專利名稱：流體噴射裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種流體噴射裝置，特別涉及一種用于處理適用平面顯示器的基板表 面或者干燥清洗后的基板，并且減少依據(jù)自身重量產(chǎn)生的下垂現(xiàn)象，以保證噴射到基板上 的流體均勻性，從而可以穩(wěn)定地進行基板干燥工藝，且容易進行設(shè)置的流體噴射裝置。
背景技術(shù)：
通常，清洗裝置以預(yù)定壓力噴射氣體、液體或者它們的混合流體，以此來去除基板 表面上附著的異物。然后，利用干燥裝置干燥通過該清洗裝置清洗過的基板。如圖5所示，作為常規(guī)基板的干燥裝置來使用的流體噴射裝置101具有用于噴射 流體的長形狹縫，并在浴槽B內(nèi)部設(shè)置成其長度方向垂直于基板G的移動方向(圖5中用 箭頭來表示)。S卩，浴槽B的內(nèi)部設(shè)置有可以輸送基板的基板輸送裝置103。并且，基板輸送裝置 103可以朝箭頭方向(圖5的右側(cè)方向)移動基板G。流體噴射裝置101與基板G的移動 方向相垂直地橫穿設(shè)置，并對基板G的表面噴射壓縮空氣等流體，從而可以干燥基板G。此時，為了使流體噴射裝置101的干燥效率達到最大化，將流體噴射裝置101設(shè)置 成相對于基板G的表面傾斜預(yù)定角度a。如上所述，相對于基板G平面傾斜預(yù)定角度的流體 噴射裝置101使通過狹縫噴出的流體相對于基板G傾斜預(yù)定角度，從而可以使基板G的干 燥效率達到最大化。然而，如圖6所示，可以處理大型基板的流體噴射裝置101越是其長度L增加，下 垂(或彎曲)程度d就越大，從而噴射到基板上的流體(例如，干燥用氣體)均勻性就下降。只有在基板干燥用流體均勻地噴射到基板G的所有領(lǐng)域的情況下，才可以達到均 勻干燥的效果，但由于下垂導(dǎo)致噴射氣體的均勻性下降，因而會出現(xiàn)干燥不良現(xiàn)象。并且，現(xiàn)有流體噴射裝置101只有設(shè)置成相對于基板G傾斜預(yù)定角度，才會使基板 G的干燥效果達到最大化，但當(dāng)長度增加時，由于出現(xiàn)下垂現(xiàn)象，所以很難在傾斜狀態(tài)下進 行精細(xì)設(shè)置。

發(fā)明內(nèi)容
因此，為了解決上述問題，本發(fā)明提供一種為處理大型基板，即使長度增加也可以 減少下垂程度，以保持所噴射的流體均勻性，從而在進行大型基板處理時，可以防止出現(xiàn)干 燥不良現(xiàn)象的流體噴射裝置。并且，本發(fā)明還提供一種對大型基板進行清洗之后，使干燥效率達到最大化的同 時，可以容易進行設(shè)置的流體噴射裝置。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的流體噴射裝置包括主體，具有供流體流入的空間；流 體吐出部件，以所述主體的中心線為基準(zhǔn)傾斜預(yù)定角度地結(jié)合于主體上，并具有用于噴射 所述流體的狹縫；以及多個第一連接部件，用于連接所述主體和流體吐出部件。優(yōu)選地，所述流體吐出部件具有相互對向布置的第一部件和第二部件，所述第一部件和第二部件之間形成有供所述流體吐出的狹縫。優(yōu)選地，在所述第一部件和第二部件相互面對的部分形成有相隔預(yù)定距離的障壁，并且所述障壁之間布置有多個流道。優(yōu)選地，所述第一部件和所述第二部件相互面對的部分形成有與所述多個流道連 接的緩沖腔室。優(yōu)選地，所述第一部件和所述第二部件通過多個第二連接部件相互面對地結(jié)合在一起。優(yōu)選地，所述主體和所述吐出部件的兩側(cè)面形成有通過多個第三連接部件結(jié)合在 所述主體上的側(cè)面固定部件。優(yōu)選地，所述主體相對于所述基板以鉛垂方向設(shè)置。優(yōu)選地，所述主體上形成有做成曲面的曲面單元，從而防止下垂。優(yōu)選地，所述主體上結(jié)合有所述流體吐出部件的一面為傾斜面。如上所述，在本發(fā)明中，主體沿垂直方向設(shè)置，與主體相連接而形成一狹縫的流體 吐出部件以對主體中心線傾斜的方向結(jié)合在所述主體上，從而即使長度增加也可以使下垂 程度達到最少化，因而可以將流體均勻地噴射到基板上，以達到防止干燥不良的效果。而且，本發(fā)明將主體的上部和下部制作成相對基板形成曲面，所述曲面相當(dāng)于下 垂量大小，在如此制作的主體上固定流體吐出部件，以使依據(jù)自身重量的下垂程度達到最 小化，從而將流體均勻地噴射到基板上，達到防止干燥不良的效果。本發(fā)明可以在垂直設(shè)置主體的狀態(tài)下進行設(shè)置，從而可以簡單地進行精細(xì)設(shè)置， 并具有安裝性能優(yōu)秀的效果。


圖1是用于說明本發(fā)明實施例的外觀圖。圖2是圖1中主要部分的分解立體圖。圖3是圖1中III-III面圖。圖4是本發(fā)明的實施例中經(jīng)過加工的主體形狀圖。圖5是現(xiàn)有流體噴射裝置的示意圖。圖6是現(xiàn)有流體噴射裝置的示意圖。
具體實施例方式以下將參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的優(yōu)選實施例。圖1是用于說明本發(fā)明實施例的立體圖，圖2是圖1的分解立體圖，圖3是圖1所 示流體噴射裝置的III-III面圖。本發(fā)明實施例涉及的流體噴射裝置包括主體1，具有內(nèi)部 空間；流體吐出部件5，以傾斜狀態(tài)結(jié)合于主體1上并具有狹縫3 ；以及多個第一連接部件 7，用于連接主體1和流體吐出部件5。如圖2及圖3所示，主體1的內(nèi)部形成有用于容納流體的空間la，并且主體1的底 面為傾斜面lb。主體1為具有預(yù)定長度的長條(bar)形狀。主體1兩側(cè)的高度HI、H2最 好是不等。即，由于主體1的底面為傾斜面lb，所以兩側(cè)的高度H1、H2分別不同。優(yōu)選地， 基板G移動方向側(cè)的高度Hl比其反方向側(cè)的高度H2更大。
優(yōu)選地，主體1的傾斜面Ib形成為以基板G的移動方向為基準(zhǔn)傾斜預(yù)定角度。流體吐出部件5上形成有與主體1的空間Ia連通的狹縫3。所述流體吐出部件5 可以包含第一部件13和第二部件15。S卩，第一部件13和第二部件15相互對向布置，并且 它們之間形成有可以供流體吐出的長形狹縫3。所述狹縫3與所述主體1的空間Ia連通， 從而可以將流體吐出到外部。另外，在本發(fā)明的實施例中，流體吐出部件5通過螺栓等多個第一連接部件7與主 體5相結(jié)合。構(gòu)成流體吐出部件5的第一部件13和第二部件15通過多個第二連接部件17結(jié) 合在一起。并且，在第一部件13和第二部件15相結(jié)合的狀態(tài)下，所述第一部件13和第二 部件15通過第一連接部件7與主體1的傾斜面Ib相結(jié)合。另外，如圖2所示，第一部件13和第二部件15相面對的側(cè)面形成有相隔預(yù)定距離 的障壁13a、15a。而且，這些障壁13a、15a之間形成有多個流道13b、15b。并且，如圖3所示，所述第一部件13和第二部件15相面對的部分形成有與這些流 道13b、15b連接的緩沖腔室18。所述緩沖腔室18與流道13b、15b的下端連接，具有臨時存 儲流體的作用，從而可以使通過流道13b、15b噴射的流體均勻地吐出。此時，流體吐出部件5以傾斜狀態(tài)結(jié)合在主體1的傾斜面Ib上，從而狹縫3對基 板G也以傾斜狀態(tài)設(shè)置。S卩，如圖3所示，以主體1的中心線0-0’為基準(zhǔn)，流體吐出部件5 設(shè)置成傾斜預(yù)定角度A。如上所述，本發(fā)明實施例將高度Hl設(shè)置成比主體1頂面Ie的寬度W更大，從而可 以使自身重量引起的下垂達到最少化。尤其是，在本發(fā)明的實施例中，無需傾斜主體1，而將兩側(cè)面lc、ld相對于基板G成 垂直方向(鉛垂方向)設(shè)置，因此與通過傾斜主體1來進行固定的方式相比較，本發(fā)明的方 式可以進一步減少根據(jù)自身重量的下垂。另外，所述主體1上形成的空間Ia和流體吐出部件5為朝兩側(cè)開放的結(jié)構(gòu)時，額 外的側(cè)面固定部件9、11可通過螺栓等多個第三連接部件10、12結(jié)合在主體1的兩側(cè)上。 即，多個側(cè)面固定部件9、11結(jié)合在主體1和流體吐出部件5的兩側(cè)，具有封閉側(cè)面上暴露 的空間。并且，在此情況下，多個側(cè)面固定部件9、11上最好形成有使流體流入到空間Ia內(nèi) 的通道。另外，圖4是用于說明本發(fā)明另一實施例的主體1的示意圖。在本發(fā)明的另一實 施例中，可以將主體1頂面Ie的中央部分制作成比側(cè)面更向上突出的弧形后，結(jié)合所述流 體吐出部件5。而且，作為主體1底面的傾斜面Ib可制作成其中央部分向上彎曲的弧形后， 結(jié)合所述流體吐出部件5(以圖4為基準(zhǔn)說明)。當(dāng)然，本發(fā)明實施例的上述兩個方式也可 以同時實施。即，在本發(fā)明的另一實施例中，為使主體1頂面Ie的中央部分向上突出或者使作 為底面的傾斜面Ib成為弧形，將主體1制作成突出預(yù)定距離D的結(jié)構(gòu)，從而即使產(chǎn)生因自 身重量的下垂現(xiàn)象，下垂量會被距離D抵消，因而可以使主體1保持水平狀態(tài)。因此，在本發(fā)明的實施例中，為了干燥大型基板，即使流體噴射裝置的長度增加， 也可以根據(jù)自身重量有效防止下垂現(xiàn)象，從而可以使流體均勻地噴射到基板上，以防止基板干燥不良的現(xiàn)象，因而可以提高干燥效率。 并且，在本發(fā)明的實施例中，為了針對基板G形成預(yù)定噴射角度，而無需傾斜主體 1，只要通過垂直固定主體1的操作，就可以使狹縫3的角度針對基板G形成一傾斜角度，從 而可以實現(xiàn)精細(xì)設(shè)置，并且容易進行設(shè)置，具有提高安裝性能的效果。
權(quán)利要求
1.一種流體噴射裝置，其特征在于，包括 主體，具有流體流入的空間；流體吐出部件，以所述主體的中心線為基準(zhǔn)傾斜預(yù)定角度地結(jié)合于主體上，并具有用 于噴射所述流體的狹縫；以及多個第一連接部件，用于連接所述主體和流體吐出部件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體噴射裝置，其特征在于所述流體吐出部件具有相互對向布置的第一部件和第二部件，所述第一部件和所述第 二部件之間形成有供所述流體吐出的狹縫。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的流體噴射裝置，其特征在于在所述第一部件和所述第二部件相互面對的部分形成有相隔預(yù)定距離的多個障壁，并 且所述多個障壁之間布置有多個流道。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的流體噴射裝置，其特征在于所述第一部件和所述第二部件相互面對的部分形成有與所述多個流道連接的緩沖腔室。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的流體噴射裝置，其特征在于所述第一部件和所述第二部件通過多個第二連接部件相互面對地結(jié)合在一起。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體噴射裝置，其特征在于所述主體和所述吐出部件的兩側(cè)面形成有通過多個第三連接部件結(jié)合在所述主體上 的側(cè)面固定部件。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體噴射裝置，其特征在于 所述主體相對于所述基板以鉛垂方向布置。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體噴射裝置，其特征在于 所述主體上形成有做成曲面的曲面單元，從而防止下垂。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體噴射裝置，其特征在于 所述主體上結(jié)合有所述流體吐出部件的一面為傾斜面。
全文摘要
本發(fā)明提供一種流體噴射裝置，其用于處理適用平面顯示器的基板表面或者干燥清洗后的基板，并且減少依據(jù)自身重量產(chǎn)生的下垂現(xiàn)象，以保證噴射到基板上的流體均勻性，從而可以穩(wěn)定地進行基板干燥工藝，且可以容易進行設(shè)置。本發(fā)明的流體噴射裝置包括主體，具有流體流入的空間；流體吐出部件，以所述主體的中心線為基準(zhǔn)傾斜預(yù)定角度地結(jié)合于主體上，并具有用于噴射所述流體的狹縫；以及多個第一連接部件，用于連接主體和流體吐出部件。
文檔編號B05B1/02GK101992154SQ20101019826
公開日2011年3月30日 申請日期2010年6月4日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月24日
發(fā)明者樸庸碩, 李升垣 申請人:顯示器生產(chǎn)服務(wù)株式會社