專利名稱：光盤(pán)的制造方法和光盤(pán)制造裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光盤(pán)的制造方法和光盤(pán)制造裝置，更詳細(xì)地說(shuō)，本發(fā)明涉及包含用旋轉(zhuǎn)涂敷法涂敷液狀物質(zhì)的工序的光盤(pán)制造方法、和采用這種方法的光盤(pán)制造裝置。


圖14是表示作為最一般的再生專用光盤(pán)的CD-ROM的層構(gòu)成的剖面圖。
如圖14所示，CD-ROM由厚度約1.2mm的光透過(guò)層1、厚度約50nm的反射聚碳酸酯構(gòu)成，反射層2由鋁構(gòu)成，保護(hù)層3由紫外線硬化性樹(shù)脂構(gòu)成。在具有這種構(gòu)成的CD-ROM制作中，首先，使用原模注射模型成型具有與應(yīng)記錄的數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的凹坑的光透過(guò)層1，然后，在光透過(guò)層1中，在形成凹坑的面上用濺射法使鋁成膜，形成反射層2。接著，在反射層2的表面用旋轉(zhuǎn)敷層法形成紫外線硬化性樹(shù)脂，制成保護(hù)層3。這樣，即制成了由光透過(guò)層1、反射層2和保護(hù)層3構(gòu)成的CD-ROM。
形成保護(hù)層3的旋轉(zhuǎn)涂敷法，作為涂敷液狀物質(zhì)的方法不僅是光盤(pán)的制造方法，也是一種在半導(dǎo)體裝置制造中廣泛使用的方法。但是，用旋轉(zhuǎn)涂敷法形成的膜的膜厚，在遠(yuǎn)離滴下紫外線硬化性樹(shù)脂部分(滴下點(diǎn))的外側(cè)部分大致是均勻的，在滴下點(diǎn)附近，越接近滴下點(diǎn)則有急速變薄的傾向，為了在光盤(pán)記錄面上形成凹坑的區(qū)域(記錄區(qū)域)盡可能均勻地形成保護(hù)層3，理想的情況是將光盤(pán)的中心部作為滴下點(diǎn)。然而，在光盤(pán)的中心部，由于一般是形成用于驅(qū)動(dòng)用卡緊的孔，因此不可能就那樣將光盤(pán)的中心部作為滴下點(diǎn)。為此，在日本特開(kāi)平10-320850號(hào)公報(bào)、特開(kāi)平10-249264號(hào)公報(bào)、特開(kāi)平10-289489號(hào)公報(bào)、特開(kāi)平11-195250號(hào)公報(bào)、特開(kāi)平11-195251號(hào)公報(bào)、特開(kāi)平11-203724號(hào)公報(bào)、特開(kāi)平11-213459號(hào)公報(bào)中，都提出了用蓋罩塞住光盤(pán)中心部的孔，在蓋罩的中心部分滴下紫外線硬化性樹(shù)脂的方案。
但是，在上述各公報(bào)記載的方法中，由于用紫外線硬化性樹(shù)脂覆蓋了整個(gè)蓋罩上面，則在蓋罩的操作中將產(chǎn)生各種問(wèn)題。例如，在該公報(bào)記錄的方法中，紫外線硬化性樹(shù)脂將不可避免地附著在用于操作蓋罩的支桿上，不僅支桿被紫外線硬化性樹(shù)脂污染，而且擔(dān)心在制造裝置的其他部分和其他制造裝置也將附著紫外線硬化性樹(shù)脂，因此將使整個(gè)制造工序的可靠性變壞。附著在支桿上的紫外線硬化性樹(shù)脂，可考慮由設(shè)置支桿洗凈工序除去，然而，整個(gè)制造工序復(fù)雜化了。
上述各公報(bào)記載的方法，也存在在形成的膜中容易卷入具有該膜厚以下直徑的氣泡的問(wèn)題。這個(gè)問(wèn)題在形成CD-ROM的保護(hù)層3時(shí)還不是很大問(wèn)題，但對(duì)于下個(gè)世代型的光記錄媒體來(lái)說(shuō)，在形成通過(guò)從與基片的反面照射激光進(jìn)行數(shù)據(jù)的記錄和/或再生類型的光記錄媒體的光透過(guò)層時(shí)，則是重大問(wèn)題。
例如，對(duì)于記錄磁道間距為0.3μm、光透過(guò)層厚度約100μm的下個(gè)世代型的光記錄媒體，在光透過(guò)層中存在10μm×10μm大小的氣泡的情況下，當(dāng)設(shè)定位長(zhǎng)為0.130μm進(jìn)行記錄/再生時(shí)，則在記錄/再生時(shí)將產(chǎn)生連續(xù)76位的大規(guī)模誤差，并且，在以磁盤(pán)1周為1磁道時(shí)，將產(chǎn)生跨越33磁道的大規(guī)模誤差。比50μm大的氣泡，將對(duì)光拾波器的跟蹤隨動(dòng)系統(tǒng)和聚焦隨動(dòng)系統(tǒng)產(chǎn)生不良影響，是不能訂正的誤差的原因，也是造成跟蹤失誤和聚焦失誤的主要原因。
本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供改進(jìn)的、包含用旋轉(zhuǎn)涂敷法涂敷液狀物質(zhì)的工序的光盤(pán)制造方法和光盤(pán)制造裝置。
本發(fā)明的進(jìn)一步目的是提供防止污染用于操作蓋罩的支桿的光盤(pán)制造方法和光盤(pán)制造裝置。
本發(fā)明的進(jìn)一步目的是提供可以防止向光透過(guò)層混入氣泡的光盤(pán)制造方法。
本發(fā)明的目的由具有以下工序的光盤(pán)制造方法來(lái)達(dá)到，即對(duì)具有一個(gè)面是凸面的圓形傘部、和從上述傘部的上述凸面的中心突出設(shè)置的操作用突起的蓋罩的上述操作用突起進(jìn)行操作，將上述蓋罩載置在成膜基片的大致中心部的載置工序；在上述蓋罩的上述傘部的上述凸面滴下液狀物質(zhì)的滴下工序；通過(guò)一體地旋轉(zhuǎn)上述成膜基片和上述蓋罩，將上述液狀物質(zhì)涂敷在上述成膜基片的表面的旋轉(zhuǎn)敷層工序。
本發(fā)明中，由于在蓋罩上具有用于操作的突起，并將應(yīng)涂敷的液狀物質(zhì)的滴下點(diǎn)作為蓋罩的傘部，則在用于操作蓋罩的支桿上不會(huì)附著應(yīng)涂敷的液狀物質(zhì)。因此，大大地減少了在制造裝置等上附著應(yīng)涂敷的液狀物質(zhì)而造成污染的危險(xiǎn)，可以提高整個(gè)制造工序的可靠性，不必再設(shè)置支桿的洗凈工序。
本發(fā)明的理想實(shí)施例中，上述蓋罩還具有在上述傘部的上述凸面的反面設(shè)置的位置決定部，根據(jù)上述位置決定部的位置確定，進(jìn)行上述載置工序的上述蓋罩的載置。
按照本發(fā)明的理想實(shí)施例，由于在蓋罩設(shè)置了位置決定部，則能夠容易地進(jìn)行載置工序。
本發(fā)明的另一個(gè)理想實(shí)施例中，上述蓋罩的上述傘部具有越向外周部厚度越薄的形狀，上述蓋罩的上述位置決定部由從上述傘部的上述反面的中心突出設(shè)置的位置決定用突起構(gòu)成。
本發(fā)明的另一個(gè)理想實(shí)施例中，還具有在上述載置工序之后，通過(guò)吸引上述蓋罩的上述位置決定用突起，在上述成膜基片的表面按壓上述蓋罩的上述傘部的最外周部的吸引工序。
按照本發(fā)明的該理想實(shí)施例，可以提高傘部表面和成膜基片表面的平坦性，從而可使在旋轉(zhuǎn)涂敷工序中涂敷的液狀物質(zhì)的膜厚更為均勻。
本發(fā)明的另一個(gè)理想實(shí)施例中，上述液狀物質(zhì)是紫外線硬化性樹(shù)脂。
本發(fā)明的再一個(gè)理想實(shí)施例中，還具有一邊用第一紫外線掩模覆蓋上述成膜基片的中央部，一邊在上述成膜基片表面形成的上述紫外線硬化性樹(shù)脂上照射紫外線、使其硬化的第一紫外線照射工序；上述第一紫外線掩模的直徑大于上述蓋罩的上述傘部的直徑。
本發(fā)明的再一個(gè)理想實(shí)施例中，還具有操作上述蓋罩的上述操作用突起，從上述成膜基片的表面除去上述蓋罩的除去工序；上述除去工序之后，在上述成膜基片表面形成的上述紫外線硬化性樹(shù)脂上照射紫外線、使其硬化的第二紫外線照射工序。
本發(fā)明的另一個(gè)理想實(shí)施例中，上述蓋罩由塑料構(gòu)成。
本發(fā)明的另一個(gè)理想實(shí)施例中，上述蓋罩由聚烯烴構(gòu)成。
按照本發(fā)明的理想實(shí)施例，由于蓋罩和紫外線硬化性樹(shù)脂的親和性比較低，則比較容易進(jìn)行作為蓋罩材料的聚烯烴和紫外線硬化性樹(shù)脂的分離。
本發(fā)明的光盤(pán)制造裝置具有對(duì)具有一個(gè)面是凸面的圓形傘部、和從上述傘部的上述凸面的中心突出設(shè)置的操作用突起的蓋罩的上述操作用突起進(jìn)行操作的部件；在成膜基片大致中心部載置的上述蓋罩的上述傘部的上述凸面上滴下液狀物質(zhì)的部件；一體地旋轉(zhuǎn)上述成膜基片和上述蓋罩的部件。
本發(fā)明的光盤(pán)制造裝置是采用旋轉(zhuǎn)涂敷法在成膜基片表面涂敷液狀物質(zhì)的光盤(pán)制造裝置，其特征是具有載置上述成膜基片的可旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)；將上述成膜基片固定在上述工作臺(tái)的第一吸引部件；搬送蓋罩并將其載置在上述工作臺(tái)上的上述成膜基片中央部分的支桿；將上述蓋罩固定在上述成膜基片的第二吸引部件。上述第二吸引部件最好包含對(duì)上述蓋罩進(jìn)行位置確定的吸引口。
本發(fā)明的上述目的由光信息媒體制造方法完成，其光信息媒體是在具有中心孔的盤(pán)狀支持基體上，順次具有信息記錄層和含有樹(shù)脂的光透過(guò)層，用于記錄或再生的激光射束通過(guò)上述光透過(guò)層入射到上述信息記錄層；該制造方法具有在上述支持基體上設(shè)置上述信息記錄層后，用具有圓板部的閉塞部件的上述圓板部覆蓋上述支持基體的中心孔，接著，將含有放射線硬化型樹(shù)脂的涂敷液供給上述圓板部，然后，通過(guò)一體地旋轉(zhuǎn)上述閉塞部件和上述支持基體，使上述涂敷液在上述支持基體上延展、形成環(huán)狀樹(shù)脂層的樹(shù)脂延展工序，和通過(guò)放射線照射使上述樹(shù)脂層硬化形成上述光透過(guò)層的硬化工序，在上述涂敷液接觸的上述圓板部表面的至少一部分，使用滿足至少以下條件之一的閉塞部件，即(1)中心線平均粗糙度Ra為100nm以下(2)十點(diǎn)平均粗糙度Rz為1μm以下(3)粗糙度的平均傾斜角θa為1°以下。
本發(fā)明的理想實(shí)施例中，上述閉塞部件利用樹(shù)脂的注射模塑成形制成。
本發(fā)明的理想實(shí)施例中，上述閉塞部件具有從上述圓板部表面的中心部分突出的操作用突起。
本發(fā)明的發(fā)明者們反復(fù)研究的結(jié)果發(fā)現(xiàn)在閉塞部件表面，通過(guò)控制供給涂敷液區(qū)域的表面粗糙度，顯著地減少了混入到光透過(guò)層中的氣泡數(shù)量。
本發(fā)明中，利用降低材料成本的旋轉(zhuǎn)涂敷法，而且，使用可在媒體半徑方向抑制光透過(guò)層的厚度不均勻的閉塞部件以后，即能抑制向光透過(guò)層中的氣泡混入，以低成本提供高性能的光信息媒體。
若按照本發(fā)明控制閉塞部件的表面粗糙度，則可不依靠閉塞部件的構(gòu)成材料實(shí)現(xiàn)上述效果。
例如，使用不銹鋼等金屬材料，經(jīng)切削等加工部件制成閉塞部件，再對(duì)其表面進(jìn)行鏡面研磨，可以降低表面粗糙度。但是，必須經(jīng)切削和表面研磨加工的金屬制閉塞部件，由于制造費(fèi)用較高，所以反復(fù)使用為前提。然而，使用一次的閉塞部件，因其表面附著了涂敷液，不易于再利用。因此，為了反復(fù)使用，每使用一次都必需洗凈閉塞部件，增加了洗凈費(fèi)用。而且，為了減少洗凈帶來(lái)的時(shí)間損失，必需準(zhǔn)備多個(gè)閉塞部件，進(jìn)一步提高了成本。
此外，為了減低金屬制閉塞部件的表面粗糙度，也可利用研磨以外的方法。例如，用紫外線硬化型樹(shù)脂等各種樹(shù)脂對(duì)閉塞部件表面進(jìn)行涂敷，也可以得到本發(fā)明限定的表面粗糙度。使用紫外線硬化型樹(shù)脂時(shí)，在涂敷后可以進(jìn)行硬化也可以不進(jìn)行硬化。但有時(shí)，在進(jìn)行樹(shù)脂涂敷時(shí)，在涂敷膜表面附著了灰塵，或由于在涂敷時(shí)向閉塞部件背面蔓延的樹(shù)脂，使閉塞部件貼在支持基體側(cè)?；覊m附著在閉塞部件表面的涂敷膜時(shí)，是旋轉(zhuǎn)涂敷時(shí)缺點(diǎn)產(chǎn)生的原因，擔(dān)心不能得到均勻的光透過(guò)層。并且，由涂敷時(shí)向閉塞部件背面蔓延的樹(shù)脂使閉塞部件和支持基體形成粘結(jié)狀態(tài)時(shí)，有時(shí)將引起旋轉(zhuǎn)涂敷裝置動(dòng)作上的不協(xié)調(diào)。
本發(fā)明中，最好是采用樹(shù)脂注射模塑成形制作閉塞部件。用注射模塑成形法，能以低成本大量生產(chǎn)表面粗糙度小的閉塞部件。因此，閉塞部件可以用完扔掉。構(gòu)成閉塞部件的樹(shù)脂，由于可以與支持基體構(gòu)成材料相同(例如聚碳酸酯樹(shù)脂)，則可通過(guò)同一材料的大量供應(yīng)而降低材料成本。并且，當(dāng)利用注射模塑成形制作支持基體時(shí)，由于可對(duì)排出的剩余樹(shù)脂再利用，制作閉塞部件，則可減少?gòu)U棄物。
利用本發(fā)明的方法可制造的光盤(pán)種類，沒(méi)有特別的限制，不僅是例如CD-ROM、CD-R、CD-RW、DVD-ROM、DVD-R、DVD-RW等保護(hù)膜用旋轉(zhuǎn)涂敷法成膜類型的光盤(pán)，也可以制造光透過(guò)層用旋轉(zhuǎn)涂敷法成膜類型的光盤(pán)。
圖2(a)是概略表示用于實(shí)現(xiàn)本發(fā)明理想實(shí)施例的方法的制造裝置20主要部分的立體圖，圖2(b)是其概略剖面圖。
圖3是表示本發(fā)明理想實(shí)施例的光盤(pán)制造方法的一個(gè)工序(搬入工序)的圖。
圖4是表示本發(fā)明理想實(shí)施例的光盤(pán)制造方法的一個(gè)工序(成膜基片10’的載置工序)的圖。
圖5是表示本發(fā)明理想實(shí)施例的光盤(pán)制造方法的一個(gè)工序(蓋罩40的載置工序)的圖。
圖6是表示蓋罩40形狀的概略立體圖。
圖7是表示本發(fā)明理想實(shí)施例的光盤(pán)制造方法的一個(gè)工序(紫外線硬化性樹(shù)脂50的滴下工序)的圖。
圖8是表示本發(fā)明理想實(shí)施例的光盤(pán)制造方法的一個(gè)工序(旋轉(zhuǎn)涂敷工序)的圖。
圖9是表示本發(fā)明理想實(shí)施例的光盤(pán)制造方法的一個(gè)工序(第一紫外線照射工序)的圖。
圖10是表示本發(fā)明理想實(shí)施例的光盤(pán)制造方法的一個(gè)工序(蓋罩40的除去工序)的圖。
圖11是表示本發(fā)明理想實(shí)施例的光盤(pán)制造方法的一個(gè)工序(第二紫外線照射工序)的圖。
圖12是表示本發(fā)明理想實(shí)施例的光盤(pán)制造方法的一個(gè)工序(搬出工序)的圖。
圖13(A)～(E)是分別表示蓋罩70～110構(gòu)造的概略剖面圖。
圖14是表示CD-ROM層構(gòu)成的剖面圖。
圖1是概略表示利用本實(shí)施例的方法制造的光盤(pán)(光記錄媒體)10的剖面圖。
如圖1所示，光盤(pán)10由厚度約1.1mm的基片11、厚度約70～130nm的反射層12、厚度約100～250nm的記錄層13、厚度約50～150μm的光透過(guò)層14構(gòu)成。在光盤(pán)10的中央部分設(shè)有孔15?；?1由聚碳酸酯構(gòu)成，反射層12由以銀為主要成分的合金構(gòu)成。記錄層13實(shí)際上具有用電介質(zhì)膜夾住記錄數(shù)據(jù)的相變化膜上下的多層構(gòu)造。光透過(guò)層14由紫外線硬化性樹(shù)脂構(gòu)成。當(dāng)進(jìn)行具有上述構(gòu)造的光盤(pán)10的數(shù)據(jù)讀出時(shí)，從光透過(guò)層14側(cè)照射讀出用激光并檢出其反射光通量差。當(dāng)向光盤(pán)10進(jìn)行數(shù)據(jù)寫(xiě)入時(shí)，從光透過(guò)層14側(cè)照射寫(xiě)入用激光，使記錄層13的狀態(tài)(相變化膜的結(jié)晶構(gòu)造)變化。
利用本實(shí)施例的方法制造的光盤(pán)10是光透過(guò)層14用旋轉(zhuǎn)涂敷法成膜類型的光盤(pán)。但是，如上所述，利用本發(fā)明的方法能制造的光盤(pán)的種類，不限定于此，也包含保護(hù)膜用旋轉(zhuǎn)敷層法成膜類型的光盤(pán)(例如CD-ROM)。
圖2(a)是概略表示用于實(shí)現(xiàn)本實(shí)施例的方法的制造裝置20主要部分的立體圖，圖2(b)是其概略剖面圖。
如圖2(a)和(b)所示，制造裝置20具有直徑與光盤(pán)10的直徑大致相等的工作臺(tái)21；設(shè)置在工作臺(tái)21的中央部的第一突出部22；設(shè)置在第一突出部22的中央部的第二突出部23。工作臺(tái)21、第一突出部22和第二突出部23實(shí)質(zhì)上是一體的，當(dāng)未圖示的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)動(dòng)作時(shí)，它們整體旋轉(zhuǎn)。
第一突出部22是載置應(yīng)制造光盤(pán)10的前驅(qū)體(本說(shuō)明書(shū)中稱其為「成膜基片10’」)的中心部近旁的卡緊區(qū)域的部分，在其表面設(shè)置了多個(gè)第一吸氣口24。當(dāng)未圖示的第一吸氣機(jī)構(gòu)動(dòng)作時(shí)，第一突出部22載置的成膜基片10’為吸著狀態(tài)，實(shí)質(zhì)上被固定在制造裝置20上。
第二突出部23，其直徑對(duì)應(yīng)于光盤(pán)10的孔15的直徑，當(dāng)?shù)谝煌怀霾?2載置成膜基片10’時(shí)，成為將第二突出部23插入在成膜基片10’的孔15的狀態(tài)。在第二突出部23的中央部設(shè)置了第二吸氣口25。第二吸氣口25通過(guò)未圖示的第二吸氣機(jī)構(gòu)吸氣。
以下，說(shuō)明本實(shí)施例的光盤(pán)制造方法。
首先，利用搗實(shí)器并采用注射模塑成形法制作形成了予置溝槽的基片11。接著，在基片11上形成予置溝槽的整個(gè)面上用噴濺法形成反射層12，然后，在反射層12的整個(gè)面上采用噴濺法形成記錄層13。
然后，如圖3所示，利用前端由具有柔軟性的吸著襯墊構(gòu)成的第一支桿31，搬送在基片11上形成反射層12和記錄層13的成膜基片10’，將成膜基片10’載置在第一突出部22上。這里，第一支桿31是制造裝置20的一部分。圖4表示在第一突出部22上載置成膜基片10’的狀態(tài)。成膜基片10’的載置是以形成記錄層13的一側(cè)為上面。當(dāng)?shù)谝恢U31搬送成膜基片10’時(shí)，吸著記錄層13表面未記錄數(shù)據(jù)的區(qū)域(典型的是距成膜基片10’中心約21mm以內(nèi)的區(qū)域)，即孔15的近旁。此外，在基片11上，通過(guò)成形用金屬模內(nèi)的「搗實(shí)器搗錘」，往往在未記錄上述數(shù)據(jù)區(qū)域的內(nèi)側(cè)形成圓環(huán)狀溝16，當(dāng)形成這種圓環(huán)狀溝16時(shí)，即可通過(guò)吸著其內(nèi)側(cè)區(qū)域搬送成膜基片10’。圖3和圖4表示第一支桿31通過(guò)吸著圓環(huán)狀溝16的內(nèi)側(cè)區(qū)域搬送成膜基片10’的狀態(tài)。溝16在圖1中被省略。
當(dāng)在第一突出部22載置成膜基片10’時(shí)，未圖示的第一吸氣機(jī)構(gòu)動(dòng)作，在第一突出部22載置的成膜基片10’，由第一吸氣口24吸著，實(shí)質(zhì)上以第二突出部23嵌合在孔15中的狀態(tài)被固定。
接著，用第二支桿32搬送蓋罩(閉塞部件)40，將蓋罩40載置在已固定的成膜基片10’的中心部。第二支桿32是制造裝置20的一部分。圖5表示在成膜基片10’的中心部載置蓋罩40的狀態(tài)。
圖6是表示蓋罩40形狀的概略立體圖。
如圖6所示，蓋罩40具有帶有凸面和凹面并越向外周部厚度越薄的圓形傘部(圓板部)41；從傘部41的凹面中心向一方突出設(shè)置的第一突起42；從傘部41的凸面中心向另一方突出設(shè)置的第二突起43。蓋罩40的材料可以是金屬、樹(shù)脂、陶瓷等任意一種，也可以是使用其2種以上的復(fù)合材料。傘部41和第一與第二突起42、43可以由不同的材料構(gòu)成。但是，為了實(shí)現(xiàn)低成本化，理想的情況是用樹(shù)脂的注射模塑成形制作蓋罩40。
利用樹(shù)脂的注射模塑成形制作蓋罩40時(shí)，所用樹(shù)脂沒(méi)有特別的限定，可以從丙烯基系列、苯乙烯系列、鏈烯烴系列、酰胺纖維系列、橡膠系列等各種樹(shù)脂中，根據(jù)要求的價(jià)格和特性(耐藥品性、柔軟性等)適當(dāng)選擇，特別是聚碳酸酯樹(shù)脂、聚烯烴樹(shù)脂、氟樹(shù)脂中的任一種都是理想的，使用聚烯烴樹(shù)脂特別理想。注射模塑成形條件沒(méi)有特別的限定，例如可以設(shè)定金屬模溫度和樹(shù)脂熔融溫度的各種組合。通常，希望金屬模溫度和樹(shù)脂熔融溫度較低。這些溫度若較低，則由于金屬模表面的復(fù)制性較低，表面粗糙度變小。并且，由于冷卻迅速，則從金屬模取出時(shí)的溫度較低，其結(jié)果是取出時(shí)不易變形，平坦性良好。
傘部41的直徑，設(shè)定大于應(yīng)制造的光盤(pán)10的孔15的直徑，小于應(yīng)制造的光盤(pán)10的數(shù)據(jù)記錄區(qū)域的最內(nèi)周的直徑。但是，由于后述的紫外線硬化性樹(shù)脂蔓延到傘部41的下面，污染孔15的周面(盤(pán)基片的內(nèi)周面)，希望傘部41的直徑比孔15的直徑大4mm以上，最好大8mm以上。當(dāng)取出傘部41時(shí)，由于很容易損壞其近旁光透過(guò)層14的形狀，希望傘部41的直徑比信息記錄層的內(nèi)徑小3mm以上，最好小5mm以上。并且，當(dāng)存在上述圓環(huán)狀溝16時(shí)，將設(shè)定大于圓環(huán)狀溝16的直徑。
具體的尺寸，也可以隨孔15的直徑和信息記錄層的內(nèi)徑而不同，當(dāng)光盤(pán)10的直徑是60～130mm時(shí)，傘部41的直徑是20～40mm，最好在25～38mm的范圍內(nèi)。當(dāng)存在上述圓環(huán)狀溝16時(shí)，應(yīng)制造的光盤(pán)10的孔15的直徑是15mm，圓環(huán)狀溝16的直徑是36mm，當(dāng)應(yīng)制造的光盤(pán)10的數(shù)據(jù)記錄區(qū)域最內(nèi)周的直徑是42mm時(shí)，傘部41的直徑最好設(shè)定在36.5mm～40mm。
傘部41的錐形狀，當(dāng)在成膜基片10’的中心部載置蓋罩40時(shí)，理想的情況是傘部41的最外周部(前端)連接成膜基片10’的表面，內(nèi)周部不與制造裝置20的第二突出部23連接。
第一突起42的直徑對(duì)應(yīng)于制造裝置20的第二吸氣口25的直徑，如圖5所示，當(dāng)在成膜基片10’的中心部載置蓋罩40時(shí)，成為將第一突起42插入在第二吸氣口25的狀態(tài)。也就是，第一突起42具有當(dāng)載置蓋罩40時(shí)的位置決定構(gòu)件的作用。第一突起42的長(zhǎng)度，沒(méi)有特別的限定。
第二突起43的直徑和長(zhǎng)度，對(duì)于第二支桿32來(lái)說(shuō)若可以操作，也沒(méi)有特別的限定，但在傘部41近旁的第二突起43的最小直徑，希望不足4mm，最好是2mm以下。當(dāng)在傘部41近旁的第二突起43的直徑過(guò)大時(shí)，涂敷開(kāi)始位置將離開(kāi)傘部41的中央，加大了在形成的光透過(guò)層14的直徑方向的厚度不均勻。當(dāng)在傘部41近旁的第二突起43的直徑過(guò)小時(shí)，第二突起43的機(jī)械強(qiáng)度將不夠充分，因此，上述最小直徑希望是0.5mm以上，最好是0.7mm以上。第二突起43的長(zhǎng)度，沒(méi)有特別的限定，可以考慮到向其外周面容易供給涂敷液以及把持時(shí)容易操縱來(lái)適當(dāng)決定，希望是5～100mm，最好是10～3mm。當(dāng)?shù)诙黄?3過(guò)短時(shí)，擔(dān)心在用于操作蓋罩40的第二支桿32上附著紫外線硬化性樹(shù)脂，并且也難于把持。當(dāng)?shù)诙黄?3過(guò)長(zhǎng)時(shí)，操縱煩瑣。
蓋罩40，其傘部41的凸面(設(shè)置第二突起43的一面)的至少一部分，希望是全部，中心線平均粗糙度Ra為100nm以下，最好是70nm以下，或者十點(diǎn)平均粗糙度Rz為1μm以下，最好是0.5μm以下，或者粗糙度的平均傾斜角θa為1°以下，最好是0.4°以下。當(dāng)上述Ra、Rz和θa的任一個(gè)脫離上述范圍時(shí)，擔(dān)心當(dāng)旋轉(zhuǎn)涂敷時(shí)在光透過(guò)層14混入多個(gè)大的氣泡。因此，若上述Ra、Rz和θa的至少其中之一，最好是全部在上述范圍內(nèi)，則可防止大的氣泡混入光透過(guò)層14。然而，上述Ra、Rz和θa極小時(shí)，并不能顯著提高抑制向光透過(guò)層14混入氣泡的效果，而且，當(dāng)上述Ra、Rz和θa極小時(shí)，提高了蓋罩40的制造成本，通常，上述Ra沒(méi)有必要不足1nm，上述Rz沒(méi)有必要不足0.001μm，上述θa沒(méi)有必要不足0.01°。
中心線平均粗糙度Ra和十點(diǎn)平均粗糙度Rz都由JISB0601規(guī)定。粗糙度的平均傾斜角θa與特開(kāi)2001-1006號(hào)公報(bào)記載的粗糙度平均傾斜角θa相同，是下式(1)表示的值。θa=Σi=1N[tan-1(ΔYi/ΔX)]/N---(1)]]>上式(1)中，ΔX是測(cè)定節(jié)距，最好ΔX＝2μm。ΔYi是在用測(cè)定的節(jié)距ΔX對(duì)基準(zhǔn)測(cè)定長(zhǎng)度L進(jìn)行N分割得到的N個(gè)區(qū)間中，第i區(qū)間的區(qū)間兩端的垂直方向距離。
控制蓋罩40表面的表面粗糙度的辦法并不特別限定，可以根據(jù)蓋罩40的構(gòu)成材料和制作方法適當(dāng)選擇。例如，用金屬構(gòu)成蓋罩40時(shí)，可用表面研磨控制表面粗糙度。利用注射模塑成形制作樹(shù)脂制蓋罩40時(shí)，通過(guò)金屬模表面粗糙度、樹(shù)脂的純度、注射模塑成形條件的控制等，控制表面粗糙度。
當(dāng)具有上述構(gòu)成的蓋罩40被載置在已固定的成膜基片10’的中心部時(shí)，未圖示的第二吸氣機(jī)構(gòu)動(dòng)作。這樣，蓋罩40由第二吸氣口25吸著，第一突起42以配合第二吸氣口25的狀態(tài)被實(shí)際固定。這時(shí)，蓋罩40的傘部41由于第二吸氣口25的吸著而稍微有些變形，傘部41的最外周部(前端)連接成膜基片10’的表面，傘部41的凹面部連接制造裝置20的第二突出部23，按壓在成膜基片10’的表面。
在這種狀態(tài)下，起動(dòng)未圖示的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，使工作臺(tái)21、第一突出部22和第二突出部23一體地低速旋轉(zhuǎn)(希望是20～100rpm)，如圖7所示，在蓋罩40的傘部41的凸面上滴下紫外線硬化性樹(shù)脂50。這時(shí)，成膜基片10’由第一吸氣口24吸著固定在第一突出部22，蓋罩40由第二吸氣口25吸著固定在第二突出部23，則成膜基片10’與蓋罩40也和工作臺(tái)21、第一突出部22以及第二突出部23一體地旋轉(zhuǎn)。紫外線硬化性樹(shù)脂50的滴下點(diǎn)盡可能設(shè)定在傘部41的凸面中央部附近。這樣，在蓋罩40的傘部41的凸面，紫外線硬化性樹(shù)脂50為停滯狀態(tài)。
然后，利用未圖示的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，使工作臺(tái)21、第一突出部22和第二突出部23一體地高速旋轉(zhuǎn)，如圖8所示，由于離心力，將使停滯在蓋罩40的傘部41的凸面的紫外線硬化性樹(shù)脂50因離心力旋轉(zhuǎn)涂敷在成膜基片10’的表面(記錄層13的表面)。這樣，在成膜基片10’的表面(記錄層13的表面)，形成厚度約100μm的紫外線硬化性樹(shù)脂50的薄膜。此時(shí)，上述紫外線硬化性樹(shù)脂50的滴下工序的滴下點(diǎn)越接近傘部41的凸面的中央部，紫外線硬化性樹(shù)脂50的薄膜的平坦性越好。
在成膜基片10’的表面(記錄層13的上面)形成紫外線硬化性樹(shù)脂50的薄膜時(shí)，利用未圖示的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，使工作臺(tái)21、第一突出部22和第二突出部23一體地中速旋轉(zhuǎn)。這種狀態(tài)下，如圖9所示，用第一紫外線掩模60覆蓋成膜基片10’的中央部，在成膜基片10’表面形成的紫外線硬化性樹(shù)脂50的薄膜上照射紫外線，使其硬化。第一紫外線掩模60是制造裝置20的一部分。
第一紫外線掩模60的直徑，設(shè)定大于蓋罩40的傘部41的直徑，小于應(yīng)制造的光盤(pán)10的數(shù)據(jù)記錄區(qū)域最內(nèi)周的直徑。因此，在上述紫外線照射工序中，存在于蓋罩40的傘部41表面的紫外線硬化性樹(shù)脂50，以及形成于成膜基片10’表面的紫外線硬化性樹(shù)脂50中蓋罩40近旁的部分，都是未硬化狀態(tài)，在其他部分形成的紫外線硬化性樹(shù)脂50為硬化狀態(tài)。
在使未圖示的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)停止動(dòng)作并旋轉(zhuǎn)停止后，停止未圖示的第二吸氣機(jī)構(gòu)的動(dòng)作。這時(shí)，未圖示的第一吸氣機(jī)構(gòu)，維持動(dòng)作狀態(tài)。在該狀態(tài)下，如圖10所示，用第二支桿32除去蓋罩40。這種情況下，由于在蓋罩40的傘部41最外周部(前端)和成膜基片10’的表面的交界面形成的紫外線硬化性樹(shù)脂50為未硬化狀態(tài)，則可以無(wú)困難地進(jìn)行蓋罩40的除去。被除去的蓋罩40集中在未圖示的使用過(guò)的蓋罩容器中，此后，分離為作為蓋罩40材料的聚烯烴和紫外線硬化性樹(shù)脂，分別予以再利用。
除去蓋罩40以后，如圖11所示，用具有圓形孔63的第二紫外線掩模62邊覆蓋除去成膜基片10’中央部的部分，邊在成膜基片10’表面形成的未硬化紫外線硬化性樹(shù)脂50的薄膜上照射紫外線，使其硬化。第二紫外線掩模62是制造裝置20的一部分。
第二紫外線掩模62的孔63的直徑對(duì)應(yīng)于第一紫外線掩模60的直徑。因此，在上述紫外線照射工序中，在成膜基片10’表面形成的未硬化紫外線硬化性樹(shù)脂50上照射紫外線，使其硬化，而在已經(jīng)硬化的紫外線硬化性樹(shù)脂50上實(shí)質(zhì)上沒(méi)有被照射。這樣，防止了由于過(guò)度的紫外線照射導(dǎo)致紫外線硬化性樹(shù)脂50的變質(zhì)、變色。
如上所述，完成了在成膜基片10’表面形成的紫外線硬化性樹(shù)脂50的硬化，也完成了光透過(guò)層14的成膜。然后，停止未圖示的第一吸氣機(jī)構(gòu)的動(dòng)作，如圖12所示，將已完成光透過(guò)層14成膜的光盤(pán)10搬出。
從上述說(shuō)明可見(jiàn)，本實(shí)施例中，利用具有紫外線硬化性樹(shù)脂50滴下的傘部41、嵌合在第二吸氣口25的第一突起42以及通過(guò)第二支桿32進(jìn)行操作的第二突起43的蓋罩40，旋轉(zhuǎn)涂敷紫外線硬化性樹(shù)脂50，形成光透過(guò)層14，在用于操作蓋罩40的第二支桿32上沒(méi)有附著紫外線硬化性樹(shù)脂50。因此，大大降低了在制造裝置20的其他部分和其他制造裝置上附著紫外線硬化性樹(shù)脂50而受到污染的擔(dān)心，可提高整個(gè)制造工序的可靠性，不必要再設(shè)置第二支桿32的洗凈工序。
若采用聚烯烴樹(shù)脂等具有彈性的材料作為蓋罩40的材料，則由第二吸氣口25吸著而使傘部41僅稍微有些變形，由于成為按壓在成膜基片10’的表面的狀態(tài)，所以傘部41表面和成膜基片10’表面的平坦性提高了。這樣，當(dāng)旋轉(zhuǎn)涂敷時(shí)，可以保證紫外線硬化性樹(shù)脂50薄膜的良好均勻性。
若采用聚烯烴樹(shù)脂作為蓋罩40的材料，則對(duì)于紫外線硬化性樹(shù)脂的親和性比較低，并且由于提高了對(duì)溶劑的耐性，當(dāng)再利用時(shí)，可以比較容易地進(jìn)行聚烯烴樹(shù)脂和紫外線硬化性樹(shù)脂的分離。
若將蓋罩40的傘部41的表面粗糙度設(shè)定在本實(shí)施例說(shuō)明的范圍內(nèi)，則可防止大的氣泡混入光透過(guò)層14。
在上述特開(kāi)平11-195251號(hào)公報(bào)中，記載了使由中空筒狀支持體或多個(gè)棒狀體組成的支持體與蓋罩一體化的閉塞部件，與其相比較，本實(shí)施例采用的蓋罩40具有以下優(yōu)點(diǎn)。
在上述特開(kāi)平11-195251號(hào)公報(bào)中，由于用支持體的壁或棒狀體阻止樹(shù)脂，則易于在涂膜上產(chǎn)生不均勻。與此不同，本實(shí)施例中使用蓋罩40，將涂敷液供給第二突起43的外周面進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂敷，則不易在涂膜上產(chǎn)生不均勻。并且，由于在本實(shí)施例中使用蓋罩40，樹(shù)脂附著的是第二突起43的外周面，則與上述特開(kāi)平11-195251號(hào)公報(bào)比較，閉塞部件的洗凈較容易。此外，在上述特開(kāi)平11-195251號(hào)公報(bào)中，在中空筒狀支持體的內(nèi)部供給粘度比較高的涂敷液，為了確保涂敷液的流動(dòng)性，不可能使支持體的外徑較小。因此，涂敷開(kāi)始位置距離旋轉(zhuǎn)中心較遠(yuǎn)。與此不同，本實(shí)施例中使用蓋罩40，在該公報(bào)相比，可以顯著減小第二突起43的外徑，使涂敷開(kāi)始位置接近旋轉(zhuǎn)中心。其結(jié)果是在半徑方向的光透過(guò)層14的厚度不均勻性更小。
本發(fā)明并不限定于以上實(shí)施例，在權(quán)利要求記載的發(fā)明范圍內(nèi)可以有各種變更，不言而喻，它們也都包含在本發(fā)明的范圍內(nèi)。
例如，上述實(shí)施例中，在利用圖11所示紫外線照射工序完成光透過(guò)層14的成膜時(shí)，將光盤(pán)10作為完成品，然而，此后也可以附加在光透過(guò)層14表面形成硬涂敷層的工序。硬涂敷層的形成方法沒(méi)有特別的限制，優(yōu)選地，在對(duì)硬涂敷液進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂敷后，用嵌板式加熱器使硬涂敷液中包含的溶劑蒸發(fā)，再照射紫外線使其硬化。這樣，在附加硬涂敷層的情況下，由于追加了使硬涂敷液硬化的紫外線照射工序，則希望盡量減少圖9和圖11所示工序中的部分紫外線照射量。也就是，在圖9和圖11所示工序中，使紫外線硬化性樹(shù)脂50為半硬化狀態(tài)，再通過(guò)使硬涂敷液硬化的紫外線照射，完全硬化紫外線硬化性樹(shù)脂50。
另外，在上述實(shí)施例中，通過(guò)圖9所示的紫外線照射工序，使未被第一紫外線掩模60覆蓋部分的紫外線硬化性樹(shù)脂50硬化，通過(guò)圖11所示的紫外線照射工序，使未被第二紫外線掩模62覆蓋部分的紫外線硬化性樹(shù)脂50硬化，然而，可以在圖9所示紫外線照射工序中，不使未被第一紫外線掩模60覆蓋部分的紫外線硬化性樹(shù)脂50為完全硬化狀態(tài)，而且，在圖11所示紫外線照射工序中，不使用第二紫外線掩模62而在整個(gè)面上照射紫外線，使紫外線硬化性樹(shù)脂50硬化。這樣，由于不必要使用2種紫外線掩模，則可降低制造成本。
在紫外線硬化性樹(shù)脂50上照射紫外線之前，可以從光盤(pán)10取出蓋罩40。在從光盤(pán)10取出蓋罩40之前，也可以使整個(gè)紫外線硬化性樹(shù)脂50硬化，但在硬化后取出蓋罩40時(shí)，在傘部41上的樹(shù)脂層和光盤(pán)10上的樹(shù)脂層的邊界附近將產(chǎn)生溢料，并且硬化后的樹(shù)脂形成碎片很容易飛散到光盤(pán)10上。因此，紫外線照射和蓋罩40的取出的順序，應(yīng)采用上述實(shí)施例說(shuō)明的順序。
本實(shí)施例使用的蓋罩40的傘部41具有越向外周部其厚度越薄的形狀，但是傘部41越向外周部越薄的形狀不是必須的，至少其一部分可以具有厚度一定或增大的區(qū)域。
本實(shí)施例使用的蓋罩40的傘部41具有凸面和凹面，但是本發(fā)明并不限定于此，傘部形狀可以具有與此不同的形狀。圖13(A)～(E)表示這種蓋罩的例子。
圖13(A)所示蓋罩70具有圓錐臺(tái)狀的傘部71和從傘部71中央相互向反方向突出的第一和第二突起72、73。本發(fā)明可以使用的蓋罩，背面也可以是平坦面。
圖13(B)所示蓋罩80具有圓錐臺(tái)狀的傘部81和從傘部81中央相互向反方向突出的第一和第二突起82、83，與圖13(A)所示的蓋罩70有大致相同的形狀，但是第二突起83具有越向前端越細(xì)的形狀。若使第二突起83為這種形狀，則在利用射出成形制造時(shí)容易從金屬模中抽出蓋罩80。
圖13(C)所示蓋罩90具有凸面是曲線狀背面平坦的傘部91和從傘部91中央相互向反方向突出的第一和第二突起92、93。這樣，本發(fā)明可以使用的蓋罩，其傘部凸面也可以是曲線狀。
圖13(D)所示蓋罩100具有外周是垂直面的傘部101和從傘部101中央相互向反方向突出的第一和第二突起102、103。這樣，本發(fā)明可以使用的蓋罩，其傘部的外周也可以是垂直面。但是，傘部101的外周的厚度t，應(yīng)設(shè)定在0.4mm以下。厚度t過(guò)大時(shí)，難于均勻地涂敷光透過(guò)層14。
圖13(E)所示蓋罩110具有厚度一定的傘部111和從傘部111中央相互向反方向突出的第一和第二突起112、113。這樣，本發(fā)明可以使用的蓋罩，其傘部的厚度也可以是一定的。這時(shí)，傘部111的外周厚度t優(yōu)選地設(shè)定在0.4mm以下。
在本實(shí)施例使用的蓋罩40上設(shè)置了第一突起42，通過(guò)該第一突起42與第二吸氣口25嵌合決定位置，但僅限于蓋罩40的位置決定是可能時(shí)，則不必具有該第一突起42?？梢栽趥悴?1中央設(shè)置凹部代替第一突起42，以此進(jìn)行蓋罩40的位置決定。
用本發(fā)明的方法制造的光盤(pán)的層構(gòu)成、各層的厚度和各層的材料沒(méi)有特別的限定，利用包含按照旋轉(zhuǎn)涂敷層法涂敷液狀物質(zhì)的工序的方法制造光盤(pán)，對(duì)于任何光盤(pán)的制造都可以適用。用本發(fā)明的方法形成的膜厚度，與涂敷液(上述實(shí)施例的紫外線硬化性樹(shù)脂50)粘度的平方根成比例，并且，轉(zhuǎn)速越大、旋轉(zhuǎn)時(shí)間越長(zhǎng)則越薄。因此，用本發(fā)明的方法形成膜時(shí)，可以根據(jù)要求的厚度設(shè)定涂敷液粘度、轉(zhuǎn)速(高速旋轉(zhuǎn)時(shí))以及旋轉(zhuǎn)時(shí)間。具體地說(shuō)，形成的膜的厚度是30μm～300μm時(shí)，可以設(shè)定涂敷液粘度為100～100000cp、轉(zhuǎn)速為500～6000rpm、旋轉(zhuǎn)時(shí)間為2～10秒。
從以上說(shuō)明可見(jiàn)，本發(fā)明中，由于在操作蓋罩的支桿上未附著紫外線硬化性樹(shù)脂，則大大地降低了在制造裝置的其他部分和其他制造裝置上附著紫外線硬化性樹(shù)脂造成污染的擔(dān)心。因此，可以提高整個(gè)制造工序的可靠性，并且由于不必設(shè)置支桿洗凈工序，則可避免工序的復(fù)雜化。
在形成了保持信息的凹坑的盤(pán)狀支持基體{聚碳酸酯樹(shù)脂制，外徑120mm，內(nèi)徑(中心孔直徑)15mm，厚度1.1mm}的表面，用濺射法形成由Al構(gòu)成的反射層，得到成膜基片10’。
然后，利用使用蓋罩40的本發(fā)明的方法，按以下順序形成光透過(guò)層14。使用的蓋罩40，從不銹鋼切削后，進(jìn)行表面研磨而制成。該蓋罩40具有圖13(A)所示的形狀，傘部41為直徑36mm，第二突起43為直徑1mm，長(zhǎng)度為20mm首先，將蓋罩40載置在成膜基片10’上，起動(dòng)第一和第二吸氣機(jī)構(gòu)，把蓋罩40和成膜基片10’吸著在工作臺(tái)21上。接著，通過(guò)使工作臺(tái)21低速旋轉(zhuǎn)并將紫外線硬化性樹(shù)脂(日本化藥(株)制，25℃時(shí)的粘度500cp)供給第二突起43的外周面，在傘部41上擴(kuò)展樹(shù)脂，然后，以2000rpm使工作臺(tái)21旋轉(zhuǎn)8秒，在成膜基片10’上延展樹(shù)脂形成樹(shù)脂層。在使蓋罩40從成膜基片10’分離后，對(duì)樹(shù)脂層進(jìn)行紫外線硬化作為光透過(guò)層14，即得到光盤(pán)樣品。
利用在實(shí)施例1中使用后的蓋罩40。也就是，在旋轉(zhuǎn)涂敷時(shí)，利用傘部41表面由樹(shù)脂涂敷的蓋罩40。除此之外，都與實(shí)施例1一樣，即可制成光盤(pán)樣品。
與實(shí)施例1使用的蓋罩40形狀相同，而且除了使用由聚碳酸酯樹(shù)脂構(gòu)成的蓋罩40以外，都與實(shí)施例1一樣，即可制成光盤(pán)樣品。該蓋罩40用注射模塑成形法制作。在注射模塑成形時(shí)，采用對(duì)表面粗糙度有不好影響的不純物較少的光盤(pán)用聚碳酸酯，金屬模溫度30℃、樹(shù)脂熔融溫度320℃、合模力490MPa、射出時(shí)間為1秒。
除了不進(jìn)行表面研磨以外，使用與實(shí)施例1一樣制作的不銹鋼制蓋罩，其他與實(shí)施例1同樣即可制成光盤(pán)樣品。
采用與實(shí)施例4同樣制作的不銹鋼制蓋罩，其也與實(shí)施例1同樣即可制成光盤(pán)樣品。該蓋罩與實(shí)施例4使用的蓋罩相比較，切削加工產(chǎn)生的表面粗糙程度稍微小一些。
與實(shí)施例1使用的蓋罩40形狀相同，而且使用通過(guò)POM(聚氧化甲烯樹(shù)脂)切削制作的蓋罩40，其他與實(shí)施例1同樣即可制成光盤(pán)樣品。
上述各樣品制作中使用的蓋罩40，用表面粗糙度測(cè)定器(東京精密株式會(huì)社制サ一フコムSE-30H、針該社制PU-DH-10/10□mR、截止頻率0.8mm)測(cè)定傘部41上面的表面粗糙度，求出中心線平均粗糙度Ra、十點(diǎn)平均粗糙度Rz、以及粗糙度的平均傾斜角θa。表1表示其結(jié)果?；鶞?zhǔn)測(cè)定長(zhǎng)度為2.5mm。如表1所示，實(shí)施例1～3使用的蓋罩40的表面粗糙度在上述實(shí)施例規(guī)定的范圍內(nèi)，實(shí)施例4～6使用的蓋罩40的表面粗糙度在上述實(shí)施例規(guī)定的范圍以外。
對(duì)于上述各樣品，用光學(xué)顯微鏡和通用光盤(pán)外觀缺陷檢查機(jī)(Dr.SCHENK公司制)檢查光透過(guò)層中的缺陷。用光學(xué)顯微鏡，目視進(jìn)行氣泡大小和個(gè)數(shù)的定量化，用通用光盤(pán)外觀缺陷檢查機(jī)，通過(guò)CCD攝象機(jī)數(shù)據(jù)圖象處理進(jìn)行缺陷檢查。表1表示各樣品的氣泡存在密度。以下詳細(xì)表示各樣品的缺陷檢查結(jié)果。
實(shí)施例1的樣品，在光透過(guò)層的半徑18～30mm的區(qū)域，在周方向的一部分，用光學(xué)顯微鏡觀察到直徑20～40μm的氣泡為0～一個(gè)/mm2。并且，用光盤(pán)外觀缺陷檢查機(jī)也觀測(cè)到與此相當(dāng)?shù)娜毕荨?br> 實(shí)施例2的樣品，在光透過(guò)層的半徑18～30mm的區(qū)域，在周方向的一部分，用光學(xué)顯微鏡觀察到直徑20～40μm的氣泡為1～5個(gè)/mm2。并且，用光盤(pán)外觀缺陷檢查機(jī)也觀測(cè)到與此相當(dāng)?shù)娜毕荨?br> 實(shí)施例3的樣品，在整個(gè)光透過(guò)層，用光學(xué)顯微鏡一個(gè)氣泡也未能確認(rèn)，用光盤(pán)外觀缺陷檢查機(jī)同樣未檢出缺陷。
實(shí)施例4的樣品，在光透過(guò)層的半徑18～30mm的區(qū)域，在整個(gè)周方向，觀察到直徑20～40μm的氣泡為10～20個(gè)/mm2。并且，用光盤(pán)外觀缺陷檢查機(jī)也觀測(cè)到與此相當(dāng)?shù)娜毕荨?br> 實(shí)施例5的樣品，在光透過(guò)層的半徑18～30mm的區(qū)域，在大致整個(gè)周方向，觀察到直徑20～40μm的氣泡為5～10個(gè)/mm2。并且，用光盤(pán)外觀缺陷檢查機(jī)也觀測(cè)到與此相當(dāng)?shù)娜毕荨?br> 實(shí)施例6的樣品，在光透過(guò)層的半徑18～30mm的區(qū)域，在整個(gè)周方向，觀察到直徑20～40μm的氣泡為20個(gè)/mm2。并且，用光盤(pán)外觀缺陷檢查機(jī)也觀測(cè)到與此相當(dāng)?shù)娜毕荨?br> 表1閉塞部件RaRz θa 氣泡存在密度(nm) (μm)(deg) (個(gè)/mm2)實(shí)施例1 金屬(表面研磨)59 0.4180.31 0～1實(shí)施例2 金屬(表面研磨)27 0.3030.22 1～5+樹(shù)脂涂敷實(shí)施例3 樹(shù)脂(注射模塑 42 0.0600.09 0成型)實(shí)施例4 金屬 479* 2.592* 2.80* 10～20實(shí)施例5 金屬 264* 1.919* 3.15* 5～10實(shí)施例6 樹(shù)脂(切削)932* 4.412* 4.63* 20*規(guī)定范圍外從以上實(shí)施例的結(jié)果明顯看到本發(fā)明的效果。也就是，將蓋罩的表面粗糙度控制在上述實(shí)施例規(guī)定的范圍之內(nèi)，可以顯著減少光透過(guò)層的缺陷。
在表1所示各樣品的凹坑形成區(qū)域(半徑23～58mm的區(qū)域)，用激光聚焦位移計(jì)測(cè)定光透過(guò)層的厚度。其結(jié)果是光透過(guò)層的厚度對(duì)于任一個(gè)樣品都是100±2μm，在半徑方向的厚度不均勻極小。
權(quán)利要求
1.一種光盤(pán)制造方法，其特征是具有對(duì)具有一個(gè)面是凸面的圓形傘部、和從上述傘部的上述凸面的中心突出設(shè)置的操作用突起的蓋罩的上述操作用突起進(jìn)行操作，將上述蓋罩載置在成膜基片的大致中心部的載置工序；在上述蓋罩的上述傘部的上述凸面滴下液狀物質(zhì)的滴下工序；通過(guò)一體地旋轉(zhuǎn)上述成膜基片和上述蓋罩，將上述液狀物質(zhì)涂敷在上述成膜基片的表面的旋轉(zhuǎn)涂敷工序。
2.如權(quán)利要求1記載的光盤(pán)制造方法，其特征是，上述蓋罩還具有在上述傘部的上述凸面的反面設(shè)置的位置決定部，根據(jù)用上述位置決定部的位置確定，進(jìn)行上述載置工序的上述蓋罩的載置。
3.如權(quán)利要求2記載的光盤(pán)制造方法，其特征是上述蓋罩的上述傘部具有越向外周部厚度越薄的形狀，上述蓋罩的上述位置決定部由從上述傘部的上述反面的中心突出設(shè)置的位置決定用突起構(gòu)成。
4.如權(quán)利要求3記載的光盤(pán)制造方法，其特征是還具有在上述載置工序之后，通過(guò)吸引上述蓋罩的上述位置決定用突起，將上述蓋罩的上述傘部的最外周部按壓在上述成膜基片的表面的吸引工序。
5.如權(quán)利要求1至4的任一項(xiàng)記載的光盤(pán)制造方法，其特征是上述液狀物質(zhì)是紫外線硬化性樹(shù)脂。
6.如權(quán)利要求5記載的光盤(pán)制造方法，其特征是還具有一邊用第一紫外線掩模覆蓋上述成膜基片的中央部，一邊在上述成膜基片表面形成的上述紫外線硬化性樹(shù)脂上照射紫外線、使其硬化的第一紫外線照射工序；上述第一紫外線掩模的直徑大于上述蓋罩的上述傘部的直徑。
7.如權(quán)利要求6記載的光盤(pán)制造方法，其特征是還具有操作上述蓋罩的上述操作用突起，從上述成膜基片的表面除去上述蓋罩的除去工序；在上述除去工序之后，在上述成膜基片表面形成的上述紫外線硬化性樹(shù)脂上照射紫外線、使其硬化的第二紫外線照射工序。
8.如權(quán)利要求1至7的任一項(xiàng)記載的光盤(pán)制造方法，其特征是上述蓋罩由塑料構(gòu)成。
9.如權(quán)利要求8記載的光盤(pán)制造方法，其特征是上述蓋罩由聚烯烴構(gòu)成。
10.一種光盤(pán)制造裝置，其特征是具有對(duì)具有一個(gè)面是凸面的圓形傘部、和從上述傘部的上述凸面的中心突出設(shè)置的操作用突起的蓋罩的上述操作用突起進(jìn)行操作的部件；在成膜基片大致中心部載置的上述蓋罩的上述傘部的上述凸面滴下液狀物質(zhì)的部件；一體地旋轉(zhuǎn)上述成膜基片和上述蓋罩的部件。
11.一種光盤(pán)制造裝置，借助旋轉(zhuǎn)涂敷法在成膜基片表面涂敷液狀物質(zhì)，其特征是具有載置上述成膜基片的可旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)；將上述成膜基片固定在上述工作臺(tái)的第一吸引部件；搬送蓋罩并將其載置在上述工作臺(tái)上的上述成膜基片中央部分的支桿；將上述蓋罩固定在上述成膜基片的第二吸引部件。
12.如權(quán)利要求11記載的光盤(pán)制造裝置，其特征是上述第二吸引部件包含對(duì)上述蓋罩進(jìn)行位置確定的吸引口。
13.一種光信息媒體的制造方法，該光信息媒體在有中心孔的盤(pán)狀支持基體上，順次具有信息記錄層和含有樹(shù)脂的光透過(guò)層，用于記錄或再生的激光射束通過(guò)上述光透過(guò)層入射到上述信息記錄層；其特征是，該制造方法具有在上述支持基體上設(shè)置上述信息記錄層后，用具有圓板部的閉塞部件的上述圓板部覆蓋上述支持基體的中心孔，接著，將含有放射線硬化型樹(shù)脂的涂敷液供給上述圓板部，然后，通過(guò)一體地旋轉(zhuǎn)上述閉塞部件和上述支持基體，使上述涂敷液在上述支持基體上延展、形成環(huán)狀樹(shù)脂層的樹(shù)脂延展工序；和通過(guò)放射線照射使上述樹(shù)脂層硬化形成上述光透過(guò)層的硬化工序；在涂敷液接觸的上述圓板部表面的至少一部分，使用中心線平均粗糙度Ra是100nm以下的閉塞部件。
14.一種光信息媒體的制造方法，該光信息媒體在有中心孔的盤(pán)狀支持基體上，順次具有信息記錄層和含有樹(shù)脂的光透過(guò)層，用于記錄或再生的激光射束通過(guò)上述光透過(guò)層入射到上述信息記錄層；其特征是，該制造方法具有在上述支持基體上設(shè)置上述信息記錄層后，用具有圓板部的閉塞部件的上述圓板部覆蓋上述支持基體的中心孔，接著，將含有放射線硬化型樹(shù)脂的涂敷液供給上述圓板部，然后，通過(guò)一體地旋轉(zhuǎn)上述閉塞部件和上述支持基體，使上述涂敷液在上述支持基體上延展、形成環(huán)狀樹(shù)脂層的樹(shù)脂延展工序；和通過(guò)放射線照射使上述樹(shù)脂層硬化形成上述光透過(guò)層的硬化工序；在上述涂敷液接觸的上述圓板部表面的至少一部分，使用十點(diǎn)平均粗糙度Rz是1μm以下的閉塞部件。
15.一種光信息媒體的制造方法，該光信息媒體在有中心孔的盤(pán)狀支持基體上，順次具有信息記錄層和含有樹(shù)脂的光透過(guò)層，用于記錄或再生的激光射束通過(guò)上述光透過(guò)層入射到上述信息記錄層；其特征是，該制造方法具有在上述支持基體上設(shè)置上述信息記錄層后，用具有圓板部的閉塞部件的上述圓板部覆蓋上述支持基體的中心孔，接著，將含有放射線硬化型樹(shù)脂的涂敷液供給上述圓板部，然后，通過(guò)一體地旋轉(zhuǎn)上述閉塞部件和上述支持基體，使上述涂敷液在上述支持基體上延展、形成環(huán)狀樹(shù)脂層的樹(shù)脂延展工序；和通過(guò)放射線照射使上述樹(shù)脂層硬化形成上述光透過(guò)層的硬化工序；在上述涂敷液接觸的上述圓板部表面的至少一部分，使用粗糙度的平均傾斜角θa是1°以下的閉塞部件。
16.如權(quán)利要求13～15的任一項(xiàng)記載的光信息媒體制造方法，上述閉塞部件利用樹(shù)脂的射出成形制成。
17.如權(quán)利要求13～16的任一項(xiàng)記載的光信息媒體制造方法，其特征是上述閉塞部件具有從上述圓板部表面的中心部分突出的操作用突起。
全文摘要
本發(fā)明的目的是提供一種防止用于操作蓋罩的支桿的污染的光盤(pán)制造方法。本發(fā)明具有對(duì)具有一個(gè)面是凸面的圓形傘部(41)、和從傘部(41)的凸面中心突出設(shè)置的操作用突起(43)的蓋罩(40)的操作用突起(43)進(jìn)行操作，將蓋罩(40)載置在成膜基片(10’)中心部的載置工序；在蓋罩(40)的傘部(41)的凸面滴下液狀物質(zhì)的滴下工序；一體地旋轉(zhuǎn)成膜基片(10’)和蓋罩(40)使液狀物質(zhì)涂敷在成膜基片(10’)表面的旋轉(zhuǎn)涂敷工序。這樣，應(yīng)涂敷的液狀物質(zhì)就不會(huì)附著在用于操作蓋罩(40)的支桿上。
文檔編號(hào)B05D1/40GK1402234SQ02147209
公開(kāi)日2003年3月12日 申請(qǐng)日期2002年8月8日 優(yōu)先權(quán)日2001年8月8日
發(fā)明者宇佐美守, 小卷壯, 丑田智樹(shù), 山家研二 申請(qǐng)人:Tdk股份有限公司