專利名稱：液晶面板的制造方法及其制造裝置、以及漿料涂敷裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液晶滴下貼合方法，特別是涉及考慮至涂敷密封劑之前的前處理為止的設(shè)計值的制作誤差，能修正密封劑的涂敷條件的涂敷裝置的制造方法。
背景技術(shù)：
迄今，如日本特開2000-284295號公報所示，在基板上形成閉合的四邊形的密封圖形，直接將液晶滴在其中，重疊另一基板，精密地定位后進(jìn)行貼合，來生產(chǎn)LCD面板的方式正在實用化。
可是，在上述現(xiàn)有技術(shù)中，在基板表面上形成的濾色片等的厚度的精度有時與設(shè)計值不同。在此情況下，由于單元的體積變化，所以如果滴下設(shè)定量的液晶后，進(jìn)行基板的貼合組裝，則存在發(fā)生液晶的過量或不足的問題。

發(fā)明內(nèi)容
如上所述，本發(fā)明的目的在于消除這樣的問題，作為能提高合格率的生產(chǎn)方法，提供一種漿料涂敷機(jī)和液晶填充容積的修正方法及液晶滴下貼合工藝，其特征在于，設(shè)置在液晶的單元組裝工序中輸入LCD面板的設(shè)計、生產(chǎn)信息的單元，且設(shè)置根據(jù)輸入的信息，變更密封劑圖形的涂敷條件的單元，通過控制密封劑涂敷斷面積，能修正液晶填充容積。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明是這樣的一種漿料涂敷機(jī)和液晶填充容積的修正方法及液晶滴下貼合工藝，其特征在于，設(shè)置在液晶的單元組裝工序中，輸入LCD面板的設(shè)計、生產(chǎn)信息的單元，且設(shè)置根據(jù)輸入的信息，變更密封劑圖形的涂敷條件的單元，通過控制密封劑涂敷斷面積，能修正液晶填充容積。
上述的設(shè)計、生產(chǎn)信息是液晶基板單元設(shè)計值、濾色片高度設(shè)計信息、隔板高度設(shè)計信息、生產(chǎn)誤差信息，修正項目是密封劑涂敷寬度、密封劑涂敷高度、涂敷位置的修正(四邊形密封劑內(nèi)側(cè)尺寸修正)。


圖1是本發(fā)明的液晶面板的組裝工序的簡略框線圖。
圖2是表示本發(fā)明的漿料涂敷機(jī)的一實施形態(tài)的斜視圖。
圖3是表示圖1所示的實施形態(tài)中的漿料收容筒和距離計的配置關(guān)系的斜視圖。
圖4是表示圖1所示的實施形態(tài)中的控制系統(tǒng)的框圖。
圖5是表示圖1所示的實施形態(tài)的總體工作的流程圖。
圖6是說明涂敷描繪在基板上的漿料圖形的圖。
圖7是說明貼合時的漿料圖形的狀態(tài)的圖。
圖8是說明用圖形修正進(jìn)行的容積修正方法。
圖9是基板貼合的狀態(tài)和濾色片部分的放大圖。
具體實施例方式
以下，用

本發(fā)明的實施形態(tài)。
圖1是表示本發(fā)明的液晶面板制造工序的一部分的控制框線圖。
在圖1中，在前工序100、101中在基板上形成濾色片，或者在基板上形成液晶驅(qū)動用的TFT(薄膜晶體管)。本發(fā)明是關(guān)于將液晶滴在前工序結(jié)束了的基板上的工序、涂敷密封劑的工序、以及貼合工序的發(fā)明。即，在管理用計算機(jī)102中，備有數(shù)據(jù)庫，該數(shù)據(jù)庫存儲著面板的設(shè)計信息103(例如，基板厚度和大小、濾色片的厚度和大小、形成的TFT的大小、個數(shù)、厚度等的信息)、將從基板生產(chǎn)線(CF(濾色片)生產(chǎn)線105、TFT基板生產(chǎn)線106)實際制作的基板的批量單位的上述設(shè)計信息對應(yīng)的值作為面板的生產(chǎn)信息104。
在基板組裝工序107中，繼密封劑涂敷工序108、電極劑涂敷工序109及液晶滴下工序110之后，進(jìn)行面板貼合工序111。此后，貼合了的面板被傳輸給模制工序112。在本實施例中，求出對根據(jù)設(shè)計信息在基板生產(chǎn)線上制造的基板進(jìn)行檢測得到的數(shù)據(jù)與設(shè)計數(shù)據(jù)的誤差，在誤差量超過允許值的情況下，是修正此后的工序中的制造條件的工序。例如，在濾色片的厚度等的數(shù)據(jù)超過允許范圍的情況下，是變更涂敷的密封劑的量的工序。如果不變更，而使滴下的液晶劑的量一定，則會發(fā)生液晶劑溢出(密封高度不足(涂敷量不足)的情況)、或液晶劑不足，不能遍布整個基板，而產(chǎn)生空間部(密封高度過高(涂敷量過多)的情況)的問題。另外，在本實施例中，雖然說明了將密封材料涂敷在形成了TFT的基板側(cè)上，將液晶滴下，但也可以將密封材料涂敷在濾色片一側(cè)的基板上，將液晶滴下，還可以將密封材料涂敷在兩個基板上。
圖2中示出了漿料涂敷機(jī)的總體結(jié)構(gòu)的斜視圖。
圖中，X軸移動臺3設(shè)置在臺架1上，利用X軸伺服電動機(jī)4使螺桿正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)(正反轉(zhuǎn))，能使Y軸移動臺5沿X軸方向移動。θ軸移動臺8設(shè)置在Y軸移動臺5上，利用Y軸伺服電動機(jī)6，沿Y軸方向移動。在θ軸移動臺8上設(shè)有保持基板9的基板保持機(jī)構(gòu)7。
另外，在臺架1上橫跨基板保持機(jī)構(gòu)7(呈龍門狀)設(shè)有Z軸支撐臺架2。在Z軸支撐臺架2上的大致中央部安裝Z軸移動臺支撐托架10。Z軸移動臺11設(shè)置在Z軸移動支撐托架10上。利用Z軸伺服電動機(jī)12，能使?jié){料收容筒(注射器)13等在Z軸移動臺11上沿Z軸方向(上下方向)移動。噴嘴支架14設(shè)置在漿料收容筒13上，能使?jié){料收容筒13內(nèi)的漿料從噴嘴前端噴出。另外，備有能照明的光源的鏡筒和圖像識別攝象機(jī)15與漿料收容筒(注射器)13并排設(shè)置，使其沿Z軸方向移動。另外，距離計16也設(shè)置得能與漿料收容筒13一同沿Z軸方向移動。
主控制部17設(shè)置在臺架1的下部上，根據(jù)設(shè)置在裝置內(nèi)的各種傳感器信息，進(jìn)行各種驅(qū)動系統(tǒng)的控制，在基板上描繪規(guī)定的漿料。副控制部18用信號電纜21連接在主控制部17上，將控制信息等存儲在外部存儲裝置18a中。另外，監(jiān)視器19和鍵盤20連接在副控制部18上，能監(jiān)視控制的變更和各種工作。另外，從鍵盤20輸入的數(shù)據(jù)等能存儲保管在作為外部存儲裝置的硬盤18a或軟盤18b等存儲媒體中。另外，本圖中雖然未示出，但圖1所示的管理用計算機(jī)102連接在主控制部17上。主控制部17具有根據(jù)來自管理用計算機(jī)的信息，修正漿料的噴出量和噴嘴與基板的間隔等的功能。
另外，除此以外，如圖4所示，設(shè)有負(fù)壓源22、負(fù)壓調(diào)節(jié)器22a、正壓源23、正壓調(diào)節(jié)器23a、閥單元24、漿料圖形內(nèi)周(內(nèi)面積)測量用的攝象機(jī)26(二維CCD攝象機(jī)或一維行傳感攝象機(jī))。
另外，漿料收容筒13能裝卸自如地安裝在圖中未示出的線性導(dǎo)軌的可動部上。另外，備有能照明的光源的鏡筒和圖像識別攝象機(jī)15與基板9相對地安裝，以便進(jìn)行基板9的定位和漿料圖形的形狀識別等。
圖3是將圖2中的漿料收容筒13和距離計16的部分放大后示出的斜視圖，13a是噴嘴，9是基板，與圖2對應(yīng)的部分標(biāo)以同一標(biāo)記。
在圖3中，距離計16在下端部有三角形的切口部，在該切口部中設(shè)有發(fā)光元件和多個受光元件。噴嘴13a位于距離計16的切口部的下部。
距離計16用非接觸的三角測量法測量從噴嘴13a的前端部到由玻璃構(gòu)成的基板9的表面(上表面)的距離。即，發(fā)光元件設(shè)置在上述三角形的切口部的一側(cè)的斜面上，從該發(fā)光元件發(fā)射的激光L在基板9上的測量點S上反射，被設(shè)置在上述切口部的另一斜面上的多個受光元件中的某一個接受。因此，激光L不會被漿料收容筒13和噴嘴13a遮擋。
另外，基板9上的激光L的測量點S和噴嘴13a的正下方位置在基板9上偏移微小的距離ΔX、ΔY，在偏移該微小的距離ΔX、ΔY左右時，基板9的表面上的凹凸沒有差異，所以距離計16的測量結(jié)果和從噴嘴13a的前端部到基板28的表面(上表面)的距離之間幾乎不存在差異。因此，根據(jù)該距離計16的測量結(jié)果，控制Z軸伺服電動機(jī)12，能使基板9的表面上的凹凸(起伏)一致地使從噴嘴13a的前端部到基板9的表面(上表面)的距離(間隔)維持一定。
這樣做，從噴嘴13a的前端部到基板9的表面(上表面)的距離(間隔)能維持一定，而且從噴嘴13a噴出的每單位時間的漿料量能維持定量，所以在基板9上涂敷描繪的漿料圖形的寬度和厚度一樣。
其次，說明本實施例的控制方法。
圖4是表示圖2中的控制部的結(jié)構(gòu)的框圖。主控制部17中的微機(jī)17a、電動機(jī)控制器17b、外部接口17d、圖像識別裝置17e分別連接在數(shù)據(jù)通信總線17c上，而且X軸驅(qū)動器17f、Y軸驅(qū)動器17g、θ軸驅(qū)動器17h、Z軸驅(qū)動器17i連接在電動機(jī)控制器17b上。例如，θ軸驅(qū)動器17h連接在θ軸伺服電動機(jī)8a上。在與圖1所示的結(jié)構(gòu)對應(yīng)的部分上標(biāo)以同一標(biāo)記。另外，圖1中雖然未示出，但也備有測量所描繪的漿料圖形的內(nèi)周(內(nèi)側(cè)面積)的攝象機(jī)26。
在該圖中，主控制部17內(nèi)部裝有微機(jī)17a；電動機(jī)控制器17b；X、Y、θ、Z各軸驅(qū)動器17f～17i；對用圖像識別攝象機(jī)15獲得的視頻信號進(jìn)行處理的圖像處理裝置17e；以及進(jìn)行副控制部18與圖中未示出的管理用計算機(jī)102之間的信號傳輸、調(diào)節(jié)器22a、23a和閥單元24的控制和距離計16的輸入的外部接口17d。
另外，雖然圖中未示出，但微機(jī)17a中備有存儲主計算部和后面所述的進(jìn)行涂敷描繪用的處理程序的ROM；存儲主計算部中的測量結(jié)果和來自外部接口17d及電動機(jī)控制器17b的輸入數(shù)據(jù)的RAM；與外部接口17d和電動機(jī)控制器17b之間進(jìn)行數(shù)據(jù)存取的輸入輸出部等。
在各伺服電動機(jī)4、6、8a、12內(nèi)裝有檢測旋轉(zhuǎn)量的編碼器，將其檢測結(jié)果返回X、Y、θ、Z各軸驅(qū)動器17f～17i，進(jìn)行位置控制。
伺服電動機(jī)4、6、8a、12根據(jù)從鍵盤20輸入后存儲在微機(jī)17a的RAM中的數(shù)據(jù)，進(jìn)行正反旋轉(zhuǎn)。由此，被保持在基板保持機(jī)構(gòu)7(圖2)上的基板9相對于安裝在Z軸移動臺11(圖2)上的漿料收容筒13上設(shè)置的噴嘴13a(圖3)，沿X、Y軸方向移動任意的距離。在該基板9的移動過程中微小的氣壓連續(xù)地加在漿料收容筒13上，漿料從噴嘴13a的前端部的噴出口噴出，在基板9上涂敷描繪所希望的漿料圖形。
被保持在基板保持機(jī)構(gòu)7上的基板9在沿X、Y軸方向的水平移動過程中，距離計14測量噴嘴13a和基板9的間隔。微機(jī)17a根據(jù)測量結(jié)果，將控制指令發(fā)送給對伺服電動機(jī)12進(jìn)行驅(qū)動控制的Z軸驅(qū)動器17i，以便將噴嘴13a和基板之間的間隔總是維持一定。另外，在本實施例中，雖然說明了Z軸移動臺只沿Z軸方向移動，但也可以使Z軸臺支撐臺架2的上部沿X方向移動，這樣構(gòu)成Z軸移動臺支撐托架10。另外還可以使Z軸臺支撐臺架2沿Y軸方向移動，代替上述的X、Y軸移動臺。
其次，用圖5說明本實施例的裝置的工作。
在圖5中，首先接通電源(步驟100)。電源一旦被接通，便進(jìn)行涂敷機(jī)的初始設(shè)定(步驟200)。在該初始設(shè)定工序中，驅(qū)動使圖2所示的各臺移動的伺服電動機(jī)4、6、8a、12。由此，使基板保持機(jī)構(gòu)7沿X、Y、θ方向移動，定位在規(guī)定的基準(zhǔn)位置上，同時將噴嘴13a(圖3)設(shè)定在規(guī)定的原點位置上，以便其漿料噴出口位于開始涂敷漿料的位置(即，漿料涂敷開始點)上。另外，進(jìn)行漿料圖形數(shù)據(jù)、基板位置數(shù)據(jù)、漿料噴出結(jié)束位置數(shù)據(jù)的設(shè)定。
從鍵盤20(圖2)進(jìn)行這樣的數(shù)據(jù)的輸入，如上所述，被輸入的數(shù)據(jù)被存儲在安裝在微機(jī)17a(圖4)內(nèi)部的RAM中。
如果該初始設(shè)定工序(步驟200)結(jié)束，接著轉(zhuǎn)移到步驟300中，主控制部17與管理用計算機(jī)102進(jìn)行設(shè)計、生產(chǎn)信息的通信。
具體地說，接收如圖1所示的存儲在管理用的計算機(jī)102中的面板設(shè)計信息103數(shù)據(jù)、例如液晶基板單元設(shè)計值、濾色片高度設(shè)計信息、隔板高度設(shè)計值等，以及作為面板生產(chǎn)信息104數(shù)據(jù)的對所制造的基板的上述設(shè)計值的檢查結(jié)果的數(shù)據(jù)，存儲到漿料涂敷機(jī)的控制系統(tǒng)的外部存儲裝置18中，存儲在存儲器(RAM)中。
接著，在步驟350中，根據(jù)設(shè)計值及檢查結(jié)果的信息，進(jìn)行在基板上進(jìn)行涂敷描繪的密封劑圖形的噴出條件、修正值的計算。
這里，以作為修正項目的密封劑涂敷寬度、密封劑涂敷高度、涂敷位置的修正(四邊形密封劑內(nèi)側(cè)尺寸修正)為例進(jìn)行說明。在此情況下，填充到面板中的液晶的量在允許范圍內(nèi)是一定的。
如圖6所示，在一個基板上形成多個面板的情況下，在面板顯示區(qū)域的外周描繪封閉的四邊形密封劑圖形。該密封劑圖形的涂敷斷面積和涂敷位置決定填充液晶的單元的容積。
就是說，如圖7所示，在基板上的密封劑圖形的涂敷描繪位置上，涂敷后的形狀為(H0、W0)，將基板重疊起來，通過貼合處理，貼合后的形狀變成(H1、W1)，由此形成的空間成為填充液晶的空間。因此，為了使液晶填充容積一定，有必要根據(jù)濾色片等的形成狀態(tài)，對作為密封劑圖形的涂敷位置及涂敷形狀的高度、寬度(涂敷量)進(jìn)行修正。
圖9中示出了面板貼合時的狀態(tài)、以及濾色部的放大圖。如圖9 a)所示，在本實施例中，在上基板59上形成濾色片53和取向膜52，在下基板9上形成TFT陣列57和取向膜52，還形成環(huán)形的密封劑圖形PP1，隔板55分散地配置在其內(nèi)側(cè)，滴下規(guī)定量的液晶56。這些上下基板9、59被分別支撐在下基板保持架50及上基板保持架51上，在真空中進(jìn)行了上下基板的定位后，使上基板保持架51下降，進(jìn)行貼合。
可是，如圖9(b)的放大圖所示，在沿厚度方向有凹凸的狀態(tài)下形成濾色片53，如果該凹凸在設(shè)計的允許值以內(nèi)，就沒有問題，但在基板上制造時，有時會作成超過允許值的濾色片。如果將超過允許值的濾色片全部作為不良基板廢棄，會大幅度降低產(chǎn)品合格率。因此，在超過允許值的情況下，通過變更后繼工序的制造條件，來減少上述制造誤差。在本實施例中，是通過變更(修正)涂敷工序中的密封劑的涂敷量或涂敷圖形來減少誤差。
因此，利用如上進(jìn)行了修正的密封劑圖形的涂敷條件，進(jìn)行漿料圖形的涂敷描繪。為了提高涂敷高度，調(diào)整噴嘴高度數(shù)據(jù)，修正數(shù)據(jù)，以便使噴嘴的前端在相對于基板高的位置工作，反之，在降低涂敷高度的情況下，修正數(shù)據(jù)，以便降低噴嘴高度。另外，通過降低涂敷壓力數(shù)據(jù)，也能沿降低涂敷高度的方向進(jìn)行修正。
如圖8所示，局部地改變涂敷寬度，也能調(diào)整容積。在擴(kuò)大涂敷寬度的情況下，通過修正(提高)涂敷壓力數(shù)據(jù)，沿擴(kuò)大涂敷寬度的方向進(jìn)行修正，反之，在變細(xì)的情況下，通過修正(降低)涂敷壓力數(shù)據(jù)，沿使涂敷寬度變細(xì)的方向進(jìn)行修正。
另外，通過沿使四邊形密封劑圖形的內(nèi)側(cè)面積擴(kuò)大的方向，修正涂敷位置數(shù)據(jù)，能調(diào)整密封劑圖形的涂敷位置，能擴(kuò)大液晶的填充容積。相反地通過沿使內(nèi)側(cè)面積變小的方向修正數(shù)據(jù)，能使填充容積變小。
在比設(shè)計值的誤差范圍厚地形成濾色片時，如果按照設(shè)計值的高度和寬度形成密封劑圖形，則該部分液晶的填充容積變小，如果按照設(shè)計值使用填充的液晶量，則所填充的液晶會溢出，液晶被浪費，同時由于密封不良，合格率下降，影響高精度顯示。另外，在濾色片的厚度比設(shè)計值的誤差范圍小的情況下，如果按照設(shè)計值涂敷密封劑圖形，則液晶填充容積增大，液晶在面板內(nèi)不能擴(kuò)展，隨著情況不同在基板之間會產(chǎn)生空間，不能進(jìn)行精度好的顯示，因此，如上所述修正密封劑圖形的形成。
該修正一旦結(jié)束，接著將基板9放置在基板吸附機(jī)構(gòu)7(圖2)上保持(步驟400)。
接著，進(jìn)行基板預(yù)備位置確定處理(步驟500)。在該處理中，用圖像識別攝象機(jī)15拍攝放置在基板保持機(jī)構(gòu)7上的基板9的定位用標(biāo)志，通過圖像處理求出定位用標(biāo)志的重心位置，檢測基板9沿θ方向的斜率，根據(jù)該斜率，驅(qū)動伺服機(jī)構(gòu)a(圖4)，也修正該θ方向的斜率。
另外，在漿料收容筒13內(nèi)剩余的漿料少的情況下，在下一次漿料涂敷作業(yè)中，為了在該作業(yè)過程中使?jié){料的供應(yīng)不中斷，預(yù)先將漿料收容筒13與噴嘴13a一起更換?？墒?，如果更換噴嘴13a，則有時會發(fā)生其位置偏移。因此，在基板9的不形成漿料圖形的地方，用更換的新的噴嘴13a進(jìn)行十字描繪。然后，通過圖像處理求該十字描繪交點的重心位置，計算該重心位置和基板9上的定位用標(biāo)志的重心位置之間的距離。將求得的距離作為噴嘴13a的漿料噴出口的位置偏移量dx、dy，存儲在微機(jī)17a內(nèi)部安裝的RAM中。由此，基板預(yù)備位置確定處理(步驟500)結(jié)束。在后面進(jìn)行的漿料圖形的涂敷描繪工作時，修正這樣的噴嘴13a的位置偏移量dx、dy。
其次，進(jìn)行漿料圖形描繪處理(步驟600)。在該處理中，為了使噴嘴13a的噴出口位于涂敷開始位置，使基板9移動，進(jìn)行噴嘴位置的比較和調(diào)整移動。因此，首先，判斷由前面的基板預(yù)備位置確定處理(步驟500)獲得并存儲在微機(jī)17a的RAM中的噴嘴13a的位置偏移量dx、dy是否在圖3所示的噴嘴13a的位置偏移量的允許范圍ΔX、ΔY以內(nèi)。如果在允許范圍(ΔX≥dx及ΔY≥dy)內(nèi)，則繼續(xù)進(jìn)行。如果在允許范圍外(ΔX＜dx或ΔY＜dy)，則根據(jù)該位置偏移量dx、dy，移動基板，消除噴嘴13a的漿料噴出口和基板9的所希望的位置之間的偏移，將噴嘴13a定位在所希望的位置。
其次，將噴嘴13a的高度設(shè)定為漿料圖形描繪高度。根據(jù)噴嘴的初始移動距離數(shù)據(jù)，使噴嘴13a下降初始移動距離大小。在接下來的動作中，用距離計14測定基板9的表面高度，確認(rèn)噴嘴13a的前端是否被設(shè)定為描繪漿料圖形的高度。其結(jié)果，在不能設(shè)定為描繪高度的情況下，將噴嘴13a下降直到描繪高度。
實際上，反復(fù)進(jìn)行上述的基板9的表面測量和噴嘴13a的微小距離下降，將噴嘴13a的前端設(shè)定為涂敷描繪漿料圖形的高度。另外，在未更換漿料收容筒13的情況下，不記錄噴嘴13a的位置偏移量dx、dy的數(shù)據(jù)。因此，在進(jìn)入了漿料圖形描繪處理(步驟600)時，直接進(jìn)行以上說明的噴嘴13a的高度設(shè)定。
以上的處理一旦結(jié)束，接著，根據(jù)微機(jī)17a的RAM中存儲的漿料圖形數(shù)據(jù)，驅(qū)動伺服電動機(jī)4、6。因此，在噴嘴13a的漿料噴出口與基板28相對置的狀態(tài)下，根據(jù)該漿料圖形數(shù)據(jù)，使基板9沿X、Y方向移動，同時將微小的氣壓加在漿料收容筒13上，使?jié){料開始從噴嘴13a的漿料噴出口噴出。由此，開始往基板9上進(jìn)行漿料圖形的涂敷描繪。
然后，與此同時，如上所述，微機(jī)17a從距離計14輸入噴嘴13a的漿料噴出口和基板9的表面之間的間隔的實測數(shù)據(jù)，測定基板9表面上的起伏，根據(jù)該測定值，驅(qū)動Z軸驅(qū)動用的伺服電動機(jī)12，將從基板9的表面到噴嘴13a的設(shè)定高度維持為一定。
這樣，進(jìn)行漿料圖形的描繪。在該工作中，判斷噴嘴13a的漿料噴出口是否是由基板9上的上述漿料圖形數(shù)據(jù)決定的描繪圖形的終端，如果不是終端，則再次返回基板表面的起伏測定處理，反復(fù)進(jìn)行上述的涂敷描繪。這樣，繼續(xù)進(jìn)行漿料圖形的形成，直至到達(dá)描繪圖形的終端。
然后，一旦到達(dá)該描繪圖形的終端，便驅(qū)動伺服電動機(jī)12，使噴嘴13a上升，該漿料圖形描繪工序(步驟600)結(jié)束。
以上的工序一旦結(jié)束，其次進(jìn)入基板排出處理(步驟700)，在圖2中，解除基板9的保持，排出到裝置以外。
然后，接著判斷進(jìn)行涂敷的基板的有無(步驟800)，在另外有按照同一圖形形成漿料膜的基板的情況下，從步驟300開始反復(fù)進(jìn)行，如果全部基板的這樣的一系列的處理結(jié)束，則作業(yè)全部結(jié)束(步驟900)。
在以上的說明中，雖然以形成了濾色片的基板為例進(jìn)行了說明，但對于形成了TFT的基板也能進(jìn)行同樣的修正。
如上所述，如果采用本發(fā)明，則由于設(shè)有在液晶的單元組裝工序中輸入LCD面板的設(shè)計、生產(chǎn)信息的單元，設(shè)有根據(jù)輸入的信息變更密封劑圖形的涂敷條件的單元，控制密封劑涂敷斷面積，能修正液晶填充容積，能提供能提高LCD面板的生產(chǎn)合格率的漿料涂敷機(jī)、液晶填充容積的修正方法、以及液晶滴下貼合工藝。
權(quán)利要求
1.一種液晶面板的制造方法，其中改變一個基板與噴嘴的相對位置關(guān)系，在上述一個基板上描繪漿料圖形，將液晶滴在上述描繪的漿料圖形內(nèi)部，然后與另一個基板相對置，在真空中貼合起來，制造液晶面板，該液晶面板的制造方法的特征在于在將漿料涂敷在上述一個基板上的情況下，基于到涂敷漿料之前為止的前處理中的上述一個或另一個基板的設(shè)計值、以及實際的制作結(jié)果，在由前處理引起的制作誤差超過了基準(zhǔn)值的情況下，修正上述漿料的涂敷條件，進(jìn)行涂敷。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶面板的制造方法，其特征在于上述漿料圖形的修正這樣進(jìn)行，即，在前處理中形成的濾色片的凹凸超過了基準(zhǔn)值的情況下，根據(jù)其誤差量改變噴出的漿料的量、或圖形形狀。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶面板的制造方法，其特征在于上述漿料圖形的修正這樣進(jìn)行，即，在前處理中形成的已形成了TFT的基板表面的凹凸超過了基準(zhǔn)值的情況下，根據(jù)其誤差量改變噴出的漿料的量、或圖形形狀。
4.一種液晶面板的制造裝置，其中在形成了TFT的基板和形成了濾色片的基板中的某一個上，將漿料涂敷成環(huán)狀，將規(guī)定量的液晶滴在涂敷成環(huán)狀的漿料的內(nèi)側(cè)，在真空中將兩個基板貼合起來制作液晶面板，其特征在于具有在涂敷上述漿料之前，測量在基板上形成的濾色片的凹凸，將該值與設(shè)計時設(shè)定的基準(zhǔn)范圍進(jìn)行比較的比較單元；和在上述比較單元檢測到超過了基準(zhǔn)范圍的情況下，修正漿料的涂敷量、或圖形形狀的修正部。
5.一種漿料涂敷裝置，其特征在于具有接收用前處理裝置處理過的基板的檢查信息、設(shè)計信息并存儲起來的功能；判斷上述存儲的檢查信息是否在設(shè)計信息的基準(zhǔn)范圍內(nèi)的功能；以及在上述判斷功能判定超出了基準(zhǔn)范圍的情況下，修正涂敷的漿料的量或圖形的修正功能。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的漿料涂敷裝置，其特征在于上述檢查信息是設(shè)置在基板上的濾色片的凹凸信息。
全文摘要
提供一種液晶面板的制造方法及其制造裝置、以及漿料涂敷裝置。在采用現(xiàn)有的液晶滴下方式的LCD面板的制造方法中，存在在基板表面上形成的濾色片等的厚度的精度與設(shè)計值不同，使設(shè)定量的液晶滴下后，如果進(jìn)行基板的貼合組裝，則發(fā)生液晶的過量或不足的問題。為此，在本發(fā)明中，設(shè)有在液晶的單元組裝工序中輸入LCD面板的設(shè)計、生產(chǎn)信息的單元，以及根據(jù)輸入的信息，變更密封劑圖形的涂敷條件的單元，通過控制密封劑涂敷斷面積，能修正液晶填充容積。
文檔編號B05C5/00GK1580910SQ20041003336
公開日2005年2月16日 申請日期2004年4月2日 優(yōu)先權(quán)日2003年8月1日
發(fā)明者石田茂, 川隅幸宏, 松井淳一, 山間伸也 申請人:日立產(chǎn)業(yè)有限公司