專利名稱：彈性表面波霧化裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及使用了彈性表面波的霧化裝置。
背景技術(shù)：
以往，已知當(dāng)向傳播彈性表面波的壓電材料等的基板表面供給液體時(shí)，液體接收彈性表面波的能量而進(jìn)行流動(dòng)或振動(dòng)，而后成為微小粒子進(jìn)行飛行的現(xiàn)象。利用該現(xiàn)象將液體霧化的裝置已提出有多種。作為霧化原理已進(jìn)行如下說(shuō)明，即在基板表面進(jìn)行傳播的彈性表面波(瑞利波)進(jìn)入液體內(nèi)部而成為在其表面?zhèn)鞑サ谋砻鎻埩Σ?毛細(xì)波)，其結(jié)果從液體的表面產(chǎn)生霧等。對(duì)在壓電基板的表面形成的叉指電極接通高頻功率來(lái)激勵(lì)上述霧化裝置中的彈性表面波。叉指電極為電氣部件，需要保護(hù)叉指電極而避免其因液體而發(fā)生短路或者生銹劣化的不良情況。此外，為了高能效且穩(wěn)定地使液體霧化，需要將液體以一定量為單位穩(wěn)定地誘導(dǎo)(輸送)供給至規(guī)定的霧化區(qū)域。作為這種液體供給的方法之一，可考慮利用液體的表面張力、毛細(xì)管現(xiàn)象。例如已知一種噴霧頭，該噴霧頭雖然不是使用彈性表面波，但是向進(jìn)行縱向振動(dòng)模式的超聲波振動(dòng)的圓板狀振動(dòng)板的表面供給液體并使液體霧化(例如參照專利文獻(xiàn)1)。 從將圓筒管的折彎部挨近配置于振動(dòng)板的周邊部而形成的圓環(huán)間隙供給該噴霧頭中的液體，通過(guò)液體的表面張力保持液膜厚度。此外，已知一種霧化裝置，由壓電基板、墊片和液體供給板來(lái)形成保持液體的空間而成，其中，壓電基板在表面具有激勵(lì)彈性表面波的叉指電極，墊片配設(shè)于上述壓電基板的表面周緣部，液體供給板具有霧的噴出口并且隔著上述墊片而與上述壓電基板的表面對(duì)置配設(shè)(例如參照專利文獻(xiàn)幻。該霧化裝置利用與上述空間連通的液體導(dǎo)通路中的毛細(xì)管現(xiàn)象向上述空間供給液體。專利文獻(xiàn)1日本特開2003-71343號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2日本特開2008-104966號(hào)公報(bào)然而，上述專利文獻(xiàn)1所示那種構(gòu)成的噴霧頭不具備應(yīng)避免與液體接觸的叉指電極，未給出解決彈性表面波霧化裝置中的叉指電極保護(hù)等問(wèn)題的啟示。此外，上述專利文獻(xiàn) 2所示的霧化裝置構(gòu)成為，保持液體的空間位于叉指電極所存在的表面位置，叉指電極的整個(gè)面隔著絕緣性的保護(hù)膜或者絕緣性的親液性膜而常時(shí)與液體鄰接。即、叉指電極的保護(hù)完全依賴于絕緣膜的可靠性，并不是優(yōu)選的構(gòu)成。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明用于解決上述課題，其目的在于提供一種彈性表面波霧化裝置，該彈性表面波霧化裝置能夠通過(guò)簡(jiǎn)單的構(gòu)成將液體以一定量為單位穩(wěn)定地誘導(dǎo)至基板表面的霧化區(qū)域，并且能限制基板表面上的液體的分布，能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定高效的霧化以及抑制叉指電極等的劣化。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明涉及一種彈性表面波霧化裝置，其具備壓電基板和液體供給機(jī)構(gòu)，該壓電基板在表面具有通過(guò)施加高頻電壓而激勵(lì)彈性表面波的圖案電極，該液體供給機(jī)構(gòu)向上述壓電基板的表面供給液體，該彈性表面波霧化裝置利用在上述表面生成的彈性表面波將被上述液體供給機(jī)構(gòu)供給到上述壓電基板的表面的液體霧化，上述液體供給機(jī)構(gòu)具有與所述壓電基板的表面對(duì)置配置的液體供給部件，在所述液體供給部件與所述壓電基板的表面之間的部件間，在期望保持并誘導(dǎo)液體的區(qū)域設(shè)置微小縫隙，在不期望供給液體的區(qū)域設(shè)置比所述微小縫隙大的縫隙，利用因所述部件間縫隙的大小而形成的液體的表面張力差將液體供給至霧化區(qū)域，所述霧化區(qū)域位于所述壓電基板的表面上的與所述圖案電極分離的區(qū)域。在某一優(yōu)選方式中，所述微小縫隙由將所述液體供給部件的與所述壓電基板的表面對(duì)置的表面粗化而成的凹凸形成。在某一優(yōu)選方式中，所述微小縫隙形成在所述壓電基板的表面上不激勵(lì)所述彈性表面波的區(qū)域。在某一優(yōu)選方式中，所述彈性表面波霧化裝置具備從背面支承所述壓電基板的支承板，所述支承板被設(shè)置成，在所述壓電基板的表面上的使形成有所述圖案電極的區(qū)域和形成有所述部件間縫隙的區(qū)域彼此分離的區(qū)域的背面形成間隙。在某一優(yōu)選方式中，所述彈性表面波霧化裝置具備接點(diǎn)夾具，所述接點(diǎn)夾具具有用于對(duì)所述圖案電極施加電壓的電極柱并且裝配于所述壓電基板上，所述接點(diǎn)夾具構(gòu)成為，從所述圖案電極側(cè)觀察所述壓電基板的表面時(shí)在靠近該圖案電極一側(cè)形成較大縫隙、 在遠(yuǎn)離該圖案電極一側(cè)形成比該較大縫隙小的縫隙，并且使所述圖案電極與所述霧化區(qū)域分開。根據(jù)本發(fā)明，能夠利用微小縫隙上的表面張力所產(chǎn)生的一定的保持力將液體以一定量為單位穩(wěn)定地輸送至壓電基板表面的霧化區(qū)域，并且能利用較大縫隙限制壓電基板表面上的液體的分布，能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定且高效的霧化和叉指電極等的劣化。在所述微小縫隙由將所述液體供給部件的與所述壓電基板的表面對(duì)置的表面粗化而成的凹凸形成的情況下，將液體供給部件的表面進(jìn)行粗化便可形成微小縫隙，較大縫隙充分增大即可，因此液體供給部件的加工上所要求的尺寸精度得到緩和。在所述微小縫隙形成在所述壓電基板的表面上不激勵(lì)所述彈性表面波的區(qū)域的情況下，能夠不受要推回液體這樣的來(lái)自彈性表面波的阻力而按照計(jì)算將液體誘導(dǎo)至霧化區(qū)域。在所述支承板被設(shè)置成，在所述壓電基板的表面上的使形成有所述圖案電極的區(qū)域和形成有所述部件間縫隙的區(qū)域彼此分離的區(qū)域的背面形成間隙的情況下，由于背面的間隙遮斷基于毛細(xì)管現(xiàn)象進(jìn)行的液體的誘導(dǎo)，因此即使液體漏入壓電基板的背面，液體也不會(huì)在背面流動(dòng)而到達(dá)形成有圖案電極的區(qū)域，能夠避免圖案電極的短路、劣化等不良情況。在上述接點(diǎn)夾具構(gòu)成為，從所述圖案電極側(cè)觀察所述壓電基板的表面時(shí)在靠近該圖案電極一側(cè)形成較大縫隙、在遠(yuǎn)離該圖案電極一側(cè)形成比所述較大縫隙小的縫隙，并且使所述圖案電極與所述霧化區(qū)域分開的情況下，能夠利用圖案電極前的大小縫隙避免液體接近圖案電極，因此能夠避免圖案電極的短路、劣化等不良情況。


圖1(a)是本發(fā)明第一實(shí)施方式涉及的彈性表面波霧化裝置的立體圖，(b)是(a) 的剖視圖。圖2是局部剖視本發(fā)明第一實(shí)施方式涉及的彈性表面波霧化裝置而得的分解立體圖。圖3是表示本發(fā)明第一實(shí)施方式涉及的彈性表面波霧化裝置的變形例的立體圖。圖4是第二實(shí)施方式涉及的彈性表面波霧化裝置的剖視分解圖。圖5是第三實(shí)施方式涉及的彈性表面波霧化裝置的剖視分解圖。圖6(a)是第三實(shí)施方式涉及的彈性表面波霧化裝置的俯視圖，(b)是(a)的B-B 線剖視圖。圖7是第四實(shí)施方式涉及的彈性表面波霧化裝置的局部分解立體圖。圖8的(a)是第四實(shí)施方式涉及的彈性表面波霧化裝置的剖視圖，(b)是第四實(shí)施方式涉及的彈性表面波霧化裝置的俯視圖。圖9是第五實(shí)施方式涉及的彈性表面波霧化裝置的立體圖。圖10是第五實(shí)施方式涉及的彈性表面波霧化裝置的剖視圖。
具體實(shí)施例方式(第一實(shí)施方式)以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式涉及的彈性表面波霧化裝置進(jìn)行說(shuō)明。圖 1(a)、(b)、圖2表示第一實(shí)施方式涉及的彈性表面波霧化裝置。彈性表面波霧化裝置1具備壓電基板3，其在表面S具有通過(guò)施加高頻電壓來(lái)激勵(lì)彈性表面波W的圖案電極2 ；液體供給部件4，其用于向壓電基板3的表面S上的霧化區(qū)域30供給液體M ；接點(diǎn)夾具5，其具有用于對(duì)圖案電極2施加電壓的電極柱51，并且自圖案電極2的上方裝配于壓電基板3上； 支承板6，其是從下方支撐壓電基板3的基礎(chǔ)部件，該彈性表面波霧化裝置1利用在表面S 生成的彈性表面波W將被液體供給部件4供給到壓電基板3的表面S的液體M霧化。液體供給部件4與未圖示的液體容器等一起構(gòu)成液體供給機(jī)構(gòu)。液體供給部件4在壓電基板3 的表面S上形成利用毛細(xì)管現(xiàn)象保持并誘導(dǎo)液體M的部件間縫隙，向霧化區(qū)域30供給液體 M。以下對(duì)各構(gòu)成進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。圖案電極2是在壓電基板3的表面S以彼此咬合的方式形成了兩個(gè)梳形電極而成的電極(叉指電極、IDT :inter-digital transducer)。圖案電極2彼此相鄰的梳齒屬于彼此不同的電極，以長(zhǎng)度為所激勵(lì)的彈性表面波W的波長(zhǎng)的一半的節(jié)距排列。通過(guò)從高頻電壓施加用的電路E向圖案電極2的兩個(gè)梳形電極施加高頻(例如MHz帶)電壓，從而利用梳形電極將電能轉(zhuǎn)換成波的機(jī)械能，在壓電基板3的表面S激勵(lì)稱之為瑞利波的彈性表面波W。所激勵(lì)的彈性表面波W的振幅由施加于圖案電極2的電壓的大小決定。所激勵(lì)的彈性表面波W的波束的長(zhǎng)度與電壓施加時(shí)間的長(zhǎng)度對(duì)應(yīng)。被圖案電極2激勵(lì)后的彈性表面波W成為寬度與一對(duì)梳形電極的齒交叉而成的寬度相對(duì)應(yīng)的波，并且沿著與梳齒垂直的方向χ傳播。這種彈性表面波W具有給表面S上存在的液體帶來(lái)使該液體向彈性表面波W的傳播方向移動(dòng)的力的性質(zhì)。此外，梳形電極生成沿著方向χ的正負(fù)兩個(gè)方向傳播的彈性表面波，因此可以具備使朝向負(fù)方向的彈性表面波全反射而加以有效利用的反射器。壓電基板3是例如由LiNbO3(鈮酸鋰)這樣的壓電體本身形成的基板。此外，壓電基板3也可以是在非壓電基板的表面形成壓電薄膜、例如PZT薄膜(鉛、鋯、鈦合金薄膜) 而成的構(gòu)成。在壓電基板3表面的壓電體薄膜的表面部分激勵(lì)彈性表面波。因此，壓電基板3只要是在表面具備激勵(lì)彈性表面波的壓電體部分的基板即可。本實(shí)施方式中的壓電基板3形成為長(zhǎng)方形的板狀。在壓電基板3的長(zhǎng)度方向的一端側(cè)(圖的右方一側(cè))形成圖案電極2，從另一端側(cè)沿著y方向向中央誘導(dǎo)液體M。在壓電基板3的中央部附近設(shè)定有液體M成為微粒子并飛散的霧化區(qū)域30。S卩、壓電基板3上的液體M的供給位置和霧化區(qū)域30被設(shè)定在從激勵(lì)彈性表面波W的圖案電極2的位置向彈性表面波W的傳播方向(方向χ)側(cè)遠(yuǎn)離的位置。此外，壓電基板3被放置在形成于支承板 6的凹部，使得壓電基板3的表面與支承板6的表面彼此成為一個(gè)面。放置好的壓電基板3 被用兩根螺釘(未圖示)固定于支承板6的接點(diǎn)夾具51固定于支承板6。在接點(diǎn)夾具5的與壓電基板3對(duì)置的對(duì)置面形成有凹部50，以便不妨礙彈性表面波W的激勵(lì)和傳播。液體供給部件4為大致長(zhǎng)方體的部件，自壓電基板3的上方對(duì)置配置于壓電基板 3的表面S，使用兩根螺釘(未圖示)固定于支承板6。在液體供給部件4的下表面40 (與壓電基板3對(duì)置的面)形成沿著壓電基板3的長(zhǎng)度方向(方向y)的兩條槽部42，被該槽部42所夾的區(qū)域的面41形成為比下表面40靠?jī)?nèi)的面。上述液體供給部件4配置于支承板6，從而由面41和壓電基板3的表面S形成微小縫隙11，由槽部42和壓電基板3的表面 S形成較大縫隙12。壓電基板3的表面S上的形成微小縫隙11的區(qū)域Al (圖2)為保持并誘導(dǎo)液體M的區(qū)域，形成較大縫隙12的區(qū)域A2為不對(duì)液體進(jìn)行誘導(dǎo)的區(qū)域。微小縫隙11 例如為0. 1 0. 3 μ m左右的間隙。此外，較大縫隙12例如為300 500 μ m左右的間隙。從區(qū)域Al的與方向y側(cè)相反側(cè)的端部P向區(qū)域Al供給液體M。能夠通過(guò)滴下液體M、由其他部件形成的微小間隙、多孔質(zhì)材料、纖維材料等產(chǎn)生的毛細(xì)管現(xiàn)象來(lái)向端部P 供給液體M。換言之，上述液體供給部件4在期望保持并誘導(dǎo)液體M的區(qū)域設(shè)置微小縫隙11，在不期望供給液體M的區(qū)域設(shè)置較大縫隙12，利用因部件間縫隙的大小導(dǎo)致的液體M的表面張力差，向位于與壓電基板3的表面S上的圖案電極2分離的區(qū)域的霧化區(qū)域30供給液體 M。由于液體M在區(qū)域Al的方向y側(cè)的端部流出，其方向y的前方區(qū)域成為霧化區(qū)域30。 液體M通過(guò)表面張力而在區(qū)域Al的前方周圍保持形狀使液面露出，但是在霧化區(qū)域30側(cè)通過(guò)霧化而被消耗，因此會(huì)連續(xù)不斷地供給液體M。根據(jù)本實(shí)施方式的彈性表面波霧化裝置1，能夠利用微小縫隙11處的表面張力所產(chǎn)生的大致一定的保持力將液體以一定量為單位穩(wěn)定地輸送至壓電基板表面S的霧化區(qū)域30，并且能夠利用較大縫隙12限制壓電基板表面S處的液體M的分布，實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定且高效的霧化以及抑制叉指電極等的劣化。另外，當(dāng)未被霧化的液體M以液滴等方式存在于壓電基板表面S時(shí)，暫且不談通過(guò)大功率進(jìn)行霧化的情況，在通過(guò)低功率進(jìn)行霧化的情況下，或許是由于彈性表面波W的能量被液滴吸收而霧化停止，而成為不穩(wěn)定的動(dòng)作。本實(shí)施方式的彈性表面波霧化裝置1利用微小縫隙11的效果避免產(chǎn)生液滴，即使是低功率也能穩(wěn)定地進(jìn)行霧化。通過(guò)微小縫隙11對(duì)液體M的保持和誘導(dǎo)，與基于高頻電路中的微波帶狀線的波導(dǎo)路的概念相通。即、在壓電基板3的表面S將由微小縫隙11形成的線路(基于區(qū)域Al的線路)形成為所期望的形狀，從而能夠不從線路泄露液體M地將液體M誘導(dǎo)至所期望的位置。圖3是表示本實(shí)施方式的彈性表面波霧化裝置1的變形例。在該變形例中，壓電基板3形成為如下狀態(tài)，即其圖案電極2側(cè)的部分放置并固定在支承板6上的凹部，形成有微小縫隙11側(cè)的端部以懸臂梁狀從支承板6突出。因此，壓電基板3成為在形成有微小縫隙11的區(qū)域(未圖示，參照后述圖8(b)中的區(qū)域Al)不存在部件間的接合線(部件間間隙)的結(jié)構(gòu)。這里，部件間的接合線是指，在例如圖2中的壓電基板3的區(qū)域Al側(cè)端部面與支承板6上的凹部的開口壁面之間的接合面露出而形成的線。在圖2的結(jié)構(gòu)中，該接合線經(jīng)過(guò)區(qū)域Al，液體M進(jìn)入該接合線處的部件間的間隙。關(guān)于這一點(diǎn)，就本變形例的彈性表面波霧化裝置1而言，誘導(dǎo)液體M的區(qū)域沒有接合線，抑制了液體向壓電基板3的里面蔓延的情形。此外，例如還利用圖1 (a)、圖3示出的較大縫隙12來(lái)避免液體M蔓延(進(jìn)入)至這樣的部件間間隙。這里，對(duì)與一般的液體進(jìn)入部件間間隙相關(guān)的情況進(jìn)行說(shuō)明。一般而言，在部件間存在間隙，若液體與該間隙接觸，則液體進(jìn)入間隙的情況會(huì)顯著地產(chǎn)生。為了利用結(jié)構(gòu)來(lái)避免該液體進(jìn)入，存在“使間隙為零”或者“減小液體產(chǎn)生的表面張力”之類的方法。然而，從尺寸精度、結(jié)構(gòu)上的觀點(diǎn)出發(fā)難以使間隙為零。因此，在本實(shí)施方式中，在誘導(dǎo)液體M的區(qū)域Al與期望避免液體進(jìn)入的部分之間，利用槽部42來(lái)設(shè)置較大縫隙12，配置表面張力變小的部分，使得液體不會(huì)進(jìn)入部件間的接合線(部件間間隙)。此外，在該圖 3的變形例中，在液體供給部件4的霧化區(qū)域30側(cè)的端面形成有斜面。該斜面設(shè)置成不妨礙在霧化區(qū)域30被霧化而形成的液體粒子的飛行、附著。彈性表面波霧化裝置1例如作為由小功率的干電池驅(qū)動(dòng)的醫(yī)療用吸霧器使用。這種情況下，被霧化的液體M為水、將藥品溶解在水中而成的藥液等。此外，在以比較大的功率驅(qū)動(dòng)彈性表面波霧化裝置1的情況下，例如作為防干燥用的濕度調(diào)整裝置使用。(第二實(shí)施方式)結(jié)合圖4對(duì)第二實(shí)施方式涉及的彈性表面波霧化裝置進(jìn)行說(shuō)明。與第一實(shí)施方式相比，本實(shí)施方式的彈性表面波霧化裝置1的形成微小縫隙11的方法不同，其他方面相同。 即，代替形成比下表面40靠?jī)?nèi)的面，液體供給部件4的下表面40上被兩條槽部42夾在中間的區(qū)域的面41，形成有將下表面40粗化而得的凹凸。形成有基于這種粗化的凹凸的面 41與壓電基板3的表面S接觸，從而發(fā)揮與上述微小縫隙11同等的效果。上述第一實(shí)施方式中的微小縫隙11細(xì)微至0. 1 0. 3 μ m左右，因此有時(shí)會(huì)受到加工精度、安裝誤差的影響。此外，可知在利用螺釘固定兩個(gè)部件的情況下，由于部件的對(duì)置面存在表面粗糙度，液體會(huì)浸入部件間的間隙。本實(shí)施方式的液體供給部件4基于上述背景而構(gòu)成。根據(jù)本實(shí)施方式的彈性表面波霧化裝置1，將液體供給部件4的表面進(jìn)行粗化便可形成微小縫隙11，較大縫隙充分增大即可，因此液體供給部件4的加工所要求的尺寸精度得到緩和。即、在誘導(dǎo)液體M的過(guò)程中，無(wú)需進(jìn)行高精度的加工來(lái)形成微小縫隙11，而能夠利用表面粗糙度將液體M誘導(dǎo)至所期望誘導(dǎo)的位置。這種情況下，在誘導(dǎo)液體M的線路的兩側(cè)形成用于不對(duì)液體M進(jìn)行誘導(dǎo)的槽部42。此外，基于粗化的凹凸不僅僅局限于面41， 可以形成于整個(gè)下表面40，誘導(dǎo)用的線路能由槽部42設(shè)定。
(第三實(shí)施方式)圖5、圖6表示第三實(shí)施方式涉及的彈性表面波霧化裝置。與第一和第二實(shí)施方式相比，本實(shí)施方式的彈性表面波霧化裝置1在壓電基板3上的形成微小縫隙11的位置不同，其他方面相同。即、微小縫隙11形成于壓電基板3的表面中不激勵(lì)彈性表面波W的區(qū)域。沿著壓電基板3的長(zhǎng)度方向的中央?yún)^(qū)域31是彈性表面波W傳播的區(qū)域，區(qū)域31的兩側(cè)的區(qū)域中不存在彈性表面波W。在不存在該彈性表面波W的單側(cè)的區(qū)域形成有保持并誘導(dǎo)液體M的區(qū)域Al。此外，在液體供給部件4上的霧化區(qū)域30側(cè)的端部，形成有朝向壓電基板3的中心線的突出部，在該突出部的下表面連續(xù)地形成有微小縫隙11。即、僅在霧化區(qū)域30的附近、且彈性表面波W傳播的區(qū)域形成。另外，在圖6(a)中示出了液體容器7。通過(guò)從液體供給部件4的端部P側(cè)垂下的部件，從液體容器7向區(qū)域Al供給液體M。根據(jù)本實(shí)施方式的彈性表面波霧化裝置1，能夠不受要推回液體M這樣的來(lái)自彈性表面波W的阻力而按照計(jì)算將液體M誘導(dǎo)至霧化區(qū)域30。如上所述，彈性表面波W給存在于表面的液體帶來(lái)了使其向彈性表面波W的傳播方向移動(dòng)的力時(shí)，能夠利用本實(shí)施方式的微小縫隙11高效地將液體M誘導(dǎo)至霧化區(qū)域30，并且使霧化區(qū)域30局部存在。相反，通過(guò)在壓電基板3的長(zhǎng)度方向設(shè)置多個(gè)液體供給部件4中的朝向壓電基板3的中心線的突出部，從而能夠分布多個(gè)霧化區(qū)域30。此外，在本實(shí)施方式中例示了在壓電基板3的單側(cè)配置液體供給部件4的例子，但是可以在壓電基板3的兩側(cè)配置液體供給部件4。(第四實(shí)施方式)圖7、圖8表示第四實(shí)施方式涉及的彈性表面波霧化裝置。與第一至第三實(shí)施方式相比，本實(shí)施方式的彈性表面波霧化裝置1的支承板6的結(jié)構(gòu)不同，其他方面相同。S卩、本實(shí)施方式的支承板6設(shè)置成，在使壓電基板3的表面上的形成有圖案電極2的區(qū)域與形成有部件間間隙的區(qū)域A1、A2彼此分開的區(qū)域的背面形成間隙60。間隙60通過(guò)形成于支承板6的槽61形成。根據(jù)本實(shí)施方式的彈性表面波霧化裝置1，由于壓電基板3的背面的間隙60遮斷通過(guò)毛細(xì)管現(xiàn)象對(duì)液體進(jìn)行的誘導(dǎo)，因此即使液體漏入壓電基板3的背面，液體M也不會(huì)在背面流動(dòng)而到達(dá)形成有圖案電極2的區(qū)域，能夠避免圖案電極2的短路、劣化等不良情況。(第五實(shí)施方式)圖9、圖10表示第五實(shí)施方式涉及的彈性表面波霧化裝置。與第一至第四實(shí)施方式相比，本實(shí)施方式的彈性表面波霧化裝置1的接點(diǎn)夾具5的結(jié)構(gòu)不同，其他方面相同。即、 本實(shí)施方式的接點(diǎn)夾具構(gòu)成為，從圖案電極2側(cè)觀察壓電基板3的表面時(shí)在靠近圖案電極2 一側(cè)形成較大縫隙53、在遠(yuǎn)離圖案電極2 —側(cè)形成較小縫隙52，利用上述縫隙52、53將圖案電極2與霧化區(qū)域30分開。根據(jù)本實(shí)施方式的彈性表面波霧化裝置1，能夠利用圖案電極2的霧化區(qū)域30側(cè)的大小的縫隙52、53避免液體接近圖案電極2，因此能夠避免圖案電極2的短路、劣化等不良情況。以上，對(duì)各實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，但是本發(fā)明并不局限于上述構(gòu)成而能夠進(jìn)行多種變形。例如可以是將上述各實(shí)施方式的構(gòu)成彼此組合而成的構(gòu)成。圖中符號(hào)說(shuō)明1彈性表面波霧化裝置
8
2圖案電極
3壓電基板
4液體供給部件
5接點(diǎn)夾具
6支承板
11微小縫隙
12較大縫隙
30霧化區(qū)域
51電極柱
60間隙
S表面
M液體
W彈性表面波
權(quán)利要求
1.一種彈性表面波霧化裝置，具備壓電基板和液體供給機(jī)構(gòu)，其中，所述壓電基板在表面具有通過(guò)施加高頻電壓而激勵(lì)彈性表面波的圖案電極，所述液體供給機(jī)構(gòu)向所述壓電基板的表面供給液體，該彈性表面波霧化裝置利用在所述表面生成的彈性表面波將被所述液體供給機(jī)構(gòu)供給到所述壓電基板的表面的液體霧化，該彈性表面波霧化裝置的特征在于，所述液體供給機(jī)構(gòu)具有與所述壓電基板的表面對(duì)置配置的液體供給部件，在所述液體供給部件與所述壓電基板的表面之間的部件間，在期望保持并誘導(dǎo)液體的區(qū)域設(shè)置微小縫隙，在不期望供給液體的區(qū)域設(shè)置比所述微小縫隙大的縫隙，利用因所述部件間縫隙的大小而形成的液體的表面張力差將液體供給至霧化區(qū)域，所述霧化區(qū)域位于所述壓電基板的表面上的與所述圖案電極分離的區(qū)域。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彈性表面波霧化裝置，其特征在于，所述微小縫隙由將所述液體供給部件的與所述壓電基板的表面對(duì)置的表面粗化而成的凹凸形成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的彈性表面波霧化裝置，其特征在于，所述微小縫隙形成在所述壓電基板的表面上不激勵(lì)所述彈性表面波的區(qū)域。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任意一項(xiàng)所述的彈性表面波霧化裝置，其特征在于，具備從背面支承所述壓電基板的支承板，所述支承板被設(shè)置成，在所述壓電基板的表面上的使形成有所述圖案電極的區(qū)域和形成有所述部件間縫隙的區(qū)域彼此分離的區(qū)域的背面形成間隙。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 4中任意一項(xiàng)所述的彈性表面波霧化裝置，其特征在于，具備接點(diǎn)夾具，所述接點(diǎn)夾具具有用于對(duì)所述圖案電極施加電壓的電極柱并且裝配于所述壓電基板上，所述接點(diǎn)夾具構(gòu)成為，從所述圖案電極側(cè)觀察所述壓電基板的表面時(shí)在靠近該圖案電極一側(cè)形成較大縫隙、在遠(yuǎn)離該圖案電極一側(cè)形成比該較大縫隙小的縫隙，并且使所述圖案電極與所述霧化區(qū)域分開。
全文摘要
一種彈性表面波霧化裝置，能夠通過(guò)簡(jiǎn)單的構(gòu)成將液體以一定量為單位穩(wěn)定地供給至基板表面的霧化區(qū)域，并且能限制基板表面上的液體的分布，能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定高效的霧化以及抑制叉指電極等的劣化。本裝置(1)具有在表面(S)設(shè)有圖案電極(2)的壓電基板(3)、向表面(S)供給液體(M)的液體供給部件(4)，利用彈性表面波(W)將被供給到表面(S)的液體(M)霧化，在液體供給部件(4)與壓電基板(3)的表面(S)之間的部件間，在期望保持并誘導(dǎo)液體(M)的區(qū)域(A1)設(shè)置微小縫隙(11)，在不期望供給液體(M)的區(qū)域(A2)設(shè)置較大縫隙(12)，利用因縫隙的大小而形成的表面張力差將液體(M)供給至霧化區(qū)域(30)，該霧化區(qū)域(30)位于壓電基板(3)的表面(S)上與圖案電極(2)分離的區(qū)域。能夠利用微小縫隙(11)穩(wěn)定地供給液體(M)，能夠利用較大縫隙(12)限制液體(M)的分布。
文檔編號(hào)B05B17/06GK102196866SQ20098014203
公開日2011年9月21日 申請(qǐng)日期2009年10月22日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月24日
發(fā)明者石上陽(yáng)平 申請(qǐng)人:松下電工株式會(huì)社