專利名稱：液滴噴出裝置及方法、電光裝置及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及從排列在功能性液滴噴出頭上的噴嘴列中選擇性地噴出功能性液體，從而在工件上進(jìn)行描繪的液滴噴出裝置、液滴噴出方法、電光裝置的制造方法、電光裝置、電子設(shè)備及基板。
背景技術(shù)：
一直以來(lái)，由于采用噴墨方式的打印頭的噴墨打印機(jī)(液滴噴出裝置)可高精度地點(diǎn)狀地噴出微小的墨滴(功能性液體)，因此有望在各種部件的制造領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。近年來(lái)，在例如，有機(jī)EL顯示裝置及液晶顯示裝置等的所謂平面顯示裝置的制造方法中也有所使用，向玻璃基板(工件)上噴出發(fā)光材料及濾光材料等的功能性液體，形成有機(jī)EL(場(chǎng)致發(fā)射)顯示裝置中的各像素的EL發(fā)光層和空穴注入層等，并形成液晶顯示裝置中的R、G、B的濾光元件等(參照例如日本專利文獻(xiàn)1)。此時(shí)，為了噴出被堤壩(bank)隔開(kāi)的微小腔室內(nèi)的功能性液體，要進(jìn)行包含噴出位置及噴出時(shí)刻在內(nèi)的更高精度的噴出控制。但在這種顯示裝置的制造方法中，一般來(lái)說(shuō)，并不是在使負(fù)載打印頭的滑架或工件低速動(dòng)作的前提下，計(jì)數(shù)控制電路內(nèi)的時(shí)鐘數(shù)地進(jìn)行噴出控制，而是采用編碼器(旋轉(zhuǎn)編碼器或線性編碼器)，檢測(cè)出滑架或工件的位置，基于其檢測(cè)結(jié)果(編碼器信號(hào)的輸出)進(jìn)行噴出控制。
日本專利文獻(xiàn)1特開(kāi)平10-12377號(hào)公報(bào)制造上述有機(jī)EL顯示裝置及液晶顯示裝置時(shí)，如上所述地基于編碼器信號(hào)，控制墨水的噴出時(shí)刻，從而對(duì)打印頭側(cè)的噴出精度進(jìn)行一定程度的補(bǔ)償，由于大多采用玻璃基板作為基板，溫度變化引起的熱膨脹會(huì)導(dǎo)致基板的尺寸發(fā)生改變，結(jié)果出現(xiàn)功能性液體擊打在偏離所需噴出位置的位置上的問(wèn)題。
因此，采用例如線性編碼器時(shí)，提出下述對(duì)策用與玻璃基板相同的材料構(gòu)成線性標(biāo)尺，對(duì)熱膨脹引起的位置偏移進(jìn)行補(bǔ)正，但是根據(jù)玻璃的大小和厚度的不同等，相互的膨脹率有所差異。并且，由于線性標(biāo)尺主要設(shè)在搭載玻璃基板的移動(dòng)臺(tái)的側(cè)部等處，由于溫度分布的不同，玻璃基板與線性標(biāo)尺的設(shè)置位置處的膨脹率也有所變化。因此，采用由玻璃等的溫度變化產(chǎn)生熱膨脹及變形的材質(zhì)而構(gòu)成的基板時(shí)，即使采用線性編碼器，也難以消除溫度變化所導(dǎo)致的噴出位置的偏移。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明正是鑒于上述問(wèn)題作出的，目的在于提供即使溫度變化導(dǎo)致基板尺寸發(fā)生變化時(shí)，也能保持功能性液體的噴出精度的液滴噴出裝置、液滴噴出方法、電光裝置的制造方法、電光裝置、電子設(shè)備及基板。
本發(fā)明提供一種液滴噴出裝置，該裝置通過(guò)從排列在功能性液滴噴出頭上的噴嘴列中選擇性地噴出功能性液體，在工件上進(jìn)行描繪，該裝置帶有下述部件將前述功能性液滴噴出頭搭載在滑架上的噴出頭單元、實(shí)現(xiàn)前述噴出頭單元與工件之間的相對(duì)移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)、由線性標(biāo)尺和面對(duì)該線性標(biāo)尺的線性傳感器構(gòu)成的線性編碼器、基于前述線性傳感器對(duì)前述線性標(biāo)尺的計(jì)數(shù)結(jié)果，驅(qū)動(dòng)控制從前述噴嘴列中噴出功能性液體的驅(qū)動(dòng)控制機(jī)構(gòu)，其中上述工件設(shè)有矩陣狀配置的多個(gè)描繪區(qū)域和劃分該描繪區(qū)域的非描繪區(qū)域，上述線性標(biāo)尺由在前述工件上連續(xù)地形成標(biāo)記的標(biāo)記列構(gòu)成，上述線性編碼器檢測(cè)前述噴出頭單元與前述工件之間的相對(duì)移動(dòng)位置，前述線性標(biāo)尺帶有基準(zhǔn)標(biāo)記，該基準(zhǔn)標(biāo)記示出了排列在垂直于前述線性傳感器的檢測(cè)方向的方向上的各描繪區(qū)域列的檢測(cè)開(kāi)始位置，該基準(zhǔn)標(biāo)記以與其它標(biāo)記不同的形態(tài)作標(biāo)記，前述驅(qū)動(dòng)控制機(jī)構(gòu)基于檢測(cè)到的前述基準(zhǔn)標(biāo)記，使前述線性傳感器對(duì)前述線性標(biāo)尺的計(jì)數(shù)歸零。
本發(fā)明另一方面提供一種液滴噴出方法，該液滴噴出方法通過(guò)從排列在功能性液滴噴出頭上的噴嘴列中選擇性地噴出功能性液體，在工件上進(jìn)行描繪，該方法由下述工序構(gòu)成實(shí)現(xiàn)將前述功能性液滴噴出頭搭載在滑架上的噴出頭單元與工件之間的相對(duì)移動(dòng)的工序；用線性標(biāo)尺和面對(duì)該線性標(biāo)尺的線性傳感器檢測(cè)前述噴出頭單元與前述工件之間的相對(duì)移動(dòng)位置的工序；基于前述移動(dòng)位置的檢測(cè)結(jié)果，對(duì)從前述噴嘴列中噴出功能性液體進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制的工序，其中上述工件設(shè)有矩陣狀配置的多個(gè)描繪區(qū)域和劃分該描繪區(qū)域的非描繪區(qū)域，上述線性標(biāo)尺由在前述工件上連續(xù)地形成標(biāo)記的標(biāo)記列構(gòu)成，在前述線性標(biāo)尺上以與其它標(biāo)記不同的形態(tài)作標(biāo)記，形成基準(zhǔn)標(biāo)記，該基準(zhǔn)標(biāo)記示出了排列在垂直于前述線性傳感器的檢測(cè)方向的方向上的各描繪區(qū)域列的檢測(cè)開(kāi)始位置，前述驅(qū)動(dòng)控制工序基于檢測(cè)到的前述基準(zhǔn)標(biāo)記，使前述線性傳感器對(duì)前述線性標(biāo)尺的計(jì)數(shù)歸零。
采用上述構(gòu)成，由于線性標(biāo)尺由在工件上作標(biāo)記的標(biāo)記列構(gòu)成，因此即使溫度變化引起工件的大小發(fā)生變化時(shí)，也能保持功能性液體的噴出精度。而且，由于以與其它標(biāo)記不同的形態(tài)形成基準(zhǔn)標(biāo)記，并且基準(zhǔn)標(biāo)記在每個(gè)描繪區(qū)域列中都有，基于檢測(cè)到的基準(zhǔn)標(biāo)記，可使線性傳感器對(duì)線性標(biāo)尺的計(jì)數(shù)歸零，因此，萬(wàn)一發(fā)生跳讀或重復(fù)計(jì)數(shù)等檢測(cè)誤差時(shí)，可在每個(gè)描繪區(qū)域列中對(duì)其進(jìn)行補(bǔ)償。而且，由于基準(zhǔn)標(biāo)記示出了各描繪區(qū)域列的檢測(cè)開(kāi)始位置，因此產(chǎn)生檢測(cè)誤差后，可從后續(xù)的描繪區(qū)域的噴出開(kāi)始位置起保持噴出精度。而且，由于標(biāo)記列在工件上連續(xù)地作標(biāo)記，因此在整個(gè)區(qū)域(描繪區(qū)域和非描繪區(qū)域)中，可用線性傳感器連續(xù)地檢測(cè)。因而，可進(jìn)一步提高噴出精度。
線性標(biāo)尺最好形成在非描繪區(qū)域中。
采用該構(gòu)成，由于線性標(biāo)尺形成在非描繪區(qū)域中，因此不會(huì)對(duì)以后切下并被用作產(chǎn)品的描繪區(qū)域造成影響。
此時(shí)，標(biāo)記列的與各描繪區(qū)域列相對(duì)應(yīng)的標(biāo)記個(gè)數(shù)最好等于向該描繪區(qū)域噴出功能性液體的次數(shù)。
采用該構(gòu)成，由于標(biāo)記列的對(duì)應(yīng)于各描繪區(qū)域列的標(biāo)記個(gè)數(shù)等于向該描繪區(qū)域噴出功能性液體的次數(shù)，因此在描繪區(qū)域中，一旦檢測(cè)出標(biāo)記，可利用一次噴出這種簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)來(lái)驅(qū)動(dòng)控制功能性液體的噴出時(shí)刻。從而可減輕控制裝置(CPU等)的負(fù)擔(dān)。
此時(shí)，最好描繪區(qū)域包含在噴出功能性液體的同時(shí)構(gòu)成像素的多個(gè)腔室部和劃分該腔室部的堤壩部，線性傳感器檢測(cè)代替標(biāo)記列的堤壩部。
采用該構(gòu)成，可將劃分像素(腔室部)的堤壩部用作線性標(biāo)尺。因此，即使采用隨溫度變化而產(chǎn)生熱膨脹或變形的工件時(shí)，也無(wú)需形成線性標(biāo)尺的工序(在工件上作標(biāo)記的工序)，即可保持噴出精度。
此時(shí)，最好非描繪區(qū)域帶有與描繪區(qū)域的堤壩部材質(zhì)相同的檢測(cè)用堤壩部，且該檢測(cè)用堤壩部可用作標(biāo)記列，線性傳感器檢測(cè)檢測(cè)用堤壩部。
采用該構(gòu)成，由于可在與描繪區(qū)域的堤壩部相同的工序形成檢測(cè)用堤壩部，并可將其用作線性標(biāo)尺，因此無(wú)需形成線性標(biāo)尺的工序(在工件上作標(biāo)記的工序)。而且，由于檢測(cè)用堤壩部是在非描繪區(qū)域中形成的，因此可根據(jù)功能性液體的噴出次數(shù)等自由設(shè)定堤壩的間隔。
此時(shí)，最好構(gòu)成線性標(biāo)尺的標(biāo)尺個(gè)數(shù)相當(dāng)于噴出頭單元對(duì)工件的相對(duì)掃描次數(shù)。
采用該構(gòu)成，由于具有的標(biāo)尺個(gè)數(shù)相當(dāng)于掃描次數(shù)，因此噴出頭單元和線性傳感器的位置是固定的，即使分多次進(jìn)行描繪時(shí)，也能保持噴出精度。
此時(shí)，最好通過(guò)噴出多種功能性液體來(lái)描繪描繪區(qū)域，由相當(dāng)于功能性液體的種類數(shù)的標(biāo)尺個(gè)數(shù)構(gòu)成線性標(biāo)尺，線性編碼器通過(guò)對(duì)應(yīng)于各線性標(biāo)尺的線性傳感器來(lái)檢測(cè)如上所述構(gòu)成的線性標(biāo)尺。
采用該構(gòu)成，可對(duì)例如每種功能性液體檢測(cè)線性標(biāo)尺。因此，即使當(dāng)噴出多種功能性液體時(shí)，也無(wú)需表示標(biāo)記位置與檢測(cè)該標(biāo)記時(shí)噴出的功能性液體的種類之間的關(guān)聯(lián)的表格或處理程序等，可簡(jiǎn)單地驅(qū)動(dòng)控制各噴嘴列。
此時(shí)，最好多個(gè)噴嘴列通過(guò)功能性液滴噴出頭排列在噴出頭單元上，當(dāng)該噴嘴列之間的距離為l時(shí)，線性標(biāo)尺的標(biāo)記列具有l(wèi)/n(n為大于等于1的整數(shù))的標(biāo)記間隔，液滴噴出裝置還帶有對(duì)照表，該對(duì)照表表現(xiàn)出標(biāo)記列的標(biāo)記位置與檢測(cè)該標(biāo)記位置時(shí)的各噴嘴列的噴出/不噴射功能性液體之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，驅(qū)動(dòng)控制機(jī)構(gòu)參照對(duì)照表，對(duì)從各噴嘴列中噴出功能性液體進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制。
采用該構(gòu)成，多個(gè)噴嘴列排列在噴出頭單元上時(shí)，其噴嘴列之間當(dāng)然會(huì)產(chǎn)生距離為l，但是通過(guò)以是該噴嘴列之間距離l的整數(shù)倍的間隔來(lái)設(shè)置標(biāo)記，可采用表現(xiàn)出標(biāo)記位置與檢測(cè)該標(biāo)記位置時(shí)的各噴嘴列的噴出/不噴射功能性液體之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系的對(duì)照表。即，通過(guò)參照該對(duì)照表，可簡(jiǎn)單地決定各噴嘴列的噴出/不噴射，不會(huì)由于噴嘴列之間產(chǎn)生的距離致使噴出位置產(chǎn)生偏差。因而，即使用多個(gè)噴嘴列進(jìn)行描繪時(shí)，也無(wú)需處理程序等，可容易地驅(qū)動(dòng)控制各噴嘴列。
此時(shí)，最好多個(gè)噴嘴列通過(guò)功能性液滴噴出頭排列在噴出頭單元上，將該多個(gè)噴嘴列中的任意一個(gè)作為基準(zhǔn)噴嘴列，同時(shí)由相當(dāng)于噴嘴列數(shù)量的標(biāo)尺個(gè)數(shù)構(gòu)成線性標(biāo)尺，線性編碼器通過(guò)對(duì)應(yīng)于各噴嘴列的線性傳感器來(lái)檢測(cè)如上所述構(gòu)成的線性標(biāo)尺時(shí)，構(gòu)成各線性標(biāo)尺的標(biāo)記列位于在前述線性傳感器的檢測(cè)方向上，僅錯(cuò)開(kāi)對(duì)應(yīng)的噴嘴列距基準(zhǔn)噴嘴列的距離的位置上。
采用該構(gòu)成，多個(gè)噴嘴列排列在噴出頭單元上時(shí)，噴嘴列之間產(chǎn)生距離，但是在具有對(duì)應(yīng)于噴嘴列數(shù)量的標(biāo)尺個(gè)數(shù)的線性標(biāo)尺中，將各標(biāo)尺的標(biāo)記位置設(shè)置在僅錯(cuò)開(kāi)從成為基準(zhǔn)的基準(zhǔn)噴嘴列離開(kāi)的距離的位置上，噴嘴列之間產(chǎn)生的距離不會(huì)導(dǎo)致噴出位置的偏差。而且，線性標(biāo)尺具有對(duì)應(yīng)于噴嘴列數(shù)量的標(biāo)尺個(gè)數(shù)，由于對(duì)每個(gè)噴嘴列檢測(cè)線性標(biāo)尺，因此，無(wú)需表示標(biāo)記位置與檢測(cè)該標(biāo)記時(shí)噴出的噴嘴列之間的關(guān)聯(lián)的表格或處理程序等，可簡(jiǎn)單地驅(qū)動(dòng)控制各噴嘴列。
本發(fā)明另一方面提供一種液滴噴出裝置，該液滴噴出裝置通過(guò)從排列在功能性液滴噴出頭上的噴嘴列中選擇性地噴出功能性液體，在工件上進(jìn)行描繪，該裝置帶有下述部件將前述功能性液滴噴出頭搭載在滑架上的噴出頭單元、實(shí)現(xiàn)前述噴出頭單元與工件之間的相對(duì)移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)、由形成在前述工件上的線性標(biāo)尺和面對(duì)該線性標(biāo)尺的線性傳感器構(gòu)成的線性編碼器、基于前述線性編碼器的檢測(cè)結(jié)果，驅(qū)動(dòng)控制從前述噴嘴列中噴出功能性液體的驅(qū)動(dòng)控制機(jī)構(gòu)，其中上述工件設(shè)有矩陣狀配置的多個(gè)描繪區(qū)域和劃分該描繪區(qū)域的非描繪區(qū)域，上述線性編碼器檢測(cè)前述噴出頭單元與前述工件之間的相對(duì)移動(dòng)位置，前述描繪區(qū)域包含在噴出前述功能性液體的同時(shí)構(gòu)成像素的多個(gè)腔室部和劃分該腔室部的堤壩部，前述線性標(biāo)尺由前述堤壩部構(gòu)成。
本發(fā)明另一方面提供一種液滴噴出方法，該液滴噴出方法通過(guò)從排列在功能性液滴噴出頭上的噴嘴列中選擇性地噴出功能性液體，在工件上進(jìn)行描繪，該方法由下述工序構(gòu)成實(shí)現(xiàn)將前述功能性液滴噴出頭搭載在滑架上的噴出頭單元與工件之間的相對(duì)移動(dòng)的工序；用形成在前述工件上的線性標(biāo)尺檢測(cè)前述噴出頭單元與前述工件之間的相對(duì)移動(dòng)位置的工序；基于前述移動(dòng)位置的檢測(cè)結(jié)果，對(duì)從前述噴嘴列中噴出功能性液體進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制的工序，其中上述工件設(shè)有矩陣狀配置的多個(gè)描繪區(qū)域和劃分該描繪區(qū)域的非描繪區(qū)域，在前述描繪區(qū)域中形成在噴出前述功能性液體的同時(shí)構(gòu)成像素的多個(gè)腔室部和劃分該腔室部的堤壩部，前述線性標(biāo)尺由前述堤壩部構(gòu)成。
采用上述構(gòu)成，由于線性標(biāo)尺形成在工件上，即使溫度變化引起工件的大小發(fā)生變化時(shí)，也能保持功能性液體的噴出精度。而且，由于劃分像素的堤壩部用作線性標(biāo)尺，因此可省略形成線性標(biāo)尺的工序(在工件上作標(biāo)記的工序)。
最好構(gòu)成線性傳感器的檢測(cè)對(duì)象的堤壩部在其檢測(cè)方向上，連續(xù)地形成在非描繪區(qū)域中。
采用上述構(gòu)成，在非描繪區(qū)域中也可以用線性傳感器連續(xù)地進(jìn)行檢測(cè)。因此可進(jìn)一步提高噴出精度。
最好非描繪區(qū)域帶有與描繪區(qū)域的堤壩部材質(zhì)相同的檢測(cè)用堤壩部，且該檢測(cè)用堤壩部可用作標(biāo)記列，線性標(biāo)尺由檢測(cè)用堤壩部構(gòu)成。
采用上述構(gòu)成，由于可用與描繪區(qū)域的堤壩部相同的工序形成檢測(cè)用堤壩部，并可將其用作線性標(biāo)尺，因此無(wú)需形成線性標(biāo)尺的工序(在工件上作標(biāo)記的工序)。而且，由于檢測(cè)用堤壩部形成在非描繪區(qū)域中，因此可根據(jù)功能性液體的噴出次數(shù)等，自由地設(shè)定堤壩的間隔。
本發(fā)明另一方面提供一種電光裝置的制造方法，采用上述液滴噴出裝置，在工件上用從功能性液滴噴出頭中噴出的功能性液體形成成膜部。
本發(fā)明另一方面提供一種電光裝置，采用上述液滴噴出裝置，在工件上用從功能性液滴噴出頭中噴出的功能性液體形成成膜部。
采用上述構(gòu)成，由于采用即使溫度變化引起基板尺寸發(fā)生變化時(shí)，也能保持功能性液體的噴出精度的液滴噴出裝置來(lái)制造，因此可制成高品質(zhì)的電光裝置。另外，作為電光裝置(設(shè)備)，可以是液晶顯示裝置、有機(jī)EL(場(chǎng)致發(fā)光)裝置、電子發(fā)射裝置、PDP(等離子顯示屏)裝置及電泳顯示裝置等。另外，電子發(fā)射裝置是包含所謂FED(場(chǎng)致發(fā)射顯示)裝置的概念。進(jìn)而，作為電光裝置是指包含形成金屬布線、形成透鏡、形成保護(hù)層及形成光擴(kuò)散體等的裝置。
本發(fā)明另一方面提供一種電子設(shè)備，它搭載有上述電光裝置。
此時(shí)，作為電子設(shè)備，除了搭載有所謂平板顯示器的移動(dòng)電話、個(gè)人計(jì)算機(jī)以外，還包括其它各種電子產(chǎn)品。
本發(fā)明另一方面提供一種基板，它被用作上述液滴噴出裝置的工件。
此時(shí)，作為基板，可采用玻璃或樹(shù)脂(薄膜)等對(duì)應(yīng)于要制造的電光裝置的各種材質(zhì)。


圖1是本發(fā)明一個(gè)實(shí)施形態(tài)的有機(jī)EL裝置的剖視圖。
圖2是表示實(shí)施形態(tài)的R、G、B像素的排列情況的說(shuō)明圖。
圖3是實(shí)施形態(tài)的液滴噴出裝置的平面示意圖。
圖4是表示實(shí)施形態(tài)的工件和在該工件上形成的線性標(biāo)尺的一例的平面圖。
圖5是表示實(shí)施形態(tài)的液滴噴出裝置的控制構(gòu)成的控制框圖。
圖6是表示實(shí)施形態(tài)的線性標(biāo)尺和像素排列的一例的平面圖。
圖7是表示實(shí)施形態(tài)的線性標(biāo)尺和像素排列的一例的立體圖。
圖8是表示實(shí)施形態(tài)的標(biāo)記位置與檢測(cè)其標(biāo)記位置時(shí)的噴嘴的噴出/不噴出的相互關(guān)聯(lián)的對(duì)照表的一例的圖。
圖9是表示工件和形成在該工件上的線性標(biāo)尺的其它例子的平面圖。
圖10A、圖10B是表示第二實(shí)施形態(tài)的描繪區(qū)域的腔室部、劃分該腔室部的堤壩部、及檢測(cè)該堤壩部的線性傳感器的立體圖。
圖11是表示第二實(shí)施形態(tài)的形成在非描繪區(qū)域中的檢測(cè)用堤壩部和檢測(cè)該檢測(cè)用堤壩部的線性傳感器的立體圖。
圖12是表示第三實(shí)施形態(tài)的線性標(biāo)尺和像素排列的一例的平面圖。
圖13是表示第三實(shí)施形態(tài)的線性標(biāo)尺和像素排列的一例的平面圖。
圖14是表示第三實(shí)施形態(tài)的標(biāo)記位置與檢測(cè)其標(biāo)記位置時(shí)的各噴嘴的噴出/不噴出的相互關(guān)聯(lián)的對(duì)照表的一例的圖。
圖15是表示第三實(shí)施形態(tài)的線性標(biāo)尺和像素排列的一例的平面圖。
圖16是表示第三實(shí)施形態(tài)的線性標(biāo)尺和像素排列的一例的平面圖。
圖17是表示第四實(shí)施形態(tài)的工件與在該工件上形成的線性標(biāo)尺的一例的平面圖。
圖18是表示第四實(shí)施形態(tài)的線性標(biāo)尺和像素排列的一例的平面圖。
圖19是表示第五實(shí)施形態(tài)的工件與在該工件上形成的線性標(biāo)尺的一例的平面圖。
圖20是表示第五實(shí)施形態(tài)的工件的輸送偏差的平面圖。
圖21是表示第五實(shí)施形態(tài)的各噴嘴的噴出時(shí)刻的補(bǔ)正處理的流程圖。
具體實(shí)施例方式
下面參照附圖，說(shuō)明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施形態(tài)的液滴噴出裝置、電光裝置的制造方法、電光裝置、電子設(shè)備及基板。本實(shí)施形態(tài)的液滴噴出裝置被組裝在所謂平板顯示器的一種，即有機(jī)EL裝置的生產(chǎn)線中，形成構(gòu)成有機(jī)EL裝置的各像素的發(fā)光元件(成膜部)。
此處，首先，在說(shuō)明液滴噴出裝置之前，簡(jiǎn)單說(shuō)明有機(jī)EL裝置的構(gòu)造和制造工序。圖1是表示有機(jī)EL裝置的剖視圖的圖。如該圖所示，有機(jī)EL裝置701將撓性基板(圖中未示出)的布線和驅(qū)動(dòng)IC(圖中未示出)連接到有機(jī)EL元件702上，該有機(jī)EL元件702由基板711、電路元件部721、像素電極731、堤壩部741、發(fā)光元件751、陰極761(相對(duì)電極)及封閉用基板771構(gòu)成。
如該圖所示，在有機(jī)EL元件702的基板711上形成電路元件部721，多個(gè)像素電極731整列地排列在電路元件部721上。在各像素電極731之間格子狀地形成堤壩部741，在由堤壩部741生成的凹部開(kāi)口744(腔室部62，參照?qǐng)D7等)中形成發(fā)光元件751。在堤壩部741和發(fā)光元件751的上部的整個(gè)面上形成陰極761，在陰極761上層疊著封閉用基板771。
有機(jī)EL元件702的制造過(guò)程包括形成堤壩部741的堤壩部形成工序、用于適當(dāng)?shù)匦纬砂l(fā)光元件751的等離子處理工序、形成發(fā)光元件751的發(fā)光元件形成工序、形成陰極761的相對(duì)電極形成工序、將封閉用基板771層疊在陰極761上并封閉的封閉工序。即，在預(yù)先形成了電路元件部721和像素電極731的基板711(工件W，參照?qǐng)D4等)的描繪區(qū)域W1中形成堤壩部741之后，依次進(jìn)行等離子處理、發(fā)光元件751及陰極761(相對(duì)電極)的形成工序，進(jìn)而，在陰極761(相對(duì)電極)上層疊封閉用基板771，并封閉，從而制成有機(jī)EL元件702。由于有機(jī)EL元件702受到大氣中水分等的影響，容易惡化，因此有機(jī)EL元件702的制造最好在干燥空氣或惰性氣體(氮?dú)?、氬氣、氦氣?保護(hù)氣體中進(jìn)行。
由空穴注入/輸送層752及著色為R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))中任意一種顏色的發(fā)光層753形成的成膜部構(gòu)成各發(fā)光元件751，發(fā)光元件形成工序中包括形成空穴注入/輸送層752的空穴注入/輸送層形成工序、形成3色發(fā)光層753的發(fā)光層形成工序。此時(shí)，相對(duì)于由上述堤壩部741劃分出的矩陣狀的多個(gè)凹部開(kāi)口744，已知的3色發(fā)光層753的排列方式有例如圖2所示的線條排列(圖2(a))、馬賽克排列(圖2(b))及三角形排列(圖2(c))。
制成有機(jī)EL元件702之后，使撓性基板的布線與有機(jī)EL元件702的陰極761連接，同時(shí)使電路元件部721的布線與驅(qū)動(dòng)IC連接，從而制成有機(jī)EL裝置701。
本實(shí)施形態(tài)的液滴噴出裝置有的在注入/輸送層形成工序中使用，有的在發(fā)光層形成工序中使用，但是由于裝置主體采用同一構(gòu)造，此處以用于形成R、G、B三色發(fā)光層753的液滴噴出裝置為例，詳細(xì)說(shuō)明。
如圖3的平面示意圖所示，實(shí)施形態(tài)的液滴噴出裝置1帶有機(jī)架2、放置在機(jī)架2上的整個(gè)區(qū)域中的描繪裝置3、附加在描繪裝置3中地放置在機(jī)架2上的噴出頭功能復(fù)原裝置4，描繪裝置3用功能性液體對(duì)工件W上的描繪區(qū)域W1進(jìn)行描繪，同時(shí)通過(guò)噴出頭功能復(fù)原裝置4適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行描繪裝置3中的功能性液滴噴出頭5的功能復(fù)原處理(維護(hù))。
描繪裝置3帶有由X軸工作臺(tái)(主掃描機(jī)構(gòu))12和與X軸工作臺(tái)12相垂直的Y軸工作臺(tái)13構(gòu)成的X·Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)11、可自由移動(dòng)地安裝在Y軸工作臺(tái)13上的主滑架14、垂直設(shè)在主滑架14上的噴出頭單元15。排列有R色、G色及B色的三個(gè)噴嘴列6的功能性液滴噴出頭5通過(guò)副滑架16搭載在噴出頭單元15上，同時(shí)線性傳感器51與形成在工件W上的線性標(biāo)尺52的位置相對(duì)應(yīng)地搭載在噴出頭單元15上。
此時(shí)，基板，即工件W由透光性(透明)的玻璃基板構(gòu)成，在進(jìn)入X軸工作臺(tái)12的階段，用面對(duì)工件的一對(duì)工件識(shí)別照相機(jī)18、18來(lái)識(shí)別一對(duì)工件基準(zhǔn)標(biāo)記54、54，在定位在X軸工作臺(tái)12上的狀態(tài)下放置工件。在工件W上設(shè)置著矩陣狀配置同時(shí)噴出功能性液體(進(jìn)行描繪)的描繪區(qū)域W1和劃分該描繪區(qū)域W1同時(shí)形成有線性標(biāo)尺52的非描繪區(qū)域W2。另外，一個(gè)排列有3個(gè)噴嘴列6的功能性液滴噴出頭5搭載在圖示的副滑架16上，但是上述3個(gè)噴嘴列6排列在不同的功能性液滴噴出頭5上并搭載在副滑架16上也可以。也可以由多列與各種顏色相對(duì)應(yīng)的噴嘴列6構(gòu)成。
線性傳感器51是由隔著工件W上下配置的發(fā)光部和受光部(圖示都省略了)構(gòu)成的光學(xué)式受光傳感器，檢測(cè)形成在工件W上的線性標(biāo)尺52。從而由上述線性傳感器51和線性標(biāo)尺52構(gòu)成線性編碼器50。
如圖4所示，線性標(biāo)尺52由標(biāo)記列52a構(gòu)成，而標(biāo)記列52a由多個(gè)標(biāo)記M構(gòu)成，沿線性傳感器51檢測(cè)的方向(X軸方向)延伸。標(biāo)記列52a從矩陣狀配置在工件W上的描繪區(qū)域W1的位于圖示最上部(用線性傳感器51檢測(cè)的開(kāi)始側(cè))的描繪區(qū)域列W1-a的檢測(cè)開(kāi)始位置，直到位于圖示最下部(用線性傳感器51檢測(cè)的結(jié)束側(cè))的描繪區(qū)域列W1-d的檢測(cè)結(jié)束位置為止連續(xù)地作標(biāo)記，在各描繪區(qū)域列W1-a～W1-d的檢測(cè)開(kāi)始位置上形成基準(zhǔn)標(biāo)記M1。該基準(zhǔn)標(biāo)記M1用于使線性傳感器51對(duì)線性標(biāo)尺52的計(jì)數(shù)歸零，萬(wàn)一產(chǎn)生跳讀及重復(fù)計(jì)數(shù)等檢測(cè)誤差時(shí)，對(duì)每個(gè)描繪區(qū)域列W1-a～W1-d，可對(duì)其進(jìn)行補(bǔ)償?；诰€性標(biāo)尺52的檢測(cè)和其檢測(cè)結(jié)果，對(duì)功能性液體的噴出進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制將在后面詳細(xì)描述。
采用上述構(gòu)成，線性編碼器50從發(fā)光部發(fā)光并照射，由受光部5接受通過(guò)標(biāo)記M之間(透光部)的光，并將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，從而生成編碼器信號(hào)。此后，基于其編碼器信號(hào)，求出主滑架14(噴出頭單元15)的移動(dòng)位置信息，功能性液滴噴出頭5與其移動(dòng)位置信息相應(yīng)地生成功能性液體的噴出信號(hào)(確定噴出時(shí)刻)，在工件W上的所定位置處進(jìn)行描繪。
另外，本實(shí)施形態(tài)采用光學(xué)式線性編碼器，但是也可以采用磁性線性編碼器，該編碼器用磁性傳感器檢測(cè)由經(jīng)過(guò)磁化的標(biāo)記構(gòu)成的線性標(biāo)尺。
另一方面，噴出頭功能復(fù)原裝置4帶有放置在機(jī)架2上的移動(dòng)工作臺(tái)21、放置在移動(dòng)工作臺(tái)21上的保管單元22、抽吸單元23及擦拭單元24。保管單元22在裝置停止工作時(shí)，要防止功能性液滴噴出頭5的噴嘴5a干燥，要將其封閉。抽吸單元23從功能性液滴噴出頭5中強(qiáng)制性地吸出功能性液體，同時(shí)抽吸單元23具有接受從功能性液滴噴出頭5的所有噴嘴5a中廢棄噴出的功能性液體的沖洗盒的功能。擦拭單元24主要用于擦拭吸出功能性液體之后的功能性液滴噴出頭5的噴嘴面5b。
與例如功能性液滴噴出頭5相對(duì)應(yīng)的封閉蓋帽26可自由升降地設(shè)在保管單元22上，裝置停止工作時(shí)，面對(duì)噴出頭單元(的功能性液滴噴出頭5)15地上升，使封閉蓋帽26緊密接觸功能性液滴噴出頭5的噴嘴面5b，將其封閉。由此抑制功能性液滴噴出頭5的噴嘴面5b中的功能性液體的氣化，防止所謂的噴嘴堵塞。
同樣地，與例如功能性液滴噴出頭5相對(duì)應(yīng)的抽吸蓋帽27可自由升降地設(shè)在抽吸單元23上，向噴出頭單元(的功能性液滴噴出頭5)15填充功能性液體時(shí)，或除去功能性液滴噴出頭5內(nèi)粘度增加的功能性液體時(shí)，使抽吸蓋帽27緊密接觸功能性液滴噴出頭5，用泵抽吸。停止噴出功能性液體(描繪)時(shí)，使抽吸蓋帽27稍稍離開(kāi)功能性液滴噴出頭5，進(jìn)行沖洗(廢棄噴出)。由此，可防止噴嘴堵塞或可使發(fā)生噴嘴堵塞的功能性液滴噴出頭5的功能復(fù)原。
例如，擦拭片28可自由抽出或卷起地設(shè)在擦拭單元24上，一邊輸送抽出的擦拭片28，移動(dòng)工作臺(tái)21一邊使擦拭單元24向X軸方向移動(dòng)，以便擦拭功能性液滴噴出頭5的噴嘴面5b。由此，除去附著在功能性液滴噴出頭5的噴嘴面5b上的功能性液體，防止功能性液體噴出時(shí)飛行傾斜等。
另外，作為噴出頭功能復(fù)原裝置4，除了上述各單元以外，最好搭載有用于檢查從功能性液滴噴出頭5中噴出的功能性液體的飛行狀態(tài)的噴出檢查單元、及用于測(cè)定從功能性液滴噴出頭5中噴出的功能性液體的重量的重量測(cè)定單元等。進(jìn)而，雖然圖中未示出，但是控制裝置(控制機(jī)構(gòu)，將在后面描述)等組裝在該液滴噴出裝置1中，上述控制裝置統(tǒng)一控制向各功能性液滴噴出頭5供給功能性液體的功能性液體供給機(jī)構(gòu)、上述描繪裝置3、及功能性液滴噴出頭5等的構(gòu)成裝置。
X軸工作臺(tái)12帶有構(gòu)成X軸方向的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的X軸滑塊31，由吸附工作臺(tái)33和θ工作臺(tái)34等構(gòu)成的固定工作臺(tái)32可自由移動(dòng)地搭載在其上，構(gòu)成X軸工作臺(tái)12。同樣地，Y軸工作臺(tái)13帶有構(gòu)成Y軸方向的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的Y軸滑塊36，上述主滑架14通過(guò)θ工作臺(tái)37可自由移動(dòng)地搭載在其上，構(gòu)成Y軸工作臺(tái)13。
此時(shí)，X軸工作臺(tái)12直接支撐在機(jī)架2上，另一方面，Y軸工作臺(tái)13支撐在立在機(jī)架2上的左右支柱38，38上。X軸工作臺(tái)12與噴出頭功能復(fù)原裝置4沿X軸方向相互平行地設(shè)置，Y軸工作臺(tái)13跨越X軸工作臺(tái)12與噴出頭功能復(fù)原裝置4的移動(dòng)工作臺(tái)21地延伸。
Y軸工作臺(tái)13使搭載在其上的噴出頭單元(功能性液滴噴出頭5)15在位于噴出頭功能復(fù)原裝置4之上部的功能復(fù)原區(qū)域41與位于X軸工作臺(tái)12之上部的描繪區(qū)域42之間適當(dāng)?shù)匾苿?dòng)。即，Y軸工作臺(tái)13使功能性液滴噴出頭5的功能復(fù)原時(shí)，使噴出頭單元15面對(duì)功能復(fù)原區(qū)域41，并在導(dǎo)入X軸工作臺(tái)12的工件W上進(jìn)行描繪時(shí)，使噴出頭單元15面對(duì)描繪區(qū)域42。
另一方面，X軸工作臺(tái)12的一個(gè)端部構(gòu)成用于將工件W放置(改放)在X軸工作臺(tái)12上的轉(zhuǎn)移區(qū)域43，在轉(zhuǎn)移區(qū)域43上設(shè)有上述一對(duì)工件識(shí)別照相機(jī)18，18。利用該一對(duì)工件識(shí)別照相機(jī)18，18同時(shí)識(shí)別被供給到吸附工作臺(tái)33上的工件W的2處工件基準(zhǔn)標(biāo)記54，54，基于其識(shí)別結(jié)果調(diào)整工件W。
實(shí)施形態(tài)的液滴噴出裝置(描繪裝置3)1以工件W沿X軸方向的移動(dòng)為主掃描，以功能性液滴噴出頭(噴出頭單元15)5沿Y軸方向的移動(dòng)為副掃描，基于上述控制機(jī)構(gòu)中存儲(chǔ)的噴出圖案數(shù)據(jù)和上述線性編碼器50的檢測(cè)結(jié)果(編碼器信號(hào))進(jìn)行描繪。
在被導(dǎo)入描繪區(qū)域42中的工件W上進(jìn)行描繪時(shí)，使功能性液滴噴出頭(噴出頭單元15)5面對(duì)描繪區(qū)域42，在利用X軸工作臺(tái)12進(jìn)行主掃描(工件W的往復(fù)運(yùn)動(dòng))的同時(shí)，基于線性編碼器50的檢測(cè)結(jié)果，驅(qū)動(dòng)功能性液滴噴出頭5噴出液體(功能性液體的選擇性噴出)。并利用Y軸工作臺(tái)13適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行副掃描(噴出頭單元15的移動(dòng))。通過(guò)該一連串的動(dòng)作，在工件W的描繪區(qū)域Wa上選擇性地噴出所需的功能性液體，即進(jìn)行描繪。
使功能性液滴噴出頭5的功能復(fù)原時(shí)，移動(dòng)工作臺(tái)21使抽吸單元23向功能復(fù)原區(qū)域41移動(dòng)，同時(shí)Y軸工作臺(tái)13使噴出頭單元15向功能復(fù)原區(qū)域41移動(dòng)，對(duì)功能性液滴噴出頭5進(jìn)行沖洗或泵抽吸。進(jìn)行泵抽吸時(shí)，接著移動(dòng)工作臺(tái)21使擦拭單元24向功能復(fù)原區(qū)域41移動(dòng)，擦拭功能性液滴噴出頭5。同樣地，作業(yè)結(jié)束，裝置停止工作時(shí)，保管單元22蓋住功能性液滴噴出頭5。
下面參照?qǐng)D5的控制框圖，說(shuō)明液滴噴出裝置1的控制構(gòu)成。液滴噴出裝置1由下述部分構(gòu)成帶有接口111，獲取從主機(jī)300送出的噴出圖案數(shù)據(jù)(用于決定各噴嘴5a噴出功能性液體/不噴出功能性液體的數(shù)據(jù))、驅(qū)動(dòng)波形數(shù)據(jù)(為了驅(qū)動(dòng)各噴嘴5a的壓電元件(壓電元件等)而施加的波形數(shù)據(jù))及各種控制數(shù)據(jù)，同時(shí)向主機(jī)300輸出有關(guān)液滴噴出裝置1內(nèi)部的處理狀況等數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)輸入輸出部110、帶有電源開(kāi)關(guān)121，進(jìn)行電源的供給及切斷的電源部120、帶有線性傳感器51及線性標(biāo)尺52，檢測(cè)工件W的移動(dòng)位置的線性編碼器50、帶有功能性液滴噴出頭5，在工件W上進(jìn)行描繪的描繪部140、帶有滑架馬達(dá)151及輸送馬達(dá)152，移動(dòng)·輸送搭載有功能性液滴噴出頭5的主滑架14(噴出頭單元15)及工件W的輸送部150(移動(dòng)機(jī)構(gòu))、帶有噴出頭驅(qū)動(dòng)器161、滑架馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器162及輸送馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器163，驅(qū)動(dòng)各部分的驅(qū)動(dòng)部160、與各部分連接，控制整個(gè)液滴噴出裝置10的控制部200。
控制部200帶有CPU210、ROM220、RAM230及輸入輸出控制裝置(以下稱為“IOC輸入輸出控制器”)250，相互通過(guò)內(nèi)部總線260連接。ROM220除了用于驅(qū)動(dòng)控制各噴嘴5a(噴嘴列6)的噴出的程序以外，還帶有用于存儲(chǔ)由CPU210處理的各種程序的控制程序塊221和用于存儲(chǔ)包含各種圖表在內(nèi)的控制數(shù)據(jù)的控制數(shù)據(jù)塊222。
RAM230除了用作特征位等的工件區(qū)域塊231以外，還帶有用于存儲(chǔ)從主機(jī)300送出的噴出圖案數(shù)據(jù)的噴出圖案數(shù)據(jù)塊232，被用作控制處理的作業(yè)區(qū)域。RAM230通常要備份，以便即使切斷電源，仍然能夠保持存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)。
在輔助CPU210的功能的同時(shí)，用于處理與各種周邊電路的接口信號(hào)的邏輯電路由門陣列及常規(guī)LSI等構(gòu)成，并裝進(jìn)IOC250中。由此，IOC250將來(lái)自主機(jī)300的噴出圖案數(shù)據(jù)和控制數(shù)據(jù)照原樣或經(jīng)過(guò)加工后送入內(nèi)部總線260中，同時(shí)與CPU210聯(lián)動(dòng)地將從CPU210輸出到內(nèi)部總線260中的數(shù)據(jù)和控制信號(hào)照原樣或經(jīng)過(guò)加工后輸出到驅(qū)動(dòng)部160中。
CPU210采用上述構(gòu)成，按照ROM220內(nèi)的控制程序，通過(guò)IOC250從主機(jī)300及液滴噴出裝置10內(nèi)的各部分輸入各種信號(hào)、數(shù)據(jù)，處理RAM230內(nèi)的各種數(shù)據(jù)，再通過(guò)IOC250向液滴噴出裝置1內(nèi)的各部分輸出各種信號(hào)、數(shù)據(jù)，驅(qū)動(dòng)控制從各噴嘴5a噴出功能性液體的時(shí)刻，在工件W上進(jìn)行描繪。另外，本實(shí)施形態(tài)中噴嘴列6方向上的噴嘴間隔與像素間距相配合，驅(qū)動(dòng)控制每個(gè)噴嘴列6的噴出時(shí)刻，這將在后面詳細(xì)描述。
另一方面，主機(jī)300帶有下述部分輸出噴出圖案數(shù)據(jù)、驅(qū)動(dòng)波形數(shù)據(jù)及各種控制數(shù)據(jù)，同時(shí)輸入從液滴噴出裝置1送出的有關(guān)裝置內(nèi)部的處理狀況等的數(shù)據(jù)的接口310、帶有CPU、ROM及RAM等存儲(chǔ)器，控制整個(gè)計(jì)算機(jī)的中央控制部320、視窗(注冊(cè)商標(biāo))等OS330、用于控制液滴噴出裝置1的驅(qū)動(dòng)器340。中央控制部320內(nèi)(RAM等)帶有線性標(biāo)尺52的標(biāo)記位置和用于確定對(duì)應(yīng)于該標(biāo)記位置的噴出/不噴射的對(duì)照表350(參照?qǐng)D8)，參照該對(duì)照表350，生成用于確定從各噴嘴列6中噴出功能性液體的時(shí)刻的噴出圖案數(shù)據(jù)。
也可以不基于從主機(jī)300送出的噴出圖案數(shù)據(jù)，驅(qū)動(dòng)控制功能性液體的噴出，而是在液滴噴出裝置1內(nèi)存儲(chǔ)上述對(duì)照表350，并基于該對(duì)照表，確定各噴嘴列6的功能性液體的噴出/不噴射。
下面說(shuō)明基于噴出圖案數(shù)據(jù)(噴出信號(hào))和線性標(biāo)尺52的檢測(cè)結(jié)果的功能性液體的噴出驅(qū)動(dòng)控制。圖6是表示在描繪區(qū)域W1上的像素排列的平面圖，圖7是其立體圖。此處為便于說(shuō)明，特說(shuō)明用排列有一列噴嘴列6的功能性液滴噴出頭5進(jìn)行描繪時(shí)的情況。圖6中，線性標(biāo)尺52(標(biāo)記)下附帶的數(shù)字表示標(biāo)記位置和計(jì)數(shù)值，實(shí)際上并未記錄在工件W上。
如圖所示，描繪區(qū)域W1帶有在噴出功能性液體的同時(shí)構(gòu)成像素的腔室部61和劃分它們的堤壩部62，堤壩部62經(jīng)過(guò)防水處理(導(dǎo)入氟基)。因此，即使噴出位置存在一定誤差時(shí)，也是可以允許的。腔室部61的大小是沿X軸方向?yàn)?00(μm)，沿Y軸方向?yàn)?00(μm)，在X軸方向和Y軸方向上，分別以100(μm)的間隔配置。
在非描繪區(qū)域W2上形成由沿X軸方向延伸的一個(gè)標(biāo)記列52a構(gòu)成的線性標(biāo)尺52，在各描繪區(qū)域W1的檢測(cè)開(kāi)始位置(在圖中是位于各描繪區(qū)域W1的左側(cè)側(cè)端部的延長(zhǎng)線上的位置)上設(shè)有基準(zhǔn)標(biāo)記M1。向各像素(腔室部61)各噴出3次功能性液體，從而進(jìn)行描繪，與其噴出的次數(shù)相對(duì)應(yīng)，各像素對(duì)應(yīng)分別3個(gè)標(biāo)記(例如標(biāo)記1、標(biāo)記2、標(biāo)記3)。考慮到線性傳感器51的檢測(cè)時(shí)刻與基于該檢測(cè)，從各噴嘴5a噴出功能性液體的時(shí)刻之間的偏差(工件W輸送引起的偏差)，沿輸送方向(X軸方向)，在功能性液體的擊打位置(圖中的圓圈)之前一些形成這3個(gè)標(biāo)記。
另一方面，在非描繪區(qū)域W2中形成標(biāo)記，與對(duì)應(yīng)于描繪區(qū)域W1的標(biāo)記(例如標(biāo)記1～4)形成同一列。即，此時(shí)形成工件W，以便可用同一列來(lái)標(biāo)記描繪區(qū)域W1和非描繪區(qū)域W2。這樣，與非描繪區(qū)域W2相對(duì)應(yīng)的標(biāo)記與對(duì)應(yīng)于描繪區(qū)域W1的標(biāo)記形成同一列，通過(guò)測(cè)定檢測(cè)時(shí)刻，當(dāng)發(fā)生跳讀或重復(fù)計(jì)數(shù)(連續(xù)計(jì)數(shù)同一標(biāo)記)等檢測(cè)誤差時(shí)，可將其檢測(cè)出來(lái)?？傊?，所謂同一列標(biāo)記連續(xù)是指可將標(biāo)記之間的距離設(shè)定在所定范圍內(nèi)(圖示的標(biāo)記1-2之間的距離(最小)～標(biāo)記3-4之間的距離(最大)的范圍)，檢測(cè)時(shí)刻的間隔比前述最小的標(biāo)記之間的距離的輸送時(shí)間更短時(shí)、及相反地，檢測(cè)時(shí)刻的間隔比前述最大的標(biāo)記之間的距離的輸送時(shí)間更長(zhǎng)時(shí)，可將其視為檢測(cè)誤差。
另外，并不限于此，也可以在非描繪區(qū)域W2中，以對(duì)應(yīng)于描繪區(qū)域W1的標(biāo)記的最大間隔(標(biāo)記3-4之間的距離)以下的一定間隔形成標(biāo)記，通過(guò)測(cè)定其檢測(cè)時(shí)刻，可檢測(cè)出檢測(cè)誤差。
如圖所示，上述基準(zhǔn)標(biāo)記M1由比其它標(biāo)記寬一些的標(biāo)記構(gòu)成，通過(guò)檢測(cè)該基準(zhǔn)標(biāo)記M1，使線性傳感器51對(duì)線性標(biāo)尺52的計(jì)數(shù)歸零(參照?qǐng)D8的對(duì)照表350)。圖示的例子中，檢測(cè)出標(biāo)記1～57之后，通過(guò)檢測(cè)基準(zhǔn)標(biāo)記M1，使計(jì)數(shù)回到0，從描繪區(qū)域W1直到位于其相鄰的非描繪區(qū)域W2為止，再次檢測(cè)對(duì)應(yīng)的標(biāo)記1～57。這樣，描繪區(qū)域W1每列都帶有基準(zhǔn)標(biāo)記M1，萬(wàn)一發(fā)生檢測(cè)誤差時(shí)，對(duì)每個(gè)描繪區(qū)域列(檢測(cè)標(biāo)記0～1之間)可對(duì)其進(jìn)行補(bǔ)償。由于基準(zhǔn)標(biāo)記M1示出了沿X軸方向排列的各描繪區(qū)域列W1-a～W1-d(參照?qǐng)D4)的檢測(cè)開(kāi)始位置，因此發(fā)生檢測(cè)誤差后，從后續(xù)的描繪區(qū)域列的噴出開(kāi)始位置起可保持噴出精度。
另外，基準(zhǔn)標(biāo)記M1的形態(tài)并不限于加寬的標(biāo)記，也可以是“+”或“×”等其它形狀，也可以使其顏色或濃度與其它標(biāo)記不同，通過(guò)光照射檢測(cè)反射率的不同。也可以與線性傳感器51相鄰地設(shè)置基準(zhǔn)標(biāo)記用傳感器，并使基準(zhǔn)標(biāo)記M1的尺寸比其它標(biāo)記更大(加長(zhǎng)直線)，用基準(zhǔn)標(biāo)記用傳感器檢測(cè)出基準(zhǔn)標(biāo)記M1。
功能性液滴噴出頭5上設(shè)有由多個(gè)噴嘴5a構(gòu)成的噴嘴列6，且其噴嘴間距與像素間距相對(duì)應(yīng)。噴嘴列6的長(zhǎng)度構(gòu)成與整個(gè)描繪區(qū)域W1相對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)度(用一次主掃描可描繪整個(gè)描繪區(qū)域的長(zhǎng)度)。因此，可對(duì)每個(gè)噴嘴列6驅(qū)動(dòng)控制功能性液體的噴出/不噴射。但是此時(shí)，平時(shí)可將在Y軸方向上相當(dāng)于非描繪區(qū)域W2(描繪區(qū)域W1的間隔)的噴嘴設(shè)定為非驅(qū)動(dòng)狀態(tài)，使用例示的工件W專用的功能性液滴噴出頭5，相當(dāng)于非描繪區(qū)域W2的噴嘴5a最好不存在。
下面參照?qǐng)D8，說(shuō)明檢測(cè)如上所述構(gòu)成的線性標(biāo)尺52時(shí)使用的對(duì)照表350。如圖8所示，對(duì)于與描繪區(qū)域W1相對(duì)應(yīng)的標(biāo)記群(標(biāo)記1～36)，生成噴出信號(hào)，從各噴嘴5a(噴嘴列6)中噴出功能性液體(為ON)。對(duì)于與非描繪區(qū)域W2相對(duì)應(yīng)的標(biāo)記群(標(biāo)記37～57)，不從各噴嘴5a中噴出功能性液體(為OFF)。這樣，按照對(duì)照表350，生成各噴嘴列6的噴出圖案數(shù)據(jù)，基于該噴出圖案數(shù)據(jù)和線性標(biāo)尺52的檢測(cè)時(shí)刻，驅(qū)動(dòng)控制從各噴嘴列6中噴出功能性液體。
另外，對(duì)照表350在描繪整個(gè)工件W時(shí)，也可以采用相當(dāng)?shù)谋砀?，如上所述，由于?biāo)記0～57的周期反復(fù)進(jìn)行，因此也可以僅準(zhǔn)備標(biāo)記0～57部分的表格，以便減少用于存儲(chǔ)對(duì)照表350的存儲(chǔ)器的數(shù)量。
如上所述，采用本實(shí)施形態(tài)的液滴噴出裝置1，由于線性標(biāo)尺52由在工件W上作標(biāo)記的標(biāo)記列52a構(gòu)成，即使溫度變化引起工件W的大小發(fā)生變化時(shí)，也可以保持功能性液體的噴出精度。由于每個(gè)描繪區(qū)域列W1-a～W1-d都帶有以與其它標(biāo)記不同形態(tài)作標(biāo)記的基準(zhǔn)標(biāo)記M1，基于檢測(cè)出基準(zhǔn)標(biāo)記M1，使線性傳感器51對(duì)線性標(biāo)尺52的計(jì)數(shù)歸零，因此萬(wàn)一發(fā)生跳讀或重復(fù)計(jì)數(shù)等檢測(cè)誤差時(shí)，每個(gè)描繪區(qū)域列W1-a～W1-d都可對(duì)其進(jìn)行補(bǔ)償。由于基準(zhǔn)標(biāo)記M1示出了各描繪區(qū)域列的檢測(cè)開(kāi)始位置，因此產(chǎn)生檢測(cè)誤差之后，從后續(xù)的描繪區(qū)域列的噴出開(kāi)始位置起可保持噴出精度。
由于線性標(biāo)尺52形成在非描繪區(qū)域W2中，不會(huì)對(duì)以后切下并被用作產(chǎn)品的描繪區(qū)域W1造成影響。進(jìn)而，由于對(duì)應(yīng)于線性標(biāo)尺52的各描繪區(qū)域列W1-a～W1-d的標(biāo)記個(gè)數(shù)等于向各描繪區(qū)域W1噴出功能性液體的次數(shù)，因此描繪區(qū)域W1中，一旦檢測(cè)出標(biāo)記，可利用一次噴出、簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)來(lái)驅(qū)動(dòng)控制功能性液體的噴出時(shí)刻。從而可減輕CPU210的負(fù)擔(dān)。
上述實(shí)施形態(tài)中，對(duì)應(yīng)于各像素的標(biāo)記個(gè)數(shù)與向各像素噴出功能性液體的次數(shù)相等，但將標(biāo)記個(gè)數(shù)增至2倍，每一次的檢測(cè)每個(gè)標(biāo)記，噴出功能性液體(生成噴出信號(hào))等，可適當(dāng)?shù)馗淖儤?biāo)記個(gè)數(shù)。
線性標(biāo)尺52沿主掃描方向(X軸方向)延伸，但是也可以形成在副掃描方向(Y軸方向)上，其構(gòu)成使得可正確地檢測(cè)出在噴出頭單元15的副掃描方向上的移動(dòng)量。
上述實(shí)施形態(tài)中，檢測(cè)出相當(dāng)于非描繪區(qū)域W2的標(biāo)記M(標(biāo)記37～57)，則不噴出功能性液滴，但是在非描繪區(qū)域W2中也可以與描繪區(qū)域W1同樣地噴出功能性液滴，并將其用作用于檢測(cè)擊打位置偏差的測(cè)試圖案。即，可通過(guò)比較噴到非描繪區(qū)域W2中的功能性液滴的擊打位置與標(biāo)記位置，測(cè)定擊打位置的偏差量，基于此調(diào)整噴出時(shí)刻。采用該構(gòu)成，可進(jìn)一步提高噴出精度。另外，由于形成測(cè)試圖案的噴嘴5a消除了功能性液體的無(wú)效消耗，因此在一個(gè)噴嘴列6中最好限于1～2個(gè)。
上述實(shí)施形態(tài)中，噴嘴列6的長(zhǎng)度為對(duì)應(yīng)于整個(gè)描繪區(qū)域W1的長(zhǎng)度(用一次主掃描可描繪整個(gè)描繪區(qū)域的長(zhǎng)度)，用一次主掃描可對(duì)整個(gè)描繪區(qū)域進(jìn)行描繪，但是當(dāng)噴嘴列6的長(zhǎng)度不足對(duì)應(yīng)于整個(gè)描繪區(qū)域的長(zhǎng)度時(shí)，必須通過(guò)多次掃描(沿工件W的主掃描方向的移動(dòng))進(jìn)行描繪。此時(shí)最好與其掃描次數(shù)相對(duì)應(yīng)地形成標(biāo)記列52a。例如，如圖9所示，沿Y軸方向分離地形成2個(gè)描繪區(qū)域列W1-e、W1-f，采用通過(guò)分別一次掃描可描繪各描繪區(qū)域列W1-e、W1-f的噴嘴列6時(shí)，必須要進(jìn)行共計(jì)2次掃描進(jìn)行描繪。此處，例如僅標(biāo)記出圖示右側(cè)的一個(gè)標(biāo)記列52a作為線性標(biāo)尺52時(shí)，由于功能性液滴噴出頭5和線性傳感器51的位置是固定的(參照?qǐng)D3)，描繪圖示左側(cè)的描繪區(qū)域列W1-e時(shí)，就不能檢測(cè)標(biāo)記列52a了。但是，在圖9的例子中，由于在與圖示左側(cè)的描繪區(qū)域列W1-e相對(duì)應(yīng)的位置上也形成有標(biāo)記列52a，因此與圖示右側(cè)的描繪區(qū)域列同樣地可基于線性傳感器51(線性編碼器50)的檢測(cè)結(jié)果進(jìn)行描繪。即，帶有與功能性液滴噴出頭5(噴出頭單元15)相對(duì)工件W的相對(duì)掃描次數(shù)相當(dāng)?shù)臉?biāo)尺個(gè)數(shù)(標(biāo)記列數(shù))，分多次掃描進(jìn)行描繪時(shí)，也可以保持噴出精度。
下面參照?qǐng)D10和圖11說(shuō)明本發(fā)明的第二實(shí)施形態(tài)。上述實(shí)施形態(tài)中，用在非描繪區(qū)域W2中作標(biāo)記的標(biāo)記列52a構(gòu)成線性標(biāo)尺52，本實(shí)施形態(tài)中，用堤壩部62構(gòu)成相當(dāng)于線性標(biāo)尺52的線性傳感器51的檢測(cè)對(duì)象。下面集中說(shuō)明與第一實(shí)施形態(tài)的不同之處。
圖10(a)是表示在描繪區(qū)域W1中矩陣狀配置的像素(腔室部61)和劃分它們的堤壩部62的立體圖。如上所述，腔室部61的大小是沿X軸方向?yàn)?00(μm)，沿Y軸方向?yàn)?00(μm)，與此相對(duì)，堤壩部62的高度為1～2(μm)。此處，為了便于理解，重點(diǎn)示出堤壩部62。
如該圖所示，線性傳感器51通過(guò)檢測(cè)圖示中最前列的像素列中的堤壩部62，輸出編碼器信號(hào)。此處，例如對(duì)1個(gè)腔室部61噴出3次功能性液滴時(shí)，對(duì)于一個(gè)堤壩部62的檢測(cè)，生成3次噴出信號(hào)。在非描繪區(qū)域W2中，在構(gòu)成檢測(cè)對(duì)象的像素列(圖示時(shí)為最前列的像素列)的延長(zhǎng)線上連續(xù)地形成堤壩部62(僅構(gòu)成檢測(cè)對(duì)象的一列)(圖中未示出)。
本實(shí)施形態(tài)中，由于在描繪區(qū)域W1內(nèi)也形成有構(gòu)成檢測(cè)對(duì)象的堤壩部62，因此最好不要如第一實(shí)施形態(tài)那樣，在對(duì)應(yīng)于各描繪區(qū)域W1的最初的檢測(cè)位置(堤壩部62)上形成相當(dāng)于基準(zhǔn)標(biāo)記M1(參照?qǐng)D6等)的例如加寬的堤壩部62。這是因?yàn)榛鶞?zhǔn)標(biāo)記M1是補(bǔ)償噴出誤差的，噴嘴驅(qū)動(dòng)為“不噴射(OFF)”?？傊?，如果在對(duì)應(yīng)于各描繪區(qū)域W1的最初的堤壩部62處形成基準(zhǔn)標(biāo)記M1，就會(huì)產(chǎn)生不向最初的(沿Y軸方向排列的)像素列噴出功能性液體的故障。因此，本實(shí)施形態(tài)中，對(duì)應(yīng)于各描繪區(qū)域W1的最后的堤壩部62a加寬地構(gòu)成，通過(guò)檢測(cè)該最后的堤壩部62a，可使計(jì)數(shù)歸零。由此，萬(wàn)一發(fā)生檢測(cè)誤差時(shí)，也可對(duì)其進(jìn)行補(bǔ)償。
另外，如果采用上述構(gòu)成，在檢測(cè)基準(zhǔn)標(biāo)記時(shí)(檢測(cè)出加寬的堤壩部時(shí))生成噴出信號(hào)，則也可以在對(duì)應(yīng)于各描繪區(qū)域W1的最初的檢測(cè)位置上形成基準(zhǔn)標(biāo)記M1。如圖10(b)所示，也可以采用下述構(gòu)成構(gòu)成檢測(cè)對(duì)象的僅一列(沿X軸方向排列的)像素列，可在堤壩部62之間設(shè)置堤壩高度低一些的堤壩部62，并使對(duì)一個(gè)像素噴出的次數(shù)與其堤壩部的個(gè)數(shù)相等。采用該構(gòu)成，可通過(guò)簡(jiǎn)單的驅(qū)動(dòng)控制實(shí)現(xiàn)每次檢測(cè)堤壩部62，并生成噴出信號(hào)。在構(gòu)成檢測(cè)對(duì)象的一列像素列中，通過(guò)降低添加的堤壩部62的堤壩高度，可向與其它像素列相同的區(qū)域(腔室部61)中噴出功能性液體，不會(huì)只有檢測(cè)對(duì)象的像素列，像素的大小減小。
下面參照?qǐng)D11說(shuō)明本實(shí)施形態(tài)的變形例。如圖所示，例如在非描繪區(qū)域W2中，用與堤壩部62相同的材質(zhì)和工藝設(shè)置檢測(cè)用堤壩部63，用于線性傳感器51檢測(cè)位置時(shí)使用。此時(shí)，對(duì)一個(gè)堤壩部63生成一個(gè)噴出信號(hào)。則如圖所示，例如，對(duì)一個(gè)像素噴出3次功能性液滴。本例中，對(duì)應(yīng)于各描繪區(qū)域W1的最后的堤壩部63a也是加寬地構(gòu)成，通過(guò)檢測(cè)該最后的堤壩部63a使計(jì)數(shù)歸零。
另外，檢測(cè)用堤壩部63的堤壩間隔不一定非要形成相同的間隔。本例中，由于在非描繪區(qū)域W2中形成有檢測(cè)用堤壩部63，因此與第一實(shí)施形態(tài)同樣，對(duì)應(yīng)于各描繪區(qū)域W1的最初的堤壩部加寬地形成，由此也可使計(jì)數(shù)歸零。
如上所述，采用本實(shí)施形態(tài)，由于將劃分像素的堤壩部62用作線性標(biāo)尺52，即使采用隨溫度變化而產(chǎn)生熱膨脹或變形的工件W時(shí)，也可以保持噴出精度。
通過(guò)在非描繪區(qū)域W2中形成采用與描繪區(qū)域W1的堤壩部62相同的工藝和材質(zhì)的檢測(cè)用堤壩部63，可將其用作線性標(biāo)尺52。由于在非描繪區(qū)域W2中形成檢測(cè)用堤壩部63，可根據(jù)功能性液體的噴出次數(shù)等，自由地設(shè)定堤壩的間隔。
在描繪區(qū)域W1中形成的構(gòu)成檢測(cè)對(duì)象的堤壩部62或在非描繪區(qū)域中形成的檢測(cè)用堤壩部63都可以僅形成與沿Y軸方向排列的描繪區(qū)域列W1-a～W1-d相對(duì)應(yīng)的部分。采用該構(gòu)成，則無(wú)需形成非描繪區(qū)域W2的堤壩部62(或?qū)?yīng)于非描繪區(qū)域W2的檢測(cè)用堤壩部63)。此時(shí)，加寬的堤壩部62a、63a也沒(méi)必要設(shè)置了。這樣的僅在與描繪區(qū)域W1相對(duì)應(yīng)的部分上設(shè)置檢測(cè)對(duì)象(標(biāo)記M)的結(jié)構(gòu)將在后面的第四實(shí)施形態(tài)中說(shuō)明。
下面參照?qǐng)D12至圖16說(shuō)明本發(fā)明的第三實(shí)施形態(tài)。本實(shí)施形態(tài)涉及用多種功能性液體(此處是R、G、B功能性液體)進(jìn)行描繪時(shí)，從不同的噴嘴列6中噴出各功能性液體時(shí)的情況。此處，各噴嘴列R、噴嘴列G、噴嘴列B噴出R、G、B功能性液體，從初始位置以該順序到達(dá)描繪區(qū)域W1那樣地排列。
圖12示出了在沿Y軸方向同色并列的線條排列的描繪區(qū)域W1上進(jìn)行描繪時(shí)的線性標(biāo)尺52。如圖所示，各標(biāo)記列52與各種顏色相對(duì)應(yīng)(從圖示的下側(cè)開(kāi)始與R、G、B相對(duì)應(yīng))，平行地沿X軸方向延伸。由于本實(shí)施形態(tài)中，也向各像素噴出3次功能性液滴，從而進(jìn)行描繪，因此在各像素中相對(duì)應(yīng)地分別作3個(gè)標(biāo)記。在X軸方向上，由于像素以R、G、B的順序排列，因此各標(biāo)記列52a與各顏色相對(duì)應(yīng)地位置偏移地形成。進(jìn)而，各標(biāo)記列52a在描繪區(qū)域W1的圖示左側(cè)側(cè)端部的延長(zhǎng)線上分別帶有基準(zhǔn)標(biāo)記M1，由此可補(bǔ)償檢測(cè)誤差。而且，將基準(zhǔn)標(biāo)記M1設(shè)置在同一延長(zhǎng)線上，各線性傳感器51檢測(cè)的位置在X軸方向產(chǎn)生偏差時(shí)，可將其檢測(cè)出來(lái)。線性傳感器51并列設(shè)置在可分別檢測(cè)對(duì)應(yīng)于各種顏色的標(biāo)記列52a的位置上。
由于采用本實(shí)施形態(tài)，可對(duì)每種顏色的功能性液體檢測(cè)形成的標(biāo)記列52a，因此無(wú)需表示標(biāo)記位置與檢測(cè)該標(biāo)記時(shí)噴出的功能性液體的顏色之間的關(guān)聯(lián)的表格或處理程序等，可簡(jiǎn)單地驅(qū)動(dòng)控制各噴嘴列6。
如圖13所示，當(dāng)從各噴嘴列6中噴出不同顏色的功能性液體時(shí)，不同顏色的像素沿副掃描方向(Y軸方向)排列時(shí)，如果各噴嘴列6都在相同時(shí)刻生成噴出信號(hào)，可與各噴嘴列6之間的距離1相應(yīng)地形成噴出位置(擊打位置)的偏移。因此，考慮各噴嘴列6之間的距離，必須決定噴出時(shí)刻。采用考慮了各噴嘴列6之間距離1的對(duì)照表350(參照?qǐng)D14)，說(shuō)明驅(qū)動(dòng)控制各噴嘴列6的功能性液滴的噴出/不噴射的方法。另外，不同顏色的像素沿副掃描方向排列時(shí)，由于不能同時(shí)驅(qū)動(dòng)排列在噴嘴列中的噴嘴5a，下面對(duì)于噴嘴列R說(shuō)明噴嘴1(以下噴嘴代號(hào)用括號(hào)表示)、(4)…的噴嘴；對(duì)于噴嘴列G說(shuō)明噴嘴(2)、(5)…的噴嘴；對(duì)于噴嘴列B說(shuō)明噴嘴(3)、(7)…的噴嘴的驅(qū)動(dòng)情況(噴嘴(4)～(7)圖中未示出)。
例如，如圖13所示，向各像素噴出3次各色功能性液體，在噴嘴列6之間的距離1中等間隔地與一個(gè)像素相對(duì)應(yīng)地作標(biāo)記時(shí)，通過(guò)標(biāo)記1、標(biāo)記4、標(biāo)記7的位置檢測(cè)，噴出R功能性液滴，通過(guò)標(biāo)記2、標(biāo)記5、標(biāo)記8的位置檢測(cè)，噴出G功能性液滴。即，如圖14的對(duì)照表350所示，噴嘴列G相對(duì)于噴嘴列R，噴嘴列之間的距離各錯(cuò)開(kāi)一個(gè)，通過(guò)檢測(cè)該位置的標(biāo)記來(lái)生成噴出信號(hào)。同樣地，噴嘴列B相對(duì)于噴嘴列G，噴嘴列之間的距離各錯(cuò)開(kāi)一個(gè)，通過(guò)檢測(cè)該位置的標(biāo)記來(lái)生成噴出信號(hào)。
由此，采用本實(shí)施形態(tài)，考慮到噴嘴列6之間的距離，采用對(duì)應(yīng)于各噴嘴列6的對(duì)照表350，以便通過(guò)檢測(cè)僅錯(cuò)開(kāi)其距離大小的位置上的標(biāo)記來(lái)生成噴出信號(hào)，即使用多個(gè)噴嘴列6進(jìn)行描繪時(shí)，也可以不用處理程序等，容易地驅(qū)動(dòng)控制各噴嘴列6。由此，可減少用于生成噴出信號(hào)(噴出圖案數(shù)據(jù))的控制程序所需的數(shù)據(jù)量，控制程序可存儲(chǔ)在一般市場(chǎng)銷售的便攜存儲(chǔ)媒體(CD-ROM或DVD等)中。
另外，標(biāo)記之間的距離不一定與各噴嘴列之間的距離1相同，間隔是噴嘴列之間距離的整數(shù)分之一也可以。例如，如圖13所示的標(biāo)記列52a的標(biāo)記個(gè)數(shù)增至2倍時(shí)，標(biāo)記之間的距離為1/2，此時(shí)，可以檢測(cè)標(biāo)記位置2、標(biāo)記位置8、標(biāo)記位置14，來(lái)生成噴嘴列R的噴出信號(hào)。即，也可以與各標(biāo)記位置相對(duì)應(yīng)地生成表格，該表格可決定功能性液滴的噴出/不噴射。
而且，即使當(dāng)每個(gè)噴嘴列6不會(huì)噴出不同種類的功能性液體，而是從多個(gè)噴嘴列6中噴出同樣的功能性液體時(shí)，本實(shí)施形態(tài)也可適用。采用多個(gè)功能性液滴噴出頭5時(shí)，也可以通過(guò)檢測(cè)錯(cuò)開(kāi)噴出頭之間的距離(即噴嘴之間的距離)的標(biāo)記位置，來(lái)生成噴出信號(hào)。
圖13所示的例子中，用1個(gè)線性傳感器51檢測(cè)標(biāo)記列52a，但是，也可以如圖15所示，每種顏色設(shè)置線性傳感器51，通過(guò)檢測(cè)在僅錯(cuò)開(kāi)1個(gè)噴嘴列之間距離的位置上形成的標(biāo)記，來(lái)生成噴出信號(hào)。采用該構(gòu)成，不用每個(gè)噴嘴列6用一個(gè)對(duì)照表，可用同一個(gè)對(duì)照表驅(qū)動(dòng)控制所有的噴嘴列6。
如圖16所示，進(jìn)行沿副掃描方向同色的像素并列的線條排列的描繪時(shí)，每個(gè)噴嘴列6可生成噴出信號(hào)，相對(duì)于設(shè)置的對(duì)應(yīng)于R像素的標(biāo)記群Mr，對(duì)應(yīng)于G像素的標(biāo)記群Mg的設(shè)置僅錯(cuò)開(kāi)1個(gè)噴嘴列R與噴嘴列G的噴嘴之間的距離。同樣地，相對(duì)于設(shè)置的對(duì)應(yīng)于R像素的標(biāo)記群Mr，對(duì)應(yīng)于B像素的標(biāo)記群Mb的設(shè)置僅錯(cuò)開(kāi)噴嘴列R與噴嘴列B的噴嘴之間的距離1的2倍的距離。采用該構(gòu)成，與圖15的例子同樣，不用每個(gè)噴嘴列6用一個(gè)對(duì)照表，可用同一個(gè)對(duì)照表驅(qū)動(dòng)控制所有的噴嘴列6。
下面參照?qǐng)D17和圖18，說(shuō)明本發(fā)明的第四實(shí)施形態(tài)。上述實(shí)施形態(tài)中，線性標(biāo)尺52由沿X軸方向連續(xù)的標(biāo)記列52a構(gòu)成，但是，本實(shí)施形態(tài)的線性標(biāo)尺52由每個(gè)描繪區(qū)域列分離地設(shè)置的標(biāo)記列52a構(gòu)成。在此集中說(shuō)明與第一實(shí)施形態(tài)的不同之處。為了便于說(shuō)明，假定用一列噴嘴列6進(jìn)行描繪，并說(shuō)明此時(shí)的情況。
如圖17所示，構(gòu)成本實(shí)施形態(tài)的線性標(biāo)尺52的標(biāo)記列52a在沿垂直于X軸方向(線性傳感器51的檢測(cè)方向)的方向排列的每個(gè)描繪區(qū)域列中分離地設(shè)置。因此，在由沿X軸方向排列的4個(gè)描繪區(qū)域列W1-a～W1-d構(gòu)成的工件W上，由4個(gè)標(biāo)記列52a構(gòu)成線性標(biāo)尺52。各標(biāo)記列52a由全部相同形態(tài)的標(biāo)記M形成標(biāo)記，沒(méi)有第一實(shí)施形態(tài)那樣的基準(zhǔn)標(biāo)記M1。
如圖18所示，標(biāo)記列52a分別對(duì)應(yīng)于從檢測(cè)開(kāi)始位置(標(biāo)記1)開(kāi)始的每個(gè)描繪區(qū)域列的標(biāo)記位置1～36、37～72、73～108(標(biāo)記位置40以后圖中未示出)，對(duì)應(yīng)于各像素(腔室部61)的標(biāo)記個(gè)數(shù)等于功能性液滴的噴出次數(shù)，各設(shè)置3個(gè)。由于標(biāo)記列52a僅在對(duì)應(yīng)于各描繪區(qū)域列W1-a～W1-d的位置作標(biāo)記，因此對(duì)應(yīng)于所有這些標(biāo)記位置的噴嘴列6為“噴出(ON)”狀態(tài)。即，本實(shí)施形態(tài)中，每次標(biāo)記檢測(cè)，通過(guò)噴出一次功能性液滴的簡(jiǎn)單構(gòu)成，即可驅(qū)動(dòng)控制噴出時(shí)刻。因此，無(wú)需采用圖8所示的對(duì)照表350。而且，由于每次標(biāo)記檢測(cè)都生成噴出信號(hào)(不計(jì)數(shù)標(biāo)記位置)，因此即使萬(wàn)一產(chǎn)生跳讀或重復(fù)計(jì)數(shù)時(shí)，也不會(huì)影響此后的功能性液體的噴出。
由此，采用本實(shí)施形態(tài)，構(gòu)成線性標(biāo)尺52的標(biāo)記列52a分離地設(shè)置在沿垂直于線性傳感器51的檢測(cè)方向的方向排列的每個(gè)描繪區(qū)域列中，由于對(duì)應(yīng)于標(biāo)記列52a的各描繪區(qū)域列的標(biāo)記個(gè)數(shù)等于向各描繪區(qū)域列噴出功能性液體的次數(shù)，因此每次標(biāo)記檢測(cè)，通過(guò)噴出一次功能性液體的簡(jiǎn)單構(gòu)成，可驅(qū)動(dòng)控制各噴嘴列6的噴出時(shí)刻。因此，可減輕CPU210的負(fù)擔(dān)，同時(shí)即使不用表現(xiàn)標(biāo)記位置與功能性液體的噴出/不噴射的對(duì)應(yīng)關(guān)系的對(duì)照表，也可以僅通過(guò)檢測(cè)標(biāo)記來(lái)進(jìn)行描繪。
另外，當(dāng)向各像素噴出功能性液體的次數(shù)與標(biāo)記個(gè)數(shù)單純地不一致時(shí)，本實(shí)施形態(tài)也必須要用對(duì)照表350，此時(shí)，無(wú)需象第一實(shí)施形態(tài)那樣地設(shè)置基準(zhǔn)標(biāo)記M1。這是因?yàn)?，本?shí)施形態(tài)通過(guò)標(biāo)記列52a之間的分離距離，可辨認(rèn)出各描繪區(qū)域W1的檢測(cè)開(kāi)始。因此，萬(wàn)一發(fā)生跳讀或重復(fù)計(jì)數(shù)等檢測(cè)誤差時(shí)，可從后續(xù)的描繪區(qū)域W1的噴出開(kāi)始位置起補(bǔ)償檢測(cè)誤差，從而可保持噴出精度。
下面參照?qǐng)D19至圖21，說(shuō)明本發(fā)明的第五實(shí)施形態(tài)。上述實(shí)施形態(tài)中，用一個(gè)線性傳感器51(進(jìn)行R、G、B描繪時(shí)，用對(duì)應(yīng)于各種顏色的3個(gè)線性傳感器51)進(jìn)行位置檢測(cè)，但是，本實(shí)施形態(tài)用在Y軸方向上分開(kāi)的2個(gè)線性傳感器51、51進(jìn)行位置檢測(cè)，基于這兩個(gè)線性傳感器51、51的輸出偏差，對(duì)各噴嘴5a的噴出時(shí)刻進(jìn)行補(bǔ)正。采用該構(gòu)成，可實(shí)現(xiàn)對(duì)工件W的輸送偏差(偏轉(zhuǎn))所引起的功能性液體的噴出位置的偏差進(jìn)行補(bǔ)正的效果。此處集中說(shuō)明與上述實(shí)施形態(tài)的不同之處。
如圖19所示，本實(shí)施形態(tài)中的線性標(biāo)尺52由在Y軸方向上分開(kāi)設(shè)置的2個(gè)標(biāo)記列52a構(gòu)成，分別平行設(shè)置在工件W的Y軸方向側(cè)端部附近。而且，各標(biāo)記列52a在X軸方向上的標(biāo)記間隔、標(biāo)記個(gè)數(shù)及配置位置不一定都一樣。各標(biāo)記列52a在每個(gè)描繪區(qū)域W1中設(shè)有用于補(bǔ)償檢測(cè)偏差的基準(zhǔn)標(biāo)記M1，該基準(zhǔn)標(biāo)記M1的配置位置在X軸方向上是一樣的。
另一方面，線性傳感器51設(shè)置在對(duì)應(yīng)于各標(biāo)記列52a的位置上，本實(shí)施形態(tài)時(shí)，由于線性標(biāo)尺52由2個(gè)標(biāo)記列52a構(gòu)成，用2個(gè)線性傳感器51a、51b檢測(cè)各標(biāo)記列52a。而且，線性傳感器51a、51b設(shè)置在Y軸方向上的與功能性液滴噴出頭5上的左右端的噴嘴5a、5a相同的位置上，或設(shè)置在距離噴嘴列6的中心位置65相同距離的位置上。
在本實(shí)施形態(tài)的情況下，通過(guò)使工件W相對(duì)于功能性液滴噴出頭5移動(dòng)，來(lái)進(jìn)行主掃描方向的描繪，但是此時(shí)，如圖20所示，假設(shè)工件W的移動(dòng)偏離了垂直于功能性液滴噴出頭5的方向。例如，如果線性傳感器51a檢測(cè)任意的標(biāo)記M2的時(shí)刻為t1，線性傳感器51b檢測(cè)位于上述任意標(biāo)記的延長(zhǎng)線上(在X軸方向上的同一位置)的標(biāo)記M3的時(shí)刻為t2，當(dāng)t2＞t1時(shí)，產(chǎn)生了(t2-t1)的檢測(cè)時(shí)刻的偏差。
此時(shí)，根據(jù)線性傳感器51a與線性傳感器51b的檢測(cè)時(shí)刻的偏差，可檢測(cè)出工件W的輸送偏差(工件W傾斜地輸送)，進(jìn)而根據(jù)哪個(gè)線性傳感器51先檢測(cè)出來(lái)的，可檢測(cè)出偏斜的方向?？傊?，由于t2＞t1時(shí)，線性傳感器51a的設(shè)置側(cè)(圖中的左側(cè))在前地輸送，考慮到其輸送偏差，驅(qū)動(dòng)控制時(shí)，延遲排列在功能性液滴噴出頭5中的多個(gè)噴嘴中的線性傳感器51b的設(shè)置側(cè)(圖中右側(cè))的噴出時(shí)刻。即，一個(gè)功能性液滴噴出頭5中排列有n個(gè)噴嘴時(shí)，從噴嘴代號(hào)(n)向噴嘴代號(hào)(1)，使其噴出時(shí)刻各延遲(t2-t1)/n，從而可對(duì)功能性液滴噴到工件W上的位置(擊打位置)進(jìn)行補(bǔ)正。
但是，此時(shí)除了基準(zhǔn)標(biāo)記M1，標(biāo)記形態(tài)全部相同，因此不能判斷用線性傳感器51a檢測(cè)到的標(biāo)記與用線性傳感器51b檢測(cè)到的標(biāo)記在X軸方向上是否位于相同位置。當(dāng)工件W的輸送速度為v時(shí)，檢測(cè)時(shí)刻的偏差(t2-t1)大于等于標(biāo)記間距離1m(如圖6所示，標(biāo)記之間的距離不均等時(shí)，最好為最小值的標(biāo)記間距離(例如標(biāo)記1與標(biāo)記2之間的距離))的輸送時(shí)間1m/v的1/2時(shí)，進(jìn)行錯(cuò)誤報(bào)告?？傊?，如果檢測(cè)時(shí)刻的偏差(t2-t1)大于等于標(biāo)記間距離1m的輸送時(shí)間1m/v的1/2，當(dāng)線性傳感器51a的標(biāo)記M2與相鄰的標(biāo)記M4的檢測(cè)時(shí)間為t3時(shí)，不能判斷在X軸方向上與標(biāo)記M3位于同一位置的標(biāo)記是M2還是M4。因此，當(dāng)(t2-t1)≥1m/v×1/2，即(t2-t1)×v≥1m/2時(shí)，進(jìn)行錯(cuò)誤報(bào)告，督促操作者注意中止描繪處理，并修正輸送偏差。
下面參照?qǐng)D21的流程圖，說(shuō)明對(duì)各噴嘴5a的噴出時(shí)刻進(jìn)行的補(bǔ)正處理。如果線性傳感器51a為傳感器A，線性傳感器51b為傳感器B，用傳感器A或傳感器B在時(shí)間t1檢測(cè)任意標(biāo)記之后(S1)，用另一個(gè)傳感器在時(shí)間t2檢測(cè)標(biāo)記(S2)，根據(jù)它們的檢測(cè)結(jié)果，當(dāng)(t2-t1)×v≥1m/2時(shí)(S3為是)，即，線性傳感器51a、51b的輸出偏差超過(guò)所定量時(shí)，進(jìn)行錯(cuò)誤報(bào)告(S4)。錯(cuò)誤報(bào)告可以通過(guò)顯示器顯示出來(lái)，也可以顯示在與主機(jī)300連接的顯示畫面(圖中未示出)上?；蛘咭部梢杂寐曇舻葓?bào)知。
另一方面，當(dāng)(t2-t1)×v＜1m/2(S3為否)時(shí)，對(duì)于各噴嘴5a僅補(bǔ)正(t2-t1)/n，即以傳感器A與傳感器B的檢測(cè)時(shí)刻的偏差除以噴嘴個(gè)數(shù)所得到的時(shí)間補(bǔ)正噴出時(shí)刻(S5)。此時(shí)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，t2＞t1時(shí)，使噴嘴代號(hào)(1)側(cè)延遲，當(dāng)t2＜t1時(shí)，使噴嘴代號(hào)(n)側(cè)延遲。
另外，(S3)中的判斷為小于標(biāo)記間距離1m的輸送時(shí)間1m/v的1/2，且大于等于1/3時(shí)，可根據(jù)允許的輸送偏差量適當(dāng)?shù)刈兏?。而且，線性標(biāo)尺52可以由不是2個(gè)標(biāo)記列52a，而是多個(gè)標(biāo)記列52a構(gòu)成，但是此時(shí)，2個(gè)線性傳感器51最好都設(shè)置在工件W的Y軸方向側(cè)端部的附近。
如上所述，采用本實(shí)施形態(tài)，線性編碼器50由由多個(gè)標(biāo)記列52a構(gòu)成的線性標(biāo)尺52和面對(duì)該多個(gè)標(biāo)記列52a的多個(gè)線性傳感器51構(gòu)成，基于上述多個(gè)線性傳感器51的輸出偏差，對(duì)各噴嘴5a的噴出時(shí)刻進(jìn)行補(bǔ)正，因此隨著功能性液滴噴出頭5(噴出頭單元15)和/或工件W的相對(duì)移動(dòng)，即使噴出位置產(chǎn)生偏差時(shí)，也可在噴嘴單元中消除該偏差。即，不用設(shè)置特別的機(jī)構(gòu)，通過(guò)簡(jiǎn)單的構(gòu)成，即可利用線性傳感器51消除伴隨相對(duì)移動(dòng)而產(chǎn)生的噴出位置的偏差。
由于多個(gè)標(biāo)記列52a中的至少2個(gè)標(biāo)記列52a分別設(shè)在工件W的兩側(cè)端部附近，因此可更確實(shí)地檢測(cè)出伴隨相對(duì)移動(dòng)而產(chǎn)生的噴出位置的偏差。進(jìn)而，由于當(dāng)多個(gè)線性傳感器51的輸出偏差超過(guò)所定量時(shí)進(jìn)行錯(cuò)誤報(bào)告，因此可督促用戶判斷是否要繼續(xù)進(jìn)行處理。另外此時(shí)，可在錯(cuò)誤報(bào)告的同時(shí)停止描繪處理。采用這種構(gòu)成，可避免噴出位置的偏差造成的有效利用率的下降。
另外，上述實(shí)施形態(tài)舉例說(shuō)明了采用帶有通過(guò)一次掃描可描繪整個(gè)描繪區(qū)域的噴嘴列6的功能性液滴噴出頭5時(shí)的情況，但是，通過(guò)多次掃描進(jìn)行描繪時(shí)，最好基于線性傳感器51、51的位置與各次掃描時(shí)各噴嘴5a的位置，對(duì)噴出時(shí)刻進(jìn)行補(bǔ)正。即，此時(shí)，對(duì)各噴嘴5a的噴出時(shí)刻的補(bǔ)正不是(t2-t1)/n，而是增加了從各線性傳感器51、51起的在Y軸方向上的相對(duì)位置作為參數(shù)。
采用多個(gè)噴嘴列6時(shí)，或用R、G、B功能性液體進(jìn)行描繪時(shí)，形成對(duì)應(yīng)于各噴嘴列6的標(biāo)記列52a時(shí)(例如圖12所示的例子時(shí))，最好由至少噴嘴個(gè)數(shù)的2倍以上的標(biāo)記列52a來(lái)構(gòu)成線性標(biāo)尺52。采用該構(gòu)成，對(duì)例如每個(gè)噴嘴列6檢測(cè)線性標(biāo)尺52，同時(shí)可消除伴隨相對(duì)移動(dòng)而產(chǎn)生的噴出位置的偏差。即，即使當(dāng)采用多個(gè)噴嘴列6或者噴出多種功能性液體時(shí)，也無(wú)需表現(xiàn)標(biāo)記位置與通過(guò)檢測(cè)該標(biāo)記而噴射的噴嘴列6之間的關(guān)聯(lián)的表格或處理程序等，即可簡(jiǎn)單地驅(qū)動(dòng)控制各噴嘴列6。
而且，在非描繪區(qū)域W2中設(shè)有檢測(cè)用堤壩部63時(shí)(圖11所示的例子)，最好多個(gè)檢測(cè)用堤壩部63中的至少2個(gè)檢測(cè)用堤壩部63分別設(shè)在工件W的兩側(cè)端部的附近。采用該構(gòu)成，可更確實(shí)地檢測(cè)出伴隨噴出頭單元15和/或工件W的相對(duì)移動(dòng)而產(chǎn)生的噴出位置的偏差。
另外，圖19示出了標(biāo)記列52a連續(xù)設(shè)置在X軸方向上，且每個(gè)描繪區(qū)域列中都帶有基準(zhǔn)標(biāo)記M1的相當(dāng)于第一實(shí)施形態(tài)的例子，但是并不僅限于此，本實(shí)施形態(tài)當(dāng)然也可適用于標(biāo)記列52a分離的狀態(tài)(第四實(shí)施形態(tài))中。
以上說(shuō)明了第一實(shí)施形態(tài)至第五實(shí)施形態(tài)，采用本發(fā)明的液滴噴出裝置1，由于線性標(biāo)尺52由在工件W上作標(biāo)記的標(biāo)記列52a構(gòu)成，因此即使溫度變化導(dǎo)致工件W的大小發(fā)生變化時(shí)，也可以保持功能性液體的噴出精度。
特別是采用本發(fā)明的第一實(shí)施形態(tài)，由于線性標(biāo)尺52內(nèi)帶有基準(zhǔn)標(biāo)記M1，基準(zhǔn)標(biāo)記M1以與其它標(biāo)記不同的形態(tài)作標(biāo)記，同時(shí)在每個(gè)描繪區(qū)域列中都有，因此基于檢測(cè)到的基準(zhǔn)標(biāo)記M1，可使線性傳感器51對(duì)線性標(biāo)尺52的計(jì)數(shù)歸零，萬(wàn)一發(fā)生跳讀或重復(fù)計(jì)數(shù)等檢測(cè)誤差時(shí)，可在每個(gè)描繪區(qū)域列中對(duì)其進(jìn)行補(bǔ)償(修正)。而且，由于基準(zhǔn)標(biāo)記M1示出了各描繪區(qū)域列的檢測(cè)開(kāi)始位置，因此產(chǎn)生檢測(cè)誤差后，可從后續(xù)的描繪區(qū)域W1的噴出開(kāi)始位置起保持噴出精度。
采用本發(fā)明的第二實(shí)施形態(tài)所述的液滴噴出裝置1，由于將劃分像素(腔室部61)的堤壩部62用作線性標(biāo)尺52，因此即使采用隨著溫度變化而產(chǎn)生熱膨脹或變形的工件W時(shí)，也無(wú)需形成線性標(biāo)尺52的工序(在工件W上作標(biāo)記的工序)，即可保持噴出精度。而且，由于在非描繪區(qū)域W2中形成與描繪區(qū)域W1的堤壩部62采用相同工藝及相同材質(zhì)的檢測(cè)用堤壩部63，可將其用作線性標(biāo)尺52，因此與上述同樣地?zé)o需形成線性標(biāo)尺52的工序。由于檢測(cè)用堤壩部63是在非描繪區(qū)域W2中形成的，因此可根據(jù)功能性液體的噴出次數(shù)等自由設(shè)定堤壩的間隔。
采用本發(fā)明的第三實(shí)施形態(tài)所述的液滴噴出裝置1，用多個(gè)噴嘴列6進(jìn)行描繪時(shí)，由于考慮到噴嘴列6之間的距離，采用與各噴嘴列6相對(duì)應(yīng)的對(duì)照表350，通過(guò)檢測(cè)僅錯(cuò)開(kāi)該距離的位置上的標(biāo)記，來(lái)生成噴出信號(hào)，因此不用處理程序等，即可容易地驅(qū)動(dòng)控制各噴嘴列6。由此，可減少用于生成噴出信號(hào)(噴出圖案數(shù)據(jù))的控制程序所需的數(shù)據(jù)量。
采用本發(fā)明第四實(shí)施形態(tài)所述的液滴噴出裝置1，構(gòu)成線性標(biāo)尺52的多個(gè)標(biāo)記列52a分離地設(shè)置在每個(gè)描繪區(qū)域列中，由于對(duì)應(yīng)于標(biāo)記列52a的各描繪區(qū)域列的標(biāo)記個(gè)數(shù)等于向各描繪區(qū)域W1噴出功能性液體的次數(shù)，因此每次檢測(cè)標(biāo)記，可通過(guò)噴出功能性液體的簡(jiǎn)單構(gòu)成來(lái)驅(qū)動(dòng)控制各噴嘴列6的噴出時(shí)刻。由此，可減輕控制裝置(CPU等)的負(fù)擔(dān)，同時(shí)即使不用表現(xiàn)標(biāo)記位置與功能性液體的噴出/不噴射之間的對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)的對(duì)照表350，也可以僅通過(guò)檢測(cè)標(biāo)記來(lái)進(jìn)行描繪。
采用本發(fā)明第五實(shí)施形態(tài)所述的液滴噴出裝置1，多個(gè)標(biāo)記列52a被與其分別對(duì)應(yīng)的多個(gè)線性傳感器51檢測(cè)，由于基于上述多個(gè)線性傳感器51輸出的偏差，可對(duì)各噴嘴5a的噴出時(shí)刻進(jìn)行補(bǔ)正，因此即使隨著功能性液滴噴出頭5(噴出頭單元15)和/或工件W相對(duì)的輸送偏移，產(chǎn)生噴出位置(擊打位置)的偏差時(shí)，也可以在噴嘴單元中消除該偏差。即，利用線性傳感器51，無(wú)需設(shè)置特別的機(jī)構(gòu)，通過(guò)簡(jiǎn)單的構(gòu)成可消除伴隨相對(duì)移動(dòng)而產(chǎn)生的噴出位置的偏差。
另外，上述例子舉例說(shuō)明了采用玻璃基板作為工件W時(shí)的情況，但是并不限于此，由樹(shù)脂構(gòu)成片層狀的基板等，只要是由于溫度變化而產(chǎn)生熱膨脹或變形的基板都可以適用本發(fā)明。
本發(fā)明的電光裝置(設(shè)備)并不僅限于上述有機(jī)EL裝置701，也可適用于液晶顯示裝置、電子發(fā)射裝置、PDP(等離子顯示屏)裝置及電泳顯示裝置等。另外，電子發(fā)射裝置是包含所謂FED(場(chǎng)致發(fā)射顯示)裝置的概念。進(jìn)而，作為電光裝置是指包含形成金屬布線、形成透鏡、形成保護(hù)層及形成光擴(kuò)散體等的裝置。
作為搭載上述電光裝置的電子設(shè)備，除了搭載所謂平板顯示器的移動(dòng)電話、個(gè)人計(jì)算機(jī)以外，還包括其它各種電子產(chǎn)品。
而且，在不脫離本發(fā)明的范圍內(nèi)，可對(duì)液滴噴出裝置1的裝置構(gòu)成、構(gòu)成線性標(biāo)尺52的標(biāo)記的形態(tài)等進(jìn)行適當(dāng)?shù)刈兏?br> 如上所述，采用本發(fā)明的液滴噴出裝置、液滴噴出方法、電光裝置的制造方法、電光裝置、電子設(shè)備及基板，由于線性標(biāo)尺由在工件上作標(biāo)記的標(biāo)記列構(gòu)成，因此即使溫度變化引起工件的大小產(chǎn)生變化時(shí)，也能保持功能性液體的噴出精度。而且，由于線性標(biāo)尺在每個(gè)描繪區(qū)域列中都有基準(zhǔn)標(biāo)記，基于該基準(zhǔn)標(biāo)記的檢測(cè)可使線性傳感器對(duì)線性標(biāo)尺的計(jì)數(shù)歸零，因此萬(wàn)一發(fā)生跳讀或重復(fù)計(jì)數(shù)等檢測(cè)誤差時(shí)，每個(gè)描繪區(qū)域列都可對(duì)其進(jìn)行補(bǔ)償。
權(quán)利要求
1.一種液滴噴出裝置，該液滴噴出裝置通過(guò)從排列在功能性液滴噴出頭上的噴嘴列中選擇性地噴出功能性液體，在工件上進(jìn)行描繪，其特征在于，該裝置帶有下述部件將前述功能性液滴噴出頭搭載在滑架上的噴出頭單元，實(shí)現(xiàn)前述噴出頭單元與工件之間的相對(duì)移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，由線性標(biāo)尺和面對(duì)該線性標(biāo)尺的線性傳感器構(gòu)成的線性編碼器，和基于前述線性傳感器對(duì)前述線性標(biāo)尺的計(jì)數(shù)結(jié)果，驅(qū)動(dòng)控制從前述噴嘴列中噴出功能性液體的驅(qū)動(dòng)控制機(jī)構(gòu)；其中上述工件設(shè)有矩陣狀配置的多個(gè)描繪區(qū)域和劃分該描繪區(qū)域的非描繪區(qū)域，上述線性編碼器檢測(cè)前述噴出頭單元與前述工件之間的相對(duì)移動(dòng)位置，上述線性標(biāo)尺由在前述工件上連續(xù)形成標(biāo)記的標(biāo)記列構(gòu)成，前述線性標(biāo)尺帶有基準(zhǔn)標(biāo)記，該基準(zhǔn)標(biāo)記示出了排列在垂直于前述線性傳感器的檢測(cè)方向的方向上的各描繪區(qū)域列的檢測(cè)開(kāi)始位置，該基準(zhǔn)標(biāo)記以與其它標(biāo)記不同的形態(tài)作標(biāo)記，前述驅(qū)動(dòng)控制機(jī)構(gòu)基于檢測(cè)到的前述基準(zhǔn)標(biāo)記，使前述線性傳感器對(duì)前述線性標(biāo)尺的計(jì)數(shù)歸零。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于，前述線性標(biāo)尺形成在前述非描繪區(qū)域中。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于，前述標(biāo)記列的與各描繪區(qū)域列相對(duì)應(yīng)的標(biāo)記個(gè)數(shù)等于向該描繪區(qū)域噴出功能性液體的次數(shù)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于，前述描繪區(qū)域包含在噴出前述功能性液體的同時(shí)構(gòu)成像素的多個(gè)腔室部和劃分該腔室部的堤壩部，前述線性傳感器檢測(cè)代替前述標(biāo)記列的前述堤壩部。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的液滴噴出裝置，其特征在于，前述非描繪區(qū)域帶有與前述描繪區(qū)域的堤壩部材質(zhì)相同的檢測(cè)用堤壩部，且該檢測(cè)用堤壩部可用作前述標(biāo)記列，前述線性傳感器檢測(cè)前述檢測(cè)用堤壩部。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于，構(gòu)成前述線性標(biāo)尺的標(biāo)尺個(gè)數(shù)相當(dāng)于前述噴出頭單元對(duì)前述工件的相對(duì)掃描次數(shù)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于，通過(guò)噴出多種功能性液體來(lái)描繪前述描繪區(qū)域，由相當(dāng)于前述功能性液體的種類數(shù)的標(biāo)尺個(gè)數(shù)構(gòu)成線性標(biāo)尺，前述線性編碼器通過(guò)對(duì)應(yīng)于各線性標(biāo)尺的前述線性傳感器來(lái)檢測(cè)如上所述構(gòu)成的線性標(biāo)尺。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于，多個(gè)噴嘴列通過(guò)前述功能性液滴噴出頭排列在前述噴出頭單元上，當(dāng)該噴嘴列之間的距離為1時(shí)，前述線性標(biāo)尺的標(biāo)記列具有1/n(n為大于等于1的整數(shù))的標(biāo)記間隔，該液滴噴出裝置還帶有對(duì)照表，該對(duì)照表表現(xiàn)出前述標(biāo)記列的標(biāo)記位置與檢測(cè)該標(biāo)記位置時(shí)的各噴嘴列的噴出/不噴射功能性液體之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，前述驅(qū)動(dòng)控制機(jī)構(gòu)參照前述對(duì)照表，對(duì)從各噴嘴列中噴出功能性液體進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于，多個(gè)噴嘴列通過(guò)前述功能性液滴噴出頭排列在前述噴出頭單元上，將該多個(gè)噴嘴列中的任意一個(gè)作為基準(zhǔn)噴嘴列，同時(shí)由相當(dāng)于前述噴嘴列數(shù)量的標(biāo)尺個(gè)數(shù)構(gòu)成線性標(biāo)尺，前述線性編碼器通過(guò)對(duì)應(yīng)于各噴嘴列的前述線性傳感器來(lái)檢測(cè)如上所述構(gòu)成的線性標(biāo)尺時(shí)，構(gòu)成各線性標(biāo)尺的標(biāo)記列位于在前述線性傳感器的檢測(cè)方向上，僅錯(cuò)開(kāi)對(duì)應(yīng)的噴嘴列距前述基準(zhǔn)噴嘴列的距離的位置上。
10.一種液滴噴出方法，該液滴噴出方法通過(guò)從排列在功能性液滴噴出頭上的噴嘴列中選擇性地噴出功能性液體，在工件上進(jìn)行描繪，其特征在于，該方法由下述工序構(gòu)成實(shí)現(xiàn)將前述功能性液滴噴出頭搭載在滑架上的噴出頭單元與工件之間的相對(duì)移動(dòng)的工序，用線性標(biāo)尺和面對(duì)該線性標(biāo)尺的線性傳感器檢測(cè)前述噴出頭單元與前述工件之間的相對(duì)移動(dòng)位置的工序，和基于前述移動(dòng)位置的檢測(cè)結(jié)果，對(duì)從前述噴嘴列中噴出功能性液體進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制的工序；其中上述工件設(shè)有矩陣狀配置的多個(gè)描繪區(qū)域和劃分該描繪區(qū)域的非描繪區(qū)域，上述線性標(biāo)尺由在前述工件上連續(xù)形成標(biāo)記的標(biāo)記列構(gòu)成，在前述線性標(biāo)尺上以與其它標(biāo)記不同的形態(tài)作標(biāo)記，形成基準(zhǔn)標(biāo)記，該基準(zhǔn)標(biāo)記示出了排列在垂直于前述線性傳感器的檢測(cè)方向的方向上的各描繪區(qū)域列的檢測(cè)開(kāi)始位置，前述驅(qū)動(dòng)控制工序基于檢測(cè)到的前述基準(zhǔn)標(biāo)記，使前述線性傳感器對(duì)前述線性標(biāo)尺的計(jì)數(shù)歸零。
11.一種液滴噴出裝置，該液滴噴出裝置通過(guò)從排列在功能性液滴噴出頭上的噴嘴列中選擇性地噴出功能性液體，在工件上進(jìn)行描繪，其特征在于，該裝置帶有下述部件將前述功能性液滴噴出頭搭載在滑架上的噴出頭單元，實(shí)現(xiàn)前述噴出頭單元與工件之間的相對(duì)移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，由形成在前述工件上的線性標(biāo)尺和面對(duì)該線性標(biāo)尺的線性傳感器構(gòu)成的線性編碼器，和基于前述線性編碼器的檢測(cè)結(jié)果，驅(qū)動(dòng)控制從前述噴嘴列中噴出功能性液體的驅(qū)動(dòng)控制機(jī)構(gòu)；其中上述工件設(shè)有矩陣狀配置的多個(gè)描繪區(qū)域和劃分該描繪區(qū)域的非描繪區(qū)域，上述線性編碼器檢測(cè)前述噴出頭單元與前述工件之間的相對(duì)移動(dòng)位置，前述描繪區(qū)域包含在噴出前述功能性液體的同時(shí)構(gòu)成像素的多個(gè)腔室部和劃分該腔室部的堤壩部，前述線性標(biāo)尺由前述堤壩部構(gòu)成。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的液滴噴出裝置，其特征在于，構(gòu)成前述線性傳感器的檢測(cè)對(duì)象的堤壩部在其檢測(cè)方向上，連續(xù)形成在前述非描繪區(qū)域中。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的液滴噴出裝置，其特征在于，前述非描繪區(qū)域帶有與前述描繪區(qū)域的堤壩部材質(zhì)相同的檢測(cè)用堤壩部，且該檢測(cè)用堤壩部可用作前述標(biāo)記列，前述線性標(biāo)尺由前述檢測(cè)用堤壩部構(gòu)成。
14.一種液滴噴出方法，該液滴噴出方法通過(guò)從排列在功能性液滴噴出頭上的噴嘴列中選擇性地噴出功能性液體，在工件上進(jìn)行描繪，其特征在于，該方法由下述工序構(gòu)成實(shí)現(xiàn)將前述功能性液滴噴出頭搭載在滑架上的噴出頭單元與工件之間的相對(duì)移動(dòng)的工序，用形成在前述工件上的線性標(biāo)尺檢測(cè)前述噴出頭單元與前述工件之間的相對(duì)移動(dòng)位置的工序，和基于前述移動(dòng)位置的檢測(cè)結(jié)果，對(duì)從前述噴嘴列中噴出功能性液體進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制的工序；其中上述工件設(shè)有矩陣狀配置的多個(gè)描繪區(qū)域和劃分該描繪區(qū)域的非描繪區(qū)域，前述描繪區(qū)域中形成在噴出前述功能性液體的同時(shí)構(gòu)成像素的多個(gè)腔室部和劃分該腔室部的堤壩部，前述線性標(biāo)尺由前述堤壩部構(gòu)成。
15.一種電光裝置的制造方法，其特征在于，采用權(quán)利要求1或權(quán)利要求11所述的液滴噴出裝置，在前述工件上用功能性液體形成成膜部。
16.一種電光裝置，其特征在于，采用權(quán)利要求1或權(quán)利要求11所述的液滴噴出裝置，在前述工件上用功能性液體形成成膜部。
17.一種電子設(shè)備，其特征在于，它搭載有權(quán)利要求16所述的電光裝置。
18.一種基板，其特征在于，它被用作權(quán)利要求1或權(quán)利要求11所述的液滴噴出裝置的前述工件。
全文摘要
本發(fā)明的液滴噴出裝置(1)通過(guò)從排列在功能性液滴噴出頭(5)上的噴嘴列(6)中選擇性地噴出功能性液體，在工件(W)上進(jìn)行描繪，該裝置帶有下述部件由線性標(biāo)尺(52)和面對(duì)該線性標(biāo)尺的線性傳感器(51)構(gòu)成的線性編碼器(50)、基于線性傳感器對(duì)線性標(biāo)尺的計(jì)數(shù)結(jié)果，驅(qū)動(dòng)控制從噴嘴列中噴出功能性液體的驅(qū)動(dòng)控制機(jī)構(gòu)，其中上述線性標(biāo)尺(52)由在工件上形成標(biāo)記的標(biāo)記列構(gòu)成，線性標(biāo)尺帶有基準(zhǔn)標(biāo)記(M1)，該基準(zhǔn)標(biāo)記(M1)示出了排列在垂直于線性傳感器的檢測(cè)方向的方向上的各描繪區(qū)域列的檢測(cè)開(kāi)始位置，該基準(zhǔn)標(biāo)記以與其它標(biāo)記不同的形態(tài)形成標(biāo)記。由此，即使當(dāng)溫度變化引起工件的尺寸發(fā)生變化時(shí)，也能保持功能性液體的噴出精度。
文檔編號(hào)B05D5/12GK1550333SQ200410043338
公開(kāi)日2004年12月1日 申請(qǐng)日期2004年5月14日 優(yōu)先權(quán)日2003年5月14日
發(fā)明者水谷誠(chéng)吾 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社