專利名稱：等離子體處理方法及其裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及當(dāng)主要對(duì)于聚乙烯或者聚丙烯、聚脂(PET)、PTFE(聚四氟乙烯)等樹脂涂敷了涂料時(shí)或者實(shí)施了印刷時(shí)，把其表面的拒水性改質(zhì)為親水性，或者洗凈附著在玻璃、陶瓷、金屬、半導(dǎo)體等表面上的有機(jī)物，或者殺菌·滅菌，或者進(jìn)行腐蝕等各種表面處理或者氣體分解工藝中適用的處理方法及其裝置，更詳細(xì)地講，涉及在被處理物的表面上照射通過(guò)電暈放電生成的等離子體的分子離解的結(jié)果發(fā)生的激發(fā)分子、基、離子等激發(fā)核(excited species)，從而進(jìn)行改質(zhì)等表面處理等的電暈放電式的等離子體處理方法及其裝置。
背景技術(shù)：
電暈放電方式的等離子體表面處理方法省去了在輝光放電方式的等離子體表面處理方法時(shí)所需要的氦或者氬或者氫等點(diǎn)火用氣體的使用，由于具有提高使用時(shí)的安全性以及通過(guò)節(jié)減氣體消耗量而降低處理成本的優(yōu)點(diǎn)，因此大量利用在表面改質(zhì)等的表面處理中。
在決定這種電暈放電方式的等離子體表面處理方法的處理性能和處理效率的方面重要的因素是包含通過(guò)電暈放電生成的等離子體的激發(fā)核向被處理物表面的照射量、照射面積以及照射的均勻性，以往，作為實(shí)現(xiàn)這些重要因素的方法，相對(duì)峙地配置一對(duì)放電電極，在這兩個(gè)電極之間施加正弦交流電壓，使得在兩個(gè)電極之間發(fā)生電暈放電的同時(shí)，在其放電區(qū)域中流過(guò)氣體(例如參照專利文獻(xiàn)1)。
專利文獻(xiàn)1特開平2001-293363號(hào)公報(bào)。
然而，在上述現(xiàn)有的電暈放電方式的等離子體表面處理方法中，雖然通過(guò)調(diào)整氣體的噴射壓力或者噴射角度等能夠調(diào)整激發(fā)核的照射量或者照射面積，但是由于以一定間隔形成的放電區(qū)域僅處在一個(gè)位置，因此具有其調(diào)整范圍本身存在界限，特別是，無(wú)論在構(gòu)造上還是在技術(shù)上都存在難以實(shí)現(xiàn)使激發(fā)核平均地均等地照射被處理物表面的整個(gè)區(qū)域的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述的實(shí)際情況而完成的，目的在于提供能夠擴(kuò)大激發(fā)核對(duì)于被處理物表面的照射量以及照射面積，同時(shí)，能夠在表面的整個(gè)區(qū)域均勻照射，而且，抑制有效激發(fā)核的損失，能夠顯著提高處理性能和處理效率的等離子體處理方法及其裝置。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明方案1的等離子體處理方法在相對(duì)峙的放電電極上施加脈沖電壓，使得在這些放電電極的尖端部分之間產(chǎn)生電暈放電，把包含通過(guò)該電暈放電生成的等離子體的激發(fā)核照射在被處理物的表面上進(jìn)行表面處理，其特征是，在由中心電極和把該中心電極夾在中間的狀態(tài)下相對(duì)峙地配置的兩個(gè)周邊電極構(gòu)成的放電電極的中心電極和兩個(gè)周邊電極上，從應(yīng)用偶倍壓整流電路而構(gòu)成的脈沖電壓施加單元交變施加脈沖電壓，使得在兩個(gè)周邊電極內(nèi)的一個(gè)與中心電極之間交替發(fā)生電暈放電。
另外，本發(fā)明方案6的等離子體處理裝置構(gòu)成為在相對(duì)峙的放電電極上施加脈沖電壓，使得在這些放電電極的尖端部分之間產(chǎn)生電暈放電，把包含通過(guò)該電暈放電生成的等離子體的激發(fā)核照射在被處理物的表面上進(jìn)行表面處理，其特征是，用中心電極和與該中間電極相對(duì)峙地配置的兩個(gè)周邊電極構(gòu)成放電電極，把應(yīng)用偶倍壓整流電路而構(gòu)成的脈沖電壓施加單元的中央端子連接到中心電極上的同時(shí)，脈沖電壓施加單元的各側(cè)端部分的端子分別連接到周邊電極上，根據(jù)施加到中心電極和各周邊電極上的交流電壓，在中間電極與周邊電極之間交替產(chǎn)生電暈放電。
依據(jù)上述結(jié)構(gòu)的本發(fā)明，由于用中心電極和與該中心電極相對(duì)峙的狀態(tài)下配置的兩個(gè)周邊電極構(gòu)成放電電極，在中心電極與各周邊電極之間交變施加脈沖電壓，使得交替放電，因此，成為在兩個(gè)位置串聯(lián)形成放電間隔的狀態(tài)，能夠擴(kuò)大激發(fā)核對(duì)于被處理物表面的照射量以及照射面積，同時(shí)能夠在表面的整個(gè)區(qū)域上均勻地照射。
在上述的電暈放電式的等離子體處理方法及其裝置中，作為施加到放電電極上的脈沖電壓，能夠使用在方案2以及方案8中記載的矩形波脈沖電壓，或者在方案3以及方案9中記載的由把交流電壓全波整流后的多個(gè)脈動(dòng)波構(gòu)成的脈沖電壓中的任一種。其中，特別是在使用由脈動(dòng)波構(gòu)成的脈沖電壓的情況下，由于不需要特別的脈沖電壓發(fā)生源，通過(guò)使用商用或者超聲波領(lǐng)域的交流電源與二極管等整流元件的組合構(gòu)成的簡(jiǎn)單的電源裝置，就能夠施加所希望的周期以及占空比的脈沖電壓，因此能夠?qū)崿F(xiàn)裝置的低成本。
進(jìn)而，如在方案4以及方案10中記載的那樣，在放電電極的尖端部分附近形成了磁場(chǎng)的狀態(tài)下，在放電電極上施加脈沖電壓，使得在兩個(gè)電極之間產(chǎn)生電暈放電時(shí)，包含通過(guò)電暈放電生成的等離子體的激發(fā)核存在于磁場(chǎng)之中，從磁場(chǎng)對(duì)于在磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)的等離子體的帶電粒子作用推壓力，即洛倫茲力，因此能夠使激發(fā)核趨勢(shì)良好地朝向被處理物的表面或者能夠遍及很大的面積幾乎均勻地照射。
而且，作為上述電暈放電式的等離子體處理裝置中的磁場(chǎng)形成單元，可以是如在方案11中記載的那樣，由永久磁鐵、一對(duì)磁性體和在端面之間形成縫隙的一對(duì)極靴構(gòu)成的結(jié)構(gòu)，或者如在方案12中記載的那樣，由與直流電源連接的電磁鐵、一對(duì)磁性體和在端面之間形成縫隙的一對(duì)極靴構(gòu)成的結(jié)構(gòu)中的任一種。其中，在使用永久磁鐵的情況下，能夠謀求降低制造成本以及節(jié)省功耗。另一方面，在使用電磁鐵的情況下，與使用永久磁鐵的情況相比較，雖然增大制作成本以及功耗，但是通過(guò)調(diào)整極靴端面之間的縫隙的磁通密度，能夠與被處理物的表面的形態(tài)等相對(duì)應(yīng)，容易而且任意地控制洛倫茲力以及包含等離子體的激發(fā)核的照射力和照射擴(kuò)散范圍，在謀求擴(kuò)大對(duì)于被處理物的形狀適應(yīng)性的基礎(chǔ)上，能夠進(jìn)一步提高處理性能和處理效率。
進(jìn)而，在本發(fā)明中，如在方案5以及13中記載的那樣，如果在大氣壓或者大氣壓附近的壓力下把氬、氮、碳酸氣等反應(yīng)氣體導(dǎo)入到放電電極之間，則在氣體的流動(dòng)下，把包含等離子體的激發(fā)核朝向被處理物表面照射，在能夠得到對(duì)于被處理物表面的照射量、照射面積以及照射的均勻性的基礎(chǔ)上，通過(guò)使包含等離子體的激發(fā)氣體流在從磁場(chǎng)受到的推壓作用力(洛倫茲力)下照射，能夠在各種表面處理中利用。


圖1是表示本發(fā)明的等離子體處理裝置的一個(gè)實(shí)施例的部分省略縱剖正面圖。
圖2是圖1的裝置的部分切除斜視圖。
圖3是由脈沖電壓施加單元輸出的脈動(dòng)電壓的波形圖，圖3a是來(lái)自升壓器的輸出波形圖，圖3b是在中心電極和正電極取出的被整流了的脈動(dòng)電壓的波形圖，圖3c是在中心電極和負(fù)電極取出的被整流了的脈動(dòng)電壓的波形圖。
圖4是由脈沖電壓施加單元輸出的矩形波電壓的波形圖，圖4a是來(lái)自升壓器的輸出波形圖，圖4b是在中心電極和正電極取出的被整流了的矩形波電壓的波形圖，圖4c是在中心電極和負(fù)電極取出的被整流了的矩形波電壓的波形圖。
具體實(shí)施例方式
下面，根據(jù)

本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)。
圖1是表示適用了本發(fā)明方法的等離子體表面處理裝置的一個(gè)實(shí)施例的概略縱剖面圖，圖2是部分切除斜視圖。
該等離子體表面處理裝置由在內(nèi)部排列多個(gè)氣體噴射孔1的同時(shí)形成了連通各氣體噴射孔的上端部分的氣體溜(ガス溜)2的板形絕緣構(gòu)件3、由板形絕緣構(gòu)件3支撐的放電電極4、在從前后把放電電極4夾在中間的形態(tài)下形成的一對(duì)陶瓷制絕緣隔片5、分別配置在陶瓷制絕緣隔片5的外側(cè)的極靴6、7、分別與各極靴6、7磁連接的磁鐵8、把該磁鐵8的上端部分之間連接的磁性材料制的連接桿9以及在放電電極4上施加放電用電壓的電源裝置10構(gòu)成。
放電電極4由形成為大致T字形(撞鐘槌形)的中心電極11、配置成分別與該中心電極11的T字形頭部的端面(尖端)相對(duì)峙的形態(tài)的大致L字形的周邊電極12、13構(gòu)成。而且，這些中心電極11以及兩個(gè)周邊電極12、13分別用鎢或者鉬等具有耐熱性的金屬形成。
電源裝置10由交流電源14、把交流升壓的變壓器15、配置在該變壓器15的次級(jí)側(cè)的由除去倍壓整流電路的電容器后形成的全波整流電路構(gòu)成的脈沖電壓施加單元16構(gòu)成，把變壓器15的次級(jí)側(cè)端子的一方電連接到上述形成為T字形的中心電極11上的同時(shí)，把變壓器15的次級(jí)側(cè)端子的另一方分別經(jīng)過(guò)高壓整流二極管17、18，電連接到上述形成為L(zhǎng)字形的周邊電極12、13上。這種情況下，高壓整流二極管17和高壓整流二極管18相反配置其流向，在正電極12中對(duì)于中心電極11輸出高電壓，在負(fù)電極13中對(duì)于中心電極11輸出低電壓。即，從該脈沖電壓施加單元16作為脈沖電壓分別交替施加半波整流了的正電壓一側(cè)和負(fù)電壓一側(cè)的脈動(dòng)波，使在中心電極11與正電極12的尖端之間，或者中心電極11與負(fù)電極13的尖端之間產(chǎn)生電暈放電，通過(guò)該電暈放電生成包含等離子體的激發(fā)核。
另外，作為該電源裝置10，用變壓器15把50Hz～100KHz的交流電源升壓到具有圖3a所示那樣的5～15kV波峰值Vp的正弦波，把該升壓的正弦波變換為具有5～15kV波峰值Vp的直流的脈動(dòng)波，把圖3b所示的正電壓部分(直流)施加到中心電極11與正電極12之間，另外，把圖3c所示的負(fù)電壓部分施加到中心電極11與負(fù)電極13之間，交替發(fā)生以各個(gè)ON時(shí)間以及OFF時(shí)間之和作為一個(gè)周期T、脈沖頻率(1/T)為10～200Hz、脈沖占空比為10～100％的脈沖電壓。
在靠近上述放電電極4的尖端部分位置，設(shè)置有形成沿著存在著通過(guò)電暈放電生成的等離子體中的帶電粒子的水平面的磁場(chǎng)的磁場(chǎng)形成單元。該磁場(chǎng)形成單元由配置在上述放電電極4的基端部分上方的永久磁鐵8、純鐵制等的一對(duì)軟磁性體和純鐵制等的一對(duì)極靴6、7構(gòu)成，該一對(duì)軟磁性體連接到該永久磁鐵8的N、S兩極且延伸設(shè)置到一對(duì)放電電極4的尖端部分附近，該一對(duì)極靴6、7一體地延伸設(shè)置在這些軟磁性體的頂端上，隔著放電電極4的頂端部分相對(duì)峙的端面之間形成磁場(chǎng)形成用縫隙。伴隨著等離子體中的帶電粒子在上述磁場(chǎng)形成單元中的極靴6、7的端面之間的縫隙形成的磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)，在該帶電粒子上作用推壓力，即洛倫茲力，使得包含等離子體的激發(fā)核向圖1、2中的箭頭X所示那樣，朝向被處理物的表面照射。
這里，如果把粒子的電荷記為Q，把速度記為v，把極靴端面之間的縫隙的磁通密度記為B，則上述的洛倫茲力F是F＝Qv×B，將垂直作用在帶電粒子的速度矢量上，由此，向箭頭X方向推壓并照射包含等離子體的激發(fā)核。
另外，在大氣壓或者大氣壓附近的壓力下從形成在板形絕緣構(gòu)件3上的各氣體噴射孔1把氬、氮、碳酸氣等反應(yīng)氣體或者高速空氣導(dǎo)入到一對(duì)放電電極之間，使得包含等離子體的激發(fā)氣體流在從磁場(chǎng)受到的洛倫茲力下朝向被處理物的表面照射。從而，能夠擴(kuò)大表面處理的適用性。
在這樣構(gòu)成的電暈放電式等離子體表面處理裝置中，在經(jīng)過(guò)軟磁性體連接到永久磁鐵8的N、S兩極上的極靴6、7的端面之間的縫隙中形成由有效磁通以及漏磁通構(gòu)成的磁場(chǎng)，在該狀態(tài)下，如果由上述電源裝置10整流了的輸出在中心電極10與正電極11之間以及中心電極10與負(fù)電極12之間施加脈沖頻率為10～200Hz的正或者負(fù)的脈沖電壓，在兩個(gè)電極10、11或者10、12的尖端之間交替發(fā)生電暈放電，則包含通過(guò)該電暈放電生成的等離子體的激發(fā)核存在于磁場(chǎng)中，由于在該磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)的等離子體中的帶電粒子從磁場(chǎng)受到的已經(jīng)敘述過(guò)的洛倫茲力，而包含等離子體的激發(fā)核被施加垂直于磁場(chǎng)的箭頭X方向的力。
另外，在本發(fā)明中，對(duì)于構(gòu)成一對(duì)放電電極4的中心電極11和正負(fù)各電極12、13，分別使用由把交流電壓整流后得到的多個(gè)脈動(dòng)波構(gòu)成的正或者負(fù)的脈沖電壓，因此例如不需要多諧振蕩器或者施密特觸發(fā)電路、間歇振蕩器等特別的脈沖電壓發(fā)生源，使用由商用交流電源或者超聲波電源與二極管等整流元件的組合構(gòu)成的簡(jiǎn)單的電源裝置，能夠施加所希望的周期以及占空比的脈沖電壓，進(jìn)而，作為磁場(chǎng)形成單元，利用制造成本低而且沒(méi)有功耗的永久磁鐵8，因此能夠?qū)崿F(xiàn)降低裝置整體的導(dǎo)入成本以及運(yùn)營(yíng)成本。
另外，在上述實(shí)施形態(tài)中，作為磁場(chǎng)形成單元M使用了永久磁鐵8，但作為磁場(chǎng)形成單元也可以是電磁鐵。如果作為磁場(chǎng)形成單元M使用電磁鐵，則能夠控制洛倫茲力F，能夠調(diào)整加載到包含等離子體的激發(fā)核上的垂直于磁場(chǎng)的力。
進(jìn)而，在上述實(shí)施形態(tài)中，在隔著放電電極4的尖端部分相對(duì)峙的端面之間形成磁場(chǎng)的同時(shí)，在該端面之間噴射反應(yīng)性氣體或者高速空氣，但也可以僅是進(jìn)行磁場(chǎng)形成和氣體導(dǎo)入中的任一種。
進(jìn)而，在上述實(shí)施形態(tài)中，說(shuō)明了用交流電源、發(fā)生由把該交流電壓全波整流后的多個(gè)脈動(dòng)波形成的脈沖電壓的整流電路構(gòu)成脈沖電壓施加單元的結(jié)構(gòu)，但脈沖電壓施加單元也可以是發(fā)生圖4所示那樣矩形波的脈沖電壓的脈沖波發(fā)生源。
本發(fā)明能夠適用在當(dāng)主要對(duì)于聚乙烯或者聚丙烯、聚脂(PET)、PTFE(聚四氟乙烯)等樹脂涂敷了涂料時(shí)或者實(shí)施了印刷時(shí)，把其表面的拒水性改質(zhì)為親水性，或者洗凈附著在玻璃、陶瓷、金屬、半導(dǎo)體等表面上的有機(jī)物，或者殺菌·滅菌，或者進(jìn)行腐蝕等各種表面處理，或者利用了通過(guò)電暈放電生成的等離子體的分子離解的氣體分解工藝中。
權(quán)利要求
1.一種等離子體處理方法，該方法在位于相對(duì)峙的位置的放電電極(4)之間施加脈沖電壓，使得在這些放電電極(4)的尖端部分之間發(fā)生電暈放電，把包含通過(guò)該電暈放電生成的等離子體的激發(fā)核照射在被處理物的表面上進(jìn)行處理，其特征在于，在由中心電極(11)和把該中心電極(11)夾在中間的狀態(tài)下相對(duì)峙地配置的兩個(gè)周邊電極(12、13)構(gòu)成的放電電極(4)的中心電極(11)與兩個(gè)周邊電極(12、13)上，從應(yīng)用偶倍壓整流電路而構(gòu)成的脈沖電壓施加單元(16)交變地施加脈沖電壓，使得在兩個(gè)周邊電極(12、13)內(nèi)的一個(gè)與中心電極(11)之間交替發(fā)生電暈放電。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體處理方法，其特征在于，作為上述脈沖電壓，使用矩形波脈沖電壓。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體處理方法，其特征在于，作為上述脈沖電壓，使用由對(duì)交流電壓進(jìn)行全波整流后的多個(gè)脈動(dòng)波構(gòu)成的脈沖電壓。
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的等離子體處理方法，其特征在于，在放電電極(4)的尖端部分附近、在存在上述等離子體中的帶電粒子的位置上形成有磁場(chǎng)，根據(jù)對(duì)于在該磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)的帶電粒子的推壓作用力，把包含等離子體的激發(fā)核向被處理物的表面照射。
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的等離子體處理方法，其特征在于，通過(guò)在大氣壓或者大氣壓附近的壓力下在中心電極(11)和與該中心電極(11)相對(duì)峙的周邊電極(12、13)之間導(dǎo)入反應(yīng)性氣體，把包含等離子體的激發(fā)氣體流向被處理物的表面照射。
6.一種等離子體處理裝置，該裝置在位于相對(duì)峙的位置的放電電極(4)之間施加脈沖電壓，使得在這些放電電極(4)的尖端部分之間發(fā)生電暈放電，把包含通過(guò)該電暈放電生成的等離子體的激發(fā)核照射在被處理物的表面上進(jìn)行處理，其特征在于，用中心電極(11)和與該中心電極(11)相對(duì)峙地配置的兩個(gè)周邊電極(12、13)構(gòu)成放電電極(4)，把應(yīng)用偶倍壓整流電路而構(gòu)成的脈沖電壓施加單元(16)的中央端子連接到中心電極(11)的同時(shí)，把脈沖電壓施加單元(16)的各側(cè)端部分的端子分別連接到各周邊電極(12、13)，根據(jù)施加到中心電極(11)與各周邊電極(12、13)上的交變電壓，在中心電極(11)與周邊電極(12、13)之間交替發(fā)生電暈放電。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的等離子體表面處理裝置，其特征在于，把中央電極(11)形成為撞鐘槌形，周邊電極(12、13)配置成與沿著相對(duì)峙的方向延伸出的臂部的頂端部分相對(duì)峙的狀態(tài)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或者7所述的等離子體處理裝置，其特征在于，上述脈沖電壓施加單元(16)是矩形波脈沖電壓發(fā)生源。
9.根據(jù)權(quán)利要求6或者7所述的等離子體處理裝置，其特征在于，上述脈沖電壓施加單元(16)由交流電源、及發(fā)生對(duì)其交流電壓進(jìn)行全波整流后的多個(gè)脈動(dòng)波構(gòu)成的脈沖電壓的整流電路構(gòu)成。
10.根據(jù)權(quán)利要求6～9中任一項(xiàng)所述的等離子體處理裝置，其特征在于，設(shè)置有磁場(chǎng)形成單元(M)，該單元在相對(duì)峙地配置的放電電極(4)的尖端部分附近、在存在上述等離子體中的帶電粒子的位置形成磁場(chǎng)，從而能夠?qū)τ谠谠摯艌?chǎng)中運(yùn)動(dòng)的帶電粒子作用把包含等離子體的激發(fā)核向被處理物的表面照射的推壓力。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的等離子體處理裝置，其特征在于，上述磁場(chǎng)形成單元(M)由永久磁鐵(8)、與該永久磁鐵(8)的N、S兩極連接且延伸設(shè)置到一對(duì)放電電極(4)的尖端部分附近的一對(duì)磁性體和與這些磁性體的頂端連接且端面之間形成縫隙的一對(duì)極靴(6、7)構(gòu)成。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的等離子體處理裝置，其特征在于，上述磁場(chǎng)形成單元(M)由與直流電源連接的電磁鐵、與該電磁鐵的N、S兩極連接且延伸設(shè)置到一對(duì)放電電極(4)的尖端部分附近的一對(duì)磁性體和與這些磁性體的頂端連接且端面之間形成縫隙的一對(duì)極靴(6、7)構(gòu)成。
13.根據(jù)權(quán)利要求6～12中任一項(xiàng)所述的等離子體處理裝置，其特征在于，設(shè)置有在大氣壓或者大氣壓附近的壓力下在上述放電電極之間導(dǎo)入反應(yīng)性氣體的單元，通過(guò)經(jīng)由該單元導(dǎo)入反應(yīng)性氣體，把包含等離子體的激發(fā)氣體流向被處理物的表面照射。
全文摘要
本發(fā)明的等離子體處理方法及其裝置，能擴(kuò)大激發(fā)核對(duì)于被處理物表面的照射量以及照射面積，能在表面的整個(gè)區(qū)域均勻照射，顯著提高處理性能和處理效率。在位于相對(duì)峙的位置的放電電極(4)之間施加脈沖電壓，使得在這些放電電極的尖端部分之間發(fā)生電暈放電，把包含通過(guò)該電暈放電生成的等離子體的激發(fā)核照射被處理物的表面，用中心電極(11)、在把該中心電極(11)夾在中間的狀態(tài)下相對(duì)峙地配置的兩個(gè)周邊電極(12、13)構(gòu)成放電電極(4)，從應(yīng)用偶倍壓整流電路而構(gòu)成的脈沖電壓施加單元(16)在放電電極(4)的中心電極(11)和兩個(gè)周邊電極(12、13)上交變施加脈沖電壓，使得在兩個(gè)周邊電極(12、13)內(nèi)的一個(gè)與中心電極(11)之間交替發(fā)生電暈放電。
文檔編號(hào)C08J7/00GK1857040SQ20048002685
公開日2006年11月1日 申請(qǐng)日期2004年8月30日 優(yōu)先權(quán)日2003年9月18日
發(fā)明者佐伯登 申請(qǐng)人:巴爾工業(yè)公司