存用所述噴墨打印部100在基板上進(jìn)行涂敷的處理液,并向所述噴墨打印部100提供 所述處理液。在該實(shí)施方式中,所述處理液供給部200分別貯存所述RGB墨水,使它們的顏 色不相互混合。在所述噴墨打印部100的另一側(cè)并排設(shè)置有所述裝料部300,從外部提供并裝載 處于工序等待中的基板;以及所述卸料部400,裝載在所述薄膜形成裝置1000中完成了工 序的基板。所述裝料部300和所述卸料部400設(shè)置在所述分度器部500的一側(cè),所述裝料部 300和所述卸料部400隔著所述分度器部500與所述噴墨打印部100相對(duì)。所述分度器部 500與所述噴墨打印部100、所述裝料部300、所述卸料部400以及烘干部600連通,在所述 噴墨打印部100、所述裝料部300、所述卸料部400以及烘干部600之間傳送基板。具體地說(shuō),所述分度器部500具有傳送基板的傳送機(jī)械手(圖中沒(méi)有表示),所述 傳送機(jī)械手把基板從所述裝料部300拉出,傳送給所述噴墨打印部100。如果在所述噴墨打 印部100完成了向所述基板涂敷RGB墨水,則所述傳送機(jī)械手就把形成有彩色濾光片的基 板從所述噴墨打印部100拉出,傳送給所述烘干部600。所述烘干部600對(duì)被拉入的基板進(jìn)行加熱,使在所述基板上形成的薄膜硬化,也就是使彩色濾光片硬化,由此,利用薄膜形 成裝置1000完成了薄膜形成工序。所述傳送機(jī)械手在把完成了工序的基板從所述烘干部 600拉出后,傳送給所述卸料部400。利用送回裝置把裝載在所述卸料部400上的基板輸送 到外部。以上簡(jiǎn)要地對(duì)薄膜形成裝置1000的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說(shuō)明,下面,參照附圖對(duì)所述噴墨 打印部100進(jìn)行具體地說(shuō)明。圖2是表示圖1所示的噴墨打印部的立體圖,圖3是表示圖2所示的噴墨打印部 的俯視圖。參照?qǐng)D2和圖3,所述噴墨打印部100可以包括載物臺(tái)110、基板支承部120、龍門(mén) 架(Gantry) 130、第一噴頭組件140a、第二噴頭組件140b、第一噴頭移動(dòng)部151、第二噴頭移 動(dòng)部152、第一清掃單元160以及第二清掃單元170。在所述載物臺(tái)110上設(shè)置有用于涂敷所述處理液的設(shè)備,即,設(shè)置有基板支承部 120、龍門(mén)架130、第一噴頭組件140a、第二噴頭組件140b、第一噴頭移動(dòng)部151、第二噴頭移 動(dòng)部152、第一清掃單元160以及第二清掃單元170。在述載物臺(tái)110上設(shè)置有沿所述載物 臺(tái)110的一個(gè)邊延長(zhǎng)的中央導(dǎo)軌111,所述基板支承部120連接在所述中央導(dǎo)軌111上。所 述基板支承部120支承涂敷所述處理液的基板,可以沿所述中央導(dǎo)軌111移動(dòng)。此外,所述 基板支承部120可以設(shè)置有支承臺(tái),所述支承臺(tái)放置所述基板,并設(shè)置成能夠轉(zhuǎn)動(dòng),在涂敷 處理液的工序時(shí),把所述基板固定在所述支承臺(tái)上。另一方面,所述載物臺(tái)110可以具有第一導(dǎo)軌112a和第二導(dǎo)軌112b,它們?cè)O(shè)置成 隔著所述中央導(dǎo)軌111相互相對(duì)。所述第一導(dǎo)軌112a和第二導(dǎo)軌112b分別在與所述中央 導(dǎo)軌111相同的第一方向Dl上延長(zhǎng)而形成,具有與在所述第一方向Dl上延長(zhǎng)的所述載物 臺(tái)110的一個(gè)邊大體相同的長(zhǎng)度。所述龍門(mén)架130連接在所述第一導(dǎo)軌112a和第二導(dǎo)軌112b上。所述龍門(mén)架130 的兩個(gè)端部分別連接在所述第一導(dǎo)軌112a和第二導(dǎo)軌112b上,可以沿所述第一導(dǎo)軌112a 和第二導(dǎo)軌112b水平移動(dòng)。所述第一噴頭組件140a和第二噴頭組件140b固定設(shè)置在所述龍門(mén)架130上。在 所述龍門(mén)架130水平移動(dòng)時(shí),設(shè)置在所述龍門(mén)架130上的第一噴頭組件140a和第二噴頭組 件140b也一起移動(dòng),由此,可以使所述第一噴頭組件140a和第二噴頭組件140b的位置在 所述第一方向Dl上變化。所述第一噴頭組件140a和第二噴頭組件140b由所述處理液供給部200提供所述 處理液,向固定在所述基板支承臺(tái)120上的基板噴出所述處理液。在該實(shí)施方式中,所述噴 墨打印部100有兩個(gè)噴頭組件140a、140b,但所述噴頭組件140a、140b的個(gè)數(shù)可以根據(jù)工序 效率和噴頭組件140a、140b的大小增加或減少。所述第一噴頭組件140a和第二噴頭組件140b并排配置在所述第一方向Dl上,位 于相互隔開(kāi)的位置上。在該實(shí)施方式中,所述第一噴頭組件140a和第二噴頭組件140b具 有相同的結(jié)構(gòu)。因此下面對(duì)所述第一噴頭組件140a的結(jié)構(gòu)進(jìn)行具體說(shuō)明,省略對(duì)所述第二 噴頭組件140b的具體說(shuō)明。所述第一噴頭組件140a具有第一噴頭141a、第二噴頭142a和第三噴頭143a,所 述第一噴頭141a、第二噴頭142a和第三噴頭143a在第二方向D2上并排配置,所述第二方
8向D2與所述第一方向Dl在水平方向上垂直,所述第一噴頭141a、第二噴頭142a和第三噴 頭143a分別具有噴出處理液的多個(gè)噴嘴。在該實(shí)施方式中,所述第一噴頭組件140a具有三個(gè)噴頭141a、142a、143a,但所述 噴頭141a、142a、143a的個(gè)數(shù)可以根據(jù)工序效率和處理液的種類增加或減少。所述第一噴頭141a、第二噴頭142a和第三噴頭143a分別噴出具有相互不同顏色 的墨水,在所述基板上形成彩色濾光片。具體地說(shuō),所述第一噴頭141a噴出紅色的R墨水, 所述第二噴頭142a噴出綠色的G墨水,所述第三噴頭143a噴出藍(lán)色的B墨水。其中,所述 第一噴頭141a、第二噴頭142a和第三噴頭143a的墨水排列可以根據(jù)所述彩色濾光片的顏 色像素的排列而改變。所述各噴頭141a、142a、143a能夠以各噴頭141a、142a、143a的中心軸為基準(zhǔn)轉(zhuǎn)動(dòng)。在涂敷所述處理液的工序時(shí),所述第一噴頭141a、第二噴頭142a和第三噴頭143a 可以同時(shí)噴出墨水,也可以一次僅任意一個(gè)噴頭噴出墨水。此外,所述第一噴頭141a、第二 噴頭142a和第三噴頭143a也可以交替噴出墨水。此外,在涂敷所述處理液的工序時(shí),所述第一噴頭組件140a和第二噴頭組件140b 可以同時(shí)驅(qū)動(dòng),從所述第一噴頭組件140a和第二噴頭組件140b同時(shí)噴出墨水,所述第一噴 頭組件140a和第二噴頭組件140b也可以交替噴出墨水。此外,也可以首先驅(qū)動(dòng)第一噴頭 組件140a和第二噴頭組件140b中的任意一個(gè)噴頭組件涂敷墨水后,如果提供給該噴頭組 件的墨水全部耗盡,則再驅(qū)動(dòng)剩下的噴頭組件涂敷墨水。另一方面,所述第一噴頭組件140a和第二噴頭組件140b固定設(shè)置在第一噴頭移 動(dòng)部151上,在所述第一噴頭移動(dòng)部151上具有在所述第二方向D2上延長(zhǎng)的第一移動(dòng)導(dǎo) 軌。所述第一噴頭組件140a和第二噴頭組件140b連接在相互不同的第一移動(dòng)導(dǎo)軌上,可 以沿連接的第一移動(dòng)導(dǎo)軌在所述第二方向D2上往復(fù)移動(dòng)。其中,所述第一噴頭組件140a 和第二噴頭組件140b的各噴頭可以單獨(dú)沿連接的第一移動(dòng)導(dǎo)軌移動(dòng)。所述第一噴頭移動(dòng)部151固定設(shè)置在所述第二噴頭移動(dòng)部152上,在所述第二噴 頭移動(dòng)部152上設(shè)置有第二移動(dòng)導(dǎo)軌(圖中沒(méi)有表示)。所述第二移動(dòng)導(dǎo)軌在與所述第一 方向Dl和第二方向D2垂直的第三方向D3上延長(zhǎng),即,在與所述載物臺(tái)110的上表面垂直 的第三方向D3上延長(zhǎng)。所述第一噴頭移動(dòng)部151連接在所述第二移動(dòng)導(dǎo)軌上,可以沿所述 第二移動(dòng)導(dǎo)軌在上/下方向(第三方向D3)上往復(fù)移動(dòng)。所述第二噴頭移動(dòng)部152固定設(shè) 置在所述龍門(mén)架130上。在所述龍門(mén)架130上設(shè)置有沿所述第二方向D2延長(zhǎng)的第三移動(dòng) 導(dǎo)軌。所述第二噴頭移動(dòng)部152連接在所述第三移動(dòng)導(dǎo)軌上,可以沿所述第三移動(dòng)導(dǎo)軌在 所述第二方向D2上往復(fù)移動(dòng)。這樣,所述第一噴頭組件140a和第二噴頭組件140b利用所述龍門(mén)架130、所述第 一噴頭移動(dòng)部151和第二噴頭移動(dòng)部152,可以沿所述第一方向D1、第二方向D2及第三方 向D3移動(dòng)。即,所述第一噴頭組件140a和第二噴頭組件140b利用所述龍門(mén)架130的水平 移動(dòng),可以在所述第一方向Dl上移動(dòng),利用第二噴頭移動(dòng)部152的移動(dòng),可以在所述第二方 向D2上移動(dòng),利用所述第一噴頭移動(dòng)部151的移動(dòng),可以在所述第三方向D3上移動(dòng)。此外, 所述第一噴頭組件140a和第二噴頭組件140b的各噴頭可以沿對(duì)應(yīng)的第一移動(dòng)導(dǎo)軌在所述 第二方向D2上移動(dòng)。
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在涂敷所述處理液的工序時(shí),所述第一噴頭組件140a和第二噴頭組件140b可以 邊利用所述第一噴頭移動(dòng)部151、第二噴頭移動(dòng)部152及所述龍門(mén)架130移動(dòng),邊向所述基 板涂敷墨水。此外,也可以是所述基板支承臺(tái)120沿所述中央導(dǎo)軌111在所述第一方向Dl 上移動(dòng),所述第一噴頭組件140a和第二噴頭組件140b僅在所述第二方向D2和第三方向D3 上移動(dòng),來(lái)涂敷墨水。另一方面,維護(hù)修復(fù)區(qū)域位于所述載物臺(tái)110的所述中央導(dǎo)軌111和所述第二導(dǎo) 軌112b之間,在維護(hù)修復(fù)區(qū)域中設(shè)置有第一清掃單元160和第二清掃單元170。所述第一清掃單元160刮掉殘存在所述第一噴頭組件140a和第二噴頭組件140b 上的墨水。對(duì)所述第一清掃單元160結(jié)構(gòu)的說(shuō)明將通過(guò)后面敘述的圖4至圖12進(jìn)行具體 說(shuō)明。在所述第一清掃單元160 —側(cè)設(shè)置所述第二清掃單元170。所述龍門(mén)架130位于 初始位置時(shí),第二清掃單元170隔著所述第一清掃單元160與所述龍門(mén)架130相互相對(duì)。所 述第二清掃單元170擦掉附在所述第一噴頭組件140a和第二噴頭組件140b的各噴嘴上的 墨水,提高產(chǎn)品的成品率。其中,所述第二清掃單元170可以對(duì)通過(guò)所述第一清掃單元160 進(jìn)行了第一次清掃的噴嘴進(jìn)行第二次清掃,也可以對(duì)沒(méi)有由所述第一清掃單元160清掃過(guò) 的噴嘴進(jìn)行清掃。所述第二清掃單元170可以包括供給輥、回收輥以及擦拭件(wiper)。具體地說(shuō), 所述供給輥和所述回收輥通過(guò)所述擦拭件連接。所述擦拭件為帶狀,第一端部被固定在所 述供給輥上,第二端部被固定在所述回收輥上。在清掃所述第一噴頭組件140a和第二噴頭 組件140b時(shí),所述擦拭件與從所述第一噴頭組件140a和第二噴頭組件140b的各噴頭的噴 出墨水的噴出面接觸,擦掉殘留在所述各噴頭上的墨水。所述擦拭件在被卷在所述供給輥 上的狀態(tài)下進(jìn)行提供,因清掃所述噴嘴而被污染的部分被卷入到所述回收輥上。即,所述供 給輥提供沒(méi)有污染的擦拭件,所述回收輥回收被污染的擦拭件。下面,參照附圖對(duì)第一清掃單元160的結(jié)構(gòu)進(jìn)行具體說(shuō)明。圖4是表示圖2所示的第一清掃單元的局部分解立體圖,圖5是表示圖4所示的 第一清掃單元的俯視圖。參照?qǐng)D4和圖5,所述第一清掃單元160可以包括主框架161、清洗罐162、上部框 架163、多個(gè)刮板164以及多個(gè)固定構(gòu)件168。具體地說(shuō),所述主框架161為四邊形,上面開(kāi)口,并且側(cè)面的一部分開(kāi)口。所述清 洗罐162設(shè)置在所述主框架161的內(nèi)部,所述清洗罐162回收由所述刮板164去除的墨水。所述上部框架163設(shè)置在所述主框架161和所述清洗罐162的上部。所述上部框
架163與所述主框架161的上端部連接,是如所述主框架161那樣的四邊形,上面和下面開(kāi)□。所述多個(gè)刮板164以相等的間隔分開(kāi)設(shè)置在所述上部框架163的內(nèi)部,刮掉殘存 在所述各噴頭的噴出面上的處理液,所述處理液例如是墨水。在該實(shí)施方式中,所述第一清 掃單元160有六個(gè)刮板164,但所述刮板164的個(gè)數(shù)可以根據(jù)所述第一噴頭組件140a和第 二噴頭組件140b (參照?qǐng)D2)具有的噴頭個(gè)數(shù)而增加。所述多個(gè)刮板164被設(shè)置成與所述第一噴頭組件140a和第二噴頭組件140b的噴 頭一一對(duì)應(yīng),其配置也與所述第一噴頭組件140a和第二噴頭組件140b的噴頭配置相同。即,所述第一噴頭組件140a和第二噴頭組件140b以相互相對(duì)的方式并排配置,各噴頭組件 140a、140b的噴頭配置在與所述第一噴頭組件140a和第二噴頭組件140b的配置方向垂直 的方向上。同樣,所述刮板在所述第一噴頭組件140a和第二噴頭組件140b的配置方向上 以每列三個(gè)的方式配置成兩列。在該實(shí)施方式中,根據(jù)所述第一噴頭141a、第二噴頭142a及第三噴頭143a之間隔 開(kāi)的距離設(shè)定位于同一列的刮板之間隔開(kāi)的距離,所述多個(gè)刮板164可以同時(shí)清掃第一噴 頭組件140a具有的第一噴頭141a、第二噴頭142a及第三噴頭143a。利用所述多個(gè)固定構(gòu)件168把所述多個(gè)刮板164固定設(shè)置在所述上部框架163 上。所述多個(gè)固定構(gòu)件168被設(shè)置成與所述多個(gè)刮板164—一對(duì)應(yīng),與對(duì)應(yīng)的刮板連接。所 述刮板164和所述固定構(gòu)件168各自的結(jié)構(gòu)、所述刮板164與所述固定構(gòu)件168之間的連 接關(guān)系通過(guò)后面敘述的圖6至圖12進(jìn)行說(shuō)明。所述第一清掃單元160還可以包括清洗噴嘴169,該清洗噴嘴169清洗所述清洗罐 162。所述清洗噴嘴169并排配置在所述清洗罐162的上端內(nèi)側(cè),通過(guò)清洗液供給口 162a供 給清洗液,清洗所述清洗罐162的內(nèi)部。即,從所述清洗噴嘴169噴出的清洗液沿所述清洗 罐162內(nèi)壁流動(dòng),使殘存在所述清洗罐162內(nèi)壁上的異物排到外部,例如使從所述刮板164 流入到所述清洗罐162中的墨水排到外部。其中,在所述清洗罐162的下端部可以具有排 氣口 162b,該排氣口 162b把流入所述清洗罐162內(nèi)部的異物向外部排出,可以在所述排氣 口 162b中提供用于把異物吸入的排氣壓力。下面,參照附圖對(duì)所述刮板164和所述固定構(gòu)件168進(jìn)行具體說(shuō)明。圖6是表示圖5所示的固定構(gòu)件和刮板的局部分解立體圖,圖7是表示圖6所示 的刮板的俯視圖,圖8是沿圖7的剖切線1-1’剖切的剖視圖。參照?qǐng)D6至圖8,所述刮板164為板形,刮掉殘存在對(duì)應(yīng)的噴頭的噴出面上的處理 液,所述處理液例如是墨水。在該實(shí)施方式中,所述刮板164為四邊形,但所述刮板164的 形狀不限于此,可以是多種多樣的形狀。所述刮板164可以包括基底板61 ;以及涂層62,涂敷在所述基底板61的表面從 而保護(hù)所述基底板61。所述基底板61由形狀加工容易、總能保持一定的形狀并且可以彎折 的材料構(gòu)成,例如由壓縮紙材料構(gòu)成。這樣,由于所述刮板164由便宜的壓縮紙材料構(gòu)成, 所以可以降低成本,并且即使與對(duì)應(yīng)的噴頭的噴出面碰撞,也可以使對(duì)應(yīng)的所述噴頭的損 傷最小。所述涂層62的化學(xué)穩(wěn)定性好,具有耐藥液性能,由表面摩擦系數(shù)比所述壓縮 紙低的合成樹(shù)脂材料構(gòu)成,所述合成樹(shù)脂例如是聚丙烯(Polypropylene)或聚乙烯 (Polyethylene)。由此,附在所述刮板164上的墨水容易沿所述刮板164向下流動(dòng),容易流 入所述清洗罐162(參照?qǐng)D4),所以可以提高清掃效率。作為本發(fā)明的一個(gè)例子,所述刮板164可以具有約0. 2mm至約Imm的厚度。在該實(shí)施方式中,所述刮板164由基底板61和涂層62構(gòu)成,但也可以僅由所述基 底板61構(gòu)成。在所述刮板164僅由所述基底板61構(gòu)成的情況下,可以把所述刮板164的 厚度減小到比具有所述涂層62的情況下的小。圖9是表示在去除處理液時(shí),圖6所示的刮板和第一噴頭的位置關(guān)系的側(cè)視圖。 在圖9中僅表示了所述第一噴頭組件140a(參照?qǐng)D2)的第一噴頭141a和與其對(duì)應(yīng)的刮板
11164之間的位置關(guān)系,各噴頭和與其對(duì)應(yīng)的刮板之間的位置關(guān)系與此相同。參照?qǐng)D9,在去除殘存在各噴頭的噴出面上的墨水時(shí),所述第一噴頭組件140a的 所述第一噴頭141a利用所述龍門(mén)架130 (參照?qǐng)D2)的移動(dòng),配置在對(duì)應(yīng)的刮板164的上部。在所述第一噴頭141a的下表面設(shè)置有噴出墨水的多個(gè)噴嘴41,所述刮板164被 配置成與所述噴嘴41的噴出面41a垂直。在去除所述噴出面41a上的墨水20時(shí),為了防 止因所述刮板164造成所述噴出面41a的損傷,所述刮板164的第一端部位于與所述噴出 面41a隔開(kāi)的位置,與殘存在所述噴出面41a上的墨水20接觸。S卩,所述刮板164在與所 述噴出面41a不接觸的狀態(tài)下,僅接觸所述墨水20,去除所述噴出面41a上的墨水20。在該實(shí)施方式中,所述刮板164與所述噴出面41a之間隔開(kāi)的距離Tl為約0. 3mm 至約0. 1mm。此外,在該實(shí)施方式中,與所述墨水20接觸的所述刮板164的第一端部被配置成 與所述噴出面41a垂直。所述刮板164包括第一導(dǎo)向面64a、第二導(dǎo)向面64b以及去除面64c。所述第一導(dǎo) 向面64a和第二導(dǎo)向面64b相互相對(duì),且配置成與所述噴出面41a垂直。所述去除面64c 位于所述第一導(dǎo)向面64a和第二導(dǎo)向面64b之間,與所述第一導(dǎo)向面64a和第二導(dǎo)向面64b 基本垂直,由平坦的面構(gòu)成。所述去除面64c位于所述刮板164的第一端部,在去除所述墨 水20時(shí),與所述噴出面41a的墨水20接觸。在去除所述噴出面41a上的墨水20時(shí),所述第一噴頭141a在所述墨水20與所述 刮板164的第一端部接觸的狀態(tài)下水平移動(dòng),所述噴出面41a上的墨水20由于表面張力被 所述刮板164的第一端部牽引,被從所述噴出面41a去除。此時(shí),所述第一噴頭141a的行 進(jìn)方向HD為從所述第一導(dǎo)向面64a —側(cè)向所述第二導(dǎo)向面64b —側(cè)行進(jìn)的方向。由于所述刮板164為板形,所以可以使與所述墨水20的接觸面積最小,由此,為了 使所述刮板164與所述墨水20的接觸面積最小,沒(méi)有必要把所述去除面64c加工成傾斜 面,就可以提高清掃效率。圖10是表示圖6所示的刮板的另一個(gè)例子的圖,圖11是表示在去除處理液時(shí),圖 10所示的刮板和第一噴頭的位置關(guān)系的側(cè)視圖。參照?qǐng)D10和圖11,圖10所示的刮板180除了在清掃所述噴嘴41時(shí)與殘存在所 述噴出面41a上的墨水20接觸的第一端部182的形狀以外,具有與圖6至圖9所示的刮板 164相同的結(jié)構(gòu)和形狀。因此下面在對(duì)所述刮板180的具體說(shuō)明中,省略了與圖6所示的刮 板164重復(fù)的說(shuō)明。在清掃所述噴嘴41時(shí),所述刮板180被配置成與所述噴出面41a垂直,所述第一 端部182被向所述刮板的一個(gè)面彎折,以相對(duì)于所述刮板180的一個(gè)面傾斜的方式設(shè)置。在 該實(shí)施方式中,所述第一端部182與在所述第一端部182的彎折方向上與所述第一端部182 連接的所述刮板180的一個(gè)面所成的角度CA為大于90度且小于180度。在去除所述噴出面41a上的墨水20時(shí),所述第一噴頭141a在所述墨水20與所述 刮板180的第一端部182接觸的狀態(tài)下水平移動(dòng),所述噴出面41a的墨水20由于表面張力 被所述刮板180的第一端部182牽引,被從所述噴出面41a去除。此時(shí),所述刮板180被配 置成所述第一端部182的彎折方向與所述第一噴頭141a的行進(jìn)方向HD相反。由此,在清 掃所述噴嘴41時(shí),附在所述第一端部182上的墨水20靠重力與所述刮板180分離,落到所
12述清洗罐162(參照?qǐng)D4)內(nèi)。由此可以提高所述刮板180的清掃效率。再參照?qǐng)D5和圖6,所述刮板164連接在所述固定構(gòu)件168上,所述刮板164的位 置被固定。所述固定構(gòu)件168被固定設(shè)置在所述上部框架163上,可以包括第一固定部165 和第二固定部166。所述第一固定部165可以是板狀,配置成與所述刮板164相互相對(duì),固 定設(shè)置在所述上部框架163上。在該實(shí)施方式中,所述第一固定部165可以與所述上部框 架163設(shè)置成一體,也可以分開(kāi)設(shè)置。所述第二固定部166被配置成與所述第一固定部165相互相對(duì),夾著所述刮板164 與所述第一固定部165連接,從而把所述刮板164固定在所述第一固定部165上。在所述 固定構(gòu)件168和所述刮板164連接時(shí),所述刮板164被配置成第一端部比所述第一固定部 165和第二固定部166的上端部更向上突出。所述第二固定部166還可以具有導(dǎo)向桿166a,該導(dǎo)向桿166a設(shè)置于在橫向上相 互相對(duì)的兩個(gè)端部上。所述導(dǎo)向桿166a從所述第二固定部166突出,引導(dǎo)與所述第一固定 部165及所述刮板164的連接位置。在該實(shí)施方式中,所述第二固定部166有兩個(gè)導(dǎo)向桿 165a,但所述導(dǎo)向桿165a的個(gè)數(shù)可以根據(jù)所述固定構(gòu)件168的大小和連接效率增加或減 少。在所述刮板164上形成有多個(gè)貫通孔164a,所述導(dǎo)向桿166a可以插入該貫通孔 164a。所述多個(gè)貫通孔164a配置成在垂直方向上相互分隔開(kāi),分別在與所述刮板164的所 述第一端部相鄰的兩個(gè)端部上形成。在該實(shí)施方式中,所述刮板164在所述兩個(gè)端部分別 形成三個(gè)貫通孔164a,但所述貫通孔164a的個(gè)數(shù)可以根據(jù)所述固定構(gòu)件168的大小和連接 效率增加或減少。所述導(dǎo)向桿166a插入所述刮板164的垂直排列的貫通孔中的任意一個(gè)貫通孔中, 根據(jù)所述導(dǎo)向桿166a插入的貫通孔的位置,來(lái)改變所述刮板164相對(duì)于所述第一固定部 165和第二固定部166的相對(duì)的垂直位置。另一方面,在所述第一固定部165上形成有連接孔165a,所述導(dǎo)向桿166a可以 插入該連接孔165a,所述連接孔165a形成為與所述導(dǎo)向桿166a—一對(duì)應(yīng)。所述導(dǎo)向桿 166a順序貫通所述多個(gè)貫通孔164a中的任意一個(gè)以及對(duì)應(yīng)的連接孔165a,插入到該貫通 孔164a和連接孔165a中。所述固定構(gòu)件168還可以包括多個(gè)連接構(gòu)件167,該多個(gè)連接構(gòu)件167把所述刮 板164緊密固定在所述第一固定部165上。在該實(shí)施方式中,所述固定構(gòu)件168具有兩個(gè) 連接構(gòu)件167,所述連接構(gòu)件167的個(gè)數(shù)可以根據(jù)連接效率增加或減少。所述連接構(gòu)件167插入所述第二固定部166中,與所述刮板164的一個(gè)面相接,所 述第二固定部166形成有插入孔166b,該插入孔166b與所述連接構(gòu)件167 —一對(duì)應(yīng),所述 連接構(gòu)件167能夠插入該插入孔166b。具體地說(shuō),所述連接構(gòu)件167可以包括支承頭167a、連接柱167b以及磁性部 167c。所述支承頭167a的尺寸比所述插入孔166b的尺寸大,所述連接柱167a從所述支承 頭167a延長(zhǎng),插入到所述插入孔166b中。所述磁性部167c插入到所述連接柱167b的內(nèi) 部,具有磁性,一個(gè)面與所述刮板164的一個(gè)面相接。所述磁性部167c利用與所述第一固 定部165之間形成的磁力,把所述刮板164緊密固定在所述第一固定部165上。在該實(shí)施 方式中,所述第一固定部165為了與所述連接構(gòu)件167之間形成磁力,由對(duì)磁性有反應(yīng)的材料構(gòu)成,例如由不銹鋼材料構(gòu)成。這樣,所述固定構(gòu)件168利用所述連接構(gòu)件167的磁性使所述第一固定部165和 第二固定部166相互連接,所以容易組裝??梢栽谒鲞B接柱167b的表面形成螺紋,在所述第二固定部166的所述插入孔 166b的內(nèi)周面上,可以形成與所述連接柱167b的螺紋對(duì)應(yīng)的螺紋。由此,所述連接柱167b 的螺紋與所述插入孔166b的螺紋相互嚙合連接。圖12是表示圖6所示的第一固定部的另一個(gè)例子的圖。參照?qǐng)D6和圖12,第一固定部190可以包括固定主體191,與第二固定部166連 接;以及金屬層192,在所述固定主體191的一個(gè)面上形成。所述金屬層192與所述刮板164 相互相對(duì),由對(duì)所述磁性有反應(yīng)的金屬材料構(gòu)成,例如由不銹鋼材料構(gòu)成。由此,在所述連 接構(gòu)件167的磁性部167c與所述金屬層192之間產(chǎn)生磁力。在該實(shí)施方式中,所述金屬層192在所述固定主體191的一個(gè)面上形成,向外部露 出,但也可以裝在所述固定主體191的內(nèi)部。下面,參照附圖對(duì)所述第一清掃單元160清掃第一噴頭組件140a和第二噴頭組件 140b的噴出面的過(guò)程進(jìn)行具體說(shuō)明。圖13是表示圖2所示的第一清掃單元160清掃第一噴頭組件140a和第二噴頭組 件140b的過(guò)程的流程圖,圖14是表示在去除處理液時(shí),圖6所示的刮板與第一噴頭的配置 關(guān)系的圖。參照?qǐng)D2、圖5、圖13和圖14,首先,所述固定構(gòu)件168把所述刮板164固定設(shè)置在 所述上部框架163內(nèi)(SllO)。此后,使所述第一噴頭組件140a和第二噴頭組件140b配置在所述第一清掃單元 160 的上部(S120)。所述第一噴頭組件140a和第二噴頭組件140b水平移動(dòng),伴隨與此,所述刮板164 刮掉殘存在對(duì)應(yīng)的噴頭的噴出面上的藥液(S130)。此時(shí),如圖14所示,所述刮板164配置 成所述刮板164與在對(duì)應(yīng)的噴頭的長(zhǎng)度方向上延長(zhǎng)的任意線所成的角度為大于0度且小 于90度。如果完成了由所述第一清掃單元160進(jìn)行的第一次清掃,則用所述第二清掃單元 170對(duì)所述第一噴頭組件140a和第二噴頭組件140b進(jìn)行清掃(S140)。在該實(shí)施方式中,由所述第一清掃單元160進(jìn)行的清掃可以在完成了把墨水涂敷 在一塊基板上后進(jìn)行,在工序等待時(shí)間長(zhǎng)的情況下,也可以進(jìn)行由所述第一清掃單元160 進(jìn)行的清掃,用于去除在各噴嘴內(nèi)部凝固的墨水。另一方面,如果所述刮板164對(duì)所述第一噴頭組件140a和第二噴頭組件140b的 清掃反復(fù)進(jìn)行了預(yù)先設(shè)定的次數(shù),則把因清掃所述噴出面而被污染的部分去除后再利用 (S150)。S卩,由于所述刮板164的形狀容易改變,并且容易切除被污染的部分,所以可以把 被污染的部分切除后再使用。如果切除了所述被污染的部分,則所述刮板164的高度變低, 所以要變更所述導(dǎo)向桿166a插入的貫通孔。以上,參照實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明,但可以理解的是本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不脫離本 發(fā)明權(quán)利要求所記載的本發(fā)明的思想和領(lǐng)域的范圍內(nèi),可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種各樣的修改 和變更。
1權(quán)利要求
一種清掃單元,其特征在于包括刮板,為板形,刮掉殘存在噴出處理液的噴頭的處理液噴出面上的處理液;以及固定構(gòu)件,與所述刮板連接,固定所述刮板的位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清掃單元,其特征在于, 所述固定構(gòu)件包括第一固定部,配置成與所述刮板的一個(gè)面相對(duì);以及第二固定部,設(shè)置成夾著所述刮板與所述第一固定部相對(duì),與所述第一固定部連接,把 所述刮板固定在所述第一固定部上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的清掃單元,其特征在于, 所述固定構(gòu)件還包括至少一個(gè)連接構(gòu)件,插入所述第二固定部,并與所述刮板的一個(gè)面相接,把所述刮板緊 密固定在所述第一固定部上;所述第二固定部形成有插入孔,該插入孔與所述連接構(gòu)件對(duì)應(yīng)形成,所述連接構(gòu)件插 入所述插入孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的清掃單元,其特征在于, 所述連接構(gòu)件包括主體,該主體具有支承頭,尺寸比所述插入孔大;以及連接柱,從所述支承頭延長(zhǎng)并 插入到所述插入孔中;以及磁性部,插入所述連接柱的內(nèi)部,具有磁性,一個(gè)面與所述刮板的一個(gè)面相接,利用與 所述第一固定部之間形成的磁力,把所述刮板緊密固定在所述第一固定部上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的清掃單元,其特征在于,所述第一固定部由對(duì)所述磁性有反 應(yīng)的材料構(gòu)成。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的清掃單元,其特征在于, 所述第一固定部包括固定主體,與所述第二固定部連接;以及金屬層,連接在所述固定主體上,與所述刮板相對(duì),由對(duì)所述磁性有反應(yīng)的金屬材料構(gòu)成。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的清掃單元,其特征在于, 所述連接柱的表面形成有螺紋,在所述插入孔的內(nèi)周面上形成有與所述連接柱的螺紋對(duì)應(yīng)的螺紋。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的清掃單元,其特征在于, 所述刮板具有至少一個(gè)貫通孔,所述第一固定部和所述第二固定部中的至少任意一個(gè)具有連接孔, 剩余的一個(gè)包括至少一個(gè)導(dǎo)向部,該導(dǎo)向部從一個(gè)面突出,順序貫通所述貫通孔和所 述連接孔,并插入到所述貫通孔和所述連接孔中。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的清掃單元,其特征在于, 所述刮板具有多個(gè)所述貫通孔,多個(gè)所述貫通孔配置成在垂直方向上相互分隔開(kāi)。
10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的清掃單元,其特征在于還包括上部框架,固定設(shè)置所述第一固定部;以及 清洗罐,設(shè)置在所述上部框架之下,回收用所述刮板去除的處理液。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清掃單元,其特征在于,所述刮板以與在所述噴頭的長(zhǎng)度方 向上延長(zhǎng)的任意的線成比0度大且比90度小的角度傾斜的方式配置。
12.根據(jù)權(quán)利要求1至12中任一項(xiàng)所述的清掃單元,其特征在于, 所述刮板包括第一導(dǎo)向面和第二導(dǎo)向面,它們相互相對(duì),且被配置成與所述噴頭的處理液噴出面垂 直;以及去除面,位于所述第一導(dǎo)向面和所述第二導(dǎo)向面之間,與所述第一導(dǎo)向面和所述第二 導(dǎo)向面基本垂直,由平坦的面構(gòu)成,在去除所述處理液噴出面上的處理液時(shí),與所述處理液 接觸。
13.根據(jù)權(quán)利要求1至12中任一項(xiàng)所述的清掃單元,其特征在于,所述刮板被設(shè)置成 刮掉殘存在所述處理液噴出面上的處理液的一個(gè)端部向所述刮板的一個(gè)面彎折,相對(duì)于所 述刮板的所述一個(gè)面傾斜。
14.根據(jù)權(quán)利要求1至12中任一項(xiàng)所述的清掃單元,其特征在于,所述刮板包括基底 板,該基底板由壓縮紙材料構(gòu)成。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的清掃單元,其特征在于,所述刮板還包括涂層,該涂層涂敷 在所述基底板的外面,由合成樹(shù)脂材料構(gòu)成。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的清掃單元,其特征在于,所述合成樹(shù)脂材料是聚丙烯或聚 乙火布ο
17.—種處理液涂敷裝置,其特征在于包括 基板支承構(gòu)件,放置對(duì)象物;至少一個(gè)噴頭,在放置于所述基板支承構(gòu)件上的對(duì)象物上涂敷處理液; 第一清掃單元,刮掉殘存在所述噴頭的處理液噴出面上的處理液;以及 第二清掃單元,擦掉殘存在所述處理液噴出面上的處理液,所述第一清掃單元包括刮板,該刮板為板形,把殘存在所述處理液噴出面上的處理液刮掉。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的處理液涂敷裝置,其特征在于, 所述第一清掃單元還包括固定構(gòu)件,與所述刮板連接,固定所述刮板的位置。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的處理液涂敷裝置,其特征在于, 所述固定構(gòu)件包括第一固定部,配置成與所述刮板的一個(gè)面相對(duì);以及第二固定部,設(shè)置成夾著所述刮板與所述第一固定部相對(duì),與所述第一固定部連接,把 所述刮板固定在所述第一固定部上。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的處理液涂敷裝置,其特征在于, 所述固定構(gòu)件還包括至少一個(gè)連接構(gòu)件,插入所述第二固定部,與所述刮板的一個(gè)面相接,具有磁性,利用 與所述第一固定部之間形成的磁力,把所述刮板緊密固定在所述第一固定部上,所述第一固定部包含對(duì)所述磁性有反應(yīng)的物質(zhì),所述第二固定部形成有插入孔,該插入孔與所述連接構(gòu)件對(duì)應(yīng)形成,所述連接構(gòu)件插 入所述插入孔。
21.根據(jù)權(quán)利要求17至20中任一項(xiàng)所述的處理液涂敷裝置,其特征在于,所述刮板包 括基底板,該基底板由壓縮紙材料構(gòu)成。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的處理液涂敷裝置,其特征在于,所述刮板還包括涂層,該涂 層涂敷在所述基底板的外面,由合成樹(shù)脂材料構(gòu)成。
23.一種處理液涂敷裝置的清掃方法,其特征在于包括用固定構(gòu)件固定板形刮板的步驟;在所述刮板的上部配置噴出處理液的噴頭的步驟;以及所述刮板在被配置成與所述噴頭的處理液噴出面垂直的狀態(tài)下,刮掉殘存在所述處理 液噴出面上的處理液的步驟。
24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的處理液涂敷裝置的清掃方法,其特征在于,所述用固定構(gòu)件固定板形刮板的步驟,在把所述刮板配置在位置固定的所述固定構(gòu)件 的第一固定部上的狀態(tài)下,使所述固定構(gòu)件的第二固定部夾著所述刮板以能夠裝拆的方式 與所述第一固定部連接,把所述刮板固定在所述第一固定部上。
25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的處理液涂敷裝置的清掃方法,其特征在于,在所述刮板上形成有貫通孔,在所述第一固定部和所述第二固定部中的至少任意一個(gè)上形成有連接孔,在剩余的一個(gè)上形成有至少一個(gè)導(dǎo)向部,該導(dǎo)向部從一個(gè)面突出,所述導(dǎo)向部順序貫通所述貫通孔和所述連接孔,并插入所述貫通孔和所述連接孔中, 調(diào)節(jié)所述刮板與所述第一固定部和所述第二固定部之間的連接位置。
26.根據(jù)權(quán)利要求25所述的處理液涂敷裝置的清掃方法,其特征在于,在所述刮板上形成有多個(gè)所述貫通孔,多個(gè)所述貫通孔配置成在垂直方向上相互分隔開(kāi),所述刮板在把因清掃所述處理液噴出面而被污染的部分切除后能夠再利用,切除所述被污染的部分后,在再利用所述刮板時(shí),通過(guò)改變所述導(dǎo)向部所插入的所述 貫通孔,保持所述處理液噴出面與所述刮板之間隔開(kāi)適當(dāng)?shù)木嚯x。
27.根據(jù)權(quán)利要求23至26中任一項(xiàng)所述的處理液涂敷裝置的清掃方法,其特征在于, 所述刮板被配置成刮掉殘存在所述處理液噴出面上的處理液的第一端部與所述處理液噴 出面垂直。
28.根據(jù)權(quán)利要求23至26中任一項(xiàng)所述的處理液涂敷裝置的清掃方法,其特征在于, 所述刮板被設(shè)置成刮掉殘存在所述處理液噴出面上的處理液的第一端部向所述刮板的一 個(gè)面彎折,相對(duì)于所述刮板的所述一個(gè)面傾斜。
29.根據(jù)權(quán)利要求28所述的處理液涂敷裝置的清掃方法,其特征在于,在去除所述處理液時(shí),所述噴頭在所述刮板的上部水平移動(dòng),在去除所述處理液時(shí),所述第一端部的彎折方向與所述噴頭的移動(dòng)行進(jìn)方向相反。
全文摘要
本發(fā)明提供一種清掃單元、具有它的處理液涂敷裝置和利用它的清掃方法。清掃單元具有刮板和固定構(gòu)件。刮板為板形,刮掉殘存在噴出處理液的噴頭的處理液噴出面上的處理液。固定構(gòu)件與刮板連接,固定刮板的位置。刮板為板形,其形狀容易改變,可以使刮板與殘存在噴出面上的處理液的接觸面積最小。由此,清掃單元可以提高清掃效率、降低制造成本。
文檔編號(hào)B05B13/02GK101954790SQ20101022960
公開(kāi)日2011年1月26日 申請(qǐng)日期2010年7月13日 優(yōu)先權(quán)日2009年7月14日
發(fā)明者金容元, 金正善 申請(qǐng)人:細(xì)美事有限公司