專利名稱：高黏度精密膠泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及應(yīng)用于PI(聚酰亞胺)及高黏度光刻膠等高黏度特種膠液的精密供液
系統(tǒng)，具體為一種高黏度精密膠泵。
背景技術(shù)：
隨著集成電路制造技術(shù)的高速發(fā)展，高密度封裝技術(shù)、MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))等 高新技術(shù)得到迅速推廣應(yīng)用。在這些新的工藝技術(shù)當(dāng)中要涂敷多種特殊化學(xué)品，如PI (聚 酰亞胺)、高黏度光刻膠等，其黏度都在3000cp以上，在使用普通膠泵供膠時(shí)，由于其特殊 的成份和化學(xué)性質(zhì)很容易產(chǎn)生氣泡，氣泡一旦出現(xiàn)就很難排除，這樣在旋轉(zhuǎn)涂敷過程中就 會(huì)在基片表面產(chǎn)生大量微小缺陷，從而嚴(yán)重影響產(chǎn)品質(zhì)量。 如圖1所示，普能膠泵主要包括腔體1 、出口單向閥2、入口單向閥3、活塞4等， 普通膠泵在供液時(shí)，是在一密閉腔體1內(nèi)利用活塞4或者膜片先向后抽，產(chǎn)生一定的負(fù)壓， 從而將膠液吸到腔體l內(nèi)，然后再推活塞4或者膜片，將膠液擠出。在膠泵的進(jìn)口和出口各 有一個(gè)單向閥出口單向閥2、入口單向閥3，帶有復(fù)位彈簧。在吸膠時(shí)，入口單向閥3打開， 出口單向閥2關(guān)閉。在打膠時(shí)，出口單向閥2打開，入口單向閥3關(guān)閉，完成吸膠打膠過程。 出口單向閥2、入口單向閥3的打開是靠腔體1內(nèi)的吸力或壓力驅(qū)動(dòng)膠液擠壓彈簧來實(shí)現(xiàn) 的。 經(jīng)過多次試驗(yàn)發(fā)現(xiàn)，在涂PI時(shí)之所以會(huì)出現(xiàn)微小氣泡，就是由于膠泵供膠時(shí)，需 要膠液不斷擠壓單向閥彈簧來進(jìn)出膠泵，在這一過程中膠液反復(fù)受力，使得其內(nèi)部產(chǎn)生大 量肉眼不可見的氣泡。在旋轉(zhuǎn)涂敷后，經(jīng)過烘烤堅(jiān)膜膠膜表面，就會(huì)出現(xiàn)大量微小"麻點(diǎn)"， 造成基片報(bào)廢。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種高黏度精密膠泵，解決普通膠泵在旋轉(zhuǎn)涂敷后，經(jīng)過 烘烤堅(jiān)膜膠膜表面出現(xiàn)大量微小"麻點(diǎn)"等問題。
本發(fā)明的技術(shù)方案是 —種高黏度精密膠泵，膠泵兩側(cè)設(shè)有膠泵進(jìn)口和膠泵出口 ，膠泵內(nèi)的腔體中設(shè)置 活塞，該膠泵的膠泵進(jìn)口和膠泵出口處分別采用氣動(dòng)膜片密封機(jī)構(gòu)，氣動(dòng)膜片密封機(jī)構(gòu)設(shè) 有氣動(dòng)活塞、膜片和復(fù)位彈簧，氣動(dòng)活塞一端與膜片相連，氣動(dòng)活塞另一端安裝復(fù)位彈簧， 氣動(dòng)膜片密封機(jī)構(gòu)的膜片與膠泵進(jìn)口或膠泵出口相對(duì)應(yīng)，氣動(dòng)活塞所在的腔體分別開有進(jìn) 氣口。 所述的高黏度精密膠泵，活塞的活塞桿與伺服電機(jī)連接。
所述的高黏度精密膠泵，伺服電機(jī)與可編程控制器相連。 所述的高黏度精密膠泵，氣動(dòng)膜片密封機(jī)構(gòu)的進(jìn)氣口分別連至兩位五通電磁閥的 出口端。 所述的高黏度精密膠泵，兩位五通電磁閥與可編程控制器相連。
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所述的高黏度精密膠泵，可編程控制器與液晶顯示屏連接。 所述的高黏度精密膠泵，活塞的活塞桿外側(cè)裝有密封圈，密封圈采用氟樹脂材料。
本發(fā)明的有益效果是 1、本發(fā)明高精度膠泵的進(jìn)口和出口處采用了氣動(dòng)膜片密封機(jī)構(gòu)，在吸膠打膠時(shí)， 可通過氣控自動(dòng)打開或關(guān)閉，這樣膠液在進(jìn)出膠泵腔體時(shí)，就不在有阻礙，從而不會(huì)出現(xiàn)微 小氣泡，經(jīng)過試驗(yàn)該膠泵完全能滿足需要。 2、本發(fā)明為了能做到適應(yīng)高黏度精確供膠，該膠泵采用進(jìn)口伺服電機(jī)來驅(qū)動(dòng)活塞 桿，控制精度高，供膠量調(diào)整方便精確。 3、由于PI等化學(xué)品具有高腐蝕性，活塞桿采用陶瓷材料精密加工而成，高精度無 污染。 4、本發(fā)明膠泵內(nèi)部的密封圈采用氟樹脂材料，保證密封性能，同時(shí)耐腐蝕。
5、本發(fā)明膠泵的整體控制采用PLC，可以帶有液晶顯示屏，操作設(shè)定簡單方便。
6、本發(fā)明膠泵的進(jìn)出口閥門由兩位五通電磁閥驅(qū)動(dòng)，開閉可由程序自動(dòng)控制。


圖1為普通膠泵結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為本發(fā)明膠泵結(jié)構(gòu)示意圖。 圖中，1、腔體；2、出口單向閥；3、入口單向閥；4、活塞；5、氣動(dòng)活塞；6、進(jìn)氣口 ；7、 膜片；8、膠泵進(jìn)口 ；9、膠泵出口 ；10、伺服電機(jī)；11、密封圈；12、可編程控制器(PLC) ;13、電 磁閥；14復(fù)位彈簧；15滾珠絲杠。
具體實(shí)施例方式
如圖2所示，本發(fā)明高黏度精密膠泵主要包括腔體1、活塞4、氣動(dòng)活塞5、進(jìn)氣口 6、膜片7、伺服電機(jī)10、密封圈11、可編程控制器12、電磁閥13等，
具體結(jié)構(gòu)如下 膠泵進(jìn)口 8和膠泵出口 9處分別采用氣動(dòng)膜片密封機(jī)構(gòu)，氣動(dòng)膜片密封機(jī)構(gòu)設(shè)有 氣動(dòng)活塞5、膜片7復(fù)位彈簧14，氣動(dòng)活塞5 —端與膜片7相連，氣動(dòng)活塞5另一端安裝和 復(fù)位彈簧14，氣動(dòng)膜片密封機(jī)構(gòu)的膜片與膠泵進(jìn)口 8或膠泵出口 9相對(duì)應(yīng)，氣動(dòng)活塞5所在 的腔體分別開有進(jìn)氣口6。 本發(fā)明中，腔體1內(nèi)設(shè)置活塞4，活塞4的活塞桿與伺服電機(jī)10連接，活塞4由伺 服電機(jī)10驅(qū)動(dòng)。 本發(fā)明中，活塞4的活塞桿外側(cè)裝有密封圈ll，密封圈11采用氟樹脂材料。
本發(fā)明中，兩位五通電磁閥13可集成安裝在設(shè)備氣控閥板上，壓縮空氣從兩位五 通電磁閥13進(jìn)口端進(jìn)入，兩位五通電磁閥13的出口端分別連至氣動(dòng)膜片密封機(jī)構(gòu)的進(jìn)氣 □ 6。 本發(fā)明中，膠泵的整體控制采用可編程控制器(PLC) 12，可編程控制器(PLC) 12可 安裝在設(shè)備內(nèi)部，可編程控制器(PLC) 12分別連接伺服電機(jī)10和兩位五通電磁閥13。
本發(fā)明中，可編程控制器(PLC)可以帶有液晶顯示屏以方便手動(dòng)設(shè)定，控制器本 身可與設(shè)備上位機(jī)通信，由設(shè)備直接程序控制其工作。
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本發(fā)明的工作過程如下 在供液時(shí)，伺服電機(jī)10來通過精密滾珠絲杠15驅(qū)動(dòng)活塞桿，活塞桿采用陶瓷材料 精密加工而成，使活塞4在密閉腔體1內(nèi)精確動(dòng)作，通過在可編程控制器(或設(shè)備上位機(jī)) 內(nèi)進(jìn)行設(shè)定，伺服電機(jī)10按設(shè)定值旋轉(zhuǎn)一定圈數(shù)使活塞后退或者前進(jìn)，從而控制吸膠及打 膠的量。本發(fā)明關(guān)鍵在于進(jìn)膠、出膠口采用氣動(dòng)隔膜自動(dòng)打開或關(guān)閉，從而解決膠液因受單
向閥阻力作用而出現(xiàn)微小氣泡的問題。 本發(fā)明膠泵主要應(yīng)用在高密度封裝技術(shù)、MEMS等工藝專用自動(dòng)涂膠設(shè)備的供膠系 統(tǒng)中，是這類設(shè)備的必備核心部件。此外，這種膠泵還可應(yīng)用在其他需要供應(yīng)高黏度膠液， 同時(shí)對(duì)氣泡非常敏感的地方，如電池制造、PCB板制造、封裝等。
權(quán)利要求
一種高黏度精密膠泵，膠泵兩側(cè)設(shè)有膠泵進(jìn)口(8)和膠泵出口(9)，膠泵內(nèi)的腔體(1)中設(shè)置活塞(4)，其特征在于，該膠泵的膠泵進(jìn)口(8)和膠泵出口(9)處分別采用氣動(dòng)膜片密封機(jī)構(gòu)，氣動(dòng)膜片密封機(jī)構(gòu)設(shè)有氣動(dòng)活塞(5)、膜片(7)和復(fù)位彈簧(14)，氣動(dòng)活塞(5)一端與膜片(7)相連，氣動(dòng)活塞(5)另一端安裝復(fù)位彈簧(14)，氣動(dòng)膜片密封機(jī)構(gòu)的膜片與膠泵進(jìn)口(8)或膠泵出口(9)相對(duì)應(yīng)，氣動(dòng)活塞(5)所在的腔體分別開有進(jìn)氣口(6)。
2. 按照權(quán)利要求l所述的高黏度精密膠泵，其特征在于，活塞(4)的活塞桿與伺服電機(jī) (10)連接。
3. 按照權(quán)利要求2所述的高黏度精密膠泵，其特征在于，伺服電機(jī)(10)與可編程控制 器(12)相連。
4. 按照權(quán)利要求1所述的高黏度精密膠泵，其特征在于，氣動(dòng)膜片密封機(jī)構(gòu)的進(jìn)氣口(6) 分別連至兩位五通電磁閥(13)的出口端。
5. 按照權(quán)利要求4所述的高黏度精密膠泵，其特征在于，兩位五通電磁閥(13)與可編 程控制器(12)相連。
6. 按照權(quán)利要求3或5所述的高黏度精密膠泵，其特征在于，可編程控制器(12)與液 晶顯示屏連接。
7. 按照權(quán)利要求l所述的高黏度精密膠泵，其特征在于，活塞(4)的活塞桿外側(cè)裝有密 封圈(ll)，密封圈(11)采用氟樹脂材料。
全文摘要
本發(fā)明涉及應(yīng)用于PI(聚酰亞胺)及高黏度光刻膠等高黏度特種膠液的精密供液系統(tǒng)，具體為一種高黏度精密膠泵，解決普通膠泵在旋轉(zhuǎn)涂敷后，經(jīng)過烘烤堅(jiān)膜膠膜表面出現(xiàn)大量微小“麻點(diǎn)”等問題。該膠泵的膠泵進(jìn)口和膠泵出口處分別采用氣動(dòng)膜片密封機(jī)構(gòu)，氣動(dòng)膜片密封機(jī)構(gòu)設(shè)有氣動(dòng)活塞、膜片和復(fù)位彈簧，氣動(dòng)活塞一端與膜片相連，氣動(dòng)活塞另一端安裝復(fù)位彈簧，氣動(dòng)膜片密封機(jī)構(gòu)的膜片與膠泵進(jìn)口或膠泵出口相對(duì)應(yīng)，氣動(dòng)活塞所在的腔體分別開有進(jìn)氣口。本發(fā)明膠泵主要應(yīng)用在高密度封裝技術(shù)、MEMS等工藝專用自動(dòng)涂膠設(shè)備的供膠系統(tǒng)中，是這類設(shè)備的必備核心部件。
文檔編號(hào)B05B9/04GK101737314SQ20081022879
公開日2010年6月16日 申請(qǐng)日期2008年11月14日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月14日
發(fā)明者陳焱 申請(qǐng)人:沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司