粘合帶的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種具有可以充分填補(bǔ)被粘物的凹凸的高度差追隨性且能夠經(jīng)時(shí)地保持充分填補(bǔ)了凹凸的狀態(tài)的粘合帶。本發(fā)明的粘合帶具備粘合劑層和基材層，該粘合劑層在20℃下的儲(chǔ)能模量為0.5×106Pa～1.0×108Pa，該粘合劑層在20℃～80℃下的損耗角正切tanδ為0.1以上。在優(yōu)選的實(shí)施方式中，前述粘合劑層包含使用茂金屬催化劑聚合而成的非晶質(zhì)丙烯-(1-丁烯)共聚物，該丙烯-(1-丁烯)共聚物的重均分子量(Mw)為200000以上，該丙烯-(1-丁烯)共聚物的分子量分布(Mw/Mn)為2以下。
【專利說(shuō)明】粘合帶
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及粘合帶。
【背景技術(shù)】
[0002]由硅、鎵、砷等形成的半導(dǎo)體晶圓以大直徑的狀態(tài)制造，在表面形成圖案，然后磨削背面，通常將晶圓的厚度減薄至100?600 左右，進(jìn)而切斷分離(切割)為元件小片，
進(jìn)一步轉(zhuǎn)移至安裝工序。
[0003]在磨削半導(dǎo)體晶圓的背面的工序(背面磨削工序)中，為了保護(hù)半導(dǎo)體晶圓的表面(圖案面)而使用粘合帶。該粘合帶通常在背面磨削工序后被剝離。出于這種目的而使用的粘合帶需要在背面磨削工序中不剝離的水平的粘合力，另一方面，需要在背面磨削工序后可以容易地剝離且不損壞半導(dǎo)體晶圓的水平的低粘合力。一直以來(lái)，作為這種粘合帶，可以使用在基材上涂布有粘合劑的粘合帶，例如提出了一種在包含聚乙烯系樹(shù)脂的基材上設(shè)有涂布丙烯酸(酯)類粘合劑而成的粘合劑層的粘合帶(專利文獻(xiàn)I)。
[0004]然而，這種現(xiàn)有的粘合帶不能充分填補(bǔ)半導(dǎo)體晶圓圖案面的凹凸，或者雖然在剛粘貼后進(jìn)行了填補(bǔ)，但隨著時(shí)間經(jīng)過(guò)粘合帶浮起，結(jié)果在供于背面磨削工序時(shí)還是不能充分填補(bǔ)圖案面的凹凸。如此在不能充分填補(bǔ)半導(dǎo)體晶圓的圖案面時(shí)，會(huì)產(chǎn)生如下的問(wèn)題:磨削時(shí)施加于半導(dǎo)體晶圓的壓力變得不均勻，半導(dǎo)體晶圓圖案面的凹凸對(duì)背面產(chǎn)生影響，而產(chǎn)生不能平滑地磨削的問(wèn)題，或者產(chǎn)生半導(dǎo)體晶圓出現(xiàn)裂紋的問(wèn)題。在實(shí)際的工序中，粘貼有粘合帶的半導(dǎo)體晶圓往往是在粘貼后經(jīng)過(guò)規(guī)定時(shí)間之后再供于背面磨削工序，在如上所述地隨著時(shí)間經(jīng)過(guò)而粘合帶浮起時(shí)也會(huì)產(chǎn)生同樣的問(wèn)題。
`[0005]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)1:國(guó)際公開(kāi)W02007/116856號(hào)小冊(cè)子
【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]發(fā)明要解決的問(wèn)題
[0009]本發(fā)明是為了解決上述現(xiàn)有問(wèn)題而做出的，其目的在于提供一種具有可以充分填補(bǔ)被粘物的凹凸的高度差追隨性且能夠經(jīng)時(shí)地保持充分填補(bǔ)了凹凸的狀態(tài)的粘合帶。
[0010]用于解決問(wèn)題的方案
[0011]本發(fā)明的粘合帶具備粘合劑層和基材層，該粘合劑層在20°C下的儲(chǔ)能模量為0.5 X IO6Pa?1.0X IO8Pa,該粘合劑層在20°C?80°C下的損耗角正切tan S為0.1以上。
[0012]在優(yōu)選的實(shí)施方式中，前述粘合劑層包含使用茂金屬催化劑聚合而成的非晶質(zhì)丙烯-(1-丁烯)共聚物，該非晶質(zhì)丙烯-(1-丁烯)共聚物的重均分子量(Mw)為200000以上，該非晶質(zhì)丙烯-(1-丁烯)共聚物的分子量分布(Mw/Mn)為2以下。
[0013]在優(yōu)選的實(shí)施方式中，對(duì)硅制半導(dǎo)體鏡面晶圓的鏡面的、JIS-Z-0237所規(guī)定的180。剝離粘合力為 0.2N/20mm ?3.0N/20mm。[0014]在優(yōu)選的實(shí)施方式中，本發(fā)明的粘合帶是將粘合劑層形成材料和基材層形成材料共擠出成型而得到的。
[0015]發(fā)明的效果
[0016]根據(jù)本發(fā)明，可以提供一種粘合帶，所述粘合帶通過(guò)具備具有規(guī)定儲(chǔ)能模量和損耗角正切tan S的粘合劑層，從而具有可以充分填補(bǔ)被粘物的凹凸的高度差追隨性，并且能夠經(jīng)時(shí)地保持充分填補(bǔ)了凹凸的狀態(tài)。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0017]圖1是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式的粘合帶的截面示意圖。
[0018]圖2是說(shuō)明作為本發(fā)明的粘合片的高度差追隨性的指標(biāo)的“浮起寬度”的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0019]A.粘合帶的整體結(jié)構(gòu)
[0020]圖1是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式的粘合帶的截面示意圖。粘合帶100具備粘合劑層10和基材層20。
[0021]粘合帶100的厚度優(yōu)選為25 ii m?500 ii m,進(jìn)一步優(yōu)選為60 y m?300 y m,特別優(yōu)選為130 u m?265 u m。
[0022]粘合劑層10的厚度優(yōu)選為20 ii m?100 ii m,進(jìn)一步優(yōu)選為30 y m?65 y m。
[0023]基材層20的厚度優(yōu) 選為5 ii m?400 ii m，進(jìn)一步優(yōu)選為10 y m?300 y m,特別優(yōu)選為 30 u m ?200 u m。
[0024]本發(fā)明的粘合帶還可以具備任意適當(dāng)?shù)钠渌鼘印Ｗ鳛槠渌鼘?，例如可列舉出在基材層的與粘合劑相反的一側(cè)具備的、能夠賦予粘合帶耐熱性的表面層。
[0025]本發(fā)明的粘合帶可以用隔離膜保護(hù)而提供。本發(fā)明的粘合帶可以在用隔離膜保護(hù)了的狀態(tài)下卷取成卷狀。隔離膜具有作為供給實(shí)用之前保護(hù)粘合帶的保護(hù)材料的功能。作為隔離膜，例如可列舉出通過(guò)有機(jī)硅系剝離劑、氟系剝離劑、丙烯酸長(zhǎng)鏈烷基酯系剝離劑等剝離劑進(jìn)行了表面涂布的塑料(例如，聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚乙烯、聚丙烯)薄膜、由非極性材料(例如，聚乙烯、聚丙烯)形成的薄膜、無(wú)紡布或紙等。
[0026]本發(fā)明的粘合帶，例如在未用隔離膜保護(hù)的情況下，也可以對(duì)與粘合劑層相反的一側(cè)的最外層進(jìn)行背面處理。背面處理例如可以使用有機(jī)硅系剝離劑、丙烯酸長(zhǎng)鏈烷基酯系剝離劑等剝離劑來(lái)進(jìn)行。本發(fā)明的粘合帶可以通過(guò)進(jìn)行背面處理而卷取成卷狀。
[0027]本發(fā)明粘合帶對(duì)硅制半導(dǎo)體鏡面晶圓的鏡面的、JIS-Z-0237所規(guī)定的180°剝離粘合力優(yōu)選為0.2N/20mm?3.0N/20mm，進(jìn)一步優(yōu)選為0.4N/20mm?2.5N/20mm，特別優(yōu)選為0.4N/20mm?2.0N/20mm。只要處于這種范圍內(nèi)，就可以兼顧粘合性和剝離性，例如可以得到在半導(dǎo)體晶圓的背面磨削工序中的磨削加工中不發(fā)生剝離、而在磨削加工后可以容易地剝離的粘合帶。需要說(shuō)明的是，在本說(shuō)明書(shū)中，上述粘合力是指在制造粘合帶后在50 V下熟化2天，然后利用根據(jù)JIS-Z-0237的方法(貼合條件:2kg輥往復(fù)I次，剝離速度:300mm/min，剝離角度180° )測(cè)定出的粘合力。
[0028]在本說(shuō)明書(shū)中，作為粘合帶高度差追隨性的指標(biāo)，使用“浮起寬度”?！案∑饘挾取笔侵溉鐖D2所示將粘合帶100粘貼于具有高度差X的被粘物200時(shí)，該粘合片浮起而不與被粘物200接觸的部分的寬度a。該浮起寬度小意味著粘合帶的高度差追隨性優(yōu)異而能夠良好地填補(bǔ)被粘物的凹凸。
[0029]在將本發(fā)明的粘合帶粘貼于硅制半導(dǎo)體鏡面晶圓時(shí)的、剛粘貼后的本發(fā)明粘合帶對(duì)高度差為30 ii m的被粘物的浮起寬度優(yōu)選為420 u m以下，進(jìn)一步優(yōu)選為5 y m?300 y m，特別優(yōu)選為10 ii m?220 ii m。本發(fā)明的粘合帶的浮起寬度小，即對(duì)被粘物的凹凸(例如，半導(dǎo)體晶圓的圖案)的追隨性良好，可以良好地填補(bǔ)該凹凸。在將這種粘合帶用于半導(dǎo)體晶圓加工時(shí)的圖案面保護(hù)時(shí)，在背面磨削工序時(shí)，壓力均勻地施加于半導(dǎo)體晶圓，半導(dǎo)體晶圓的圖案面的凹凸不會(huì)對(duì)背面產(chǎn)生影響，可以平滑地磨削。此外，可以防止半導(dǎo)體晶圓的裂紋。進(jìn)而，可以防止磨削水浸入半導(dǎo)體晶圓與粘合帶之間。
[0030]在將本發(fā)明的粘合帶粘貼于硅制半導(dǎo)體鏡面晶圓時(shí)的、粘貼后I小時(shí)的對(duì)高度差30 iim的浮起寬度的增加量?jī)?yōu)選在10%以內(nèi)，進(jìn)一步優(yōu)選在5%以內(nèi)。只要處于這種范圍內(nèi)，在將粘合帶粘貼于半導(dǎo)體晶圓后經(jīng)過(guò)規(guī)定時(shí)間之后再將半導(dǎo)體晶圓供于背面磨削工序時(shí)，能夠維持良好地填補(bǔ)了半導(dǎo)體晶圓圖案面的凹凸的狀態(tài)，能夠如上所述地平滑地磨削背面，而且可以防止半導(dǎo)體晶圓的裂紋。特別優(yōu)選的是，上述粘合帶在粘貼后經(jīng)過(guò)I小時(shí)以后，浮起寬度不增加。
[0031]在將本發(fā)明的粘合帶粘貼于硅制半導(dǎo)體鏡面晶圓時(shí)的、粘貼并經(jīng)過(guò)I小后的本發(fā)明的粘合帶對(duì)高度差30 ii m的浮起寬度優(yōu)選為470 ii m以下，進(jìn)一步優(yōu)選為10 y m?350 u m,特別優(yōu)選為20 ii m?300 ii m,最優(yōu)選為30 y m?250 y m。
[0032]B.粘合劑層
[0033]上述粘合劑層在20°C下的儲(chǔ)能模量(G，)為0.5X106Pa?1.0X IO8Pa,優(yōu)選為0.8X IO6Pa?3.0X107Pa。只要上述粘合劑層的儲(chǔ)能模量(G’ )處于這種范圍內(nèi)，就可以得到高度差追隨性優(yōu)異的粘合帶。更具體而言，如上所述可以得到浮起寬度小的粘合帶。如果將這種粘合帶用于半導(dǎo).體晶圓的加工中的背面磨削工序，則如上所述能夠平滑磨削背面，而且可以防止半導(dǎo)體晶圓的裂紋。此外，只要上述粘合劑層的儲(chǔ)能模量(G’ )處于上述范圍內(nèi)，就可以得到能夠兼具對(duì)表面具有凹凸的被粘物的充分的粘合力和適度的剝離性的粘合帶。需要說(shuō)明的是，本發(fā)明中的儲(chǔ)能模量(G’ )可以通過(guò)動(dòng)態(tài)粘彈性譜測(cè)定來(lái)測(cè)定。
[0034]上述粘合劑層在20°C?80°C下的損耗角正切tan S為0.1以上，優(yōu)選為0.2以上，進(jìn)一步優(yōu)選為0.2?I。粘合劑層在20°C下的損耗角正切tan 6優(yōu)選為0.1?0.5，進(jìn)一步優(yōu)選為0.1?0.25。粘合劑層在80°C下的損耗角正切tan 6優(yōu)選為0.2?1.0，進(jìn)一步優(yōu)選為0.45?I，特別優(yōu)選為0.5?I。
[0035]如此，在高溫區(qū)域具有高損耗角正切tan S的粘合劑層在高溫區(qū)域的粘合力高，而且不易變形。此處，高溫區(qū)域下的粘合劑層的變形難易度可以根據(jù)時(shí)間-溫度換算法則的理論，轉(zhuǎn)換為在室溫下隨著時(shí)間經(jīng)過(guò)而產(chǎn)生的粘合劑層的緩慢變形來(lái)進(jìn)行研究。即，可以認(rèn)為，對(duì)于如上所述在高溫區(qū)域具有高損耗角正切tan 6的粘合劑層，在室溫下的緩慢變形(具體而言，為浮起寬度隨著時(shí)間經(jīng)過(guò)而增加的現(xiàn)象)受到抑制。因此，只要上述粘合劑層的損耗角正切tan 6處于上述那樣的范圍內(nèi)，就可以得到在粘貼后經(jīng)過(guò)規(guī)定時(shí)間之后浮起寬度也小、即能夠維持良好地填補(bǔ)了被粘物的凹凸的狀態(tài)的粘合帶。
[0036]作為構(gòu)成上述粘合劑層的材料，只要能夠獲得上述期望的特性，就可以采用任意適當(dāng)?shù)牟牧?。代表性的是粘合劑層包含聚烯烴系樹(shù)脂。[0037]上述粘合劑層優(yōu)選包含非晶質(zhì)丙烯-(1-丁烯)共聚物。只要為這種粘合劑層，就能夠通過(guò)與基材層共擠出成型來(lái)制造粘合帶，可以以較少工序數(shù)且不使用有機(jī)溶劑地得到粘合帶。需要說(shuō)明的是，本說(shuō)明書(shū)中，“非晶質(zhì)”是指不具有如結(jié)晶質(zhì)那樣明確的熔點(diǎn)的性質(zhì)。
[0038]上述非晶質(zhì)丙烯-(1-丁烯)共聚物可以通過(guò)使用茂金屬催化劑將丙烯和1-丁烯聚合來(lái)獲得。更詳細(xì)而言，非晶質(zhì)丙烯-(1-丁烯)共聚物例如可以如下獲得:進(jìn)行使用茂金屬催化劑將丙烯和1- 丁烯聚合的聚合工序，該聚合工序后，進(jìn)行殘留催化劑去除工序、異物去除工序等后處理工序，從而可以獲得。經(jīng)過(guò)這種工序，例如可以以粉末狀、顆粒狀等形狀獲得非晶質(zhì)丙烯-(1-丁烯)共聚物。作為茂金屬催化劑，例如可列舉出包含茂金屬化合物和鋁氧烷的茂金屬均勻混合催化劑、在微粒狀載體上負(fù)載有茂金屬化合物的茂金屬負(fù)載型催化劑等。
[0039]如上所述地使用茂金屬催化劑進(jìn)行聚合而得到的非晶質(zhì)丙烯-(1- 丁烯)共聚物顯示窄的分子量分布。上述非晶質(zhì)丙烯-(1-丁烯)共聚物的分子量分布(Mw/Mn)優(yōu)選為2以下，進(jìn)一步優(yōu)選為1.1?2，特別優(yōu)選為1.2?1.9。分子量分布窄的非晶質(zhì)丙烯- (1- 丁烯)共聚物的低分子量成分少，因此若使用這種非晶質(zhì)丙烯-(1-丁烯)共聚物，則可以得到能夠防止由低分子量成分的滲出導(dǎo)致的被粘物的污染的粘合帶。這種粘合帶例如可以適宜地用作半導(dǎo)體晶圓加工用。
[0040]上述非晶質(zhì)丙烯-(1-丁烯)共聚物中的、丙烯衍生的結(jié)構(gòu)單元的含有比率優(yōu)選為80摩爾％?99摩爾％，進(jìn)一步優(yōu)選為85摩爾％?99摩爾％，特別優(yōu)選為90摩爾％?99摩爾％。
[0041]上述非晶質(zhì)丙烯-(1-丁烯)共聚物中的、1-丁烯衍生的結(jié)構(gòu)單元的含有比率優(yōu)選為I摩爾％?15摩爾％,進(jìn)一步優(yōu)選為I摩爾％?10摩爾％。只要處于這種范圍內(nèi)，就可以得到韌性與柔軟性的平衡優(yōu)異且上述浮起寬度小的粘合帶。
[0042]上述非晶質(zhì)丙烯- (1- 丁烯)共聚物可以為嵌段共聚物，也可以為無(wú)規(guī)共聚物。
[0043]上述非晶質(zhì)丙烯-(1-丁烯)共聚物的重均分子量(Mw)優(yōu)選為200000以上，進(jìn)一步優(yōu)選為200000?500000，特別優(yōu)選為200000?300000。只要非晶質(zhì)丙烯_(1_ 丁烯)共聚物的重均分子量(Mw)處于這種范圍內(nèi)，就可以得到與一般的苯乙烯系熱塑性樹(shù)脂、丙烯酸(酯)類熱塑性樹(shù)脂(Mw為100000以下)相比低分子量成分更少而能夠防止被粘物污染的粘合帶。此外，共擠出成型時(shí)可以無(wú)加工不良地形成粘合劑層，并且可以得到適當(dāng)?shù)恼澈狭Α?br> [0044]上述非晶質(zhì)丙烯-(1-丁烯)共聚物在230°C、2.16kfgf下的熔體流動(dòng)速率優(yōu)選為 lg/10min ?50g/10min,進(jìn)一步優(yōu)選為 5g/10min ?30g/10min,特別優(yōu)選為 5g/10min ?20g/10min。只要非晶質(zhì)丙烯_(1_ 丁烯)共聚物的熔體流動(dòng)速率處于這種范圍內(nèi)，就可以通過(guò)共擠出成型而無(wú)加工不良地形成厚度均勻的粘合劑層。熔體流動(dòng)速率可以利用根據(jù)JISK7210的方法來(lái)測(cè)定。
[0045]上述非晶質(zhì)丙烯-(1- 丁烯)共聚物還可以在不損害本發(fā)明效果的范圍內(nèi)包含衍生自其它單體的結(jié)構(gòu)單元。作為該其它單體，例如可列舉出乙烯、1-戊烯、1-己烯、1-辛烯、1-癸烯、4-甲基-1-戊烯、3-甲基-1-戊烯等a -烯烴。
[0046]優(yōu)選的是，上述粘合劑層實(shí)質(zhì)上不含F(xiàn)_、Cl' Br\ N02_、N03_、SO42' Li+、Na+、K+、Mg2+、Ca2+、NH4+。這是因?yàn)榭梢苑乐惯@些離子污染被粘物。具備這種粘合劑層的粘合帶例如在用于半導(dǎo)體晶圓加工用的情況下不會(huì)產(chǎn)生電路斷線或短路等。關(guān)于不含上述離子的粘合劑層，例如該粘合劑層中所包含的非晶質(zhì)丙烯-(1-丁烯)共聚物可以通過(guò)如上所述地使用茂金屬催化劑進(jìn)行溶液聚合而得到。在該使用茂金屬催化劑的溶液聚合中，非晶質(zhì)丙烯-(1-丁烯)共聚物可以使用與聚合溶劑不同的不良溶劑重復(fù)進(jìn)行析出分離(再沉淀法)來(lái)純化，因此可以得到不含上述離子的粘合劑層。需要說(shuō)明的是，本說(shuō)明書(shū)中，“實(shí)質(zhì)上不含F(xiàn)_、C1_、Br' N02_、N03_、SO42' Li+、Na+、K+、Mg2+、Ca2+、NH4+”是指在標(biāo)準(zhǔn)的離子色譜分析(例如，使用DIONEX K.K.制造，商品名“DX-320”、“DX-500”的離子色譜分析)中低于檢測(cè)限。具體而言，是指相對(duì)于Ig粘合劑層，F(xiàn)—、Cl—、Br\ NO2' NO3' S042—和K+分別為0.49 y g以下、Li+和Na+分別為0.20 y g以下、Mg2+和Ca2+分別為0.97 y g以下、NH4+為0.5 y g以下的情況。
[0047]為了調(diào)整粘合劑層的粘合力(作為其結(jié)果，為上述粘合帶的粘合力)和上述儲(chǔ)能模量，上述粘合劑層還可以包含結(jié)晶性聚丙烯系樹(shù)脂。通過(guò)含有結(jié)晶性聚丙烯系樹(shù)脂，可以降低上述粘合力，增加上述儲(chǔ)能模量。結(jié)晶性聚丙烯系樹(shù)脂的含有比率可以根據(jù)所期望的粘合力和儲(chǔ)能模量而設(shè)定為任意適當(dāng)?shù)谋嚷省?yōu)選的是，結(jié)晶性聚丙烯系樹(shù)脂的含有比率相對(duì)于上述非晶質(zhì)丙烯- (1- 丁烯)共聚物和該結(jié)晶性聚丙烯系樹(shù)脂的總重量，優(yōu)選為0重量％?45重量％，進(jìn)一步優(yōu)選為0重量％?40重量％，特別優(yōu)選為0重量％?20重量％。
[0048]上述結(jié)晶性聚丙烯系樹(shù)脂可以為均聚聚丙烯，也可以為由丙烯和可與丙烯共聚的單體得到的共聚物。作為可與丙烯共聚的單體，例如可列舉出乙烯、1-戊烯、1-己烯、1-辛烯、1-癸烯、4-甲基-1-戍烯、3-甲基-1-戍烯等a -烯烴等。
[0049]上述結(jié)晶性聚丙烯系樹(shù)脂優(yōu)選與上述非晶質(zhì)丙烯-(1- 丁烯)共聚物同樣地通過(guò)使用茂金屬催化劑進(jìn)行聚合而得到。若使用如此獲得的結(jié)晶性聚丙烯系樹(shù)脂，則可以防止由低分子量成分的滲出導(dǎo)致的被粘物的污染。
[0050]上述結(jié)晶性聚丙烯系樹(shù)脂的結(jié)晶度優(yōu)選為10%以上，進(jìn)一步優(yōu)選為20%以上。代表性地，結(jié)晶度是利用差示掃描量熱分析(DSC)或X射線衍射而求得的。
[0051]上述粘合劑層還可以在不損害本發(fā)明效果的范圍內(nèi)包含其它成分。作為該其它成分，例如可列舉出抗氧化劑、紫外線吸收劑、光穩(wěn)定劑、耐熱穩(wěn)定劑、抗靜電劑等。其它成分的種類和用量可以根據(jù)目的而適當(dāng)?shù)剡x擇。
[0052]C.某材層
[0053]作為構(gòu)成上述基材層的材料，可以采用任意適當(dāng)?shù)牟牧?。作為?gòu)成基材層的材料，例如可列舉出聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)等聚酯系樹(shù)脂；聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)等聚烯烴系樹(shù)脂；聚酰亞胺(PI);乙烯-乙酸乙烯酯共聚物(EVA);聚醚醚酮(PEEK);聚氯乙烯(PVC)等聚氯乙烯系樹(shù)脂；聚苯乙烯系樹(shù)脂；丙烯酸(酯)類樹(shù)脂；氟系樹(shù)脂；纖維素系樹(shù)脂；聚碳酸酯系樹(shù)脂；金屬；紙等?；膶右部梢允怯赏N或不同種的材料形成的多層結(jié)構(gòu)。
[0054]上述基材層還可以在不損害本發(fā)明效果的范圍內(nèi)包含其它成分。作為該其它成分，例如可以使用與上述B項(xiàng)中說(shuō)明過(guò)的、粘合劑層中可以包含的其它成分相同的成分。
[0055]D.粘合帶的制造方法
[0056]本發(fā)明的粘合帶優(yōu)選將上述粘合劑層和上述基材層的形成材料共擠出成型來(lái)制造。通過(guò)共擠出成型，可以以較少工序數(shù)且不使用有機(jī)溶劑地制造層間粘接性良好的粘合片。
[0057]在上述共擠出成型中，上述粘合劑層和上述基材層的形成材料可以使用將上述各層的成分利用任意的適當(dāng)方法混合而成的材料。
[0058]作為上述共擠出成型的具體方法，例如可列舉出如下的方法:在連接于模具(dies)的至少2臺(tái)的擠出機(jī)中，分別向I臺(tái)供給粘合劑層形成材料、向另I臺(tái)供給基材層形成材料，熔融，然后擠出，通過(guò)接觸輥成型法收取，從而形成層疊體。擠出時(shí)，各形成材料進(jìn)行合流的部分越接近模具出口(模唇)越優(yōu)選。這是因?yàn)椴灰自谀＞邇?nèi)部發(fā)生各形成材料的合流不良。因此，作為上述模具，優(yōu)選使用多歧管形式的模具。需要說(shuō)明的是，發(fā)生合流不良的情況下，合流不均等外觀不良發(fā)生，具體而言，在被擠出的粘合劑層與基材層之間產(chǎn)生波浪狀的外觀不均，是不優(yōu)選的。另外，合流不良例如是由不同種形成材料在模具內(nèi)的流動(dòng)性(熔融粘度)的差異大和各層的形成材料的剪切速度的差異大而引起的，因此，若使用多歧管形式的模具，對(duì)于具有流動(dòng)性差異的不同種形成材料而言，與其它形式(例如，供料頭(feed block)形式)相比，材料選擇的范圍更廣。用于各形成材料的熔融的擠出機(jī)的螺桿類型可以為單螺桿或雙螺桿。擠出機(jī)也可以為3臺(tái)以上。擠出機(jī)為3臺(tái)以上的情況下，還可以進(jìn)一步供給其它層的形成材料。此外，使用3臺(tái)以上的擠出機(jī)制造2層結(jié)構(gòu)(基材層+粘合劑層)的粘合帶的情況下，只要將同一種形成材料供給于相鄰的2臺(tái)以上的擠出機(jī)即可，例如使用3臺(tái)擠出機(jī)時(shí)，可以向相鄰的2臺(tái)擠出機(jī)供給同一種形成材料。
[0059]上述共擠出成型中的成型溫度優(yōu)選為160°C?220°C，進(jìn)一步優(yōu)選為170°C?200°C。如果處于這種范圍，則成型穩(wěn)定性優(yōu)異。
[0060]上述粘合劑層形成材料與上述基材層形成材料的在溫度180°C、剪切速度IOOsec-1下的剪切粘度之差(粘合劑形成材料-基材層形成材料)優(yōu)選為_(kāi)150Pa ? s?600Pa ? s，進(jìn)一步優(yōu)選為-1OOPa ? s?550Pa ? S，特別優(yōu)選為_(kāi)50Pa ? s?500Pa ? S。只要處于這種范圍內(nèi)，則上述粘合劑形成材料和基材層形成材料在模具內(nèi)的流動(dòng)性接近，可以防止合流不良的發(fā)生。需要說(shuō)明的是，剪切粘度可以使用雙毛細(xì)管型的拉伸粘度計(jì)進(jìn)行測(cè)定。.
[0061]實(shí)施例
[0062]以下，通過(guò)實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行具體的說(shuō)明，但本發(fā)明不受這些實(shí)施例的任何限制。此外，在實(shí)施例中，若無(wú)特別說(shuō)明，則“份”和“％”為重量基準(zhǔn)。
[0063][實(shí)施例1]
[0064]作為粘合劑層形成材料，使用利用茂金屬催化劑聚合而成的非晶質(zhì)丙烯-(1-丁烯)共聚物(住友化學(xué)株式會(huì)社制造，商品名“TAFTHREN H5002”:丙烯衍生的結(jié)構(gòu)單元90摩爾％/1_ 丁烯衍生的結(jié)構(gòu)單元10摩爾％，Mw=230000, Mw/Mn=l.8)。
[0065]作為基材層形成材料，使用乙烯-乙酸乙烯酯共聚物(EVA) (DU PONT-MISUIC0., LTD.制造，商品名 “EVAFLEX P-1007”)。
[0066]將上述粘合劑形成材料和基材層形成材料投入各自的擠出機(jī),進(jìn)行T模熔融共擠出(擠出機(jī):GM ENGINEERING, Inc.制造，商品名“GM30_28”/T 模:供料頭(feed block)方式，擠出溫度:180°C)，將熔融狀態(tài)的樹(shù)脂和向接觸輥成型部通紙的Si涂布PET隔離膜(三菱化學(xué)株式會(huì)社制造，商品名“Diafoil MRF”，38i!m)層壓后進(jìn)行冷卻，得到粘合劑層的厚度為45 ii m且基材層的厚度為160 u m的粘合帶。其中，各層的厚度通過(guò)T模出口的形狀來(lái)控制。
[0067][實(shí)施例2]
[0068]作為粘合劑層形成材料，使用80份利用茂金屬催化劑聚合而成的非晶質(zhì)丙烯-(1-丁烯)共聚物(住友化學(xué)株式會(huì)社制造，商品名“TAFTHREN H5002”丙烯衍生的結(jié)構(gòu)單元90摩爾％/1_ 丁烯衍生的結(jié)構(gòu)單元10摩爾％，Mw=230000, Mw/Mn=l.8)和20份利用茂金屬催化劑聚合而成的結(jié)晶性聚丙烯系樹(shù)脂(Japan Polypropylene Corp.制造,商品名“WINTEC WFX4”，Mw=363000，Mw/Mn=2.87)的混合物。
[0069]作為基材層 形成材料，使用乙烯-乙酸乙烯酯共聚物(DU PONT-MISUI C0.，LTD.制造，商品名 “EVAFLEX P-1007” )。
[0070]將上述粘合劑形成材料和基材層形成材料投入各自的擠出機(jī)，進(jìn)行T模熔融共擠出(擠出機(jī):GM ENGINEERING, Inc.制造，商品名“GM30_28”/T 模:供料頭(feed block)方式，擠出溫度:180°C )，將熔融狀態(tài)的樹(shù)脂和向接觸輥成型部通紙的Si涂布PET隔離膜(三菱化學(xué)株式會(huì)社制造，商品名“Diafoil MRF”，38ym)層壓后進(jìn)行冷卻，得到粘合劑層的厚度為45 μ m且基材層的厚度為160 μ m的粘合帶。
[0071][實(shí)施例3]
[0072]將非晶質(zhì)丙烯-(1- 丁烯)共聚物的混合量設(shè)為60份來(lái)代替80份，將結(jié)晶性聚丙烯系樹(shù)脂的混合量設(shè)為40份來(lái)代替20份，除此之外，與實(shí)施例2同樣操作，得到粘合帶。
[0073][比較例I]
[0074]將非晶質(zhì)丙烯-(1-丁烯)共聚物的混合量設(shè)為50份來(lái)代替80份，將結(jié)晶性聚丙烯系樹(shù)脂的混合量設(shè)為50份來(lái)代替20份，除此之外，與實(shí)施例2同樣操作，得到粘合帶。
[0075][比較例2]
[0076]配混將100份丙烯酸丁酯和5份丙烯酸共聚而獲得的共聚物(重均分子量:900000,固體成分:20%) 100份、作為交聯(lián)劑的異氰酸酯系交聯(lián)劑(Nippon PolyurethaneIndustry C0., Ltd.制造，商品名 “Coronate L”)2 份、環(huán)氧系交聯(lián)劑(MITSUBISHI GASCHEMICAL COMPANY, INC.制造，商品名“TETRAD C”)I份，從而制備粘合劑層形成材料。
[0077]將該粘合劑層形成材料以干燥后的厚度為45 μ m的方式涂布于經(jīng)過(guò)有機(jī)硅剝離處理的聚酯薄膜(厚度:38μπι)，在120°C下干燥2分鐘，從而得到丙烯酸(酯)類粘合劑。
[0078]然后，將上述丙烯酸(酯)類粘合劑轉(zhuǎn)印到以乙烯-乙酸乙烯酯共聚物作為形成材料的基材層(厚度:160μπι)，從而得到粘合帶。
[0079][評(píng)價(jià)]
[0080]將實(shí)施例和比較例中獲得的粘合帶供于以下評(píng)價(jià)。將結(jié)果示于表I。
[0081](I)粘合力(剝離速度300mm/min)
[0082]將得到的粘合帶在50°C下熟化2天后，利用4英寸半導(dǎo)體晶圓的鏡面(硅制)、根據(jù)JIS Z0237(2000)的方法(貼合條件:2kg輥往復(fù)I次，剝離速度:300mm/min，剝離角度180° )來(lái)進(jìn)行測(cè)定。
[0083](2)浮起寬度
[0084]將厚度30 μ m寬度2cm的鋁箔置于半導(dǎo)體晶圓(硅制)上。以橫跨該鋁箔的方式貼附切割為長(zhǎng)度IOcm寬度2cm的粘合帶(2kg輥往復(fù)I次)，用顯微鏡觀察并測(cè)定對(duì)高度差
30μ m的浮起寬度。在剛貼附粘合帶后及貼附并經(jīng)過(guò)I小時(shí)后，測(cè)定浮起寬度。[0085](3)儲(chǔ)能模量(G’ )
[0086]使用動(dòng)態(tài)粘彈性譜測(cè)定器(Rheometric Scientific公司制造,商品名“ARES”)，在頻率10Hz、升溫速度5°C /分鐘、-50°C?100°C的范圍下測(cè)定粘合劑層的儲(chǔ)能模量。
[0087](4)損耗角正切tan δ
[0088]在與上述儲(chǔ)能模量(G’ )相同的條件下測(cè)定儲(chǔ)能模量(G’ )和損耗模量(G’ ’)，根據(jù)下述式算出粘合劑層在20°C和80°C下的損耗角正切tan δ。
[0089]損耗角正切tan δ =損耗模量(G”)/儲(chǔ)能模量(G’ )
[0090](5)分子量測(cè)定
[0091]實(shí)施例和比較例I中使用的利用茂金屬催化劑聚合而成的非晶質(zhì)丙烯-(1-丁烯)共聚物(住友化學(xué)株式會(huì)社制造，商品名“TAFTHREN H5002”)、比較例3中使用的共聚物的分子量如下測(cè)定。即，將試樣調(diào)制成l.0g/Ι的THF溶液并靜置一晚后，用孔徑0.45μπι的膜濾器過(guò)濾，對(duì)于得到的濾液使用東曹株式會(huì)社制造的HLC-8120GPC在以下條件下進(jìn)行測(cè)定，根據(jù)聚苯乙烯換算進(jìn)行計(jì)算。
[0092]柱:TSKgeISuperHZM-H/HZ4000/HZ3000/HZ2000
[0093]柱尺寸:6.0mmT.D.X 150mm
[0094]柱溫度:40°C
[0095]洗脫液:THF
[0096]流量:0.6ml/min
[0097]注入量:20μ I
[0098]檢測(cè)器:RI (差示折光率檢測(cè)器)
[0099]此外，實(shí)施例2?3和比較例I中使用的利用茂金屬催化劑聚合而成的結(jié)晶性聚丙烯系樹(shù)脂(Japan Polypropylene Corp.制造,商品名“WINTEC WFX4”)的分子量如下測(cè)定。即，將試樣調(diào)制為0.10%(w/w)鄰二氯苯溶液，在140°C下溶解后，用孔徑為Ι.Ομπι的燒結(jié)過(guò)濾器過(guò)濾該溶液，對(duì)得到的濾液使用Waters公司制造的凝膠滲透色譜儀AllianceGPC2000型在以下條件下進(jìn)行測(cè)定，根據(jù)聚苯乙烯換算進(jìn)行計(jì)算。
[0100]柱:TSKgeI GMH6-HT、TSKgel GMH6-HTL
[0101]柱尺寸:7.5mml.D.X 300mm 各 2 根
[0102]柱溫度:140O
[0103]洗脫液:鄰二氯苯
[0104]流量:1.0ml/min
[0105]注入量:0.4ml
[0106]檢測(cè)器:RI (差示折光率檢測(cè)器)
[0107][表I]
【權(quán)利要求】
1.一種粘合帶，其具備粘合劑層和基材層， 該粘合劑層在20°C下的儲(chǔ)能模量為0.5X IO6Pa?1.0X IO8Pa,該粘合劑層在20°C?80°C下的損耗角正切tan S為0.1以上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的粘合帶，其中，所述粘合劑層包含使用茂金屬催化劑聚合而成的非晶質(zhì)丙烯-(1-丁烯)共聚物，該非晶質(zhì)丙烯-(1-丁烯)共聚物的重均分子量(Mw)為200000以上，該非晶質(zhì)丙烯-(1- 丁烯)共聚物的分子量分布(Mw/Mn)為2以下。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的粘合帶，其中，對(duì)硅制半導(dǎo)體鏡面晶圓的鏡面的、JIS-Z-0237所規(guī)定的180°剝離粘合力為0.2N/20mm?3.0N/20mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項(xiàng)所述的粘合帶，其是將粘合劑層形成材料和基材層形成材料共擠出成型 而得到的。
【文檔編號(hào)】C08F210/08GK103429690SQ201280013540
【公開(kāi)日】2013年12月4日 申請(qǐng)日期:2012年3月5日 優(yōu)先權(quán)日:2011年3月17日
【發(fā)明者】佐佐木貴俊, 土生剛志, 生島伸祐, 龜井勝利, 淺井文輝 申請(qǐng)人:日東電工株式會(huì)社