專利名稱：液滴噴出裝置、電光裝置的制造方法、電光裝置及電子儀器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及通過(guò)以噴墨頭為代表的功能液滴噴出頭向基板等的工件噴射功能液的液滴噴出裝置，特別是關(guān)于能夠調(diào)整工件與功能液滴噴出頭之間的工件間隙的液滴噴出裝置、電光裝置的制造方法、電光裝置及電子儀器。
背景技術(shù)：
以往的噴墨打印機(jī)(彩色打印機(jī))等的液滴噴出裝置，通過(guò)使功能液滴噴出頭(噴墨頭)在打印紙等的噴出對(duì)象物(工件)上一邊進(jìn)行相對(duì)地掃描，一邊進(jìn)行液滴的噴出驅(qū)動(dòng)，將功能液選擇性地噴射在噴射對(duì)象物上，這樣地進(jìn)行工件處理。此時(shí)，為了對(duì)功能液滴的飛行彎曲和附著直徑進(jìn)行高精度的管理，對(duì)工件的表面與功能液滴噴出頭的噴嘴面之間的間隙，即，工件間隙(紙張間隙)實(shí)施高精度的管理(參照例如特開(kāi)2001-162889號(hào)公報(bào))。
然而，在將液滴噴出裝置用于制造彩色濾色片和有機(jī)EL裝置的應(yīng)用技術(shù)中，作為工件，有時(shí)會(huì)將其尺寸不同于預(yù)設(shè)厚度的工件導(dǎo)入在基板上。在這種情況下，如果每次都要停止裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)來(lái)調(diào)整工件的間隙，則不僅操作煩瑣，而且還延長(zhǎng)了工件處理的時(shí)間。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是，提供一種能夠自動(dòng)地對(duì)工件與功能液滴噴出頭之間的工件間隙進(jìn)行微調(diào)整的液滴噴出裝置、電光裝置的制造方法、電光裝置及電子儀器。
本發(fā)明的液滴噴出裝置，其特征在于包括將噴嘴面設(shè)置成與工件平行對(duì)峙的功能液滴噴出頭；測(cè)定所述工件的表面與所述噴嘴面之間的工件間隙的間隙測(cè)定裝置；根據(jù)所述間隙測(cè)定裝置的測(cè)定結(jié)果，使所述功能液滴噴出頭及所述工件在上下方向上進(jìn)行相對(duì)的移動(dòng)，由此來(lái)調(diào)整工件間隙的間隙調(diào)整裝置。
根據(jù)這樣的構(gòu)成，例如在新導(dǎo)入工件時(shí)，通過(guò)驅(qū)動(dòng)間隙測(cè)定裝置，測(cè)定工件間隙，根據(jù)其測(cè)定結(jié)果驅(qū)動(dòng)間隙調(diào)整裝置，通過(guò)使功能液滴噴出頭及工件在上下方向上進(jìn)行相對(duì)的移動(dòng)，對(duì)工件進(jìn)行微調(diào)整。這樣，由于可自動(dòng)地調(diào)整工件間隙，所以可以把工件間隙的調(diào)整工序包含在一系列的工件處理工序中。此外，可通過(guò)使功能液滴噴出頭上下移動(dòng)、使工件上下移動(dòng)及使兩者上下移動(dòng)來(lái)進(jìn)行間隙調(diào)整。
在這種情況下，理想的是，所述功能液滴噴出頭被設(shè)置在滑架上，所述間隙調(diào)整裝置具有支撐所述滑架，使其在上下方向上滑動(dòng)自如的基臺(tái)、固定在所述基臺(tái)上的驅(qū)動(dòng)裝置、通過(guò)所述驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行正反向旋轉(zhuǎn)的絲杠、被設(shè)置在所述滑架上的與所述絲杠螺合的螺母部。
根據(jù)這樣的構(gòu)成，當(dāng)通過(guò)驅(qū)動(dòng)裝置使絲杠進(jìn)行正反向旋轉(zhuǎn)時(shí)，通過(guò)螺母部使滑架在上下方向上進(jìn)行微小移動(dòng)。即，通過(guò)由驅(qū)動(dòng)裝置通過(guò)滑架使功能液滴噴出頭上下移動(dòng)，能夠進(jìn)行工件間隙的微調(diào)整。
在這種情況下，理想的是，所述間隙調(diào)整裝置用于使所述功能液滴噴出頭在上下方向上相對(duì)所述工件進(jìn)行移動(dòng)，并且還包括向該功能液滴噴出頭供給功能液的功能液箱、根據(jù)所述間隙測(cè)定裝置的測(cè)定結(jié)果，通過(guò)升降所述功能液箱來(lái)調(diào)整相對(duì)所述功能液箱的所述功能液滴噴出頭的水位的水位調(diào)整裝置。
而且，在間隙調(diào)整的過(guò)程中，當(dāng)使功能液滴噴出頭上下移動(dòng)時(shí)，其與被固定設(shè)置的功能液箱之間的功能液的水位發(fā)生變化，造成功能液滴的噴出量的不穩(wěn)定。依照本構(gòu)成，由于通過(guò)由水位調(diào)整裝置升降功能液箱，將功能液滴噴出頭的水位相對(duì)功能液箱維持在適當(dāng)?shù)奈恢茫虼?，即使使功能液滴噴出頭上下移動(dòng)地進(jìn)行間隙調(diào)整，也可以避免功能液滴的噴出量不穩(wěn)定的現(xiàn)象。
在這種情況下，理想的是，所述功能液箱被保持在箱保持裝置中，所述水位調(diào)整裝置具有支撐所述箱保持裝置，使其在上下方向上滑動(dòng)自如的箱基臺(tái)、固定在所述箱基臺(tái)上的驅(qū)動(dòng)裝置、通過(guò)所述驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行正反向旋轉(zhuǎn)的絲杠、被設(shè)置在所述箱保持裝置上的與所述絲杠螺合的螺母部。
根據(jù)這樣的構(gòu)成，當(dāng)由驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)絲杠進(jìn)行正反向旋轉(zhuǎn)時(shí)，通過(guò)螺母部使箱保持裝置在上下方向上微小移動(dòng)。即，通過(guò)由驅(qū)動(dòng)裝置通過(guò)箱保持裝置使功能液箱上下(升降)移動(dòng)，將功能液滴噴出頭的水位相對(duì)功能液箱維持在適當(dāng)?shù)奈恢谩?br> 在這種情況下，理想的是，還包括向所述功能液箱內(nèi)補(bǔ)充功能液的功能液補(bǔ)充裝置、檢測(cè)所述功能液箱內(nèi)的液面位置的液面位置傳感器，所述功能液補(bǔ)充裝置根據(jù)所述液面位置傳感器的檢測(cè)結(jié)果，向所述功能液箱內(nèi)補(bǔ)充功能液，使液面位置保持一定。
根據(jù)這樣的構(gòu)成，通過(guò)功能液補(bǔ)充裝置與液面位置傳感器的配合動(dòng)作，能夠?qū)⒐δ芤合涞囊好嫖恢每偸潜３衷谝欢ǖ奈恢?。而且，可以將功能液箱固定設(shè)置，并且即使功能液箱不夠大，也能夠穩(wěn)定地供給功能液。特別是由于由于功能液箱的設(shè)置高度受到限制，所以通過(guò)使其小型化，有利于節(jié)省空間。
在這種情況下，理想的是，所述功能液滴噴出頭被設(shè)置在滑架上，所述間隙測(cè)定裝置具有被設(shè)置在所述滑架上，用于測(cè)量所述工件在上下方向上的位置的測(cè)量裝置、根據(jù)所述測(cè)量裝置的測(cè)量結(jié)果，計(jì)算出所述工件間隙的計(jì)算裝置。
根據(jù)這樣的構(gòu)成，由于測(cè)量裝置被設(shè)置在滑架上，所以通過(guò)由測(cè)量裝置測(cè)量出工件的位置(工件表面的位置)，根據(jù)滑架與工件臺(tái)的位置關(guān)系等，可簡(jiǎn)單地計(jì)算出工件間隙。此外，也可以運(yùn)用工件識(shí)別攝像機(jī)作為測(cè)量裝置來(lái)求出工件間隙。
同樣，理想的是，所述工件被放置在工件臺(tái)上，所述間隙測(cè)定裝置具有用于測(cè)量所述工件及所述工件臺(tái)在上下方向上的位置的測(cè)量裝置、根據(jù)所述測(cè)量裝置的測(cè)量結(jié)果，計(jì)算出所述工件間隙的計(jì)算裝置。
根據(jù)這樣的構(gòu)成，通過(guò)例如被設(shè)置在機(jī)臺(tái)上的測(cè)量裝置，根據(jù)工件的位置及工件臺(tái)的位置計(jì)算出工件的厚度，由此可簡(jiǎn)單地求出工件間隙。此外，作為測(cè)量裝置，可考慮使用圖像識(shí)別(焦點(diǎn)距離)裝置及激光裝置等。
在這種情況下，理想的是，還包括多種相互填充的功能液和/或規(guī)格不同的所述功能液滴噴出頭、可更換地設(shè)置所述多種功能液滴噴出頭的滑架、可更換地儲(chǔ)備所述多種功能液滴噴出頭的儲(chǔ)備箱、將所述功能液滴噴出頭在所述滑架及所述儲(chǔ)備箱之間進(jìn)行置換的頭置換機(jī)構(gòu)。
根據(jù)這樣的構(gòu)成，通過(guò)頭置換機(jī)構(gòu)，可以根據(jù)需要在儲(chǔ)備箱上的功能液滴噴出頭與滑架上的功能液滴噴出頭之間進(jìn)行更換，可以在短時(shí)間內(nèi)向工件噴出不同的功能液。而且，即使由于被更換的功能液滴噴出頭使噴嘴面的位置發(fā)生變化，也能夠?qū)⑺龅墓ぜg隙及所述的水位調(diào)整到適當(dāng)?shù)奈恢茫_保功能液滴噴出頭能夠進(jìn)行功能液的噴出。
在這種情況下，理想的是，還包括分別向各個(gè)所述多種功能液滴噴出頭供給所述功能液的功能液供給裝置，所述功能液供給裝置對(duì)應(yīng)所述多種功能液滴噴出頭，具有多個(gè)功能液箱，所述多個(gè)功能液箱與所述多種功能液滴噴出頭分別通過(guò)管路構(gòu)成連接。
根據(jù)這樣的構(gòu)成，由于各個(gè)功能液箱與各個(gè)功能液滴噴出頭預(yù)先通過(guò)管路構(gòu)成連接，所以在儲(chǔ)備箱及滑架之間的功能液滴噴出頭的更換時(shí)，不需要拆裝管路，可迅速地進(jìn)行功能液滴噴出頭的更換，并且，可有效防止在更換時(shí)的功能液的泄漏。
本發(fā)明的電光裝置的制造方法，其特征在于使用權(quán)上述的液滴噴出裝置，在所述工件上由所述功能液滴形成成膜部。
另外，本發(fā)明的電光裝置的制造，其特征在于使用上述的液滴噴出裝置，在所述工件上由所述功能液滴形成了成膜部。
根據(jù)這樣的構(gòu)成，由于使用能夠?qū)⒐δ芤哼m當(dāng)?shù)貒姵龅焦ぜ系囊旱螄姵鲅b置進(jìn)行制造，所以能夠高效地制造出電光裝置。另外，作為電光裝置(器件)，包括液晶顯示裝置、有機(jī)EL(Electro-Luminescence)裝置、電子放射裝置、PDP(Plasma Display Panel)裝置及電泳顯示裝置等。另外，電子放射裝置在概念上包括所謂的FED(Field EmissionDisplay)裝置和SED(Surface-Conductive Electron-Emitter Display)裝置。并且，作為電光裝置，包括金屬布線、透鏡、抗蝕膜及光擴(kuò)散體等的裝置。
本發(fā)明的電子儀器，其特征在于配置有上述的電光裝置。
在這種情況下，作為電子儀器，相當(dāng)于配置有所謂的平板顯示器的移動(dòng)電話、個(gè)人計(jì)算機(jī)以及其它各種電子制品。


圖1是本發(fā)明的一實(shí)施例的液滴噴出裝置的全體立體圖。
圖2是液滴噴出裝置的頭部件周圍的放大立體圖。
圖3是第1噴出頭(功能液滴噴出頭)周圍的放大立體圖。
圖4是第2噴出頭(功能液滴噴出頭)的放大立體圖。
圖5是第3噴出頭(功能液滴噴出頭)的放大立體圖。
圖6是液滴噴出裝置的頭儲(chǔ)備器周圍的立體圖。
圖7是頭儲(chǔ)備器的儲(chǔ)備臺(tái)和帽部件周圍的放大立體圖。
圖8是液滴噴出裝置的功能液供給結(jié)構(gòu)的主視圖。
圖9是表示液滴噴出裝置的控制裝置的方框圖。
圖10A、圖10B是表示施加在功能液滴噴出頭上的噴出波形(10A)和微振動(dòng)波形(10B)的波形圖。
圖11是表示用于驅(qū)動(dòng)功能液滴噴出頭的驅(qū)動(dòng)脈沖的例子的圖。
圖12是說(shuō)明濾色片制造步驟的程序流程圖。
圖13A～13E是按照制造步驟順序表示的濾色片的模式剖視圖。
圖14是表示使用了本發(fā)明的濾色片的液晶裝置概略結(jié)構(gòu)的主要部分剖視圖。
圖15是表示使用了本發(fā)明的濾色片的第2例的液晶裝置概略結(jié)構(gòu)的主要部分剖視圖。
圖16是表示使用了本發(fā)明的濾色片的第3例的液晶裝置概略結(jié)構(gòu)的主要部分剖視圖。
圖17是實(shí)施例2的顯示裝置的主要部分剖視圖。
圖18是說(shuō)明實(shí)施例2的顯示裝置的制造步驟的程序流程圖。
圖19是說(shuō)明無(wú)機(jī)物隔岸層的形成的步驟圖。
圖20是說(shuō)明有機(jī)物隔岸層的形成的步驟圖。
圖21是說(shuō)明形成空穴注入/輸送層的過(guò)程的步驟圖。
圖22是說(shuō)明形成了空穴注入/輸送層的狀態(tài)的步驟圖。
圖23是說(shuō)明形成藍(lán)色發(fā)光層的過(guò)程的步驟圖。
圖24是說(shuō)明形成了藍(lán)色發(fā)光層的狀態(tài)的步驟圖。
圖25是說(shuō)明形成了各色發(fā)光層的狀態(tài)的步驟圖。
圖26是說(shuō)明陰極的形成的步驟圖。
圖27是實(shí)施例3的顯示裝置的主要部分分解立體圖。
圖28是實(shí)施例4的顯示裝置的主要部分剖視圖。
圖中1-液滴噴出裝置；3-移動(dòng)機(jī)構(gòu)；4-X軸臺(tái)；5-Y軸臺(tái)；7-頭部件；9-子滑架；10-功能液滴噴出頭；12-頭儲(chǔ)備器；13-搬運(yùn)機(jī)械手；14-功能液供給機(jī)構(gòu)；15-距離計(jì)測(cè)裝置；16-控制裝置；26-吸附臺(tái)；32-Z軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)；42-頭保持部件；44-頭安裝部；47-定位孔；48-檢測(cè)器；51-頭主體；51a-噴嘴面；54-平面柔性電纜；55-硅管；62-把持突起；63-被檢測(cè)部；64-定位銷；71-儲(chǔ)備臺(tái)；73-頭保全機(jī)構(gòu)；74-水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)；75-帽部件；76-擦拭部件；101-頭帽；104-上下移動(dòng)機(jī)構(gòu)；105-吸引泵；121-擦拭薄板；141-容器部件；142-子容器；144-升降機(jī)構(gòu)；150-液位傳感器；151-主容器；152-壓力送液裝置；181-控制部；182-CPU；183-ROM；184-RAM；188-頭驅(qū)動(dòng)器；500-濾色片；520-液晶裝置；530-液晶裝置；550-液晶裝置；600-顯示裝置；700-顯示裝置；800-顯示裝置；W-基板。
具體實(shí)施例方式
下面，參照附圖，說(shuō)明本發(fā)明液滴噴出裝置、電光裝置的制造方法、電光裝置和電子儀器。噴墨打印機(jī)的噴墨頭(功能液滴噴出頭)能以高精度把微小的墨滴(功能液滴)噴出為點(diǎn)狀，所以例如通過(guò)對(duì)功能液(噴出對(duì)象液體)使用特殊的墨水、發(fā)光性或感光性數(shù)值等的液體，期待著向各種元件的制造領(lǐng)域的應(yīng)用。
本實(shí)施例的液滴噴出裝置通過(guò)適當(dāng)在裝置內(nèi)更換并使用規(guī)格不同的多種功能液滴噴出頭或?qū)氲墓δ芤翰煌亩喾N功能液滴噴出頭，在基板上形成所需的成膜部(細(xì)節(jié)在后面描述)。
如圖1所示，實(shí)施例的液滴噴出裝置1具有機(jī)臺(tái)2、設(shè)置在機(jī)臺(tái)2上的為移動(dòng)機(jī)構(gòu)3的X軸臺(tái)4和與它正交的Y軸臺(tái)5、可自由移動(dòng)地安裝在X軸臺(tái)4上的主滑架6、配置在主滑架6上的頭部件7。而且，在頭部件7上通過(guò)子滑架(滑架)9，可自由裝卸并且能更換地配置了規(guī)格不同的3種功能液滴噴出頭10。另外，工件的基板W可自由裝卸地配置在Y軸臺(tái)5上。
在X軸臺(tái)4的左部附近配置了儲(chǔ)備功能液滴噴出頭10的頭儲(chǔ)備器12(儲(chǔ)備器)，實(shí)施例的頭儲(chǔ)備器12的結(jié)構(gòu)為能儲(chǔ)備3種功能液滴噴出頭10。在機(jī)臺(tái)2的左部直立設(shè)置了搬運(yùn)機(jī)械手13，通過(guò)該搬運(yùn)機(jī)械手13，能更換(替換)頭儲(chǔ)備器12上的功能液滴噴出頭10和子滑架9上的功能液滴噴出頭10。
在搬運(yùn)機(jī)械手13附近，在機(jī)臺(tái)2上配置了功能液供給機(jī)構(gòu)(功能液供給裝置)14，從該功能液供給機(jī)構(gòu)14向各功能液滴噴出頭10供給功能液。同樣，在搬運(yùn)機(jī)械手13的附近的機(jī)臺(tái)2上向下設(shè)置了使用激光的距離計(jì)測(cè)裝置(計(jì)測(cè)部件)15。另外，在該液滴噴出裝置1中組入同一控制所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)3和功能液滴噴出頭10等構(gòu)成裝置的控制裝置16(參照?qǐng)D9)。
雖然省略了圖示，但是在該液滴噴出裝置1中，除了配置在頭部件7上的接受來(lái)自功能液滴噴出頭10的定期沖洗(來(lái)自全部的功能液的噴出)的沖洗部件、擦拭功能液滴噴出頭10的噴嘴面的擦拭部件，還組入了進(jìn)行功能液滴噴出頭10的功能液吸引和保管的吸引裝置等。
X軸臺(tái)4具有構(gòu)成X軸方向驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的電機(jī)22驅(qū)動(dòng)的X軸滑道21，在其上可自由移動(dòng)地配置所述主滑架6。同樣，Y軸臺(tái)5具有構(gòu)成Y軸方向驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的電機(jī)24驅(qū)動(dòng)的Y軸滑道23，在其上可自由移動(dòng)地配置由吸附臺(tái)(工件臺(tái))26和θ臺(tái)27等構(gòu)成的設(shè)置臺(tái)25。這時(shí)，X軸臺(tái)4支撐在直立設(shè)置在機(jī)臺(tái)2上的左右支柱29、29上，Y軸臺(tái)5直接支撐在機(jī)臺(tái)2上。而且，以定位狀態(tài)把基板W設(shè)置在設(shè)置臺(tái)25的吸附臺(tái)26上。
在本實(shí)施例的液滴噴出裝置1中，是與基于X軸臺(tái)4的各功能液滴噴出頭10的移動(dòng)同步，各功能液滴噴出頭10驅(qū)動(dòng)(功能液滴的有選擇地噴出)的結(jié)構(gòu)，功能液滴噴出頭10的所謂主掃描由X軸臺(tái)4的向X軸方向的往返動(dòng)作進(jìn)行。另外，與此對(duì)應(yīng)，所謂的副掃描由基于Y軸臺(tái)5的基板W向Y軸方向的往返動(dòng)作進(jìn)行。而且，所述掃描的各功能液滴噴出頭10的驅(qū)動(dòng)根據(jù)存儲(chǔ)在所述控制裝置16中的噴出模式數(shù)據(jù)進(jìn)行。
如圖2所示，主滑架6具有以垂直姿態(tài)、可自由移動(dòng)地安裝在所述X軸滑道21上的滑動(dòng)基31、組入滑動(dòng)基31中的Z軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)(間隔調(diào)整部件)32。在滑動(dòng)基31的正面設(shè)置了一對(duì)導(dǎo)軌33，在這一對(duì)導(dǎo)軌33上安裝著在上下方向可自由滑動(dòng)的頭部件7。Z軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)32由例如設(shè)置在頭部件7一側(cè)的陰螺紋35、與它配合的絲杠36、使絲杠36正反旋轉(zhuǎn)的步進(jìn)電機(jī)(致動(dòng)器)37構(gòu)成，通過(guò)步進(jìn)電機(jī)37的正反旋轉(zhuǎn)，使頭部件7上下移動(dòng)，能微調(diào)整頭部件7上的功能液滴噴出頭10和基板W間的工作間距(后面將詳細(xì)描述)。
頭部件7具有可自由滑動(dòng)地安裝在所述滑動(dòng)基31上的垂直姿態(tài)的支架41、安裝在該支架41上的水平姿態(tài)的子滑架9，在該子滑架9上分別通過(guò)頭保持部件42、42、42，所述3種功能液滴噴出頭10、10、10可自由裝卸地安裝在該子滑架9上。另外，雖未圖示，但是在支架41和子滑架9之間組入微調(diào)子滑架9的X軸中心和Y軸中心的角度平行度微調(diào)機(jī)構(gòu)。
子滑架9由不銹鋼的厚板構(gòu)成，在其表面并排形成了三個(gè)頭安裝部44、44、44。各頭安裝部44由所述頭保持部件42以定位狀態(tài)配合的淺溝部45、形成在淺溝部45的中央的貫通功能液滴噴出頭10的下部(頭主體51)的貫通開(kāi)46構(gòu)成。在淺溝部45的溝底，隔著貫通開(kāi)46，形成用于把頭保持部件(功能液滴噴出頭10)42定位的一對(duì)定位孔(定位接受部)47。另外，在各淺溝部45的溝緣部嵌入檢測(cè)功能液滴噴出頭10的種類的檢測(cè)48，檢測(cè)器48連接在所述控制裝置16上。
3種功能液滴噴出頭10、10、10由配置在子滑架9的右部的第1噴出頭(參照?qǐng)D3)10a、配置在左右的中間部的第2噴出頭(參照?qǐng)D4)10b、配置在左部的第3噴出頭(參照?qǐng)D5)10c構(gòu)成，在都保持在頭保持部件42上的狀態(tài)下，安裝在子滑架9的頭安裝部44上。另外，雖然未圖示，但是以定位狀態(tài)安裝在子滑架9上的3種功能液滴噴出頭10、10、10定位為支架41一側(cè)的最外端的噴出噴嘴(基準(zhǔn)噴嘴)排列在Y軸的相同位置。
第1噴出頭10a是從各噴出噴嘴微量噴出粘性比較低的功能液的規(guī)格。即，是噴嘴數(shù)多，并且單位噴嘴的功能液滴噴出量少的規(guī)格。如圖3所示，第1噴出頭10a包含在噴嘴面51a上具有2個(gè)噴嘴列(省略圖示)的頭主體51、固定在頭主體51的上方的頭基板52。在頭基板52上通過(guò)一對(duì)連接器53、53連接了一對(duì)連接在控制裝置16上的平面柔性電纜54、54，在頭主體51上連接著貫通頭基板52與功能液供給機(jī)構(gòu)14相連的一對(duì)硅管55、55。
在頭主體51的兩側(cè)面分別突出設(shè)置著安裝凸起部56、56，第1噴出頭10a在把頭主體51插入頭保持部件42的安裝開(kāi)口61中的定位狀態(tài)下，通過(guò)一對(duì)安裝凸起部56、56，用螺釘固定在頭保持部件42上。
頭保持部件42在由中央部形成了所述安裝開(kāi)口61的方形不銹鋼板等構(gòu)成，形成與子滑架9的淺溝部(頭安裝部44)45的深度大致同一厚度。在頭保持部件42的上表面上，在跟前一側(cè)的角部直立設(shè)置圓柱狀的把持突起(把持部)62，在側(cè)面安裝了與所述檢測(cè)器48對(duì)應(yīng)的被檢測(cè)器63。另外，在頭保持部件42的下表面上，隔著安裝開(kāi)口61，設(shè)置了與所述一對(duì)定位孔47、47對(duì)應(yīng)的一對(duì)定位銷(定位部)64、64。
配置了功能液滴噴出頭(第1噴出頭10a)10的頭保持部件42由把持突起的部分把持在搬運(yùn)機(jī)械手13上，從上方安裝到子滑架9的頭安裝部44上。這時(shí)，頭保持部件42的一對(duì)定位銷64、64對(duì)位在頭安裝部44的一對(duì)定位孔47、47上，并且被引導(dǎo)，頭保持部件42安裝在子滑架9上。此外，與上述的相反，可以在頭安裝部44上設(shè)置定位銷64，在頭保持部件42上設(shè)置定位孔47。
在頭保持部件42安裝在子滑架9上的狀態(tài)下，頭保持部件42的表面(上表面)和子滑架9的表面(上表面)變?yōu)橥幻?，并且功能液滴噴出頭10的頭主體51從子滑架9的安裝開(kāi)口61向下方稍微突出。另外，頭保持部件42的被檢測(cè)器63接觸子滑架9的檢測(cè)器48，檢測(cè)了功能液滴噴出頭10的種類。
雖然省略了圖示，但是在頭保持部件42的周圍側(cè)面，在成點(diǎn)對(duì)稱的兩處，可自由出沒(méi)地設(shè)置了配合突起，如果搬運(yùn)機(jī)械手13解除對(duì)把持突起62的把持，則該配合突起搭在淺溝部45的周邊部上，頭保持部件42固定在頭安裝部44上。即通過(guò)設(shè)置在把持突起62上的操作部、設(shè)置在頭保持部件42上的配合突起和形成在頭安裝部44上的配合溝構(gòu)成頭保持部件(功能液滴噴出頭)42對(duì)于子滑架9的鎖緊和解鎖機(jī)構(gòu)。此外，在后面描述的儲(chǔ)備臺(tái)71中，也成為同樣的結(jié)構(gòu)。
第2噴出頭10b是從各噴出噴嘴大量噴出粘性比較高的功能液的規(guī)格。即，噴嘴數(shù)極少，并且單位噴嘴的功能液滴噴出量多的規(guī)格。如圖4所示，第2噴出頭10b包含在噴嘴面51a上具有1個(gè)噴嘴列(省略圖示)的頭主體51、固定在頭主體51的上方的頭基板52。在頭基板52上通過(guò)連接器連接了平面柔性電纜54，在頭主體51上連接著硅管55。
這時(shí)，與所述同樣，第2噴出頭10b配置在具有一對(duì)定位銷64、64、把持突起62和被檢測(cè)器63的頭保持部件42上，在該狀態(tài)下，可自由裝卸地安裝在子滑架9的頭安裝部44上。
第3噴出頭10c是從各噴出噴嘴大量噴出粘性比較高的功能液的規(guī)格。即，噴嘴數(shù)比較多，并且單位噴嘴的功能液滴噴出量中等的規(guī)格。如圖5所示，第3噴出頭10c包含在噴嘴面51a上具有1個(gè)噴嘴列(省略圖示)的頭主體51、固定在頭主體51的上方的頭基板52。在頭基板52上通過(guò)連接器連接了平面柔性電纜54，在頭主體51上連接著硅管55。
這時(shí)，與所述同樣，第3噴出頭10c配置在具有一對(duì)定位銷64、64、把持突起62和被檢測(cè)器63的頭保持部件42上，在該狀態(tài)下，可自由裝卸地安裝在子滑架9的頭安裝部44上。即3個(gè)頭保持部件42、42、42只是與各功能液滴噴出頭10(10a、10b、10c)的形狀對(duì)應(yīng)的安裝開(kāi)口61周圍不同，其他部分具有同一形態(tài)。
距離計(jì)測(cè)裝置15測(cè)定基板W的位置、吸附臺(tái)26的表面位置，利用激光的反射，以高精度計(jì)測(cè)所述各位置。該測(cè)定結(jié)果輸出到所述控制裝置16，通過(guò)控制裝置16計(jì)算基板W的厚度。而且，從該基板W的厚度和子滑架9-吸附臺(tái)26的位置數(shù)據(jù)計(jì)算出工作間隔，根據(jù)該計(jì)算結(jié)果，進(jìn)行工作間隔的微調(diào)和后面描述的子容器142的高度微調(diào)(后面將詳細(xì)描述)。即，通過(guò)距離計(jì)測(cè)裝置(計(jì)測(cè)部件)15和控制裝置(計(jì)算部件)16，構(gòu)成了間隔測(cè)定部件。
如圖6和圖7所示，頭儲(chǔ)備器12對(duì)著所述左側(cè)支柱29配置，具有形成了設(shè)置功能液滴噴出頭10的頭安裝部72的儲(chǔ)備臺(tái)71；配置在儲(chǔ)備臺(tái)71的下方的頭保全機(jī)構(gòu)73、使儲(chǔ)備臺(tái)71以水平姿態(tài)移動(dòng)的水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)74。此外，在圖1和圖6中，為了便于說(shuō)明，只表示了一個(gè)水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)74，但是為了確保水平移動(dòng)的精度和穩(wěn)定性，當(dāng)然也可以在儲(chǔ)備臺(tái)71的左右兩側(cè)設(shè)置水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)74，進(jìn)行水平移動(dòng)。另外，頭保全機(jī)構(gòu)74具有同時(shí)具有沖洗部件的功能和吸引裝置的功能的帽部件75、擦拭噴嘴面51a的擦拭部件76。
儲(chǔ)備臺(tái)71具有與所述子滑架9大致相同的形態(tài)，作為不同的部分，在側(cè)面(左方)延伸的成為儲(chǔ)備部的3個(gè)頭安裝部72，各頭安裝部72由淺溝部81和貫通開(kāi)口82構(gòu)成，并且具有一對(duì)定位孔83、83和檢測(cè)器84。在板支撐部78上形成后面描述的水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)74的一對(duì)導(dǎo)桿插通的一對(duì)導(dǎo)空86、86、與水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)74的絲杠(球狀螺栓)93配合的螺栓孔87。
另外，儲(chǔ)備臺(tái)71配置為與所述子滑架9大致相同高度，安裝在儲(chǔ)備臺(tái)71上的功能液滴噴出頭10的噴嘴面51a、安裝在子滑架9上的功能液滴噴出頭10的噴嘴面51a為同一高度水平。而且，儲(chǔ)備臺(tái)71在支柱29一側(cè)后退端的原位置，位于頭保全機(jī)構(gòu)73的帽部件75的正上部，通過(guò)水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)74，在面臨該帽部件75的位置和面臨擦拭部件76的位置之間，在前后方向(Y軸方向)往返運(yùn)動(dòng)。
水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)74具有在裝置框91的前后兩端部水平支撐的一對(duì)導(dǎo)桿92、92、配置在兩導(dǎo)桿92、92間的絲杠93、連接在絲杠93一方的端部上的儲(chǔ)備部電機(jī)94。如上所述，在一對(duì)導(dǎo)桿92、92上，儲(chǔ)備臺(tái)71的板支撐部78可自由滑動(dòng)地插通，并且在絲杠93上配合著板支撐部78的螺紋孔87。如果儲(chǔ)備部電機(jī)94正轉(zhuǎn)，則通過(guò)由絲杠93和螺紋孔87構(gòu)成的螺紋機(jī)構(gòu)，在一對(duì)導(dǎo)桿92、92上引導(dǎo)，使儲(chǔ)備臺(tái)71水平移動(dòng)，在帽部件75和擦拭部件76之間往返運(yùn)動(dòng)。而且，在該儲(chǔ)備臺(tái)71的前往運(yùn)動(dòng)時(shí)，進(jìn)行配置(儲(chǔ)備)在儲(chǔ)備臺(tái)71上的功能液滴噴出頭10的擦拭。即通過(guò)擦拭部件76和水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)74，構(gòu)成了擦拭機(jī)構(gòu)。
如圖7所示，帽部件75具有與3種功能液滴噴出頭10(10a、10b、10c)對(duì)應(yīng)的第1頭帽101a、第2頭帽101b和第3頭帽101c、支撐這些頭帽101的帽座102、把帽座102支撐為在上下方向自由滑動(dòng)的支撐框103、通過(guò)帽座102使3種頭帽101上下移動(dòng)的上下移動(dòng)機(jī)構(gòu)104。另外，帽部件75具有通過(guò)吸引管106連接在各頭帽101上的吸引泵(吸引裝置)105。此外，有時(shí)在頭保全機(jī)構(gòu)中同時(shí)安放了3個(gè)功能液滴噴出頭，有時(shí)1個(gè)或2個(gè)，所以帽、帽的進(jìn)退移動(dòng)機(jī)構(gòu)和吸引泵(吸引裝置)、擦拭部件分別設(shè)置為一對(duì)一。當(dāng)然，進(jìn)退移動(dòng)機(jī)構(gòu)和吸引泵(吸引裝置)、擦拭部件也能用一個(gè)兼用。
頭帽101把功能液吸收材料112填充在凹狀的功能液存儲(chǔ)部111中，并且在功能液存儲(chǔ)部111的周邊部具有密封包裝113，通過(guò)使密封包裝113緊貼功能液滴噴出頭10的噴嘴面51a，密封全部噴出噴嘴。而且，在該功能液存儲(chǔ)部111上連接著中間設(shè)置了開(kāi)關(guān)閥(電磁閥)114的吸引管106。通過(guò)吸引泵105，當(dāng)通過(guò)頭帽101進(jìn)行功能液滴噴出頭10的功能液吸引時(shí)，只開(kāi)放必要的開(kāi)關(guān)閥114。
帽座102向下形成“U”字，兩側(cè)板部102a、102a可自由滑動(dòng)地支撐在向上形成了“U”字的支撐框103的兩側(cè)框103a、103a上。而上下移動(dòng)機(jī)構(gòu)104由固定在支撐框103的中央上的上下移動(dòng)電機(jī)116、連接在上下移動(dòng)電機(jī)116上的絲杠117、與絲杠117配合并且固定在帽座102的下表面上的帶陰螺紋的支架118構(gòu)成。通過(guò)上下移動(dòng)電機(jī)116的正反旋轉(zhuǎn)，通過(guò)絲杠117和陰螺紋支架118，帽座102上下移動(dòng)。
這時(shí)，對(duì)于儲(chǔ)備中的功能液滴噴出頭10，通過(guò)由上下移動(dòng)機(jī)構(gòu)104使頭帽101緊貼，密封了功能液滴噴出頭10的噴嘴面51a，防止了功能液的干燥(封口)。另外，對(duì)于更換之前的功能液滴噴出頭，通過(guò)用吸引泵105吸引功能液，全部噴出噴嘴的吸引成為可能。另外，在吸引后，通過(guò)擦拭部件進(jìn)行噴嘴面的清掃(擦拭)。另外，使頭帽101從噴嘴面51a稍微離開(kāi)，通過(guò)進(jìn)行來(lái)自全部噴嘴的空噴出，所謂的沖洗(空噴出或預(yù)備噴出)成為可能。即實(shí)施例的各頭帽101兼任接受功能液滴噴出頭10的空噴出的空噴出接受部。此外，在沖洗時(shí)，為了防止功能液的飛散，使頭帽101從噴嘴面51a稍微下降，但是當(dāng)使儲(chǔ)備臺(tái)71移動(dòng)時(shí)等的帽部件75的待機(jī)時(shí)，使頭帽101充分下降(具有2階段的下降位置)。
而擦拭部件76通過(guò)所述功能液的吸引，用包含溶劑免織布等擦拭薄板擦拭附著在功能液滴噴出頭10的噴嘴面51a上的功能液。如圖6所示，擦拭部件76具有卷繞擦拭薄板121的供應(yīng)盤(pán)122、卷取擦拭薄板的卷取盤(pán)123、用于把擦拭薄板按在功能液滴噴出頭10上的擦拭輥124、配置在供應(yīng)盤(pán)122和擦拭輥124件的第1中間輥125、配置在擦拭輥124和卷取盤(pán)123間的第2中間輥126。此外，在同一圖中，省略了成為驅(qū)動(dòng)源的電機(jī)和支撐框等。
通過(guò)卷取盤(pán)123的驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)和供應(yīng)盤(pán)122的制動(dòng)旋轉(zhuǎn)，如果在拉伸的狀態(tài)下，擦拭薄板121開(kāi)始移動(dòng)，則與此同步，水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)74使配置了功能液滴噴出頭10的儲(chǔ)備臺(tái)71前往運(yùn)動(dòng)。據(jù)此，對(duì)于移動(dòng)的擦拭薄板121，功能液滴噴出頭10的噴嘴面51a從前往方向的頂端一側(cè)向后端一側(cè)接觸，進(jìn)行了功能液的擦拭。此外，雖然省略了圖示，但是，射和使擦拭部件76全體或擦拭輥124稍微升降的機(jī)構(gòu)，在功能液滴噴出頭10的返回運(yùn)動(dòng)時(shí)，擦拭薄板121不接觸功能液滴噴出頭10。
這樣，頭保全機(jī)構(gòu)73在使用前，把儲(chǔ)備中的功能液滴噴出頭10全部噴嘴保全為能恰當(dāng)起作用。此外，頭保全機(jī)構(gòu)73中，可以省略擦拭部件76和帽部件75的清理機(jī)構(gòu)(省略吸引泵105)。也可以在帽55之外另外設(shè)置專用的空噴出接受部。
搬運(yùn)機(jī)械手13由直立設(shè)置在機(jī)臺(tái)2上的機(jī)械手主體131、設(shè)置在機(jī)械手主體131上部的機(jī)械臂132、安裝在機(jī)械臂132的頂端的機(jī)械手133構(gòu)成。在機(jī)械手133的頂端部安裝了夾住、把持頭保持部件42的把持突起62的夾緊機(jī)構(gòu)134(參照?qǐng)D7)，通過(guò)所述控制裝置16控制基于該機(jī)械手133的把持動(dòng)作和基于機(jī)械臂132的移動(dòng)動(dòng)作。
基于搬運(yùn)機(jī)械手13的標(biāo)準(zhǔn)的頭更換動(dòng)作是，首先握住成為更換對(duì)象的子滑架9上的功能液滴噴出頭10，把它移放到儲(chǔ)備臺(tái)71的控制的頭安裝部72。接著，握住成為更換對(duì)象的儲(chǔ)備臺(tái)71上的功能液滴噴出頭10，把它移放到子滑架9的空著的頭裝置部44上。此外，在本實(shí)施例中，把2個(gè)(3種)功能液滴噴出頭10在子滑架9上配置2個(gè)，在儲(chǔ)備臺(tái)71上配置1個(gè)，但是功能液滴噴出頭10的全部個(gè)數(shù)、向子滑架9以及儲(chǔ)備臺(tái)71的配置個(gè)數(shù)并不局限于實(shí)施例，按照必要能適當(dāng)變更。
如圖8所示，功能液供給機(jī)構(gòu)14包含分別具有是功能液容器的子容器142的3組容器部件141、141、141，并且具有連接在各子容器142上的3種主容器151、分別從各主容器151向?qū)?yīng)的子容器142輸送功能液的壓力輸送裝置152。即通過(guò)主容器151和壓力輸送裝置152，構(gòu)成了為子容器142補(bǔ)給功能液的功能液補(bǔ)給部件。通過(guò)壓力輸送裝置152從各主容器壓送的功能液貯存在子容器142中。
各容器部件141由子容器142、把子容器142支撐為可自由升降的容器支架143、使子容器142升降的升降機(jī)構(gòu)(水位調(diào)整機(jī)構(gòu))144構(gòu)成。由以下部分構(gòu)成在下板部143a可自由升降地支撐“コ”字狀截面的容器支架143的一對(duì)升降導(dǎo)軌146、146；安裝了一對(duì)升降導(dǎo)軌146、146的支撐導(dǎo)軌部件147；固定在支撐導(dǎo)軌部件147的下表面上的升降電機(jī)(致動(dòng)器)148；連接在升降電機(jī)148上，與容器支架143的下板部143a配合的絲杠149。
通過(guò)升降電機(jī)148的正反轉(zhuǎn)，通過(guò)容器支架143，子容器142升降。即通過(guò)升降機(jī)構(gòu)144，子容器142升降，能調(diào)整子容器142和功能液滴噴出頭10間的水位H(后面將詳細(xì)描述)。此外，所述壓力輸送裝置152也由所述控制裝置16控制。即在各子容器142上設(shè)置了液位(水位)傳感器150，控制壓力輸送裝置152的液體輸送，使子容器142的液位變?yōu)橐欢ā?br> 當(dāng)功能液的消耗量最小時(shí)，也能省略所述主容器151。這時(shí)，升降機(jī)構(gòu)144根據(jù)液位傳感器150的檢測(cè)結(jié)果，把子容器142的液位控制為一定，并且根據(jù)所述距離計(jì)測(cè)裝置15的計(jì)測(cè)結(jié)果，把所述水位H控制為給定值。
而各子容器142和各頭部件(各功能液滴噴出頭10)7由上述的硅管55連接，通過(guò)所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)3和搬運(yùn)機(jī)械手13，能跟蹤移動(dòng)的頭部件7，從上方吊起它的中間部(省略圖示)。同樣，后面描述的各頭驅(qū)動(dòng)器188和各頭部件7平時(shí)也由上述的平面柔性電纜54連接。即在本實(shí)施例的功能液滴噴出頭10中，在它的更換(搬運(yùn))時(shí)，不進(jìn)行硅管和平面柔性電纜54的斷續(xù)。能采用使用單觸管接頭或連接器，進(jìn)行斷續(xù)的結(jié)構(gòu)。
控制裝置16如圖9所示，具有控制液滴噴出裝置1的各種動(dòng)作的控制部181?？刂撇?81具有進(jìn)行各種控制的CPU182、ROM183、RAM184和接口185，它們彼此通過(guò)總線186連接。ROM183具有存儲(chǔ)用CPU182處理的控制程序和控制數(shù)據(jù)的區(qū)域。RAM184作為用于控制處理的各種工作區(qū)域而使用。在接口185中設(shè)置了補(bǔ)充CPU182的功能，并且用于處理與外圍電路的接口信號(hào)的邏輯電路。
在接口185上連接了所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)3、功能液滴噴出頭10(頭驅(qū)動(dòng)器188)、Z軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)32、搬運(yùn)機(jī)械手13、頭儲(chǔ)備器12、功能液供給機(jī)構(gòu)14。在接口185上，作為檢測(cè)部187，連接了距離計(jì)測(cè)裝置15、子滑架9的各檢測(cè)器48和儲(chǔ)備臺(tái)71的各檢測(cè)器84。而且，根據(jù)ROM183內(nèi)的控制程序，通過(guò)接口185輸入各種檢測(cè)信號(hào)、各種指令、各種數(shù)據(jù)，控制RAM內(nèi)的各種數(shù)據(jù)(噴出沒(méi)時(shí)數(shù)據(jù))等，通過(guò)接口185輸出各種控制信號(hào)。
即CPU182通過(guò)頭驅(qū)動(dòng)器188分別控制多種功能液滴噴出頭10的噴出驅(qū)動(dòng)，并且通過(guò)各種驅(qū)動(dòng)器，控制移動(dòng)機(jī)構(gòu)3的X軸臺(tái)4以及Y軸臺(tái)5的移動(dòng)動(dòng)作。另外，CPU182伴隨著功能液滴噴出頭10的更換，控制搬運(yùn)機(jī)械手13，并且控制頭保全機(jī)構(gòu)73的帽部件75和擦拭部件76等。CPU182根據(jù)距離計(jì)測(cè)裝置15的計(jì)測(cè)結(jié)果，通過(guò)Z軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)32微調(diào)工作間隔，或微調(diào)功能液供給機(jī)構(gòu)14的子容器142-功能液滴噴出頭10間的水位H。
在基于噴出模式數(shù)據(jù)的液滴噴出裝置1的基本動(dòng)作中，一邊通過(guò)X軸臺(tái)4使功能液滴噴出頭10向X軸方向往返運(yùn)動(dòng)(主掃描)，一邊驅(qū)動(dòng)功能液滴噴出頭10，有選擇地使功能液滴噴出，并且通過(guò)Y軸臺(tái)5使基板W向Y軸方向進(jìn)行前往動(dòng)作，進(jìn)行副掃描。另外，當(dāng)更換功能液滴噴出頭10時(shí)，預(yù)先使頭部件7移動(dòng)到原位置，通過(guò)搬運(yùn)機(jī)械手13首先把子滑架9上的功能液滴噴出頭10搬運(yùn)到儲(chǔ)備臺(tái)71，接著把儲(chǔ)備臺(tái)71上的功能液滴噴出頭10搬運(yùn)到子滑架9上。
而配置在子滑架9上的功能液滴噴出頭10通過(guò)設(shè)置在頭安裝部44上的檢測(cè)48識(shí)別了它的安裝和頭種類，并且識(shí)別了噴嘴位置，把該識(shí)別結(jié)果加到噴出模式數(shù)據(jù)中。同樣，在儲(chǔ)備臺(tái)71中，通過(guò)設(shè)置在該頭安裝部72上的檢測(cè)器84，識(shí)別了儲(chǔ)備的功能液滴噴出頭10的安裝和頭種類等，據(jù)此，控制了沖洗和功能液的吸引等。此外，由被檢測(cè)器63和檢測(cè)器48、84構(gòu)成的檢測(cè)部件可以使用機(jī)械方式的開(kāi)關(guān)或傳感器，在檢測(cè)器63一側(cè)可以設(shè)置IC芯片。
另外，關(guān)于頭儲(chǔ)備器12中儲(chǔ)備的功能液滴噴出頭10，除了所述封口的保全動(dòng)作，為了抑制噴出噴嘴的功能液的粘度增加，施加不伴隨著液滴噴出的驅(qū)動(dòng)波形。如圖10A和10B所示，在本實(shí)施例中，作為驅(qū)動(dòng)脈沖，準(zhǔn)備了伴隨著液滴噴出的噴出波形(圖10A)和不伴隨著液滴噴出的微振動(dòng)波形(圖10B)，在頭儲(chǔ)備器12上的功能液滴噴出頭10中適當(dāng)施加微振動(dòng)波形。這時(shí)，在噴出波形下，對(duì)于功能液滴噴出頭10的壓電元件，施加由比中間電壓Vm高h(yuǎn)l的最大電位和低h2的最低點(diǎn)為構(gòu)成的波形，在微振動(dòng)波形下，對(duì)壓電元件，施加只由比中間電壓Vm高h(yuǎn)1的最大電位構(gòu)成的波形。
此外，對(duì)于配置在子滑架9上的功能液滴噴出頭10的不進(jìn)行本次噴出的噴出噴嘴，可以在本次噴出的噴出時(shí)刻施加微振動(dòng)波形P2。例如，如圖11所示，在噴出時(shí)刻(驅(qū)動(dòng)脈沖)中，當(dāng)不進(jìn)行本次噴出時(shí)，施加微振動(dòng)波形P2，在驅(qū)動(dòng)脈沖P中，使噴出波形P1和微振動(dòng)波形P2混合存在。
另外，因?yàn)榘乐拐扯仍黾?，有必要保全?chǔ)備中的功能液滴噴出頭10的噴出噴嘴，所以如上所述，在配置在頭儲(chǔ)備器12上的功能液滴噴出頭10中，使用頭保全機(jī)構(gòu)73和水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)74，除了進(jìn)行封口，還適當(dāng)進(jìn)行吸引、沖洗和擦拭。
而在基板W的更換時(shí)，通過(guò)距離計(jì)測(cè)裝置15計(jì)測(cè)基板W的表面位置和吸附臺(tái)26的表面位置，根據(jù)該計(jì)測(cè)數(shù)據(jù)，通過(guò)控制部181計(jì)算基板W的厚度，并且驅(qū)動(dòng)Z軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使工作將各變?yōu)檫m當(dāng)?shù)某叽?。即在基板W的更換時(shí)，為了維持給定的工作間隔，Z軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)32驅(qū)動(dòng)，通過(guò)頭部件7使功能液滴噴出頭10在上下方向微動(dòng)。此外，這時(shí)，可以采用使吸附臺(tái)26一側(cè)微動(dòng)的結(jié)構(gòu)。
可是，通過(guò)工作間隔的調(diào)整，如果功能液滴噴出頭10移動(dòng)，則從子容器142到功能液滴噴出頭10的水位H變化。因此，通過(guò)容器部件141的升降機(jī)構(gòu)144，使子容器142在上下方向微動(dòng)，適當(dāng)維持通過(guò)所述間隔調(diào)整，功能液滴噴出頭10上下移動(dòng)的部分即子容器142-功能液滴噴出頭10間的水位H(25mm±0.5mm)。
這樣，因?yàn)檫m當(dāng)維持了工作間隔，所以能有效防止功能液滴的落下位置的偏差和落點(diǎn)直徑的偏移。另外，同時(shí)，以為適當(dāng)維持了子容器142-功能液滴噴出頭10間的水位H，所以在各噴出噴嘴的功能液滴量上不發(fā)生偏移(對(duì)于設(shè)計(jì)值的偏移)。因此，能以極高精度進(jìn)行功能液滴向基板W的有選擇的噴出。
可是，在本實(shí)施例的液滴噴出裝置1中，存在以下情形可自由裝卸地配置規(guī)格不同的3種(多種)功能液滴噴出頭10(10a、10b、10c)；可自由裝卸地配置功能液不同的3個(gè)(多個(gè))功能液滴噴出頭10。另外，也存在所述兩者中間的情形。多個(gè)功能液滴噴出頭10的分別使用是根據(jù)接受功能液的噴出的噴出對(duì)象物和其中使用的功能液。
因此，下面，以濾色片、液晶顯示裝置、有機(jī)EL裝置、PDP裝置、電子發(fā)射裝置(FED裝置、SED裝置)等為例，說(shuō)明它們的構(gòu)造和使用了本實(shí)施例的液滴噴出裝置(功能液滴噴出頭10)1的它們的制造方法。
首先，說(shuō)明設(shè)置在液晶顯示裝置或有機(jī)EL裝置中的濾色片的制造方法。圖12是表示濾色片的制造步驟的程序流程圖，圖13A～123E是按制造步驟表示的本實(shí)施例的濾色片500(濾色片基體500A)的模式剖視圖。
首先，在黑底的形成步驟(S1)中，如圖13A所示，在基板(W)501上形成黑底502。黑底502由金屬鉻、金屬鉻和氧化鉻的層疊體或樹(shù)脂黑等形成。在形成由金屬薄膜構(gòu)成的黑底502時(shí)，能使用濺射法或蒸鍍法等。另外，在形成由樹(shù)脂薄膜構(gòu)成的黑底502時(shí)，能使用凹版印刷法、光致抗蝕劑法、熱復(fù)制法等。
接著，在隔岸的形成步驟(S2)中，在重疊在黑底502上的狀態(tài)下，形成隔岸503。即首先如圖13B所示，覆蓋基板501和黑底502，形成由負(fù)片型透明感光性樹(shù)脂構(gòu)成的抗蝕劑層504。然后，在用形成了矩陣圖案形狀的掩模505覆蓋其上表面的狀態(tài)下，進(jìn)行曝光處理。
如圖13C所示，通過(guò)對(duì)抗蝕劑層504的未曝光部分進(jìn)行蝕刻處理，對(duì)抗蝕劑層504構(gòu)圖，形成隔岸503。此外，當(dāng)通過(guò)樹(shù)脂黑形成黑底時(shí)，能兼用黑底和隔岸。
該隔岸503和其下的黑底502成為劃分各像素區(qū)域507a的劃分壁部507b，在以后的著色層的形成步驟中，通過(guò)功能液滴噴出頭10形成著色層(成膜部)508R、508G、508B時(shí)，規(guī)定功能液滴的落下區(qū)域。
通過(guò)經(jīng)歷以上的黑底形成步驟和隔岸的形成步驟，取得所述濾色片基體500A。
此外，在本實(shí)施例中，作為隔岸503的材料，使用涂膜表面為斥液(防水)性的樹(shù)脂材料。而且，因?yàn)榛?玻璃基板)501的表面為親液(親水)性，所以在后面描述的著色層形成步驟中，液滴向隔岸503(劃分壁部507b)中包圍的各像素區(qū)域507a內(nèi)的落下位置精度提高。
接著，在著色層的形成步驟(S3)中，如圖13D所示，通過(guò)功能液滴噴出頭10噴出功能液滴，落在由劃分壁部507b包圍的各像素區(qū)域507a內(nèi)。在該著色層的形成步驟中，在所述液滴噴出裝置1中配置同一規(guī)格的3個(gè)功能液滴噴出頭10，在這3個(gè)功能液滴噴出頭10中分別導(dǎo)入R、G、B三色的功能液(濾色材料)，進(jìn)行功能液滴的噴出。這時(shí)，功能液滴噴出頭10希望使用具有與各像素區(qū)域507a即像素間隔一致的噴嘴間隔的。另外，可以對(duì)基板501的整個(gè)區(qū)域，以R、G、B的順序進(jìn)行描繪(液滴噴出)，也可以在各主掃描中，以R、G、B的順序進(jìn)行描繪(液滴噴出)。此外，作為R、G、B三色的排列模式，有帶排列、混合排列、三角排列。
然后，經(jīng)過(guò)干燥處理(加熱等處理)，使功能液固定，形成三色著色層508R、508G、508B。如果形成了著色層508R、508G、508B，則轉(zhuǎn)移到保護(hù)膜的形成步驟(S4)，如圖13E所示，覆蓋基板501、劃分壁部507b、著色層508R、508G、508B的上表面，形成保護(hù)膜509。
即在基板501的形成508R、508G、508B的面全體上噴出了保護(hù)膜用涂敷液后，經(jīng)過(guò)干燥處理，形成保護(hù)膜509。
然后，在形成了保護(hù)膜509后，通過(guò)把基板501按各有效像素區(qū)域切斷，取得濾色片500。
圖14是表示作為使用所述濾色片500的液晶顯示裝置的一例的無(wú)源矩陣型液晶裝置(液晶裝置)的概略結(jié)構(gòu)的主要部分剖視圖。通過(guò)在該液晶裝置520中安裝液晶驅(qū)動(dòng)用IC、背光、支撐體等附帶要素，取得作為最終制品的透射型液晶顯示裝置。此外，濾色片500與圖13所示的相同，所以在對(duì)應(yīng)的部位采用了相同符號(hào)，省略了說(shuō)明。
該液晶裝置520由以下部分構(gòu)成濾色片500、由玻璃基板等構(gòu)成的對(duì)置基板521、夾在它們之間的又STN(Super Twisted Nematic)液晶組成物構(gòu)成的液晶層522。在圖中上方(觀察著一側(cè))配置了濾色片500。
此外，雖然未圖示，但是在對(duì)置基板521和濾色片500的外面(與液晶層522一側(cè)相反一側(cè)的面)上分別配置了偏振片，另外在位于對(duì)置基板521的偏振片的外側(cè)配置了背光。
在濾色片500的保護(hù)膜509上(液晶層一側(cè))，在圖14中，在左右方向，以給定間隔形成多個(gè)長(zhǎng)的長(zhǎng)方形的第1電極523，覆蓋該第1電極523的與濾色片500相反一側(cè)的面，形成第1定向膜524。
而在對(duì)置基板521的與濾色片500相對(duì)的面上，在與濾色片500的第1電極523正交的方向上，以給定間隔形成長(zhǎng)的長(zhǎng)方形的第2電極526，覆蓋該第2電極526的液晶層522一側(cè)的面，形成第2定向膜527。這些第1電極523和第2電極526由ITO(Indium Tin Oxide)等透明導(dǎo)電材料形成。
設(shè)置在液晶層522內(nèi)的隔離塊528是用于使液晶層522的厚度(單元間隔)保持一定的部件。另外，密封材料529是用于防止液晶層522內(nèi)的液晶組成物向外部漏出的部件。此外，第1電極523的一端部作為包圍布線523a延伸到密封材料529的外側(cè)。
而且，第1電極523和第2電極526交叉的部分是像素，濾色片500的著色層508R、508G、508B位于成為像素的部分。
在通常的制造步驟中，在濾色片500上進(jìn)行第1電極523的構(gòu)圖和第1定向膜524的涂敷，生成濾色片500一側(cè)的部分，并且另外在對(duì)置基板521上進(jìn)行第2電極526的構(gòu)圖和第2定向膜527的涂敷，生成對(duì)置基板521一側(cè)的部分。然后，在對(duì)置基板521一側(cè)的部分生成隔離塊528和密封材料529，在該狀態(tài)下，貼上濾色片500一側(cè)的部分。接著，從密封材料529的注入口注入構(gòu)成液晶層522的液晶，密封注入口。然后，層疊偏振片和背光。
實(shí)施例的液滴噴出裝置例如涂敷構(gòu)成所述單元間隔的隔離材料(功能液)，并且在對(duì)置基板521一側(cè)的部分上粘貼濾色片500一側(cè)的部分前，在用密封材料529包圍的區(qū)域中均勻涂敷(功能液)。具體而言，隔離材料的涂敷例如使用噴嘴數(shù)少并且噴出單位噴嘴的功能液噴出量多的規(guī)格的第2噴出頭10b，并且在其中導(dǎo)入紫外線硬化樹(shù)脂作為功能液(隔離材料)。另外，液晶的涂敷也根據(jù)液晶的種類，但是如果是低粘度，則使用第1噴出頭10a(如果是高粘度，則第3噴出頭10c)。
這時(shí)，在子滑架9上預(yù)先安裝第2噴出頭10b，在頭儲(chǔ)備器上安裝第1第1噴出頭10a。首先，把密封材料529印刷為環(huán)狀，把對(duì)置基板521一側(cè)的部分設(shè)置在吸附臺(tái)上，在該對(duì)置基板521一側(cè)的部分上，通過(guò)第1功能液滴噴出頭10a，以粗間隔噴出隔離材料，進(jìn)行紫外線照射，使隔離材料凝固。另外，在紫外線照射時(shí)，把第2噴出頭10b更換到頭儲(chǔ)備器12中，把第1噴出頭10a更換到子滑架9上。接著，通過(guò)第1噴出頭10a，在對(duì)置基板521一側(cè)的部分的密封材料529的內(nèi)側(cè)，以給定量均勻噴出液晶。然后，把另外準(zhǔn)備的濾色片500一側(cè)的部分和涂敷了給定量液晶的對(duì)置基板521一側(cè)的部分導(dǎo)入真空中，粘貼在一起。
這樣，在粘貼濾色片500一側(cè)的部分和對(duì)置基板521一側(cè)的部分之前，在單元中均勻涂敷(填充)液晶，所以能解決液晶(液晶層522)不能到達(dá)單元的角落等微細(xì)部分的問(wèn)題。
另外，能用功能液滴噴出頭10進(jìn)行所述密封材料529的印刷。這時(shí)，使用進(jìn)行密封材料529的印刷(涂敷)的粘度比較高的規(guī)格的第3噴出頭10c，并且作為功能液(密封材料)，導(dǎo)入紫外線硬化樹(shù)脂或熱硬化樹(shù)脂。這時(shí)，所述第2噴出頭10b與第3噴出頭10c一起預(yù)先配置在子滑架9上。而且，如果可能，并行驅(qū)動(dòng)第2噴出頭10b與第3噴出頭10c，并行進(jìn)行密封材料529的噴出和隔離材料的噴出。
能用功能液滴噴出頭10進(jìn)行第1、第2定向膜524、527的涂敷。這時(shí)，涂敷定向膜524、527的第4功能液滴噴出頭10d為多噴嘴并且低粘度規(guī)格的(例如第1噴出頭10a)，并且導(dǎo)入聚酰亞胺作為功能液。而且，最初把第4功能液滴噴出頭10d導(dǎo)入子滑架9中，隨著步驟，依次與其它功能液滴噴出頭10a、10b、10c更換。
這樣，在實(shí)施例的液滴噴出裝置1中，能在子滑架9和頭儲(chǔ)備器12彼此間更換配置噴出多種功能液的多種功能液滴噴出頭10，所以能按照基板處理的形態(tài)，自由噴出多種功能液。因此，在液晶裝置520的制造中，能以高效進(jìn)行基板處理。
圖15是表示使用了本實(shí)施例中制造的濾色片500的液晶裝置的第2例的概略結(jié)構(gòu)的主要部分剖視圖。
該液晶裝置530與所述液晶裝置520的大的不同點(diǎn)在于在圖中下方(與觀察者一側(cè)相反一側(cè))配置濾色片500。
該液晶裝置的結(jié)構(gòu)為在由濾色片500和由玻璃基板構(gòu)成的對(duì)置基板531之間夾著由STN構(gòu)成的液晶層。此外，雖然未圖示，但是在對(duì)置基板531和濾色片500的外表面上分別配置了偏振片。
在濾色片500的保護(hù)膜509上(液晶層532一側(cè))，在圖中向里的方向，以給定間隔，形成多個(gè)長(zhǎng)的長(zhǎng)方形的第1電極533，覆蓋該第1電極533的與液晶層532一側(cè)的面，形成第1定向膜534。
而在對(duì)置基板531的與濾色片500相對(duì)的面上，以給定間隔，形成在與濾色片500一側(cè)的第1電極533正交的方向上延伸的長(zhǎng)方形的第2電極536，覆蓋該第2電極536的液晶層532一側(cè)的面，形成第2定向膜537。
在液晶層532上，設(shè)置了用于使該液晶層532的厚度保持一定的隔離塊538和用于防止液晶層532內(nèi)的液晶組成物向外部泄漏的密封材料539。
而且，與所述液晶裝置同樣，第1電極533和第2電極536交叉的部分是像素，濾色片500的著色層508R、508G、508B位于成為像素的部位。
圖16表示使用應(yīng)用了本發(fā)明的濾色片500，構(gòu)成液晶裝置的第3例，是表示透射型TFT(Thin Film Transistor)型液晶裝置的概略結(jié)構(gòu)的分解立體圖。
該液晶裝置550在圖中上方(觀察者一側(cè))配置了濾色片500。
該液晶裝置550由以下部分構(gòu)成濾色片500、與它相對(duì)配置的對(duì)置基板551、夾在它們之間的未圖示的液晶層、配置在濾色片500的上表面一側(cè)(觀察者一側(cè))的偏振片555、配置在對(duì)置基板551的下表面一側(cè)的偏振片(未圖示)。
在濾色片500的保護(hù)膜509的表面(對(duì)置基板551一側(cè)的面)形成液晶驅(qū)動(dòng)用電極556。該電極556由ITO等透明導(dǎo)電材料構(gòu)成，覆蓋形成后面描述的像素電極560的區(qū)域全體。另外，以覆蓋了該電極556的與像素電極560相反一側(cè)的狀態(tài)下，設(shè)置了定向膜557。
在對(duì)置基板551的與濾色片500相對(duì)的面上形成絕緣層558，在該絕緣層558上以彼此正交的狀態(tài)形成掃描線561和信號(hào)線562。而且，在由這些掃描線561和信號(hào)線562包圍的區(qū)域內(nèi)形成像素電極560。此外，在實(shí)際的液晶裝置中，在像素電極560上設(shè)置定向膜，但是省略了圖示。
另外，在由像素電極560的缺口部、掃描線561和信號(hào)線562包圍的部分中設(shè)置了具有源電極、漏電極、半導(dǎo)體和柵電極的薄膜晶體管563。而且，通過(guò)對(duì)于掃描線561和信號(hào)線562施加信號(hào)，使薄膜晶體管563通斷，能進(jìn)行對(duì)像素電極560的通電控制。
此外，所述各例的液晶裝置520、530、550為透射型的結(jié)構(gòu)，但是設(shè)置反射層或半透射反射層，能成為反射型的液晶裝置或半透射反射型液晶裝置。
下面，說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例2。圖17是本發(fā)明的顯示器的一種的有機(jī)EL裝置的顯示區(qū)域(以下稱作顯示裝置600)的主要部分剖視圖。
該顯示裝置600是在基板(W)601上層疊了電路元件部602、發(fā)光元件部603以及陰極604的狀態(tài)下構(gòu)成的。
在該顯示裝置600中，從發(fā)光元件部603向基板601一側(cè)發(fā)出的光透射電路元件部602和基板601，出射到觀察者一側(cè)，并且從發(fā)光元件部603向基板601的相反一側(cè)發(fā)出的光由陰極604反射后，透射電路元件部602和基板601，出射到觀察者一側(cè)。
在電路元件部602和基板601之間形成由氧化硅膜構(gòu)成的底層保護(hù)膜606，在該底層保護(hù)膜606上(發(fā)光元件部603一側(cè))形成由多晶硅構(gòu)成的島狀半導(dǎo)體膜607。在該半導(dǎo)體膜607的左右區(qū)域中，通過(guò)高濃度陽(yáng)離子注入，分別形成源區(qū)607a和漏區(qū)607b。而且，未注入陽(yáng)離子的中央部成為溝道區(qū)607c。
另外，在電路元件部602形成覆蓋底層保護(hù)膜606和半導(dǎo)體膜607的透明柵絕緣膜608，在該柵絕緣膜608上的與半導(dǎo)體膜607的溝道區(qū)607c對(duì)應(yīng)的位置形成由Al、Mo、Ta、Ti、W等構(gòu)成的柵電極609。在該柵電極609和柵絕緣膜608上形成透明的第1層間絕緣膜611a和第2層間絕緣膜611b。另外，貫穿第1、第2層間絕緣膜611a、611b，形成分別與半導(dǎo)體膜607的源區(qū)607a和漏區(qū)607b相連的接觸孔612a、612b。
而且，在第2層間絕緣膜611b上，構(gòu)圖為給定的形狀，形成由ITO等構(gòu)成的透明像素電極613，該像素電極613通過(guò)接觸孔612a連接在源區(qū)607a上。
另外，在第1層間絕緣膜611a上配置電源線614，該電源線614通過(guò)接觸孔612b連接在漏區(qū)607b上。
這樣，在電路元件部602上分別形成了連接在各像素電極613上的驅(qū)動(dòng)用薄膜晶體管615。
所述發(fā)光元件部603由以下部分構(gòu)成分別層疊在多個(gè)像素電極613上的功能層617；設(shè)置在各像素電極613和功能層617之間，劃分各功能層617的隔岸部618。
通過(guò)像素電極613、功能層617和配置在功能層617上的陰極604，構(gòu)成了發(fā)光元件。此外，像素電極613在平面視圖中構(gòu)圖為近矩形，各像素電極613之間形成了隔岸部618。
隔岸部618由以下部分構(gòu)成例如由SiO、SiO2、TiO2等無(wú)機(jī)材料形成的無(wú)機(jī)物隔岸層618a(第1隔岸層)；層疊在該無(wú)機(jī)物隔岸層618a上，由丙烯酸樹(shù)脂、聚酰亞胺樹(shù)脂等耐熱性、耐溶劑性好的抗蝕劑形成的截面為梯形的有機(jī)物隔岸層618b(第2隔岸層)。該隔岸部618的一部分以放置在像素電極613的周邊部上的狀態(tài)形成。
而且，在各隔岸部618之間，對(duì)于像素電極613，形成向上方擴(kuò)開(kāi)的開(kāi)口部619。
所述功能層617由以下部分構(gòu)成在開(kāi)口部619內(nèi)，以層疊狀態(tài)形成在像素電極613上的空穴注入/輸送層617a；形成在該空穴注入/輸送層617a上的發(fā)光層617b。此外，還可以形成與該發(fā)光層617b相鄰，具有其他功能的其他功能層。例如也能形成電子輸送層。
空穴注入/輸送層617a具有從像素電極613一側(cè)輸送空穴，注入發(fā)光層617b中的功能。通過(guò)噴出包含空穴注入/輸送層的形成材料的第1組成物(功能液)，形成該空穴注入/輸送層617a。作為空穴注入/輸送層的形成材料，例如使用聚乙烯二氧噻吩等聚噻吩衍生物和聚苯乙烯磺酸等的混合物。
發(fā)光層617b發(fā)出紅色(R)、綠色(G)、或藍(lán)色(B)中的任意一種，所以通過(guò)噴出包含發(fā)光層的形成材料的第2組成物(功能液)而形成。
另外，作為第2組成物的溶劑(非極性溶劑)，希望是不溶于空穴注入/輸送層120a的材料，例如能使用環(huán)己基苯、二氫苯并呋喃、三甲基苯、四甲基苯。通過(guò)對(duì)發(fā)光層617b的第2組成物使用這樣的非極性溶劑，不會(huì)使空穴注入/輸送層617a再溶解，能形成發(fā)光層617b。
而且，在發(fā)光層617b中，從空穴注入/輸送層617a注入的空穴和從陰極604注入的電子在發(fā)光層中再結(jié)合，發(fā)光。
以覆蓋發(fā)光元件部603的狀態(tài)形成了陰極604，與像素電極613成對(duì)，實(shí)現(xiàn)使電流流過(guò)功能層617的任務(wù)。此外，在該陰極604的上部配置有未圖示的密封部件。
下面，參照?qǐng)D18～26說(shuō)明所述顯示裝置600的制造步驟。
如圖18所示，經(jīng)過(guò)隔岸部的形成步驟(S21)、表面處理步驟(S22)、空穴注入/輸送層的形成步驟(S23)、發(fā)光層的形成步驟(S24)和對(duì)置電極的形成步驟(S25)，制造了該顯示裝置600。此外，制造步驟并不局限于例示的步驟，根據(jù)需要，可追加或去掉其他步驟。
首先，在隔岸部的形成步驟(S21)中，如圖19所示，在第1層間絕緣膜611b上形成無(wú)機(jī)物隔岸層618a。在形成位置形成了無(wú)機(jī)物膜后，通過(guò)光刻技術(shù)對(duì)該無(wú)機(jī)物膜構(gòu)圖，形成了無(wú)機(jī)物隔岸層618a。這時(shí)，無(wú)機(jī)物隔岸層618a的一部分與像素電極613的周邊部重疊形成。
如果形成了無(wú)機(jī)物隔岸層618a，則如圖20所示，在無(wú)機(jī)物隔岸層618a上形成有機(jī)物隔岸層618b。該有機(jī)物隔岸層618b也與無(wú)機(jī)物隔岸層618a同樣，通過(guò)光刻技術(shù)構(gòu)圖形成。
這樣就形成了隔岸部618。另外，伴隨著此，在各隔岸部618間，對(duì)于像素電極613，形成了在上方開(kāi)口的開(kāi)口部619。該開(kāi)口部619規(guī)定像素區(qū)域。
在表面處理步驟(S22)中，進(jìn)行親液處理和斥液處理。進(jìn)行親液處理的區(qū)域是無(wú)機(jī)物隔岸層618a的一層疊部618aa和像素電極613的電極面613a，這些區(qū)域例如通過(guò)以氧為處理氣體的等離子體處理，表面處理為親液性。該等離子體處理也兼任像素電極613的ITO的洗凈。
另外，對(duì)有機(jī)物隔岸層618b的壁面618s和有機(jī)物隔岸層618b的上表面618t進(jìn)行斥液處理，例如，通過(guò)以4氟甲烷為處理氣體的等離子提出例，把表面氟化處理(斥液處理)。
通過(guò)進(jìn)行該表面處理步驟，當(dāng)使用功能液滴噴出頭10形成功能層617時(shí)，能更可靠地使功能液滴落在像素區(qū)域中，另外，能防止落在像素區(qū)域中的功能液滴從開(kāi)口部619溢出。
而且，通過(guò)進(jìn)行以上的步驟，取得顯示裝置基體600A。把該顯示裝置基體600A放置在圖1所示的液滴噴出裝置1的設(shè)置臺(tái)25上，進(jìn)行以下的空穴注入/輸送層的形成步驟(S23)和發(fā)光層的形成步驟(S24)。
如圖21所示，在空穴注入/輸送層的形成步驟(S23)中，從功能液滴噴出頭10向像素區(qū)域的各開(kāi)口部619內(nèi)噴出包含空穴注入/輸送層的形成材料的第1組成物。然后，如圖22所示，進(jìn)行干燥處理和熱處理，使第1組成物中包含的極性溶劑蒸發(fā)，在像素電極613上形成空穴注入/輸送層617a。
下面，說(shuō)明發(fā)光層的形成步驟(S24)。在該發(fā)光層的形成步驟中，如上所述，為了防止空穴注入/輸送層617a的再溶解，作為發(fā)光層的形成時(shí)使用的第2組成物的溶劑，使用對(duì)于空穴注入/輸送層617a不溶的非極性溶劑。
可是，空穴注入/輸送層617a對(duì)于非極性溶劑的親和性極低，所以即使向空穴注入/輸送層617a上噴出包含非極性溶劑的第2組成物，有可能無(wú)法使空穴注入/輸送層617a和發(fā)光層617b緊貼，或均勻涂敷發(fā)光層617b。
因此，為了提高空穴注入/輸送層617a的表面對(duì)于非極性溶劑以及發(fā)光層的形成材料的親和性，在發(fā)光層的形成前最好進(jìn)行表面處理(表面改質(zhì)處理)。通過(guò)把與發(fā)光層的形成時(shí)使用的第2組成物的非極性溶劑同一溶劑或與它類似的溶劑的表面改質(zhì)材料涂敷在空穴注入/輸送層617a上，使其干燥，進(jìn)行該表面處理。
通過(guò)進(jìn)行這樣的處理，空穴注入/輸送層617a的表面變得容易與非極性溶劑親和，在此后的步驟中，能均勻地把包含發(fā)光層的形成材料的第2組成物均勻涂敷在空穴注入/輸送層617a上。
然后，如圖23所示，在像素區(qū)域(開(kāi)口部619)內(nèi)，注入給定量的包含與各色中的任意色(在圖23的例子中，藍(lán)色(B))對(duì)應(yīng)的發(fā)光層的形成材料的第2組成物。注入像素區(qū)域內(nèi)的第2組成物在空穴注入/輸送層617a上擴(kuò)散，充滿開(kāi)口部619內(nèi)。此外，萬(wàn)一第2組成物從像素區(qū)域偏離，落在隔岸部618的上表面618t上時(shí)，該上表面618t如上所述進(jìn)行了斥液處理，所以第2組成物容易落入開(kāi)口部619內(nèi)。
在該發(fā)光層的形成步驟中，在所述液滴噴出裝置1上配置同一規(guī)格的3個(gè)功能液滴噴出頭10，分別把R、G、B三色的功能液(第2組成物)導(dǎo)入這3個(gè)功能液滴噴出頭10中，進(jìn)行功能液滴的噴出。這時(shí)，功能液滴噴出頭10希望使用具有與開(kāi)口部619的間隔即像素間隔一致的噴嘴間隔的。另外，可以對(duì)基板601的整個(gè)區(qū)域，以R、G、B的順序進(jìn)行描繪(液滴噴出)，也可以在各主掃描中，以R、G、B的順序進(jìn)行描繪(液滴噴出)。此外，作為R、G、B三色的排列模式，有帶排列、混合排列、三角排列。
如圖24和圖25所示，形成了與藍(lán)色(B)、紅色(R)、綠色(G)對(duì)應(yīng)的發(fā)光層617b后，接著進(jìn)行干燥步驟。據(jù)此，對(duì)噴出后的第2組成物進(jìn)行干燥處理，使第2組成物種包含的非極性溶劑蒸發(fā)，在空穴注入/輸送層617a上形成發(fā)光層617b。此外，發(fā)光層617b的形成步驟并不局限于例示的順序，可以用任意的順序。例如，能按照發(fā)光層的形成材料，決定形成的順序。
如上所述，在像素電極613上形成了功能層即空穴注入/輸送層617a和發(fā)光層617b。然后，轉(zhuǎn)移到對(duì)置電極的形成步驟(S25)。
在對(duì)置電極的形成步驟(S25)中，如圖26所示，在發(fā)光層617b和有機(jī)物隔岸層618b的整個(gè)面上通過(guò)蒸鍍法、濺射法、CVD法形成陰極604(對(duì)置電極)。該陰極604在本實(shí)施例中，例如層疊鈣層和鋁層構(gòu)成。
在該陰極604的上部，適當(dāng)設(shè)置了作為電極的Al膜、Ag膜、和在該膜上面的用于防止氧化的SiO2、SiN等保護(hù)層。
這樣，在形成了陰極604后，通過(guò)用密封材料密封該陰極604的上部的密封處理和布線處理等其他處理，取得顯示裝置600。
下面，說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例3。圖27是本發(fā)明的顯示器的一種的等離子體型顯示裝置(PDP裝置，以下稱作顯示裝置700)的主要部分的分解立體圖。此外，在同一圖中，以切去其一部分的狀態(tài)表示了顯示裝置700。
該顯示裝置700包含彼此相對(duì)配置第1基板701、第2基板702、形成在它們之間的放電顯示部703。放電顯示部703由多個(gè)放電室705構(gòu)成。多個(gè)放電室705中，紅色放電室705R、綠色放電室705G、藍(lán)色放電室705B的3個(gè)放電室705成組，構(gòu)成一個(gè)像素。
在第1基板701的上表面上以給定間隔，把地址電極706形成條狀，覆蓋該地址電極706和第1基板701的上表面形成介質(zhì)層707。在介質(zhì)層707上，位于各地址電極706之間，并且沿著各地址電極706，直立設(shè)置了隔離壁708。該隔離壁708如圖所示，包含在地址電極706的寬度方向延伸的和在與地址電極706正交方向延伸的未圖示的形態(tài)。
而且，由該隔離壁708劃分的區(qū)域成為放電室705。
在放電室705內(nèi)配置了熒光體709。熒光體709發(fā)出紅色(R)、綠色(G)、藍(lán)色(B)的任意顏色的光，在紅色放電室705R的底部配置了紅色熒光體709R，在綠色放電室705G的底部配置了綠色熒光體709R，在藍(lán)色放電室705B的底部配置了藍(lán)色熒光體709B。
在第2基板702的圖中下方的面上，在與所述地址電極706正交的方向，以給定間隔形成了多個(gè)顯示電極711。而且，覆蓋它們，形成了介質(zhì)層712和由MgO構(gòu)成的保護(hù)膜713。
使第1基板701和第2基板702在地址電極706與顯示電極711彼此正交的狀態(tài)下相對(duì)粘貼在一起。此外，所述地址電極706與顯示電極711連接在未圖示的交流電源上。
而且，通過(guò)對(duì)各電極706、711通電，在放電顯示部703中，熒光體709激勵(lì)發(fā)光，能顯示彩色。
在本實(shí)施例中，能使用圖1所示的液滴噴出裝置1，形成所述地址電極706、熒光體709。下面，表示第1基板701中的地址電極706的形成步驟。
這時(shí)，在把第1基板701放置在液滴噴出裝置1的設(shè)置臺(tái)25上的狀態(tài)下，進(jìn)行以下的步驟。
首先，通過(guò)功能液滴噴出頭10，使含有導(dǎo)電膜布線的形成用材料的液體材料(功能液)作為功能液滴，落在地址電極形成區(qū)域中。該液體材料作為導(dǎo)電膜布線的形成用材料，是把金屬等導(dǎo)電性微粒分散到分散劑中。作為該導(dǎo)電性微粒，使用包含金、銀、銅、鈀或鎳等的金屬微粒、導(dǎo)電性聚合物。
關(guān)于成為補(bǔ)充對(duì)象的全體的地址電極形成區(qū)域，如果液體材料的補(bǔ)充結(jié)束，則對(duì)噴出后的液體材料進(jìn)行干燥處理，通過(guò)使液體材料中包含的分散劑蒸發(fā)，形成地址電極706。
可是，在所述中，例示了地址電極706的形成，但是關(guān)于所述顯示電極711和熒光體709，通過(guò)進(jìn)行所述各步驟，也能形成。
當(dāng)形成顯示電極711時(shí)，與地址電極706時(shí)同樣，把含有導(dǎo)電膜布線的形成用材料的液體材料(功能液)作為功能液滴，使其落在顯示電極的形成區(qū)域上。
另外，在熒光體709的形成時(shí)，從3個(gè)功能液滴噴出頭10作為液滴噴出包含與各色(R、G、B)對(duì)應(yīng)的熒光材料的液體材料(本發(fā)明的液體材料的一種)，使其落在對(duì)應(yīng)色的放電室705內(nèi)。
下面，說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例4。圖28是本發(fā)明的顯示器的一種的電子發(fā)射裝置(FED裝置以下稱作顯示裝置800)的主要部分的剖面圖。此外，在同一圖中，把其一部分作為截面表示了顯示裝置800。
該顯示裝置800包含彼此相對(duì)配置的第1基板801、第2基板802、形成在它們之間的電場(chǎng)發(fā)射顯示部803。電場(chǎng)發(fā)射顯示部803由配置為矩陣狀的多個(gè)電子發(fā)射部805構(gòu)成。
在第1基板801的上表面彼此正交的構(gòu)成陰極806的第1元件電極806a和第2元件電極806b。另外，在用第1元件電極806a和第2元件電極806b劃分的部分中形成設(shè)置了間隔808的元件膜807。即由第1元件電極806a、第2元件電極806b和元件膜807構(gòu)成多個(gè)電子發(fā)射部805。元件膜807例如由氧化鈀(PdO)構(gòu)成，另外，在形成了元件膜807后，通過(guò)成形加工形成間隔808。
在第2基板802的下表面形成與陰極806對(duì)置的陽(yáng)極809。在陽(yáng)極809的下表面形成格子狀的隔岸部811，在用該隔岸部811包圍的向下的各開(kāi)口部812中，與電子發(fā)射部805對(duì)應(yīng)配置了熒光體813。熒光體813發(fā)出紅色(R)、綠色(G)、藍(lán)色(B)的任意顏色的光，在各開(kāi)口部812中，把紅色熒光體813R、綠色熒光體813G、藍(lán)色熒光體813B配置為給定圖案。
而且，這樣構(gòu)成的第1基板801和第2基板802以微小的間隙貼在一起。在該顯示裝置800中，通過(guò)元件膜(間隔808)807，從電極的第1元件電極806a或第2元件電極806b飛出的電子擊中陽(yáng)極809上形成的熒光體813，激勵(lì)發(fā)光，能進(jìn)行彩色顯示。
這時(shí)，與其它實(shí)施例同樣，使用液滴噴出裝置1能形成第1元件電極806a、第2元件電極806b和陽(yáng)極809，并且使用液滴噴出裝置1，能形成各色熒光體813R、813G、813B。
可是，這樣構(gòu)成的液滴噴出裝置1能應(yīng)用于移動(dòng)電話或個(gè)人電腦上配置的所述濾色片、各種液晶顯示裝置、有機(jī)EL裝置、FED裝置、PDP裝置、電泳顯示裝置的制造。另外，作為其他電光裝置，考慮到包含所述金屬布線的形成、抗蝕劑的形成、抗蝕劑的形成和光擴(kuò)散體的形成、所述顯微鏡用標(biāo)本的形成的裝置。
根據(jù)本發(fā)明的液滴噴出裝置，由于可自動(dòng)地進(jìn)行工件間隙的調(diào)整，所以可將工件調(diào)整工序包含在一系列的工件處理工序中，可維持功能液滴噴出頭的正常的功能液滴的噴出，并且可高效地進(jìn)行工件處理。
根據(jù)本發(fā)明的電光裝置及其制造方法及電子儀器，由于是通過(guò)能夠高精度且高效率地進(jìn)行工件處理的液滴噴出裝置進(jìn)行制造，所以可提供高品質(zhì)低成本的電光裝置。
權(quán)利要求
1.一種液滴噴出裝置，其特征在于包括將噴嘴面設(shè)置成與工件平行對(duì)峙的功能液滴噴出頭；測(cè)定所述工件的表面與所述噴嘴面之間的工件間隙的間隙測(cè)定裝置；根據(jù)所述間隙測(cè)定裝置的測(cè)定結(jié)果，使所述功能液滴噴出頭及所述工件在上下方向上進(jìn)行相對(duì)的移動(dòng)，由此來(lái)調(diào)整工件間隙的間隙調(diào)整裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于所述功能液滴噴出頭被設(shè)置在滑架上，所述間隙調(diào)整裝置具有支撐所述滑架，使其在上下方向上滑動(dòng)自如的基臺(tái)、固定在所述基臺(tái)上的驅(qū)動(dòng)裝置、通過(guò)所述驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行正反向旋轉(zhuǎn)的絲杠、被設(shè)置在所述滑架上的與所述絲杠螺合的螺母部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于所述間隙調(diào)整裝置用于使所述功能液滴噴出頭在上下方向上相對(duì)所述工件進(jìn)行移動(dòng)，并且還包括向該功能液滴噴出頭供給功能液的功能液箱、根據(jù)所述間隙測(cè)定裝置的測(cè)定結(jié)果，通過(guò)升降所述功能液箱來(lái)調(diào)整相對(duì)所述功能液箱的所述功能液滴噴出頭的水位的水位調(diào)整裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液滴噴出裝置，其特征在于所述功能液箱被保持在箱保持裝置中，所述水位調(diào)整裝置具有支撐所述箱保持裝置，使其在上下方向上滑動(dòng)自如的箱基臺(tái)、固定在所述箱基臺(tái)上的驅(qū)動(dòng)裝置、通過(guò)所述驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行正反向旋轉(zhuǎn)的絲杠、被設(shè)置在所述箱保持裝置上的與所述絲杠螺合的螺母部。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液滴噴出裝置，其特征在于還包括向所述功能液箱內(nèi)補(bǔ)充功能液的功能液補(bǔ)充裝置、檢測(cè)所述功能液箱內(nèi)的液面位置的液面位置傳感器，所述功能液補(bǔ)充裝置根據(jù)所述液面位置傳感器的檢測(cè)結(jié)果，向所述功能液箱內(nèi)補(bǔ)充功能液，使液面位置保持一定。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于所述功能液滴噴出頭被設(shè)置在滑架上，所述間隙測(cè)定裝置具有被設(shè)置在所述滑架上，用于測(cè)量所述工件在上下方向上的位置的測(cè)量裝置、根據(jù)所述測(cè)量裝置的測(cè)量結(jié)果，計(jì)算出所述工件間隙的計(jì)算裝置。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于所述工件被放置在工件臺(tái)上，所述間隙測(cè)定裝置具有用于測(cè)量所述工件及所述工件臺(tái)在上下方向上的位置的測(cè)量裝置、根據(jù)所述測(cè)量裝置的測(cè)量結(jié)果，計(jì)算出所述工件間隙的計(jì)算裝置。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于還包括多種相互填充的功能液和/或規(guī)格不同的所述功能液滴噴出頭、可更換地設(shè)置所述多種功能液滴噴出頭的滑架、可更換地儲(chǔ)備所述多種功能液滴噴出頭的儲(chǔ)備箱、將所述功能液滴噴出頭在所述滑架及所述儲(chǔ)備箱之間進(jìn)行置換的頭置換機(jī)構(gòu)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的液滴噴出裝置，其特征在于還包括分別向各個(gè)所述多種功能液滴噴出頭供給所述功能液的功能液供給裝置，所述功能液供給裝置對(duì)應(yīng)所述多種功能液滴噴出頭，具有多個(gè)功能液箱，所述多個(gè)功能液箱與所述多種功能液滴噴出頭分別通過(guò)管路構(gòu)成連接。
10.一種電光裝置的制造方法，其特征在于使用權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置，在所述工件上由所述功能液滴形成成膜部。
11.一種電光裝置的制造，其特征在于使用權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置，在所述工件上由所述功能液滴形成了成膜部。
12.一種電子儀器，其特征在于配置有權(quán)利要求11所述的電光裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種液滴噴出裝置。其包括將噴嘴面設(shè)置成與工件(W)平行對(duì)峙的功能液滴噴出頭(10)；測(cè)定所述工件(W)的表面與所述噴嘴面之間的工件間隙的間隙測(cè)定裝置(15、16)；根據(jù)所述間隙測(cè)定裝置(15、16)的測(cè)定結(jié)果，使所述功能液滴噴出頭(10)及所述工件(W)在上下方向上進(jìn)行相對(duì)的移動(dòng)，由此來(lái)調(diào)整工件間隙的間隙調(diào)整裝置(32)。由此，可對(duì)工件(W)與功能液滴噴出頭(10)之間的工件間隙自動(dòng)地進(jìn)行微調(diào)。
文檔編號(hào)B05C11/00GK1475346SQ03152448
公開(kāi)日2004年2月18日 申請(qǐng)日期2003年7月31日 優(yōu)先權(quán)日2002年8月2日
發(fā)明者高野豐, 中村真一, 臼田秀范, 山田善昭, 一, 昭, 范 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社