專利名稱:一種氧化鋅鍍膜的方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明屬于膜技術(shù)領(lǐng)域,涉及半導(dǎo)體薄膜的鍍膜方法,具體的說是寬禁 帶半導(dǎo)體氧化鋅薄膜的鍍膜方法。
背景技術(shù):
氧化鋅禁帶寬度3. 3eV,是一種重要的功能材料,在光電子器件等方面 具有廣泛的應(yīng)用前景,如紫外激光、紫外探測器等等。此外,氧化鋅禁帶寬 度比較大,對于波長小于380mn的紫外線具有強烈的吸收性能,因此氧化鋅 薄膜可以用作優(yōu)良的紫外線吸收材料,起到屏蔽紫外線的作用,比如,頭盔、 眼鏡片上面鍍有氧化鋅可以保護(hù)眼睛免受紫外線的輻射,若窗玻璃上面鍍有 氧化鋅,即使烈日炎炎時車內(nèi)或室內(nèi)的人也不用擔(dān)心皮膚被紫外線燒傷。目 前,氧化鋅薄膜的制備方法很多,有磁控濺射法、分子束外延法、激光脈沖 沉積法等等,這些方法不適合大面積鍍膜。此外,常用的還有溶膠凝膠法。 雖然相比之下溶膠凝膠法較適合大面積鍍膜,但是溶膠凝膠法鍍膜時一般采 用提拉法、旋轉(zhuǎn)鍍膜法(甩膜法),其工藝以及溶膠的穩(wěn)定性制約了溶膠凝 膠法在大面積規(guī)?;a(chǎn)中的應(yīng)用。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種屏蔽紫外線用氧化鋅薄膜的鍍膜方法。 本發(fā)明方法采用如下步驟
步驟(1).將乙酸鋅和油酸按照摩爾比0. 05 0. 2:1放入容器中,在50 80。C條件下加熱3 10分鐘,獲得均勻透明溶液;然后在120 150。C條件下 回流30 40分鐘;再在60 8 0。C下保溫備用;
歩驟(2).將玻璃片放入丙酮溶液中,同時超聲波振蕩清洗20 30分鐘; 然后將清洗后的玻璃片加熱至40 60°C;采用絲網(wǎng)印刷法將步驟(l)獲得的溶液涂覆到加熱后的玻璃片表面;
步驟(3).將涂覆溶液的玻璃片在150 25(TC下烘干1 3小時;然后在 400 45(TC下熱處理3 6小時,再自然冷卻,獲得氧化鋅鍍膜。
本發(fā)明所制備的氧化鋅鍍膜材料的光學(xué)禁帶寬度為3. 3eV左右,對應(yīng)的 吸收邊波長為375 390nm,該薄膜對太陽光可見光部分的透光率響應(yīng)很小, 而對紫外光強烈吸收。本發(fā)明方法制造工藝簡單、無毒性、成本低。
具體實施方式
實施例1:
步驟(1).將乙酸鋅和油酸按照摩爾比0.05:1放入容器中,在50。C條件 下加熱10分鐘,獲得均勻透明溶液;然后在120。C條件下回流40分鐘;再 在6(TC下保溫備用;
步驟(2).將玻璃片放入丙酮溶液中,同時超聲波振蕩清洗30分鐘;然 后將清洗后的玻璃片加熱至40°C;采用絲網(wǎng)印刷法將步驟(l)獲得的溶液涂 覆到加熱后的玻璃片表面;
步驟(3).將涂覆溶液的玻璃片在15(TC下烘干3小時;然后在40(TC下 熱處理6小時,再自然冷卻,獲得氧化鋅鍍膜。 實施例2:
步驟(l).將乙酸鋅和油酸按照摩爾比0.2:1放入容器中,在8(TC條件 下加熱3分鐘,獲得均勻透明溶液;然后在150'C條件下回流30分鐘;再在 8 (TC下保溫備用;
步驟(2).將玻璃片放入丙酮溶液中,同時超聲波振蕩清洗20分鐘;然 后將清洗后的玻璃片加熱至60°C;采用絲網(wǎng)印刷法將步驟(l)獲得的溶液涂 覆到加熱后的玻璃片表面;
步驟(3).將涂覆溶液的玻璃片在25(TC下烘干1小時;然后在45(TC下 熱處理3小時,再自然冷卻,獲得氧化鋅鍍膜。實施例3:
歩驟(l).將乙酸鋅和油酸按照摩爾比0.1:1放入容器中,在60。C條件 下加熱5分鐘,獲得均勻透明溶液;然后在14(TC條件下回流35分鐘;再在 7(TC下保溫備用;
步驟(2).將玻璃片放入丙酮溶液中,同時超聲波振蕩清洗25分鐘;然 后將清洗后的玻璃片加熱至5(TC;采用絲網(wǎng)印刷法將步驟(l)獲得的溶液涂 覆到加熱后的玻璃片表面;
步驟(3).將涂覆溶液的玻璃片在20(TC下烘干2小時;然后在42(TC下 熱處理4小時,再自然冷卻,獲得氧化鋅鍍膜。
權(quán)利要求
1.一種氧化鋅鍍膜的方法,其特征在于該方法的具體步驟是步驟(1).將乙酸鋅和油酸按照摩爾比0.05~0.2∶1放入容器中,在50~80℃條件下加熱3~10分鐘,獲得均勻透明溶液;然后在120~150℃條件下回流30~40分鐘;再在60~80℃下保溫備用;步驟(2).將玻璃片放入丙酮溶液中,同時超聲波振蕩清洗20~30分鐘;然后將清洗后的玻璃片加熱至40~60℃;采用絲網(wǎng)印刷法將步驟(1)獲得的溶液涂覆到加熱后的玻璃片表面;步驟(3).將涂覆溶液的玻璃片在150~250℃下烘干1~3小時;然后在400~450℃下熱處理3~6小時,再自然冷卻,獲得氧化鋅鍍膜。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種氧化鋅鍍膜的方法?,F(xiàn)有方法不適合大面積鍍膜。本發(fā)明方法首先將乙酸鋅和油酸按照摩爾比0.05~0.2∶1混合加熱,獲得均勻透明溶液,然后在120~150℃條件下回流,保溫備用;將玻璃片放入丙酮溶液中,同時超聲波振蕩清洗20~30分鐘,采用絲網(wǎng)印刷法將溶液涂覆到加熱后的玻璃片表面;將涂覆溶液的玻璃片在150~250℃下烘干1~3小時;然后在400~450℃下熱處理3~6小時,再自然冷卻,獲得氧化鋅鍍膜。本發(fā)明制備的氧化鋅鍍膜對太陽光可見光部分的透光率響應(yīng)很小,而對紫外光強烈吸收。本發(fā)明方法制造工藝簡單、無毒性、成本低。
文檔編號B05D3/12GK101579673SQ200910100098
公開日2009年11月18日 申請日期2009年6月22日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月22日
發(fā)明者趙士超 申請人:杭州電子科技大學(xué)