專利名稱：功能液滴涂敷裝置、顯示裝置以及電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及采用噴墨法的功能液滴涂敷裝置和使用該涂敷裝置而制造的顯示裝置以及使用該顯示裝置制造的電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
作為通過噴墨法來涂敷功能液滴的方法，公知有一種通過噴墨法形成液晶面板的取向膜的方法(例如專利文獻(xiàn)1)。另外，公知有一種在取向膜的制造方法中具有特征，使兩種以上的取向膜原料從噴出口噴出，以馬賽克狀形成取向膜的方法(例如專利文獻(xiàn)2)。
專利文獻(xiàn)1特開平3-249623號公報專利文獻(xiàn)2特開平10-197873號公報然而，在通過噴墨法從功能液滴噴頭向基板等噴出功能液滴時，噴出在基板上的功能液滴在室溫下開始逐漸干燥。由于在一塊基板上，開始噴出功能液之后所經(jīng)過的時間不同，所以其干燥時間不同。
例如，目前從功能液滴噴頭噴出的功能液滴，與功能液滴涂敷裝置中所具有的并于此后將被噴出的功能液滴，表現(xiàn)出大致相同的液體特性。
但是，例如在功能液滴最初從功能液滴噴頭噴出到基板的時間比現(xiàn)在早一個小時的情況下，最初噴出的功能液滴和在一小時中放置于室溫下的功能液滴處于相同的狀態(tài)。
處于這種狀態(tài)的功能液滴，其噴出后的形狀的中央部功能液滴的厚度薄，與中央部的功能液滴的厚度相比，靠功能液滴的外廓附近部分的厚度厚。下面將這種現(xiàn)象稱為“上滲”。
當(dāng)發(fā)生這種“上滲”時，噴出到基板上的功能液滴的膜喪失均勻性，在功能液滴的膜構(gòu)成濾色鏡的情況下，難以確保所需的顏色特性。另外，如果功能液滴的膜在EL(Electro Luminescence)的熒光體，或者，功能液滴的膜在ELD(Electro Luminescence Display)的有機(jī)EL元件的各表示要素，或者，LCD(Liquid Crystal display)的導(dǎo)通布線、取向膜等上發(fā)生“上滲”，則會存在有損于各要素所被要求的功能的可能。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明針對上述問題而提出，其目的在于，在功能液滴噴出到基板上的涂敷工序和使噴出到基板上的功能液滴干燥的干燥工序之間，通過在基板載置于同一載物臺的狀態(tài)下，使從涂敷到干燥的速度加快，并根據(jù)需要使所述涂敷/干燥工序重復(fù)一次以上，從而防止了基板上的功能液滴的“上滲”并防止了基板的破損。
為了解決上述問題，要點在于本發(fā)明包括噴出功能液滴的功能液滴噴頭；涂敷有從所述功能液滴噴頭噴出的所述功能液滴的基板；載置所述基板的載物臺；以及干燥單元，其覆蓋載置于所述載物臺的所述基板的一部分或全部，對從所述功能液滴噴頭噴出到所述基板上的所述功能液滴進(jìn)行干燥。
由此，功能液滴從功能液滴噴頭噴出，使所噴出的功能液滴涂敷到載置于載物臺的基板上，并且以干燥單元覆蓋載置于載物臺的基板的一部分或全部，能夠?qū)墓δ芤旱螄婎^噴出到基板上的功能液滴進(jìn)行干燥。通過在功能液滴噴出到基板上的涂敷工序和使噴出到基板上的功能液滴干燥的干燥工序之間，使基板以載置于載物臺的狀態(tài)進(jìn)行移動，能夠防止基板上的功能液滴的“上滲”并防止基板的破損。
本發(fā)明的功能液滴涂敷裝置的所述干燥單元具有減壓干燥功能。
由此，由于本發(fā)明的功能液滴涂敷裝置的干燥單元具有減壓干燥功能，所以，能夠?qū)σ砸籂顕姵龅交迳线M(jìn)行涂敷的功能液滴的溶媒進(jìn)行干燥。通過使干燥單元內(nèi)部減壓，能夠以較低溫度在較短時間內(nèi)干燥功能液滴，從而，能夠防止基板上的功能液滴的“上滲”。
本發(fā)明的功能液滴涂敷裝置，其要點在于，對從所述功能液滴噴頭噴出所述功能液滴并將所述功能液滴涂敷到載置于所述載物臺的所述基板上的涂敷工序，以及通過干燥單元覆蓋載置于所述載物臺的所述基板的一部分或全部來干燥從所述功能液滴噴頭噴出到所述基板的所述功能液滴的干燥工序至少重復(fù)一次以上。
由此，由于本發(fā)明的功能液滴涂敷裝置，對從功能液滴噴頭噴出功能液滴并將功能液滴涂敷到載置于載物臺的基板上的涂敷工序，以及通過干燥單元覆蓋載置于載物臺的基板的一部分或全部來干燥從功能液滴噴頭噴出到基板上的功能液滴的干燥工序至少重復(fù)一次以上，從而，能夠防止基板上的功能液滴的“上滲”，并防止在基板載置于載物臺之前由于涂敷工序和干燥工序的重復(fù)而引起的基板的破損。
本發(fā)明的功能液滴涂敷裝置，其要點在于，由所述干燥單元和所述載物臺形成所述干燥工序中的減壓室。
由此，由于本發(fā)明的功能液滴涂敷裝置由干燥單元和載物臺形成干燥工序中的減壓室，因此，能夠維持減壓室的密閉性而獲得所希望的減壓。因此，能夠以短時間對涂敷到載置于載物臺的基板上的功能液滴進(jìn)行干燥，防止基板上的功能液滴的“上滲”。
本發(fā)明的功能液滴涂敷裝置，其要點在于，由所述干燥單元和所述基板形成所述干燥工序中的減壓室。
由此，由于本發(fā)明的功能液滴涂敷裝置由干燥單元和基板形成干燥工序中的減壓室，因此，在大型的功能液滴的情況下，可以通過干燥單元覆蓋基板上的功能液滴所需要干燥的位置來形成干燥工序中的減壓室以進(jìn)行干燥。從而，能夠防止基板上的功能液滴的“上滲”。
本發(fā)明的顯示裝置，其要點在于，使用本發(fā)明的功能液滴涂敷裝置進(jìn)行制造。
由此，由于本發(fā)明的顯示裝置使用本發(fā)明的功能液滴涂敷裝置進(jìn)行制造，所以，能夠防止基板上的功能液滴的“上滲”，并防止基板的破損，從而，能夠高品質(zhì)地提供高成品率的顯示裝置。
本發(fā)明的電子設(shè)備，其要點在于，具有本發(fā)明的顯示裝置。
由此，由于本發(fā)明的電子設(shè)備具有本發(fā)明的顯示裝置，所以，能夠高品質(zhì)地提供廉價的電子設(shè)備。


圖1是表示將本發(fā)明具體化的功能液滴涂敷裝置，將功能液滴噴出到基板上來涂敷功能液滴的涂敷工序，和對載置有基板的載物臺進(jìn)行移動的載物臺移動工序，以及干燥功能液滴的干燥工序的關(guān)系的流程圖。
圖2是表示在本發(fā)明的功能液滴涂敷裝置中，功能液滴被噴出到基板上的狀態(tài)的示意圖。
圖3是表示在本發(fā)明的功能液滴涂敷裝置中，基板移動到干燥單元下方狀態(tài)的示意圖，所述干燥單元對噴出到基板上的功能液滴進(jìn)行干燥。
圖4是表示基板的一部分或全部被干燥單元覆蓋，并且噴出到基板上的功能液滴被干燥狀態(tài)的示意圖。
圖中1—框體；2—載物臺單元；3—描繪單元；4—干燥單元；5—載物臺；5a—載物臺端面；6—載物臺軌道；10—功能液滴；11—功能液滴噴頭；11a—噴嘴；12a、12b—功能液滴噴頭驅(qū)動部；20—作為減壓室的干燥室；20a—凹部；20b—干燥室端面；20c—作為彈性部件的干燥室襯墊；21—減壓管；22—干燥室保持部；23—干燥室驅(qū)動部；25—室；50—基板；P1—涂敷位置；P2—干燥位置。
具體實施例方式
下面參照

將本發(fā)明具體化的實施例。
實施例1圖1是表示將本發(fā)明具體化的功能液滴涂敷裝置，將功能液滴噴出到基板上來涂敷功能液滴的涂敷工序，和對載置有基板的載物臺進(jìn)行移動的載物臺移動工序，以及干燥功能液滴的干燥工序的關(guān)系的流程圖。其中，圖1所記載的部件編號與圖2～圖4中所記載的部件編號對應(yīng)。
在步驟S1中，將基板50載置于載物臺5。在作為載物臺移動工序的步驟S2中，將載物臺5移動到描繪單元3下方的規(guī)定位置。在作為涂敷工序的步驟S3中，從功能液滴噴頭11噴出功能液滴10來制造所希望的圖案。對功能液滴10的材質(zhì)等將在后面敘述。功能液滴噴頭11可以利用噴墨法、分配方式，或者滴下方法等。
在步驟S4中，判斷是否進(jìn)行功能液滴10的干燥。在功能液滴10噴出到基板50上，比發(fā)生前述“上滲”現(xiàn)象的時間(以下稱作上滲發(fā)生時間)具有一定余裕，即達(dá)到比上滲發(fā)生時間短的時間(以下稱作上滲防止時間)時，判斷為需要進(jìn)行功能液滴10的干燥，中止功能液滴10從功能液滴噴頭11的噴出，進(jìn)入步驟S5。另外，在從功能液滴10開始噴出到基板50上的噴出經(jīng)過時間在上滲防止時間內(nèi)的情況下，由于沒發(fā)生“上滲”現(xiàn)象而不需要干燥。繼續(xù)步驟S3中的向基板50噴出功能液滴10。
在作為載物臺移動工序的步驟S5中，當(dāng)基板50載置于載物臺5的狀態(tài)下，將載物臺5移動到干燥單元4下方的規(guī)定位置。在作為干燥工序的步驟S6中，基板50的一部分或全部被具有干燥單元4的作為減壓室的干燥室20覆蓋。在作為干燥工序的步驟S7中，在具有干燥單元4的干燥室20內(nèi)進(jìn)行減壓，對功能液滴10進(jìn)行干燥。
在步驟S8中，判斷圖案是否完成。在圖案未完成的情況下，通過作為載物臺移動工序的步驟S9，將載物臺5移動到描繪單元3下方的規(guī)定位置。返回到步驟S3，從功能液滴噴頭11噴出功能液滴10，在基板50上制造圖案。因此，在圖案完成之前至少重復(fù)執(zhí)行一次以上該處理。另外，在圖案完成了的情況下，從載物臺5取下基板50，結(jié)束作業(yè)。
圖2～圖4是將本發(fā)明具體化的功能液滴涂敷裝置的示意圖。
圖2是表示在本發(fā)明的功能液滴涂敷裝置中，功能液滴被噴出到基板上的狀態(tài)的示意圖。
功能液滴涂敷裝置具有框體1、載物臺單元2、描繪單元3以及干燥單元4。載物臺單元2具有載置基板50的載物臺5，以及能夠使載物臺5移動或定位的載物臺軌道6，通過載物臺控制部(未圖示)和使載物臺5移動或定位的載物臺驅(qū)動部(未圖示)，將載物臺5移動到所希望的位置(以下稱為涂敷位置)P1來進(jìn)行定位。另外，載物臺端面5a是在與干燥單元4之間所使用的面。將在后面詳細(xì)敘述。
描繪單元3具有將功能液滴10噴出到基板50的功能液滴噴頭11；保持功能液滴噴頭11，相對于基板50能夠在圖中所示X軸方向、Z軸方向上相對改變位置的功能液滴噴頭驅(qū)動部12a；保持功能液滴噴頭驅(qū)動部12a，相對于基板50能夠在圖中所示的Y軸方向相對改變位置的功能液滴噴頭驅(qū)動部12b；向功能液滴噴頭11供給功能液滴10的功能液滴供給管(未圖示)；貯存功能液滴10的容器(未圖示)；以及用于從功能液滴噴頭11向基板50在所希望的位置和以所希望的量噴出功能液滴10而進(jìn)行控制的功能液滴噴出控制部(未圖示)。
干燥單元4包括具有凹部20a的作為減壓室的干燥室20、與干燥室20連通的減壓管21、連接減壓管21的減壓泵(未圖示)、保持干燥室20和減壓管21的干燥室保持部22、使干燥室保持部22在圖中所示的Y軸方向移動或定位的干燥室驅(qū)動部23、以及對干燥室驅(qū)動部23的移動或定位進(jìn)行控制的干燥室控制部(未圖示)。另外，在干燥室20的干燥室端面20b上，具有作為彈性部件的干燥室襯墊20c。
下面，對框體1、載物臺單元2、描繪單元3和干燥單元4的相互關(guān)系進(jìn)行說明。在框體1上設(shè)置載物臺單元2、描繪單元3和干燥單元4。載物臺單元2所具備的載物臺5通過載物臺控制部(未圖示)和載物臺驅(qū)動部(未圖示)的控制在載物臺軌道6上移動，相對描繪單元3被定位在規(guī)定位置(以下稱為涂敷位置)P1。
根據(jù)功能液滴10的粘性、表面張力和功能液滴噴頭11所具有的噴出功能液滴10的噴嘴11a的孔的大小等噴出條件，功能液滴噴頭驅(qū)動部12b在圖中Y軸方向移動來決定功能液滴噴頭11和基板50的距離。
功能液滴噴頭驅(qū)動部12a能夠在圖中X軸方向和Z軸方向移動，從而，能夠決定載置于載物臺5的基板50與功能液滴噴頭11的相對位置。另外，功能液滴噴出控制部(未圖示)與功能液滴噴頭驅(qū)動部12a的X軸方向和Z軸方向的移動同步，從功能液滴噴頭11噴出功能液滴10。功能液滴噴出控制部(未圖示)中存儲有與所希望圖案相關(guān)的噴出數(shù)據(jù)，基于該噴出數(shù)據(jù)，對功能液滴噴頭驅(qū)動部12a的X軸方向和Z軸方向的移動以及從功能液滴噴頭11噴出功能液滴10進(jìn)行控制。另外，在噴出多種功能液滴10的情況下，也通過功能液滴噴頭驅(qū)動部12b來改變功能液滴噴頭11和基板50的距離。
這里，對基板50的材質(zhì)進(jìn)行說明。基板50可以由無機(jī)物質(zhì)或有機(jī)物質(zhì)構(gòu)成。具體而言，可以是玻璃、石英、半導(dǎo)體基板、聚酰亞胺膜、布、環(huán)氧樹脂、偏光板、濾色鏡基板、熒光發(fā)光基板、EL基板、有機(jī)EL基板、液晶面板基板等，本發(fā)明對此沒有限定。
另外，對基板50的尺寸進(jìn)行說明。用于電視等的顯示裝置的尺寸，較大的情況下，厚約0.5～1厘米、橫向約2米、縱向約1米左右。
下面，對功能液滴10的材質(zhì)進(jìn)行說明。功能液滴10由擴(kuò)散于溶媒的無機(jī)物質(zhì)或有機(jī)物質(zhì)所形成的微粒構(gòu)成。具體的微粒有以銀為代表的幾納米大小的金屬和通過干燥而呈導(dǎo)電性的有機(jī)物、通過干燥而呈絕緣性的物質(zhì)、通過干燥而呈光學(xué)功能的物質(zhì)等。另外，作為利用領(lǐng)域，可以是液晶面板等的取向膜物質(zhì)、濾色鏡物質(zhì)、防止反射物質(zhì)、涂裝物質(zhì)、繪畫物質(zhì)、作為顯示裝置的熒光物質(zhì)、具有電氣導(dǎo)電性的圖案物質(zhì)、具有電絕緣性的圖案物質(zhì)、與食品的制造相關(guān)的顯示物質(zhì)等。
下面，對將基板50載置于載物臺5的方法進(jìn)行說明。存在通過在載物臺5和基板50之間減壓來進(jìn)行載置的方法，或者在載物臺5和基板50之間經(jīng)由彈性部件來進(jìn)行機(jī)械載置的方法等。
在功能液滴10從功能液滴噴頭11開始噴出后所經(jīng)過的噴出時間達(dá)到所述上滲防止時間的情況下，停止從功能液滴噴頭11噴出功能液滴10。此時，在維持基板50和載物臺5的相對位置的狀態(tài)下停止。
圖3是表示在本發(fā)明的功能液滴涂敷裝置中，基板移動到干燥單元下方的狀態(tài)的示意圖，其中，所述干燥單元對噴出到基板上的功能液滴進(jìn)行干燥。
在圖2中，當(dāng)處于停止從功能液滴噴頭11噴出功能液滴10的狀態(tài)下，載物臺5和載置于載物臺5的基板50，通過載物臺控制部(未圖示)和載物臺驅(qū)動部(未圖示)，從涂敷位置P1開始沿著載物臺軌道6移動(載物臺移動工序)。
當(dāng)載物臺5到達(dá)干燥位置P2，載物臺控制部(未圖示)和載物臺驅(qū)動部(未圖示)使載物臺5停止。
圖4是表示基板的一部分或全部被干燥單元覆蓋，并且噴出到基板上的功能液滴被干燥狀態(tài)的示意圖。
當(dāng)載物臺5到達(dá)干燥位置P2(參照圖3)并停止，通過干燥單元4所具備的干燥室控制部(未圖示)使干燥室驅(qū)動部23開始向紙面的下方移動。通過該移動，使保持于干燥室驅(qū)動部23的干燥室保持部22、干燥室20和減壓管21也移動。
在干燥室20的干燥室端面20b和載物臺5的載物臺端面5a緊密接觸之前，干燥室驅(qū)動部23持續(xù)移動。在干燥室端面20b上配設(shè)有由硅橡膠等構(gòu)成的作為彈性部件的干燥室襯墊20c，以提高干燥室端面20b和載物臺端面5a的密接性。這樣，在干燥室20的凹部20a和載物臺5或基板50之間形成了密閉的空間(以下稱為室)25，基板50的一部分或全部收容于室25內(nèi)，處于被覆蓋密閉的狀態(tài)。在載物臺5和基板50之間存在相當(dāng)于基板50的厚度的階梯差，但是能夠通過干燥室襯墊20c的彈性被吸收而構(gòu)成室25。
接下來，使連接于減壓管21的減壓泵(未圖示)工作，降低室25內(nèi)的壓力。由此，由于從功能液滴噴頭11噴出到基板50而進(jìn)行涂敷的功能液滴10，其包含的溶媒的沸點或蒸發(fā)點降低，所以室25具有能夠干燥功能液滴10的減壓干燥功能。另外，也可以為了獲得涂敷于基板50的功能液滴10所希望的功能而加熱至燒結(jié)溫度。
當(dāng)以規(guī)定條件進(jìn)行干燥的情況下，使減壓泵(未圖示)停止，在恢復(fù)大氣壓后，通過干燥室控制部(未圖示)使干燥室驅(qū)動部23向紙面上方移動，載物臺5與干燥室20分離而取消室25。
這里，在涂敷于基板50的功能液滴10的圖案未完成的情況下，再次通過載物臺控制部(未圖示)和載物臺驅(qū)動部(未圖示)，使載物臺5移動到涂敷位置P1，通過描繪單元3使功能液滴10在基板50上的噴出繼續(xù)進(jìn)行。當(dāng)再次開始的噴出經(jīng)過時間達(dá)到上滲防止時間時，至少重復(fù)進(jìn)行一次以上該作業(yè)。當(dāng)基板50上的功能液滴10的涂敷和干燥結(jié)束時，將基板50從載物臺5取下。
作為使用本發(fā)明的功能液滴涂敷裝置而制造的顯示裝置，例如有液晶面板、EL顯示裝置、有機(jī)EL顯示裝置等，本發(fā)明的顯示裝置不限于此，可以廣泛應(yīng)用于各種顯示裝置。
作為具有本發(fā)明的顯示裝置的電子設(shè)備，有便攜電話、鐘表、打印機(jī)、放映機(jī)，彩色電視機(jī)等，本發(fā)明的電子設(shè)備不限于此，能夠廣泛適用于各種電子設(shè)備。
下面說明實施例1的效果。
(1)在功能液滴噴出到基板50上的涂敷工序，和使噴出到基板50上的功能液滴干燥的干燥工序之間，通過使基板50以載置于載物臺5的狀態(tài)至少往復(fù)一次以上，能夠防止基板50上的功能液滴10的“上滲”。
(2)由于能夠以更短時間實現(xiàn)涂敷工序和干燥工序的轉(zhuǎn)換，因此能夠防止基板50上的功能液滴10的“上滲”而不會降低生產(chǎn)率。
(3)由于能夠不將基板50從載物臺取下而進(jìn)行涂敷工序和干燥工序的轉(zhuǎn)換，因此能夠防止基板50的破損。
下面說明前述實施例的變形例。
(變形例1)雖然基板50載置于載物臺5，在描繪單元3和干燥單元4之間至少往復(fù)了一次以上，但是也可以使基板50載置于載物臺5，而描繪單元3和干燥單元4交替地移動到載物臺5上，使涂敷工序和干燥工序至少重復(fù)一次以上。
權(quán)利要求
1.一種功能液滴涂敷裝置，包括功能液滴噴頭，用于噴出功能液滴；載物臺，用于載置基板，在所述基板涂敷從所述功能液滴噴頭噴出的所述功能液滴；干燥單元，對載置于所述載物臺的所述基板的一部分或全部進(jìn)行覆蓋，來干燥從所述功能液滴噴頭噴出到所述基板的所述功能液滴。
2.如權(quán)利要求1所述的功能液滴涂敷裝置，其特征在于，所述干燥單元具有減壓干燥功能。
3.如權(quán)利要求1或2所述的功能液滴涂敷裝置，其特征在于，至少重復(fù)進(jìn)行一次以上涂敷工序和干燥工序，所述涂敷工序，從所述功能液滴噴頭噴出所述功能液滴并將所述功能液滴涂敷到載置于所述載物臺的基板；所述干燥工序，通過所述干燥單元對載置于所述載物臺的所述基板的一部分或全部進(jìn)行覆蓋，來干燥從所述功能液滴噴頭噴出到所述基板的所述功能液滴。
4.如權(quán)利要求1～3中任意一項所述的功能液滴涂敷裝置，其特征在于，由所述干燥單元和所述載物臺形成所述干燥工序中的減壓室。
5.如權(quán)利要求1～3中任意一項所述的功能液滴涂敷裝置，其特征在于，由所述干燥單元和所述基板形成所述干燥工序中的減壓室。
6.一種顯示裝置，使用權(quán)利要求1～5中任意一項所述的所述功能液滴涂敷裝置進(jìn)行制造。
7.一種電子設(shè)備，具有權(quán)利要求6所述的所述顯示裝置。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于，通過在將功能液滴噴出到基板上的涂敷工序和使噴出到基板上的功能液滴干燥的干燥工序之間，以基板載置于同一載物臺的狀態(tài)使從涂敷到干燥的速度加快，并根據(jù)需要使所述涂敷/干燥工序重復(fù)一次以上，來防止基板上的功能液滴的“上滲”，并防止基板的破損。在步驟S8中判斷圖案是否完成。在圖案未完成的情況下，通過作為載物臺移動工序的步驟S9，使載物臺(5)移動到描繪單元(3)下方的規(guī)定位置。返回到步驟S3，從功能液滴噴頭(11)噴出功能液滴(10)，在基板(50)上制作圖案。從而，在圖案完成前至少重復(fù)進(jìn)行一次以上該處理。另外，當(dāng)圖案完成時，從載物臺(5)取下基板(50)，結(jié)束作業(yè)。
文檔編號G02F1/1337GK1885135SQ20061009463
公開日2006年12月27日 申請日期2006年6月20日 優(yōu)先權(quán)日2005年6月20日
發(fā)明者巖田裕二, 長坂學(xué) 申請人:精工愛普生株式會社