專利名稱：：新型六芳基二咪唑結(jié)構(gòu)光引發(fā)劑及聚酰亞胺光敏組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及新型六芳基二咪唑化合物，其在光聚合反應(yīng)體系中用作光引發(fā)劑；本發(fā)明同時(shí)涉及含有該光引發(fā)劑及聚酰亞胺光敏組合物。本發(fā)明同時(shí)提供了利用上述光敏組合物獲得生成圖象及相應(yīng)電子元件的方法。
背景技術(shù)：
：光敏樹脂組合物已經(jīng)廣泛產(chǎn)業(yè)中得到應(yīng)用，包括UV油墨、屏幕打印、近期發(fā)展起來的激光全息照相以及其它特定領(lǐng)域。光敏耐熱性聚合物可作為正性光刻膠用以實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體日趨微型化，也可以用作保護(hù)涂層，負(fù)緩沖涂層及鈍化涂膜。JP5-67026及JP63-3139報(bào)道了利用芳香二胺化合物與芳香族四羧基二酸酐反應(yīng)而得到光敏耐熱性材料。隨和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展，步進(jìn)機(jī)設(shè)備已經(jīng)從g-線(435nm)逐漸過渡到i-線(365nm),迎合更高標(biāo)準(zhǔn)微型設(shè)計(jì)尺寸的要求。具有芳香單體骨架結(jié)構(gòu)的聚酰亞胺前體化合物具有優(yōu)異的抗熱性和用作光刻膠的機(jī)械特性；但是上述聚酰亞胺前體化合物本身具有光吸收特性，其在UV波段，尤其是在i-線波段(365nm)透明性差。相應(yīng)地，聚酰亞胺前體涂層的光刻膠在曝光范圍內(nèi)的光化學(xué)反應(yīng)性低，光敏性不足，從而導(dǎo)致圖象生成效果惡化。隨著LOC技術(shù)的出現(xiàn)，更厚料的聚酰亞胺涂膜被應(yīng)用于半導(dǎo)體元件的高密度封裝技術(shù)中，而聚酰亞胺前體化合物的低透光性已經(jīng)成為半導(dǎo)體器件進(jìn)行光刻的嚴(yán)重缺陷。通常地，需要要求光敏聚酰亞胺組合物應(yīng)該具有優(yōu)異的光敏感性，以使得清晰圖象的形成成為可能，上述的應(yīng)用特征甚至被要求在半導(dǎo)體元件表面保護(hù)涂層的底部，而在此場合中i-線步進(jìn)機(jī)的光強(qiáng)相當(dāng)弱。在光敏性樹脂組合物中，加入光聚合反應(yīng)引發(fā)劑可以大大的提升整個(gè)體系的光敏性。一般來說，可以在上述應(yīng)用場合具有高光敏性的光聚合反應(yīng)引發(fā)劑包括l)肟酯化合物(例如l-苯基-l,2-丙基二酮-2-(0-乙氧基羰基)肟)；2)六芳香二咪唑化合物(例如2，2'-雙鄰氯苯基-4,4',5，5'-四苯基二咪唑，通常簡稱為o-Cl-HABI)。然而，肟酯化合物的熱穩(wěn)定性差；而含氯六芳基二咪唑(例如o-Cl-HABI)用于半導(dǎo)體元件時(shí)，其中的氯離子分離是一個(gè)難題。由于這些因素，上述兩種光聚合反應(yīng)引發(fā)劑難以得到滿意的應(yīng)用結(jié)果。此外，由于o-CI-HABI在溶液中的溶解性往往不足，在可溶解的范圍內(nèi)難以實(shí)現(xiàn)足夠的光敏性。此外，六芳基二咪唑的衍生物可以作為一類重要的光致變色功能材料，其用途廣泛，特別在光信息儲(chǔ)存、生物分子活性的光調(diào)控、分子識(shí)別過程的光調(diào)控、自顯影感光膠片和全息攝影材料、光計(jì)算、新型變色玻璃等領(lǐng)域。本發(fā)明涉及一類新型六芳基二咪唑衍生物，其具有優(yōu)異的溶解性和光敏性，可以用于多種光聚合反應(yīng)體系中，尤其適用于光敏聚酰亞胺體系。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明涉及到通式I結(jié)構(gòu)六芳基二咪唑衍生物，其用作光聚合反應(yīng)引發(fā)劑。斜RrrR2獨(dú)^^S、舍麟基XT，先，X-3-，X4-，X5獨(dú)立是氫，氟，烷基，貨氧基，含氟烷基；且Xt，X2,X3，X4，X5中至少有一個(gè)基團(tuán)為含氟烷基。針對RpR2獨(dú)立是烷基、含氟垸基，其優(yōu)選為d"o垸基及Cwo含氟烷基，更優(yōu)選為C卜2烷基及C卜2含氟烷基。針對X^X2，X3，X4，Xs可能是垸基，烷氧基，含氟烷基；且Xi，X2，X3，X4，X5至少有一個(gè)基團(tuán)為含氟垸基；優(yōu)選為Cwo烷基，Cwo垸氧基及Cwo含氟烷基，更優(yōu)選為C卜2垸基，C^2烷氧基及C卜2含氟烷基。本發(fā)明涉及一類光敏性組合物，其特征在于可以在低水平曝光的情況下實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的光敏感性和優(yōu)異光刻清晰圖象。其包括A)至少一種含有碳碳雙鍵的可光聚合化合物；B)至少含有一種六芳基二咪唑化合物，其特征為通式I化合物。在本發(fā)明中，光敏性組合物中組份A優(yōu)選為含有碳碳雙鍵的可光聚合聚酰亞胺前體化合物。特定的，本發(fā)明涉及一類光敏性組合物，其組成包括1)100份Wty。組份A;2)0.120份Wt。/。組份B。特定的，本發(fā)明涉及一類光敏性組合物，其組成物中含有可光聚合組份A在大氣壓情況下，具有高于100'C的沸點(diǎn)。本發(fā)明也涉及一種獲得圖象的方法，其步驟包括l)利用上述光敏性組合物形成涂膜;2)帶有特定設(shè)計(jì)圖象的掩膜加以涂膜覆蓋，進(jìn)行曝光；3)在有機(jī)溶劑或堿性水相溶液中進(jìn)行擴(kuò)散。特定的，本發(fā)明涉及一種獲得圖象的方法，其擴(kuò)散步驟是在堿性水相溶液中進(jìn)行。具體的，針對通式I結(jié)構(gòu)的六芳基二咪唑衍生物。通式I化合物是具有異構(gòu)體形式的二聚體結(jié)構(gòu)，其中具有優(yōu)勢的異構(gòu)體構(gòu)型如Ia所示:在通式Ia結(jié)構(gòu)中R1;R2獨(dú)立是垸基、含氟垸基；Xi，X2，X3，X4，Xs獨(dú)立是氫，氟，烷基，垸氧基，含氟垸基；且XpX2，X3，X4，Xs中至少有一個(gè)基團(tuán)為含氟垸基。針對Ri，R2獨(dú)立是烷基、含氟烷基，其優(yōu)選為Cwo烷基及Cw()含氟垸基，更優(yōu)選為C卜2烷基及C卜2含氟烷基。針對X!，X2，X3，X4，Xs可能是烷基，烷氧基，含氟烷基；且X!，X2，X3，X4，X5至少有一個(gè)基團(tuán)為含氟烷基；優(yōu)選為Cwo烷基，Cwo烷氧基及Cwo含氟烷基，更優(yōu)選為C卜2烷基，Ch2垸氧基及C卜2含氟垸基。在通式I和Ia所示六芳基二咪唑衍生物結(jié)構(gòu)，在其中兩個(gè)含有XpX2，X3，X4，X5的苯環(huán)上優(yōu)選為其中有12個(gè)Xi(i^6)為C卜2含氟垸基，或同時(shí)存在13個(gè)Xj(j46)為氟。本發(fā)明涉及的通式I和Ia六芳基二咪唑化合物的苯環(huán)結(jié)構(gòu)中至少含有一個(gè)含氟垸基，或同時(shí)存在13個(gè)氟取代，其較之已報(bào)導(dǎo)的六芳基二咪唑(HABI)，例如o-C1-HABI，作為光聚合反應(yīng)的引發(fā)劑具有更優(yōu)良的光敏特性。因此，本發(fā)明涉及的通式I和Ia結(jié)構(gòu)的六芳基二咪唑化合物可適用于低輻射曝光水平場合的光刻膠體系中，并通過光刻技術(shù)生成清晰圖象。以下是本發(fā)明關(guān)于通式I和Ia六芳基二咪唑化合物的具體示例，但不局限于如下示例所包括的范圍之內(nèi)。2,2，-雙(2-三氟甲基苯基)-4，4，，5,5，-四(間-甲氧基苯基)-1，2，-二咪唑2,2，-雙(3-三氟甲基苯基)-4，4，，5,5，-四(間-甲氧基苯基)-1，2，-二咪唑2，2，-雙(4-三氟甲基苯基)-4,4，,5，5，-四(間-甲氧基苯基)-1，2，-二咪唑2,2，-雙(2，4-二(三氟甲基)-苯基)-4，4，，5,5，-四(間-甲氧基苯基)-1，2，-二咪唑2，2，-雙(2,6-二(三氟甲基)-苯基)-4,4，,5，5，-四(間-甲氧基苯基)-1，2，-二咪唑2,2，-雙(2-氟-4-三氟甲基苯基)-4，4，,5,5，-四(間-甲氧基苯基)-1,2，-二咪唑2，2，-雙(2-三氟甲基-4-氟苯基)-4，4，,5，5，-四(間-甲氧基苯基)-1,2，-二咪唑2,2，-雙(2-三氟甲基-6-氟苯基)-4，4，，5,5，-四(間-甲氧基苯基)-1，2，-二咪唑2，2，-雙(2-三氟甲基-4，6-二氟苯基)-4,4，,5,5，-四(間-甲氧基苯基)-1,2，-二咪唑2,2，-雙(2,3-二氟-4-三氟甲基苯基)-4，4，,5,5，-四(間-甲氧基苯基)-1，2，-二咪唑2,2，-雙(2-三氟甲基苯基)-4,4，，5,5，-四(間-乙氧基苯基)-1，2，-二咪唑2，2，-雙(3-三氟甲基苯基)-4,4，,5,5，-四(間-乙氧基苯基)-1,2，-二咪唑2,2，-雙(4-三氟甲基苯基)-4，4，，5,5，-四(間-乙氧基苯基)-1,2，-二咪唑2,2，-雙(2,4-二(三氟甲基)-苯基)-4，4，，5,5，-四(間-乙氧基苯基)-1，2，-二咪唑2,2，-雙(2,6-二(三氟甲基)-苯基)-4,4，,5,5，-四(間-乙氧基苯基)-1,2，-二咪唑2,2，-雙(2-氟-4-三氟甲基苯基)-4,4，，5,5，-四(間-乙氧基苯基)-1,2，-二咪唑2,2，-雙(2-三氟甲基-4-氟苯基)-4,4，,5,5，-四(間-乙氧基苯基)-1,2'-二咪唑2,2，-雙(2-三氟甲基-6-氟苯基)-4,4，，5,5，-四(間-乙氧基苯基)-1,2，-二咪唑2,2，-雙(2-三氟甲基-4，6-二氟苯基>4,4，,5,5，-四(間-乙氧基苯基)-1,2，-二咪唑2,2，-雙(2，3-二氟-4-三氟甲基苯基)-4,4，,5,5，-四(間-乙氧基苯基)-1,2，-二咪唑如下結(jié)構(gòu)化合物具有更高的光敏活性，其為本發(fā)明通式I和Ia結(jié)構(gòu)的尤其優(yōu)選例。a)2,2，-雙(2-三氟甲基苯基)-4，4，，5，5，-四(間-甲氧基苯基)-1,2，-二咪唑(縮寫成m-MeO-2-CF3-HABI)b)2,2，-雙(4-三氟甲基苯基)-4，4，,5,5，-四(間-甲氧基苯基)-1,2，-二咪唑(縮寫成m-MeO-4-CF3-HABI)c)2，2，-雙(2-三氟甲基-4-氟苯基)-4,4，,5,5，-四(間-甲氧基苯基)-1，2，-二咪唑(縮寫成m-MeO-2-CF3-4-F-HABI)d)2,2，-雙(2-氟-4-三氟甲基苯基)-4，4，，5，5，-四(間-甲氧基苯基)-1,2，-二咪唑(縮寫成m-MeO-2-F-4-CF3-HABI)關(guān)于六芳基二咪唑結(jié)構(gòu)化合物的合成可以采用已知的各種方法。例如，HABI結(jié)構(gòu)化合物的合成可以參照J(rèn)ournalofOrganicChemistry,Vol.36以及JP10-36354的合成方法。具體的，本發(fā)明中六芳基二咪唑類化合物可以通過如下的步驟來加以實(shí)施1.溶解相應(yīng)的2-含有含氟垸基取代苯基-4,5-雙(m-烷氧基苯基)咪唑溶解在極性溶劑中，包括甲基吡咯烷酮，醇類化合物(如甲醇、乙醇、異丙醇)，乙二醇垸基醚等；2.向上述l)的溶液中慢慢加入鐵氰化鉀(又名紅血鹽)及NaOH水溶液，保持溫度在1020°C;3.攪拌情況下直至反應(yīng)結(jié)束，過濾，水洗，干燥處理得到反應(yīng)產(chǎn)物。如有必要，可以通過丙酮-甲醇體系對目標(biāo)產(chǎn)物進(jìn)行重結(jié)晶，以進(jìn)一步純化。本發(fā)明中所涉及一類光敏性組合物包括:A)至少一種含有碳碳雙鍵的可光聚合化合物;B)至少含有一種本發(fā)明中所描述的六芳基二咪唑化合物。其中組份A可以是具有雙鍵結(jié)構(gòu)的高分子量化合物，也可以是可光聚合的低分子量化合物，也可以是上述兩種化合物的混合物。組份A主要依據(jù)其目標(biāo)性的應(yīng)用特性要求來加以分析選擇。高分子量化合物是含有碳碳雙鍵的聚合物，其來自可光聚合化合物。具體可以包括(1)聚酯，例如可以是來源于多元醇和多元羧酸的共聚酯，具體的多元醇可以是二乙二醇，三乙二醇，四乙二醇，三甲醇丙烷，新戊二醇等；具體的多元羧酸可以是對苯二酸，異酞酸，癸二酸，己二酸等；(2)烯基聚合物，可以是烯基單體的均聚物和共聚物，例如甲基丙烯酸，丙烯酸，甲基丙烯酸烷基酯，丙烯酸烷基酯(具體如甲基(甲基)丙烯酸酯，乙基(甲基)丙烯酸酯，丁基(甲基)丙烯酸酯，2-羥乙基(甲基)丙烯酸酯，苯基(甲基)丙烯酸酯，節(jié)基(甲基)丙烯酸酯，2-二甲氨基(甲基兩烯酸酯，2-乙基己基(甲基)丙烯酸酯等)；(3)聚甲醛；(4)聚氨酯；(5)聚碳酸酯；(6)聚酰胺；(7)纖維素脂；(8)聚酰胺酸；(9)聚酰胺酸酯；(10)聚酰胺酸酰胺。優(yōu)選的低分子量可光聚合化合物在大氣壓下具有高于IO(TC的沸點(diǎn)，以避免在光刻膠溶劑移除以及光刻膠系統(tǒng)干燥時(shí)的逃逸。用作組份A的低分子量化合物通常分子量不超過1000。具體的選擇包括如下(1)利用多元醇和a，p-不飽和羧酸的縮合物，具體如二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯，三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯，四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯，三甲醇丙烷三(甲基)丙烯酸酯，1,2-丙二醇二(甲基)丙烯酸酯，二(1,2-丙二醇)二(甲基)丙烯酸酯，三(l,2-丙二醇)二(甲基)丙烯酸酯，二乙氨基乙基二(甲基)丙烯酸酯，二甲氨基丙基(甲基)丙烯酸酯，二乙氨基丙基(甲基)丙烯酸酯，1，4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯，1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯，季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯等；(2)烯基化合物，具體如苯乙烯，二乙烯基苯，4-乙烯基甲苯，4-乙烯基吡啶，N-乙烯基吡咯烷酮，2-羥乙基(甲基丙烯酸酯)，1,3-二(甲基)丙烯酰氧基-2-羥基丙烷，亞甲基二丙烯酰胺，N,N-二甲基丙烯酰胺，N-羥甲基丙烯酰胺，新二醇二(甲基)丙烯酸酯，季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯，二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯，四羥甲基丙基四(甲基)丙烯酸酯。單獨(dú)性上面所描述的高分子量化合物或低分子量化合物可以用作組份A，也可以是其中兩種或多種高分子量或低分子量化合物的混合物用作組份A。優(yōu)選的低分子量可光聚合化合物可以溶解在溶劑中，具體的溶劑包括丙酮，甲基乙基酮，二乙基酮，甲苯，氯仿，甲醇，乙醇，l-丙醇，2-丙醇，l-丁醇，2-丁醇，叔丁基醇，乙二醇單甲醚，二甲苯，四氫呋喃，二氧六環(huán)，環(huán)戊酮，N,N-二甲基乙酰胺，N，N-二甲基甲酰胺，N-甲基-2-吡咯烷酮，N-乙酰基-2-吡咯垸酮，N-芐基-2-吡咯垸酮，？丁內(nèi)酯，二甲基亞砜，亞乙基碳酸酯，亞丙基碳酸酯，六甲基磷酰胺，N-乙?；?s-己內(nèi)酰胺，二甲基咪唑啉酮，二乙二醇二甲基醚，三乙二醇二甲基醚?？梢允菃为?dú)的溶劑也可以是兩種或多種溶劑的混合物。當(dāng)光敏性組合物用于半導(dǎo)體器件作為保護(hù)涂層或介電層時(shí)，涂層需要具有很好的耐熱性以及滿足其它的應(yīng)力狀況。因此，含有碳碳雙鍵的可光聚合聚酰亞胺前體化合物用作組份A作為尤其優(yōu)選的方案。含有碳碳雙鍵的光敏性聚酰亞胺前體化合物包括(1)聚酰胺酸不飽和酯，其含有可光聚合的碳碳雙鍵共軛于聚酰胺酸側(cè)鏈；(2)具有(1)中所描述的結(jié)構(gòu)特征的聚酰胺酸不飽和酰胺；(3)利用聚酰胺酸與含有不碳碳雙鍵的的胺類化合物進(jìn)行合成，從而在羧基和氨基間形成離子鍵，將碳碳雙鍵鍵合到聚合物結(jié)構(gòu)中。優(yōu)選的碳碳雙鍵的形式為丙烯酰氧基或甲基丙烯酰氧基結(jié)構(gòu)。如下具有重復(fù)鏈節(jié)的通式II聚酰胺酸不飽和酯作為優(yōu)選的組份A。再與本發(fā)明涉及的六芳基二咪唑組份B合并后，此具有重復(fù)鏈節(jié)的通式II聚合物具有優(yōu)異的光敏性，并縮短擴(kuò)散時(shí)間。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage12</formula>通式II中R3為四價(jià)共價(jià)的有機(jī)基團(tuán)；R4是二價(jià)共價(jià)，三價(jià)共價(jià)，四價(jià)共價(jià)的有機(jī)基團(tuán)；R5是含有碳碳雙鍵的單價(jià)共價(jià)的有機(jī)基團(tuán)；A是酸性的單價(jià)共價(jià)基團(tuán)；n=0，1，2。在通式II特征的重復(fù)鏈節(jié)的結(jié)構(gòu)中，四價(jià)共價(jià)的有機(jī)基團(tuán)R3可以是四羧酸基及其衍生結(jié)構(gòu)(例如二酸酐，二酯化，二酰胺)，其與二胺化合物反應(yīng)生成聚酰亞胺前體化合物?？紤]到應(yīng)力特征，抗熱性以及聚酰亞胺涂層的交聯(lián)性，R3優(yōu)選為大于四個(gè)碳原子的有機(jī)基團(tuán)，更優(yōu)選為合計(jì)在C6C30的有機(jī)基團(tuán)(包括可能的芳香環(huán)，如苯環(huán)、萘環(huán)等)。此外優(yōu)選在芳香環(huán)的鄰位或?qū)ξ蛔鳛殒I合位置，四羧酸基團(tuán)中四個(gè)羧酸基的優(yōu)選排列是四羧酸基中的四個(gè)羧酸基在芳香環(huán)上形成兩個(gè)的鄰-對特征的取代。當(dāng)聚酰胺酸不飽和酯含有復(fù)合特性的重復(fù)鏈節(jié)n的情況下，取代基R3可以是相同，也可以是不相同的。在通式II重復(fù)鏈節(jié)中n=l，2所對應(yīng)的聚酰胺酸不飽和酯可以在堿性水溶液中具有優(yōu)異的溶解性，故作為優(yōu)選。在通式II中，基團(tuán)A是酸性基團(tuán)，其可以從磺酸基(一SOsH)，亞磺酸基(一S02H)，羧酸基(一COOH)或苯酚型羥基中進(jìn)行選擇，其重要考慮是需在堿性水溶液中具有優(yōu)異的溶解性。羧酸基團(tuán)作為優(yōu)選基團(tuán)，因?yàn)槠淇梢愿菀椎睾铣删埘啺非绑w化合物。當(dāng)聚酰胺酸不飽和酯含有復(fù)合特性的重復(fù)鏈節(jié)II的情況下，取代基A可以是相同，也可以是不相同的。在通式II結(jié)構(gòu)的重復(fù)鏈節(jié)中，當(dāng)11=0時(shí)，為了達(dá)到增加在堿性水溶液中溶解特征的目的，R4基團(tuán)選擇可構(gòu)成聚酰胺酸的半酯結(jié)構(gòu)，則對應(yīng)于通式II結(jié)構(gòu)的重復(fù)鏈節(jié)的特定形式。在通式結(jié)構(gòu)II中，與酸性基團(tuán)A鍵合的基團(tuán)R4可以是一個(gè)可與四羧酸結(jié)構(gòu)或其衍生物相反應(yīng)形成聚酰亞胺前體化合物的二胺結(jié)構(gòu)單元?？紤]到應(yīng)力特征，抗熱性以及聚酰亞胺12涂層的交聯(lián)性，R4基團(tuán)優(yōu)選含有芳香環(huán)，更優(yōu)選是含有包括芳香環(huán)在內(nèi)的QC30原子結(jié)構(gòu)。在通式II結(jié)構(gòu)的重復(fù)鏈節(jié)聚酰亞胺前體化合物中，R4基團(tuán)可以是相同的，也可以是不相同的。在通式II結(jié)構(gòu)的重復(fù)鏈節(jié)聚酰亞胺前體化合物中，含有碳碳雙鍵的Rs基團(tuán)可以是相同的，也可以是不相同的。優(yōu)選的R5基團(tuán)具有如通式III結(jié)構(gòu)，其可以具有更高的光敏特性。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage13</formula>通式III中R6，R7,Rs獨(dú)立是氫，烴基，苯基，丙烯基；R9為二價(jià)共價(jià)有機(jī)基團(tuán)。在此所述的烴基優(yōu)選為C卜4結(jié)構(gòu)。二價(jià)共價(jià)有機(jī)基團(tuán)R9優(yōu)選為C'3烷撐結(jié)構(gòu)，具體如甲撐、乙撐、丙撐。含有C卜20碳原子的甲基丙烯酰氧基烷基以及丙烯酰氧基烷基結(jié)構(gòu)是通式III結(jié)構(gòu)的尤其優(yōu)選，因?yàn)槠渚哂懈叩墓饷粜裕瑫r(shí)也容易合成制備。本發(fā)明中，聚酰胺酸不飽和酯也可以含有通式II結(jié)構(gòu)以外的其它重復(fù)鏈節(jié)結(jié)構(gòu)。本發(fā)明中聚酰亞胺前體化合物的具體應(yīng)用中，通式II結(jié)構(gòu)所表示的重復(fù)鏈節(jié)(n-l，2時(shí))在整個(gè)重復(fù)鏈節(jié)中的比例優(yōu)選為10100mol%。這樣的比例可以保證其在堿性水溶液中具有優(yōu)異的擴(kuò)散性，同時(shí)獲得滿足的圖象效果。更優(yōu)選的比例是80100mo1。/。，其相應(yīng)與更滿意的應(yīng)用特性。比例的調(diào)節(jié)可以通過改變四羧酸及其衍生物、二胺化合物以及含有碳碳雙鍵的化合物的類型以及數(shù)量來加以控制。在通式II結(jié)構(gòu)中，當(dāng)11=0時(shí)，通式II結(jié)構(gòu)所表示的重復(fù)鏈節(jié)在整個(gè)重復(fù)鏈節(jié)中的比例優(yōu)選為10100mol%，更優(yōu)選的比例范圍是30100moin/。，可以獲得滿意的圖象特征。為了達(dá)到提高在堿性水溶液中的擴(kuò)散特征，其它不同于通式II的重復(fù)鏈節(jié)的比例也是重要的影響因素。本發(fā)明中聚酰胺酸不飽和酯可以通過如下步驟來進(jìn)行合成(1)四羧酸二酸酐、含有羥基的化合物、含有不飽和基團(tuán)的化合物進(jìn)行混合以得到四羧酸二酸酐的半酯結(jié)構(gòu)；然后利用亞硫酰氯制備得到相應(yīng)的酰氯化合物；(2)上述四羧酸二酸酐半酯結(jié)構(gòu)的酰氯化合物與縮合劑反應(yīng)，具體可以是二胺類化合物；(3)保證縮合反應(yīng)得到完成的方法，并進(jìn)行分離純化處理。本發(fā)明中四羧酸二酸酐具體包括氧二鄰苯二甲酸二酸酐，3，3',4,4'-二苯甲酮四羧酸二酸酐，3,3'，4，4'-聯(lián)苯四羧酸二酸酐，1,2，5,6-萘四羧酸二酸酐，2，3,6，7-萘四羧酸二酸酐，1,4，5,8-萘四羧酸二酸酐，2，3,5，6-吡啶四羧酸二酸酐，3,4,9，10-二萘嵌苯四羧酸二酸酐，磺酰基二鄰苯二甲酸二酸酐，間-三聯(lián)苯-3,3，，4,4，-四羧酸二酸酐，對-三聯(lián)苯-3，3',4，4'-四羧酸二酸酐，1,1，1，3,3,3-六氟-2,2'-雙(2,3-或3,4-二羧酸基苯基)丙基二酸酐，2,2'-雙(2，3-或3,4-二羧酸基苯基)丙基二酸酐，2，2'-雙(4'-(2,3-或3，4-二羧酸基苯氧基)苯基)丙基二酸酐，1,1，1,3，3,3-六氟-2,2'-雙(4'-(2,3-或3，4-二羧酸基苯氧基)苯基)丙基二酸酐以及如通式1￥所表示的芳香族四羧酸二酸酐結(jié)構(gòu)化合物。通式IV中Rhj，Rn獨(dú)立是C卜!2的單價(jià)共價(jià)烴基；s大于等于l。本發(fā)明中二胺類化合物在通式II重復(fù)鏈節(jié)結(jié)構(gòu)中對應(yīng)于R4-(A)n(當(dāng)11=1，2時(shí))，其具體包括3,5-二氨基苯甲酸，4，4'-二羥基-3,3'-二氨基聯(lián)苯，3，4-二氨基苯甲酸，3,3'-二羥基-4,4，-二氨基聯(lián)苯，2,3-二氨基-4-羥基吡啶，2,2'-雙(4-羥基-3-氨基苯基)六氟丙基，2，4-二氨基苯酚，2,4-二氨基苯甲酸，3-羧基-4，4'-二氨基二苯醚，3,3'-二羧基-4,4'-二氨基丙基醚，3,3'-二羧基-4，4，-二氨基二苯基甲烷，3，3'-二羧基-4,4'-二氨基二苯基甲烷，3,3'-二羧基-4,4'-二氨基聯(lián)苯，3,3'，5,5'-四羧酸基-4,4'-二氨基聯(lián)苯，3-羧基-4，4'-二氨基二苯基砜，3,3'-二羧基-4,4'-二氨基二苯基砜，1,1，1，3,3，3-六氟-2，2'-雙(3-羧基-4-氨基苯基)丙基以及其它。本發(fā)明中二胺類化合物在通式II重復(fù)鏈節(jié)結(jié)構(gòu)中對應(yīng)結(jié)構(gòu)(當(dāng)11=0時(shí))，其具體包括4，4，-(或3,4，-，或3,3，-，或2,4，-，或2,2，-)二氨基二苯基醚，4，4，-(或3,4，-，或3，3，-，或2,4，-，或2,2，-)二氨基二苯基甲烷，4，4'-(或3,4'-,或3，3，-，或2，4'-，或2，2'-)二氨基二苯基砜,4，4'-(或3,4，-，或3,3，-，或2,4，-，或2,2，-)二氨基二苯基亞砜，對-亞苯基二胺，間-亞苯基二胺，對二甲苯二胺，間-二甲苯二胺，鄰-聯(lián)甲苯胺，鄰-聯(lián)甲苯胺砜，4,4，-亞甲基-雙(2,6-二乙基苯胺)，4,4，-亞甲基-雙(2，6-二異丙基苯胺)，2,4-二氨基-1,3,5-三甲基苯，1,5-二氨基萘，4，4，-二苯甲酮二胺，雙(4-(4，-氨基苯氧基)苯基)砜，1,1,1，3,3，3-六氟-2,2，-雙(4-氨基苯基)丙基，2,2，-雙(4-氮基苯基)丙基，3，3，-二甲基-4,4，-二氨基二苯基甲烷，3，3，,5,5，-四甲基-4,4，-氨基苯基甲垸，雙(4-(3'-氨基苯氧基)苯基)砜，2，2'-雙(4-氨基苯基)丙基以及其它。本發(fā)明中，可以獨(dú)立使用二胺類化合物或不同結(jié)構(gòu)的二胺類化合物合并使用。對應(yīng)于前述的通式IV結(jié)構(gòu)中，如下通式V結(jié)構(gòu)的二氨基聚硅氧垸可以用于本發(fā)明中以提高交聯(lián)特性。^■14^14H2N—R12—Si"eO—Si、R13—NH2Rl5R15v通式結(jié)構(gòu)V中R12，R13獨(dú)立是二價(jià)共價(jià)烴基，其可以相同也可以不相同；R14,RI5獨(dú)立是單價(jià)共價(jià)烴基，其可以相同也可以不相同。二價(jià)共價(jià)烴基可以是l)低碳烷撐，如甲撐，乙撐，丙撐；2)單環(huán)結(jié)構(gòu)的亞芳基，如亞苯基。Ri2和Ru可以同時(shí)低碳垸撐，也可以同時(shí)是亞芳基，也可以分別為低碳垸撐和亞芳基。單價(jià)共價(jià)烴基可以是l)低碳垸基，如甲基，乙基；2)單環(huán)結(jié)構(gòu)的芳基。Rw和Ri5可以同時(shí)低碳垸基，也可以同時(shí)是芳基，也可以分別為低碳垸基和芳基。具有通式結(jié)構(gòu)V的二胺類化合物在整個(gè)二胺類化合物中的優(yōu)選比例是l30mol%。為了提高抗熱性，帶有磺酰胺基或胺基結(jié)構(gòu)的二胺類化合物可以按照合適的比例在整個(gè)二胺類化合物中進(jìn)行使用。具體的磺酰胺基或酰胺基二胺類化合物包括4,4'-二氨基二苯基醚-3-磺酰胺，3,4'-二氨基二苯基醚-4-磺酰胺，3,4'-二氨基二苯基醚-3'-磺酰胺，3，3'-二氨基二苯基醚-4-磺酰胺，4，4'-二氨基二苯基醚-3-酰胺，3，4'-二氨基二苯基醚-4-酰胺，3，4'-二氨基二苯基醚-3'-酰胺，3,3'-二氨基二苯基醚-4-酰胺以及其它。上述含有磺酰胺基和酰胺基的二胺類化合物在整個(gè)二胺類化合物中的比例優(yōu)選為l30mol%。如上述的各類二胺類化合物，本發(fā)明中其可以獨(dú)立使用，也可以是不同的類型，不同結(jié)構(gòu)的二胺化合物合并使用?？紤]到酰亞胺涂層的特征，本發(fā)明中聚酰亞胺前體化合物(組份A)的分子量優(yōu)選為10000200000。更優(yōu)選的范圍是2000080000。本發(fā)明中六芳基二咪唑化合物(組份B)在光敏組合物體系中的使用量，相對100份組份A，其優(yōu)選值為0.120wt.G/。,更優(yōu)選范圍是0.110wt.n/c，尤其優(yōu)選范圍是0.510wt.0/0。本發(fā)明中的一個(gè)重要技術(shù)要點(diǎn)在于可光聚合組合物中的組份A含有聚酰亞胺前體化合物。組份A優(yōu)選含有另外的在大氣壓情況下沸點(diǎn)大于IOO'C的可光聚合化合物，該可光聚合化合物相對于100份聚酰亞胺前體化合物的使用比例優(yōu)選是550wt.%。本發(fā)明中的光敏組合物可以通過添加合適的氫給予體到光聚合引發(fā)體系中所實(shí)現(xiàn)更優(yōu)異的光敏特性。已知的氫給予體，如胺類化合物可以使用，尤其適合的氫給予體是芳基氨基乙酸化合物和巰基化合物。本發(fā)明中適合用作氫給予體的芳基氨基乙酸化合物具體可以包括N-苯基氨基乙酸，N-(對-氯苯基)氨基乙酸，N-(對-溴苯基)氨基乙酸，N-(對氰基苯基)氨基乙酸，N-(對-甲基苯基)氨基乙酸，N-甲基-N-苯基氨基乙酸，N-(對-溴苯基)-N-甲基氨基乙酸，N-(對-氯苯基)-N-乙基氨基乙酸及其它。本發(fā)明中適合用作氫給予體的巰基化合物具體可以包括巰基苯并噁唑，巰基苯并噻唑，巰基苯并咪唑，2，5-二巰基-1,3，4-噻二唑，l-苯基-5-巰基-lH-四唑，5-甲基-l，3,4-噻二唑-2-硫醇，3-巰基-4-甲基-4H-l,2，4-三唑以及其它。上述氫給予體，相對于100份組份A而言，其使用比例在0.1~15wt.%，更優(yōu)選是0.510wt.%。本發(fā)明中光敏組合物也可以進(jìn)行除氫給予體以外的其它敏感劑的添加。具體的敏感劑可以包括7-N,N-二乙氨基香豆素，3，3，-?；p(7-N，N-二乙氨基)香豆素，3-噻吩基?；?7-N,N-二乙氨基香豆素，3-苯甲?；愣顾?，3-苯甲?；?7-N,N-二乙氦基香豆素，，3-(4'-甲氧基苯甲?；?香豆素，二甲氨基二苯甲酮，二乙氨基二苯甲酮，4，4，-雙(N-乙基-N-甲基)二苯甲酮以及其它。16上述敏感劑的使用依賴于其自身的分子量以及其在特定曝光波長下的消光系數(shù)來確定，針對i-線曝光體系(365nm)，其使用比例相對于IOO份組份A而言，其使用比例在0.110wt.%，更優(yōu)選是0.12wt.%。光敏組合物的各組份通常溶解或分散在有機(jī)溶劑中，適合的有機(jī)溶劑包括丙酮，甲基乙基酮，二乙基酮，甲苯，氯仿，甲醇，乙醇，l-丙醇，2-丙醇，l-丁醇，2-丁醇，叔丁基醇，乙二醇單甲醚，二甲苯，四氫呋喃，二氧六環(huán)，環(huán)戊酮，N，N-二甲基乙酰胺，N，N-二甲基甲酰胺，N-甲基-2-吡咯烷酮，N-乙?；?2-吡咯垸酮，N-芐基-2-吡咯垸酮，Y-丁內(nèi)酯，二甲基亞砜，亞乙基碳酸酯，亞丙基碳酸酯，六甲基磷酰胺，N-乙?；?s-己內(nèi)酰胺，二甲基咪唑啉酮，二乙二醇二甲基醚，三乙二醇二甲基醚?？梢允菃为?dú)的溶劑也可以是兩種或多種溶劑的混合物。溶劑的使用量沒有嚴(yán)格的限制，常用的比例相對于整個(gè)體系而言，其適合的范圍是1090wt.%。其它的添加劑，如增塑劑、交聯(lián)促進(jìn)劑以及其它特征的添加劑可以引入到本發(fā)明的光敏組合物體系中。本發(fā)明提供了利用上述光敏組合物通過光刻技術(shù)和固化技術(shù)形成涂層，并基于涂層獲得圖象的方法。首先將含有聚酰亞胺前體化合物的光敏組合物涂覆于基材的表面，為了增加涂層或熱固化聚酰亞胺涂膜于基材間的交聯(lián)性，基材的表面往往先用粘合劑進(jìn)行處理。含有聚酰亞胺前體化合物的光敏組合物涂層的形成可以依賴粘合劑的粘性和其它特定的方法。然后經(jīng)過對應(yīng)與特定圖象的光掩膜進(jìn)行曝光。未曝光的部分通過有機(jī)溶劑或堿性水溶液移除而得到所要求的光刻圖象。在擴(kuò)散步驟中，合適的有機(jī)溶劑可以是Y-丁內(nèi)酯，環(huán)戊酮，N-甲基吡咯垸酮，二甲基亞砜，二甲基乙酰胺以及它們的混合物。堿性水溶液可以通過將堿性化合物溶解在水中進(jìn)行制備，其濃度比例在0.150wt。/。之間，優(yōu)選范圍是0.130wtM。為了提高聚酰亞胺前體化合物的溶解性，堿性水溶液中可以含有水溶性的有機(jī)溶劑，包括甲醇，乙醇，丙醇，異丙醇，N-甲基-2-吡咯垸酮，N，N-二甲基乙酰胺以及其它。上述的堿性化合物具體可以包括堿金屬、堿土金屬、銨基、胺的氫氧化物或碳酸鹽。例如2-二甲氨基乙醇，3-二甲氨基-l-丙醇，4-二甲氨基-l-丁醇，5-二甲氨基-l-戊醇，6-二甲氨基-l-己醇，2-二甲氨基-2-甲基-丙醇，3-二甲氨基乙醇-2,2-二甲基-l-丙醇，2-異丙氨基乙醇，2-二正丁氨基乙醇，N，N-二芐基-2-氨基乙醇，2-(2-二甲氨基乙氧基)乙醇，2-(2-二乙氨基乙氧基)乙醇，l-二甲氨基-2-丙醇，l-二乙氨基-2-丙醇，N-甲基-二乙醇胺，N-乙基二乙醇胺，N-正丁基二乙醇胺，N-叔丁基二乙醇胺，N-月桂基二乙醇胺，3-二乙氨基-l，2-丙二醇，三乙醇胺，三異丙醇胺，N-甲基乙醇胺，N-乙基乙醇胺，N-正丁基乙醇胺，N-叔丁基乙醇胺，二乙醇胺，二異丙醇胺，2-氨基乙醇，3-氨基-l-丙醇，4-氨基-l-丁醇，5-氨基-1-戊醇，6-氨基-l-己醇，l-氨基-2-丙醇，2-氨基-2，2-二甲基-l-丙醇，l-氨基丁醇，2-氨基-1-丁醇，N-(2-氨乙基)乙醇胺，2-氨基-2-甲基-l，3-丙二醇，2-氨基-2-乙基-l，3-丙二醇，3-氨基-1，2-丙二醇，2-氨基-2-羥甲基-l，3-丙二醇，氫氧化鈉，氫氧化鉀，氨水，碳酸鈉，碳酸鉀，碳酸銨，碳酸氫鈉，碳酸氫鉀，碳酸氫銨，四甲基氫氧化銨，四乙基氫氧化銨，四丙基氫氧化銨，四異丙基氫氧化銨，氨基甲醇，2-氨基乙醇，3-氨基丙醇，2-氨基丙醇，甲胺，乙胺，丙胺，異丙胺，二甲胺，二乙胺，二丙胺，二異丙胺，三甲胺，三乙胺，三丙胺，三異丙胺以及其它具有水溶性的堿性物質(zhì)。本發(fā)明設(shè)計(jì)將聚酰亞胺所獲得圖象在溫度范圍15045(TC進(jìn)行熱處理，以實(shí)現(xiàn)圖象的優(yōu)異分辨率、抗熱性以及其它滿意的應(yīng)力狀況。下述實(shí)例將詳細(xì)說明本發(fā)明，但無論如何不限制本發(fā)明范圍。具體實(shí)例主要涉及到通式I二苯甲酮衍生物光引發(fā)劑的制備以及其在紫外光固化體系中的應(yīng)用。具體實(shí)施例方式制備實(shí)施例一聚酰亞胺前體化合物的合成(1)酰氯化合物的合成在裝有攪拌、溫度計(jì)和回流冷凝管的反應(yīng)容器中，加入10g(0.034mol)3,3，，4,4，-聯(lián)苯四羧酸二酸酐(BPDA)，8.84g(0.068mol)2-羥乙基甲基丙烯酸(HEMA)，5.38g(0.068mol)吡啶，0.03g叔丁基苯磷二酚以及80mlN-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)，在60'C攪拌反應(yīng)，在溶液變澄清后繼續(xù)攪拌10小時(shí)，將反應(yīng)體系進(jìn)行冰浴，在20分鐘內(nèi)滴加10g(0.084mol)亞硫酰氯，在室溫情況下攪拌反應(yīng)得到酰氯結(jié)構(gòu)的化合物。(2)聚酰亞胺前體化合物(聚酰胺酸酯)的合成在另外的反應(yīng)容器中，加入5.02g(0.033mol)3，5-二氨基苯甲酸，5.38g(0.068mol)吡啶，0.03g叔丁基苯磷二酚以及60mlN-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)，將反應(yīng)容器置于冰浴中，使得整個(gè)體系的溫度在1(TC以下，向上述反應(yīng)體系中滴加(1)中所獲得的酰氯化合物，滴加時(shí)間控制在1小時(shí)左右。反應(yīng)體系繼續(xù)在室溫下繼續(xù)攪拌2小時(shí)，反應(yīng)結(jié)束后將反應(yīng)混合物傾入1L水中，過濾沉淀聚合物，水洗后干燥得到22g聚酰胺酸酯。通過GPC測定其平均分子量為50000。制備實(shí)施例二2,2，-雙(2-三氟甲基苯基)-4，4，,5,5，-四(間-甲氧基苯基)-1，2，-二咪唑(縮寫成:m-MeO-2-CF3-HABI)的合成OMe在3.5g2-(2-三氟甲基苯基)-4,5-雙(間-甲氧基苯基)咪唑溶解在20gN-甲基-2-吡咯垸酮，慢慢向反應(yīng)體系中加入6g亞鐵氰化鉀、3.6gNaOH以及100ml水所形成的溶液，保持反應(yīng)溫度在1020'C之間，繼續(xù)攪拌10小時(shí)后，結(jié)束反應(yīng)，過濾、水洗、干燥后，利用丙酮一甲醇對目標(biāo)產(chǎn)物進(jìn)行重結(jié)晶，得到白色粉末。通過'HNMR、13CNMR及MS測試，說明目標(biāo)產(chǎn)物符合2，2，-雙(2-三氟甲基苯基)-4，4，,5，5，-四(間-甲氧基苯基)-l，2，-二咪唑(縮寫成m-MeO-2-CF3-HABI)的結(jié)構(gòu)特性。具體的元素分析情況如下實(shí)測值(計(jì)算值)C68.11°/。(68.08%);H4.33%(4.28%);N6.68%(6.62°/。)。F元素的測試結(jié)果實(shí)測值(計(jì)算值)13.42%(13.46%)。制備實(shí)施例三2,2'-雙(4-三氟甲基苯基)-4,4，,5,5，-四(間-甲氧基苯基)-1,2，-二咪唑(縮寫成:m-MeO-4-CF3-HABI)的合成OMeMeO在3.5g2-(4-三氟甲基苯基)-4,5-雙(間-甲氧基苯基)咪唑溶解在20gN-甲基-2-吡咯烷酮，慢慢向反應(yīng)體系中加入6g亞鐵氰化鉀、3.6gNaOH以及100ml水所形成的溶液，保持反應(yīng)溫度在1020'C之間，繼續(xù)攪拌10小時(shí)后，結(jié)束反應(yīng)，過濾、水洗、干燥后，利用丙酮一甲醇對目標(biāo)產(chǎn)物進(jìn)行重結(jié)晶，得到白色粉末。通過iHNMR、13CNMR及MS測試，說明目標(biāo)產(chǎn)物符合2，2，-雙(4-三氟甲基苯基)-4，4，,5，5'-四(間-甲氧基苯基)-l,2，-二咪唑(縮寫成m-MeO-4-CF3-HABI)的結(jié)構(gòu)特性。具體的元素分析情況如下實(shí)測值(計(jì)算值)C68.21%(68.08%);H4.44%(4.28%);N6.69%(6.62%)。F元素的測試結(jié)果實(shí)測值(計(jì)算值)13.41%(13.46%)。制備實(shí)施例四2,2，-雙(2-三氟甲基-4-氟苯基)-4,4，，5,5，-四(間-甲氧基苯基)-1，2，-二咪唑(縮寫成:m-MeO-2-CF3-4-F-HABI)的合成<formula>formulaseeoriginaldocumentpage21</formula>在3.7g2-(2-三氟甲基-4-氟苯基)-4，5-雙(間-甲氧基苯基)咪唑溶解在20gN-甲基-2-吡咯垸酮，慢慢向反應(yīng)體系中加入6g亞鐵氰化鉀、3.6gNaOH以及100ml水所形成的溶液，保持反應(yīng)溫度在1020'C之間，繼續(xù)攪拌10小時(shí)后，結(jié)束反應(yīng)，過濾、水洗、干燥后，利用丙酮一甲醇對目標(biāo)產(chǎn)物進(jìn)行重結(jié)晶，得到白色粉末。通過'HNMR、13CNMR及MS測試，說明目標(biāo)產(chǎn)物符合2，2，-雙(2-三氟甲基-4-氟苯基)-4,4，，5，5，-四(間-甲氧基苯基)-l,2，-二咪唑(m-MeO-2-CF3-4-F-HABI)的結(jié)構(gòu)特性。具體的元素分析情況如下實(shí)測值(計(jì)算值)C65.41%(65.31%);H3.91%(3.88%);N6.32%(6.35%)。F元素的測試結(jié)果實(shí)測值(計(jì)算值)17.29%(17.22%)。制備實(shí)施例五2，2，-雙(2-氟-4-三氟甲基苯基)-4，4，，5,5，-四(間-甲氧基苯基)-1，2，-二咪唑(縮寫成m-MeO-2-F-4-CF3-HABI)的合成<formula>formulaseeoriginaldocumentpage21</formula>在3.7g2-(2-氟-4-三氟甲基苯基)-4，5-雙(間-甲氧基苯基)咪唑溶解在20gN-甲基-2-吡咯烷酮，慢慢向反應(yīng)體系中加入6g亞鐵氰化鉀、3.6gNaOH以及100ml水所形成的溶液，保持反應(yīng)溫度在102(TC之間，繼續(xù)攪拌10小時(shí)后，結(jié)束反應(yīng)，過濾、水洗、干燥后，利用丙酮一甲醇對目標(biāo)產(chǎn)物進(jìn)行重結(jié)晶，得到白色粉末。通過'HNMR、。CNMR及MS測試，說明目標(biāo)產(chǎn)物符合2,2，-雙(2-氟-4-三氟甲基苯基)-4，4，,5,5，-四(間-甲氧基苯基)-l，2，-二咪唑(m-MeO-2-F-4-CF3-HABI)的結(jié)構(gòu)特性。具體的元素分析情況如下實(shí)測值(計(jì)算值)C65.35%(65.31%);H3.92%(3.88%);N6.31%(6.35%)。F元素的測試結(jié)果實(shí)測值(計(jì)算值)17.24%(17.22%)。應(yīng)用實(shí)施例一和對比例一-(1)光敏聚酰亞胺前體組合物的制備將10g制備實(shí)施例一中所得到的聚酰亞胺前體化合物和10g2丁內(nèi)酯、2g環(huán)戊酮進(jìn)行攪拌，在上述體系中加入2.5g四乙二醇二丙烯酸酯單體以及表l中所列舉的光敏劑。然后通過3pm濾紙進(jìn)行過濾得到光敏舉酰亞胺前體組合物的溶液。表1應(yīng)用實(shí)施例一對比例一C1-HABI06.0m-Me-2-CF3-HABI6.00NPG2.02.0表1中NPG是指N-苯基氨基乙酸(2)圖象生成在(1)中所制備的光敏聚酰亞胺前體組合物涂覆于硅片上，前烘焙溫度90'C，烘焙時(shí)間200秒，形成14pm厚的涂膜。將該涂膜放置于i-線步進(jìn)機(jī)中進(jìn)行曝光，曝光強(qiáng)度是40mJ/cm2，80mJ/cm2，120mJ/cm2，160mJ/cm2，200mJ/cm2，240mJ/cm2，280mJ/cm2，320mJ/cm2，360mJ/cm2。采用兩種不同的掩膜圖象以評估應(yīng)用結(jié)果。其一是開放性圖象；其二是島嶼型22圖像。曝光后將涂層浸漬在2.38wt。/?；?.10wty。四甲基氫氧化銨，然后水洗。具體的光敏性評估結(jié)果見表2。E^表示要求得到7pm最終厚涂膜(涂膜50%)所要求的曝光量(mJ/cm2)實(shí)施光敏性以得到8pm的分辨率所要求的曝光量<table>tableseeoriginaldocumentpage23</column></row><table>應(yīng)用實(shí)施例二和對比例二(1)光敏聚酰亞胺前體組合物的制備將10g制備實(shí)施例一中所得到的聚酰亞胺前體化合物和16gN-甲基-2-吡咯烷酮、2g環(huán)戊酮進(jìn)行攪拌，在上述體系中加入2g四乙二醇二丙烯酸酯單體以及表3中所列舉的光敏劑。然后通過3)Lim濾紙進(jìn)行過濾得到光敏舉酰亞胺前體組合物的溶液。<table>tableseeoriginaldocumentpage23</column></row><table>表l中NPG是指N-苯基氨基乙酸；MEAB是指4,4，-雙(N-乙基-N-甲基)二苯甲酮(2)圖象生成在(1)中所制備的光敏聚酰亞胺前體組合物涂覆于硅片上，前烘焙溫度90'C，烘焙時(shí)間200秒，形成18pm厚的涂膜。將該涂膜放置于i-線步進(jìn)機(jī)中進(jìn)行曝光，曝光強(qiáng)度是40360mJ/cm2。曝光后將涂層浸漬在y-丁內(nèi)內(nèi)酯/乙酸丁酯中進(jìn)行擴(kuò)散，而后用丙二醇單甲基醚乙酸酯進(jìn)行洗滌。具體的光敏性評估結(jié)果見表4。Ej/2表示要求得到7)iim最終厚涂膜(涂膜50%)所要求的曝光量(mJ/cm2)實(shí)施光敏性以得到6nm的分辨率所要求的曝光量表4<table>tableseeoriginaldocumentpage24</column></row><table>在應(yīng)用實(shí)施例一中所得到的圖象在N2保護(hù)的情況下，在IO(TC加熱30分鐘，而后在20(TC加熱30分鐘，再在35(TC加熱60分鐘而得到聚酰亞胺圖象，厚度0.9pm，并具有優(yōu)異的圖像特征。從上面的描述中可以知道本發(fā)明中含有通式I結(jié)構(gòu)六芳基二咪唑化合物的光敏組合物可以顯現(xiàn)出4到5倍于C1-HABI的光敏性，故而其可以在低水平曝光量的情況下實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的圖象光刻特征。本發(fā)明所涉及的通式I結(jié)構(gòu)的六芳基二咪唑作為高效的光敏聚合引發(fā)劑，可以在低曝光量的情況下實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的光刻特征，同時(shí)其也可以在堿性水溶液中進(jìn)行擴(kuò)散。權(quán)利要求1.本發(fā)明涉及到通式I結(jié)構(gòu)六芳基二咪唑衍生物，其用作光聚合反應(yīng)引發(fā)劑。其中R1，R2獨(dú)立是烷基、含氟烷基；X1，X2，X3，X4，X5獨(dú)立是氫，氟，烷基，烷氧基，含氟烷基；且X1，X2，X3，X4，X5中至少有一個(gè)基團(tuán)為含氟烷基。2.如權(quán)利要求l，本發(fā)明涉及通式I二聚體結(jié)構(gòu)中具有優(yōu)勢的異構(gòu)體構(gòu)型如Ia所示其中R!，R2獨(dú)立是垸基、含氟烷基；XpX2，X3，X4，Xs獨(dú)立是氫，氟，烷基，烷氧基，含氟垸基；且X^X2，X3，X4，X5中至少有一個(gè)基團(tuán)為含氟烷基。3.本發(fā)明涉及一類光敏性組合物，其包括A)至少一種含有碳碳雙鍵的可光聚合化合物；B)至少含有一種六芳基二咪唑化合物，其特征為通式I化合物。其中RpR2獨(dú)立是烷基、含氟垸基；X!，X2，X3，X4，X5獨(dú)立是氫，氟，烷基，烷氧基，含氟烷基；且XpX2，X3，X4，Xs中至少有一個(gè)基團(tuán)為含氟烷基。4.如權(quán)利要求1和2，R,，R2優(yōu)選為Cwo烷基及Cwo含氟垸基，更優(yōu)選為C卜2烷基及C卜2含氟院基。5.如權(quán)利要求1和2，X!，X2，X3，X4，Xs優(yōu)選為Cw。垸基，Cwo烷氧基及Cwo含氟垸基，更優(yōu)選為C卜2烷基，Cu垸氧基及C卜2含氟烷基。在通式I和Ia所示六芳基二咪唑衍生物結(jié)構(gòu)，在其中兩個(gè)含有X!，X2，X3，X4，X5的苯環(huán)上優(yōu)選為其中有l(wèi)2個(gè)Xj(i=l6)為C卜2含氟垸基，或同時(shí)存在l3個(gè)Xj(j=l6)為氟。6.如權(quán)利要求l，2，4，5，本發(fā)明通式I和Ia結(jié)構(gòu)六芳基二咪唑衍生物的優(yōu)選化合物包括,2,2，-雙(2-三氟甲基苯基)-4,4，,5,5，-四(間-甲氧基苯基)-1,2，-二咪唑,2,2，-雙(3-三氟甲基苯基)-4，4，，5,5，-四(間-甲氧基苯基)-1,2，-二咪唑,2,2，-雙(4-三氟甲基苯基)-4,4，,5,5，-四(間-甲氧基苯基)-1，2，-二咪唑,2,2，-雙(2,4-二(三氟甲基)-苯基)-4，4，,5,5，-四(間-甲氧基苯基)-1，2，-二咪唑,2,2，-雙(2，6-二(三氟甲基)-苯基)-4,4，,5，5，-四(間-甲氧基苯基)-1,2，-二咪唑,2，2，-雙(2-氟-4-三氟甲基苯基)-4,4，，5，5，-四(間-甲氧基苯基)-1，2，-二咪唑,2，2，-雙(2-三氟甲基-4-氟苯基)-4,4，，5,5，-四(間-甲氧基苯基)-1,2，-二咪唑,2,2，-雙(2-三氟甲基-6-氟苯基)-4，4，，5,5，-四(間-甲氧基苯基)-1，2，-二咪唑,2,2，-雙(2-三氟甲基-4,6-二氟苯基)-4,4',5,5，-四(間-甲氧基苯基)-1，2，-二咪唑,2，2，-雙(2,3-二氟-4-三氟甲基苯基)-4,4，，5,5，-四(間-甲氧基苯基)-1，2，-二咪唑,2,2，-雙(2-三氟甲基苯基)-4，4，,5,5，-四(間-乙氧基苯基)-1,2，-二咪唑,2,2，-雙(3-三氟甲基苯基)-4，4，,5,5，-四(間-乙氧基苯基)-1,2，-二咪唑,2,2，-雙(4-三氟甲基苯基)-4,4，,5，5，-四(間-乙氧基苯基)-1,2，-二咪唑,2,2，-雙(2,4-二(三氟甲基)-苯基)-4,4，,5,5，-四(間-乙氧基苯基)-1,2，-二咪唑,2，2，-雙(2,6-二(三氟甲基)-苯基)-4，4，，5，5，-四(間-乙氧基苯基)-1,2，-二咪唑,2,,2，-雙(2-氟-4-三氟甲基苯基)-4,4，，5,5，-四(間-乙氧基苯基)-1,2，-二咪唑(2,2，-雙(2-三氟甲基-4-氟苯基)-4,4，,5，5，-四(間-乙氧基苯基)-1,2，-二咪唑2,2，-雙(2-三氟甲基-6-氟苯基)-4,4，,5,5，-四(間-乙氧基苯基)-1,2，-二咪唑2，2，-雙(2-三氟甲基-4，6-二氟苯基)-4，4，,5，5，-四(間-乙氧基苯基)-1,2，-二咪唑2，2，-雙(2,3-二氟-4-三氟甲基苯基)-4,4，，5，5，-四(間-乙氧基苯基)-1,2，-二咪唑。7.如權(quán)利要求l，2，4，5，6,本發(fā)明通式I和Ia結(jié)構(gòu)六芳基二咪唑衍生物的尤其優(yōu)選化合物包括(2,2，-雙(2-三氟甲基苯基)-4，4，,5，5，-四(間-甲氧基苯基)-1，2，-二咪唑2，2，-雙(4-三氟甲基苯基)-4，4，,5，5，-四(間-甲氧基苯基)-1,2，-二咪唑2,2，-雙(2-三氟甲基-4-氟苯基)-4,4，,5，5，-四(間-甲氧基苯基)-1,2，-二咪唑2,2，-雙(2-氟-4-三氟甲基苯基)-4，4，,5，5，-四(間-甲氧基苯基)-1,2，-二咪唑。8.如權(quán)利要求3，本發(fā)明涉及一類光敏性組合物，其組成包括1)100份wt。/。組份A;2)0.120份wt。/。組份B。9.本發(fā)明涉及一種獲得圖象的方法，其步驟包括(1)利用光敏性組合物形成涂膜；該光敏性組合物含有A)至少一種含有碳碳雙鍵的可光聚合化合物；B)至少含有一種六芳基二咪唑化合物，其特征為通式I化合物；<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>其中Ri，R2獨(dú)立是烷基、含氟烷基；X,，X2，X3，X4，Xs獨(dú)立是氫，氟，垸基，垸氧基，含氟烷基；且X!，X2，X3，X4，X5中至少有一個(gè)基團(tuán)為含氟垸基。(2)帶有特定設(shè)計(jì)圖象的掩膜加以涂膜覆蓋，進(jìn)行曝光；3)在有機(jī)溶劑或堿性水相溶液中進(jìn)行擴(kuò)散。全文摘要本發(fā)明涉及通式I六芳基二咪唑衍生物及其制備方法。其中R₁，R₂獨(dú)立是烷基、含氟烷基；X₁，X₂，X₃，X₄，X₅獨(dú)立是氫，氟，烷基，烷氧基，含氟烷基；且X₁，X₂，X₃，X₄，X₅中至少有一個(gè)基團(tuán)為含氟烷基。本發(fā)明同時(shí)涉及到利用聚酰亞胺前體化合物與通式I化合物合并用作光敏性組合物，其具有優(yōu)異的光敏性和熱穩(wěn)定性。文檔編號C08F2/48GK101654489SQ20091014456公開日2010年2月24日申請日期2009年8月20日優(yōu)先權(quán)日2009年8月20日發(fā)明者戈國平申請人:池州群興化工有限公司