專(zhuān)利名稱(chēng)：狹縫噴嘴及使用該狹縫噴嘴的處理液供給裝置的制作方法
專(zhuān)利說(shuō)明狹縫噴嘴及使用該狹縫噴嘴的處理液供給裝置 本發(fā)明涉及左右半體材質(zhì)不同的狹縫噴嘴及使用該狹縫噴嘴的處理液供給裝置。過(guò)去，眾知噴嘴本身開(kāi)設(shè)定寬度的涂布液噴出口，通過(guò)對(duì)被處理物相對(duì)地移動(dòng)噴嘴而在被處理物表面按設(shè)定寬度涂布涂布液的狹縫噴嘴。若使用有這種設(shè)定寬度的涂布液噴出口的狹縫噴嘴，則不浪費(fèi)涂布液且有效地進(jìn)行涂布。
然而，隨著被處理物的大型化，一條狹縫噴嘴其供給時(shí)間及供給量有限制。例如，處理液從供給開(kāi)始到供給結(jié)束所用時(shí)間太長(zhǎng)時(shí)產(chǎn)生處理不均勻。這在較厚地供給處理液時(shí)也引起同樣的現(xiàn)象。
因此，提出了較厚地供給處理液時(shí)，使用兩個(gè)左右半體部件合并的涂布頭(即、狹縫噴嘴)，在涂布對(duì)象物上涂布2次涂布液的方法。(特許文獻(xiàn)1)另外，提出了為了不僅涂膜的中央部分、而且在限定涂膜端部的窄范圍內(nèi)不產(chǎn)生處理不均而形成所設(shè)定的膜厚輪廓形狀，通過(guò)使用兩個(gè)狹縫寬度不同的左右半體的部件合并的涂頭模頭(即，狹縫噴嘴)，橫向涂布液的涂布位置移動(dòng)后涂布面積不同，結(jié)果可形成橫向的膜厚輪廓。(特許文獻(xiàn)2)又，提出了由兩個(gè)左右半體部件合并的涂布模頭同時(shí)在被涂布部件上涂布涂布液使涂布器噴出的涂布液不在被涂布部件上重疊。(特許文獻(xiàn)3)[特許文獻(xiàn)1]特許第3236703號(hào)(第4頁(yè)-第6頁(yè)，圖9)[特許文獻(xiàn)2]特開(kāi)平2000-102759號(hào)公報(bào)(第5頁(yè)-第10頁(yè)，圖4)[特許文獻(xiàn)3]特開(kāi)平2001-907號(hào)公報(bào)(第4頁(yè)-第8頁(yè)，圖2)然而，因?qū)嶋H噴出處理液的狹縫噴嘴的噴出口及噴出寬度相當(dāng)精密，故狹縫噴嘴使用硬質(zhì)不銹鋼或SUS這種金屬材料高精度地加工制成。這種加工耗用相當(dāng)多的時(shí)間和勞力，價(jià)格很高。
此外，即使無(wú)止境地提高加工精確度，但因?yàn)閿U(kuò)寬狹縫噴嘴的寬度也僅在合并的面形成一部分極微小的間隙，由該間隙引起毛細(xì)管現(xiàn)象滲入處理液。這種極微小的處理液固化后成為粒子等。本發(fā)明是鑒于上述的問(wèn)題而完成的研究，其目的在于提供可以簡(jiǎn)單地加工狹縫噴嘴、且不引起毛細(xì)管現(xiàn)象的狹縫噴嘴及使用該狹縫噴嘴的處理液供給裝置。
為了解決上述課題本發(fā)明的狹縫噴嘴采用將左右的半體合并構(gòu)成，其中一邊的材質(zhì)為金屬材料，而另一邊的材質(zhì)為樹(shù)脂材料。
這樣，通過(guò)狹縫噴嘴一邊的材質(zhì)使用硬的材質(zhì)(金屬材料)，另一邊的材質(zhì)使用軟的材質(zhì)(樹(shù)脂材料)，由于兩者合并時(shí)軟的材質(zhì)緊貼向硬的材質(zhì)，故不形成類(lèi)似引起毛細(xì)管現(xiàn)象的間隙，同時(shí)由于不需要像過(guò)去的加工精度，因此也可以縮短加工所需要的時(shí)間。
另外，通過(guò)使用具有多個(gè)上述的左右不同材質(zhì)構(gòu)成的狹縫噴嘴的處理液供給裝置，可以縮短處理液的供給時(shí)間，同時(shí)即使是厚的涂膜也可以在短時(shí)間內(nèi)完成。
此外，通過(guò)在調(diào)溫的處理液的循環(huán)回路上設(shè)置上述的左右不同材質(zhì)構(gòu)成的狹縫噴嘴，可以縮短處理液的供給時(shí)間，同時(shí)可以在短時(shí)間內(nèi)將處理液調(diào)節(jié)到設(shè)定的溫度。圖1(A)及(B)表示本發(fā)明的狹縫噴嘴的側(cè)視圖及放大截面圖。
圖2(A)及(B)表示使用多個(gè)本發(fā)明的狹縫噴嘴供給處理液的簡(jiǎn)圖。
圖3表示作用本發(fā)明的狹縫噴嘴的直接調(diào)溫簡(jiǎn)圖。
圖4表示使用狹縫噴嘴的間接調(diào)溫簡(jiǎn)圖。
圖5表示采用設(shè)定溫度為23℃的直接調(diào)溫與間接調(diào)溫的循環(huán)型配管的溫度分布。
圖6表示采用設(shè)定溫度為20℃的直接調(diào)溫與間接調(diào)溫的循環(huán)型配管的溫度分布。
1，1’...狹縫噴嘴、2...鈦制的左半體、3...PPS制的右半體、4...凹部、5...平面、6...處理液、7...基板、8...循環(huán)型配管、9...貯槽、10...泵、11...溫度調(diào)節(jié)器、12...閥。以下根據(jù)


本發(fā)明的實(shí)施方案。這里，圖1(A)、(B)是本發(fā)明的狹縫噴嘴的側(cè)視圖及放大截面圖，圖2(A)、(B)是使用多個(gè)本發(fā)明的狹縫噴嘴，供給處理液的簡(jiǎn)略圖，圖3是具有本發(fā)明的狹縫噴嘴及溫度調(diào)節(jié)器的直接調(diào)溫的簡(jiǎn)圖。圖4是過(guò)去裝置的間接調(diào)溫的簡(jiǎn)圖。
如圖1所示，狹縫噴嘴1是鈦制的左半體2與PPS(聚苯硫醚)制的右半體3合并而構(gòu)成，右半體3上設(shè)有形成集流腔(橫向流路)用的凹部4，和形成比該凹部4底面淺的縱向流路的平面5。再者，左半體2也可以是不銹鋼制。
這樣，通過(guò)使左半體2為金屬系，使右半體3為樹(shù)脂系，由于柔軟的樹(shù)脂系無(wú)阻力地緊貼于硬質(zhì)的金屬系，故不產(chǎn)生間隙也不引起毛細(xì)管現(xiàn)象。另外，由于圖1的圓C表示的對(duì)齊面部分可以密合，因此也可以使左半體2為樹(shù)脂系，使右半體3為金屬系，在金屬系側(cè)形成集流腔。
過(guò)去，狹縫噴嘴因必須嚴(yán)格的精確度，故使用材質(zhì)比較硬的不銹鋼等的金屬材料。將左右半體的部件合并形成這種構(gòu)成。這種場(chǎng)合為了形成狹縫狀的開(kāi)口則要夾入墊片、或在半體的左右任何一邊或者兩邊形成凹凸。但，圖1的圖C表示的部分，若彼此是金屬不論精確度多高即使形成平面，因噴嘴的寬度其橫向長(zhǎng)，故從該對(duì)齊面產(chǎn)生微小的間隙、處理液因毛細(xì)管現(xiàn)象而滲出，但采用本發(fā)明的構(gòu)成便消除這種不利現(xiàn)象。
如圖2(A)所示，使用兩個(gè)狹縫噴嘴1、1’時(shí)，對(duì)大型基板7不用延長(zhǎng)處理液6的供給時(shí)間便可解決。即，若按相同的膜厚同時(shí)地從基板7的不同位置供給處理液6，則即使基板大型化其供給時(shí)間也相同。例如，通過(guò)使1100×1300mm以上的大型基板的供給開(kāi)始點(diǎn)為2處，可以采用與550×650mm的小型基板相同的時(shí)間供給處理液6。
又，如圖2(B)所示，使用兩個(gè)狹縫噴嘴1、1’，從基板7的相同位置開(kāi)始供給處理液6時(shí)，用相同的時(shí)間供給大量的處理液6。即，與最初用一條狹縫噴嘴厚涂相比，若使用多個(gè)狹縫噴嘴多層重疊，則即使厚膜不用延長(zhǎng)供給時(shí)間便可完成。
圖3表示有狹縫噴嘴1的循環(huán)型配管8。在循環(huán)型配管8的途中設(shè)置貯槽9、泵10、溫度調(diào)節(jié)器11及閥12。而，圖4表示有狹縫噴嘴1的一個(gè)方向流動(dòng)型配管13。在該一個(gè)方向流動(dòng)型配管13的途中設(shè)置貯槽9、泵10、溫度調(diào)節(jié)器11及閥12。
圖3表示使用溫度調(diào)節(jié)器11調(diào)溫到設(shè)定溫度的處理液6經(jīng)循環(huán)型配管8循環(huán)的狀況。處理液6從溫度調(diào)節(jié)器11調(diào)溫到23℃后，經(jīng)循環(huán)型配管8進(jìn)行循環(huán)，而返回到溫度調(diào)節(jié)器11時(shí)，即使溫度比23℃低若干，由于再調(diào)溫到23℃進(jìn)行循環(huán)，所以如圖5及表1所示，在短時(shí)間內(nèi)循環(huán)型配管8整體達(dá)到23℃。這就是所謂直接調(diào)溫。
圖4表示使用溫度調(diào)節(jié)器11調(diào)溫到設(shè)定溫度的處理液6通過(guò)一個(gè)方向流動(dòng)型配管13供給狹縫噴嘴1的狀況。從貯槽9通過(guò)泵10的處理液6，經(jīng)溫度調(diào)節(jié)器11調(diào)溫到23℃，到達(dá)狹縫噴嘴1時(shí)低于23℃。由于這樣地相繼供給新的處理液6，所以如圖5及表1所示，即使花費(fèi)時(shí)間一個(gè)方向流動(dòng)型配管13無(wú)論如何也達(dá)不到23℃，這就是所謂間接調(diào)溫。
同樣地，如圖6及表2所示，即使設(shè)定20℃為目標(biāo)時(shí)，也再現(xiàn)上述的直接調(diào)溫及間接調(diào)溫的現(xiàn)象。
如以上所說(shuō)明的那樣，根據(jù)本發(fā)明，通過(guò)狹縫噴嘴一邊的材質(zhì)使用硬材質(zhì)(金屬材料)，另一邊材質(zhì)使用軟材質(zhì)(樹(shù)脂材料)，當(dāng)兩者合并時(shí)由于軟材質(zhì)一邊緊貼向硬材質(zhì)一邊，故不形成引起毛細(xì)管現(xiàn)象的這種間隙，同時(shí)也可以縮短加工需要的時(shí)間。
另外，通過(guò)使用具有多個(gè)上述左右不同材質(zhì)構(gòu)成的狹縫噴嘴的處理液供給裝置，可以縮短處理液的供給時(shí)間，同時(shí)即使是厚的涂膜也可以在短時(shí)間內(nèi)完成。
此外，通過(guò)在調(diào)溫的處理液循環(huán)回路的設(shè)定部位設(shè)置上述的左右不同材質(zhì)構(gòu)成的狹縫噴嘴，可以在短時(shí)間內(nèi)把處理液調(diào)節(jié)到設(shè)定的溫度。
權(quán)利要求
1.狹縫噴嘴，是按設(shè)定寬度在被處理物表面供給處理液的狹縫噴嘴，其特征在于該狹縫噴嘴采用左右半體合并構(gòu)成，一邊半體的材質(zhì)為金屬材料，另一邊半體的材質(zhì)為樹(shù)脂材料。
2.處理液供給裝置，其特征在于是具有權(quán)利要求1所述的狹縫噴嘴的處理液供給裝置，在調(diào)溫的處理液的循環(huán)回路上設(shè)置前述狹縫噴嘴。
3.權(quán)利要求2所述的處理液供給裝置，其特征在于該處理液供給裝置具有多個(gè)前述狹縫噴嘴。
全文摘要
本發(fā)明提供可以簡(jiǎn)單地加工狹縫噴嘴、且不引起毛細(xì)管現(xiàn)象的狹縫噴嘴及使用該狹縫噴嘴的處理液供給裝置。本發(fā)明涉及按設(shè)定寬度在被處理物表面供給處理液的狹縫噴嘴，前述狹縫噴嘴1采用左右半體(2)、(3)合并構(gòu)成，其中一邊的材質(zhì)為金屬材料、另一邊的材質(zhì)為樹(shù)脂材料，另外具有該狹縫噴嘴的處理液供給裝置，在調(diào)溫的處理液的循環(huán)回路(8)的設(shè)定部位設(shè)置前述狹縫噴嘴。
文檔編號(hào)B05C5/02GK1541779SQ20041003296
公開(kāi)日2004年11月3日 申請(qǐng)日期2004年4月14日 優(yōu)先權(quán)日2003年4月14日
發(fā)明者島井太, 河田茂 申請(qǐng)人:東京応化工業(yè)株式會(huì)社, 東京 化工業(yè)株式會(huì)社