專利名稱：用于制備烷基鹵硅烷的含硅組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于制備烷基鹵硅烷的含硅組合物，更具體地說，本發(fā)明涉及使用磷、某些磷化合物或者可分解生成某些磷化合物的化合物做為促進(jìn)劑，直接生產(chǎn)烷基鹵硅烷的含硅接觸物料組合物。使用本發(fā)明獲得的好處是可以提高烷基鹵硅烷的收率，提高某些烷基鹵硅烷相對于其它不大可取的烷基鹵硅烷的選擇性，以及提高反應(yīng)混合物中所用原料總的利用率。在某些情況下使用本發(fā)明可以同時(shí)得到這三方面好處。在某些情況下使用本發(fā)明可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)提高烷基鹵硅烷的選擇性和收率，而在另一些情況下，所得到的好處是一類能更多的轉(zhuǎn)化為可用的產(chǎn)品。
自從Rochow(羅喬)首先公布了用烷基囟與硅在高溫下接觸可得到烷基囟硅烷的方法之后，生產(chǎn)烷基囟硅烷的直接法已為人們所熟知，并且在許多方面已有了不少改進(jìn)和提高。事實(shí)上，目前世界上所有的商品烷基囟硅烷都是用這種方法生產(chǎn)的，而Rochow的方法相對于用十分危險(xiǎn)的格林尼亞反應(yīng)生產(chǎn)這種硅烷來說是個重大的改變。Rochow在1945年8月7日發(fā)布的美國專利2，380，995號中指出令氯甲烷氣流通過一個加熱至約300℃的管子，與其中的硅烷相接觸。Rochow得到的硅烷混合物，最主要的是CH3SiCl3和(CH3)2SiCl2，其重量百分比分別在52%和14.5%，給出的Me/Me2比為3.6(說明見下文)。應(yīng)該注意，Rochow還指出也可以令氯甲烷氣體通過重量比為50∶50的粉末狀的硅-銅合金，并且公開了除銅以外，還可以使用下述金屬催化劑鎳，錫，銻，錳，銀和鈦，不過，Rochow并沒有公開這樣一些催化劑的用量和物理形態(tài)。許多種硅烷都可以用直接法生成，例如四甲基硅烷，單甲基三氯硅烷，四氯化硅，三氯硅烷(H Si Cl3)，甲基二氯硅烷(Me H Si Cl2)，二甲基氯硅烷〔(CH3)2H Si Cl〕和三甲基氯硅烷〔(CH3)3Si Cl〕。在當(dāng)今生產(chǎn)中，所生產(chǎn)的最大量的硅烷則是二甲基二氯硅烷，由于這種硅烷經(jīng)水解和縮合后，可成為硅氧烷形式，它構(gòu)成了工業(yè)用的最大量聚硅氧烷產(chǎn)物的主鏈。這可以給廠商帶來好處，另外采用直接法可以使原料最大限度地轉(zhuǎn)化，以得到二甲基二氯硅烷的最高收率。因此，本發(fā)明的一個主要目的就是控制直接法使二甲基二氯硅烷達(dá)到最大收率，即控制該過程向有利于提高二甲基二氯硅烷選擇性的方向進(jìn)行。本發(fā)明的第二個目的是最大限度地提高由原料來的總收率。原料轉(zhuǎn)化為硅烷越多，則該方法經(jīng)濟(jì)效益越顯著。
對本發(fā)明來說，原料轉(zhuǎn)化的效率是用轉(zhuǎn)化為硅烷的金屬硅投料量來追蹤的(硅轉(zhuǎn)化%)。對于那些熟知工藝的人，特別感興趣的是直接法反應(yīng)的選擇性，而對本發(fā)明來說，這種選擇是用單甲基三氯硅烷與二甲基二氯硅烷(Me/Me2)在粗反應(yīng)混合物中的比率來表示的。有時(shí)，在文獻(xiàn)中，這種比率也用M/M2或T/D來表示。因此，Me/Me2比的加大則表示更擇優(yōu)的二甲基二氯硅烷的生產(chǎn)量在降低。反之，這一比率的降低則表示更擇優(yōu)的二甲基二氯硅烷的產(chǎn)量在增加。
當(dāng)人們考慮到每年要生產(chǎn)數(shù)百萬磅的硅烷和被聚硅氧烷工業(yè)用項(xiàng)目所消耗，就會明白為什么在選擇性上和原料的轉(zhuǎn)化率上的小的增值對硅烷的生產(chǎn)都是十分重要的。
例如，假設(shè)一個硅烷生產(chǎn)廠家每年生產(chǎn)一千萬磅的硅烷，如果能使生產(chǎn)過程控制到(CH3)2Si Cl2的總收率提高2%或3%，那么這種方法就會特別地有吸引力。
一個主要生產(chǎn)聚硅氧烷的廠家，在四十年代曾對直接法非常積極，用直接法的基本原理進(jìn)行了研究并公開了該成果。除了Rochow的995號專利外，這些早期的研究者們公開了一批專利，旨在得到前述的好處。Patnode在1945年8月7日公布的美國專利2，380，997號中論及了直接法所使用的接觸物質(zhì)(裝料)。Patnode對Rochow在995號專利中最先公開的接觸物質(zhì)進(jìn)行了處理，將其粉碎成硅粉，然后成型，最后在真空下煅燒，并盡量除掉例如金屬氧化物那樣的可還原的組份，Patnode還公開了鎳、錫、銻、錳、銀和鈦的使用，這些產(chǎn)物在制備有機(jī)硅囟化物時(shí)，“特別地有用”。
Rochow和Gilliam在1945年8月28日公布的美國專利2，383，818號中公開了含有硅和銅的氧化物的接觸物質(zhì)的使用。還包括有那些容易轉(zhuǎn)化成氧化物的銅化合物，如硝酸銅。該專利公開了提高接觸物質(zhì)效率，但未公開總收率和Me/Me2比。在Rochow和Gilliam的公開專利發(fā)表后不久，F(xiàn)erguson和Sellers在1948年6月22日公開的美國專利2，443，902號中，首次公開了一個提供二烷基囟硅烷的試驗(yàn)。該方法包括在催化劑存在下，實(shí)現(xiàn)烷基囟與硅之間的反應(yīng)。催化劑含有經(jīng)過篩分的細(xì)亞銅粉，大部分顆粒大小只有幾微米，并有一主要的組成部分，易碎的金屬銅芯顆粒被保護(hù)表面的氧化亞銅膜所覆蓋，以抑制在空氣中的氧化作用，與內(nèi)封的銅芯尺寸相比較，這種膜是很薄的。發(fā)明者們指出采用這一技術(shù)有利于(CH3)2Si Cl2選擇性的提高。實(shí)施例1表明使用了新物質(zhì)后，粗產(chǎn)物的收率為48.7%，Me/Me2比為0.78。實(shí)施例2給出的Me/Me2比為0.18。稍后，Gilliam在美國專利2，464，033號中指出除了金屬銅和銅的氧化物外，在直接法中，還可用囟化銅作為催化劑。此外，該專利公開了使用象鋅或囟化鋅或它們的混合物做“促進(jìn)劑”。使用這類催化劑和促進(jìn)劑，Gilliam得到了42%至99%的總收率，但是，生成(CH3)2Si Cl2的選擇性并不理想，變化范圍由0.20至0.48。這一體系將做為本發(fā)明的對比實(shí)施例(參見下文)。
世界上另一些部分，一些人也在對提高原料轉(zhuǎn)化為有用產(chǎn)品，并控制直接法以得到均一產(chǎn)品作了探討。Nitzsche在美國專利2，666，775號中公開了使用硅與銅或硅與鐵的合金或硅與銅、鐵兩者的合金，并用氯化銅或氯化鐵或銅和鐵兩者的氯化物將其活化。結(jié)果是Me/Me2比為0.90。此后，Rossmy在德國專利1，165，026號中公開了在直接法中使用硅-銅合金。這種合金還摻雜有其它元素，如磷。采用摻磷的燒結(jié)法在氫氣流中，于高于1000℃的溫度下，將摻雜物磷與研細(xì)的硅銅合金進(jìn)行燒結(jié)。更具體地說，當(dāng)含有95.5%硅的硅鐵合金在氫氣流中于1030℃下，與Cu3Si和磷一起燒結(jié)3小時(shí)后，其中磷含量為900ppm，然后，在290℃下與CH3Cl反應(yīng)，所得的反應(yīng)混合物含有77.1%二甲基二氯硅烷，Me/Me2比為0.14、不使用摻雜物時(shí)的對比試驗(yàn)給出75.5%二甲基二氯硅烷和Me/Me2比為0.18。該專利還強(qiáng)調(diào)指出也可以采用將磷直接加入至CH3Cl和硅-銅反應(yīng)物中去的方法。
在A.D.Petrov，B.F.Mironov，V.A.Ponomarenko和E.A.Chernyshev的“有機(jī)硅單體的合成”論文中(咨詢局，紐約，1964年)給出了直接法合成甲基囟硅烷的非常廣泛的文獻(xiàn)棕述。他們討論了Rochow的早期工作以及后續(xù)的改進(jìn)工作，包括那些使用含有銅和硅組成的物質(zhì)。例如，在該論文的第32頁上，論及了在銅/硅接觸物質(zhì)中含銅量的上限，以及由Rochow在美國專利2，447，873號(1947)和英國專利626，519號(1948)，Nitzsche的兩篇美國專利2，666，775號和2，666，776號，和蘇聯(lián)作者Radosavievich，S.D.;Dragovich，M.D.，Yachovich，M.S.在晶體化學(xué)(俄文)21卷101頁(1956)中所敘述的所有銅鹽的重要應(yīng)用。此外，該論文還給出了第Ⅶ族金屬的補(bǔ)充用途的參考文獻(xiàn)〔Nitzsche，德國專利921，566號(1954)和Kahlert，德國專利7651(1955)〕以及鋅(參見下文Gilliam的論述)和汞〔日本專利5021(1951)〕。
從蘇聯(lián)發(fā)明公報(bào)1966年2月號公布的(1961年12月8日發(fā)稿)由Trofimova等人的754，859號申請(發(fā)明者證書122，749號)所應(yīng)用的一個方法的摘要中可以看到磷可以銅和硅一起燒結(jié)形成一合金，含有150至250ppm的磷，可用在直接法中，在310～330℃下反應(yīng)8小時(shí)，得到二甲基二氯硅烷的收率為65%，Me/Me2比為0.30。
在1969年在5月27日公布的美國專利3，446，829號中，Zock公開了在直接法中與銅或銀催化劑和硅一起使用的鎘促進(jìn)劑有提高反應(yīng)速率，提高(CH3)2Si Cl2形成的選擇性和硅的高轉(zhuǎn)化速率的優(yōu)點(diǎn)。
Maas等人在1980年8月19日公布的美國專利4，218，387號中敘述了依據(jù)催化劑的顆粒度和氧化銅(Ⅰ)的含量制備銅，以得到較高的收率和較好的選擇性。Maas還在專欄3的第14至20行敘述了一個用于直接法的小振動床反應(yīng)器。
Ward等人在美國專利4，487，950中敘述了甲酸銅與部分氧化的銅催化劑和細(xì)顆粒硅共同使用的方法。Ward陳述所得到的好處是(CH3)2Si Cl2的選擇性的提高。
在另一份美國專利4，500，724號中，Ward及其同事們公開了，錫作為助催化劑與Rochow的催化劑(即銅和鋅)一起使用的方法，特別是，當(dāng)銅以氯化銅形式存在時(shí)。Ward等人主張，當(dāng)把注意力集中在銅的臨界重量百分比(相對于硅)和所用的錫和鋅的臨界重量百分比(相對于銅)時(shí)，才能提高直接法的反應(yīng)速率及產(chǎn)物的選擇性。在Ward改進(jìn)的直接法中如何使用磷才能始終如一地使總收率較高;(CH3)2Si Cl2的選擇性增高以及原料轉(zhuǎn)化較高，這將在實(shí)施例中加以敘述。
在1985年3月5日公布的美國專利4，503，165號中，Hashiguchi等人公開了使用周期表中原子序數(shù)在24至30之間的第Ⅳ周期金屬的氫氧化物與磨細(xì)的亞銅顆粒一起作為催化劑和在1985年3月12日公布的美國專利4，504，596號中，Schoepe和Hashiguchi示出了供同樣用途的水合耐火氧化物，如水合氧化鋁的應(yīng)用。最后，Hashiguchi等人指出制備烷基和芳基囟硅烷的元素銅、氧化亞銅和氧化銅應(yīng)為細(xì)顆粒狀的。
上述諸文獻(xiàn)中，沒有一篇提及元素磷、金屬磷化物或在直接法條件下可以轉(zhuǎn)化成金屬磷化物的化合物的使用。事實(shí)上，將這些物質(zhì)加到工藝過程條件下的直接法中去是有益的。本專利發(fā)明者們發(fā)現(xiàn)磷和磷化物如上述方法中那樣使用可以提高產(chǎn)物的總收率，提高生成(CH3)2Si Cl2的選擇性，并有助于提高在直接法中生產(chǎn)烷基囟硅烷原料的利用率。
按照上面所述，本發(fā)明在這里敘述的是一種能控制烷基囟硅烷生產(chǎn)的方法，所述的方法包括在錫或錫化合物、銅或銅化合物存在下，令烷基囟與冶金級硅在250℃至350℃下相接觸，其中，在反應(yīng)物中，按硅量計(jì)，至少還應(yīng)有25至2500ppm選自下述基團(tuán)組成的促進(jìn)劑(Ⅰ)元素磷;
(Ⅱ)金屬磷化物，(Ⅲ)在本方法的反應(yīng)物質(zhì)中能生成金屬磷化物的化合物。
已經(jīng)發(fā)現(xiàn)本方法可以是任何一種直接法即象Rochow在1945年公開的方法一樣，使用硅和銅，只要其中還有以某種形態(tài)存在的錫和下文中所述的磷即可。
例如，本方法可以是美國專利2，383，818號中公開的方法，只要其中還存在有本發(fā)明所公開的錫和磷即可。例如本方法也可以是Ferguson和Sellers在美國專利2，443，902號中所論述的方法或者Gilliam在美國專利2，464，033號中所論述的使用囟化亞銅和氧化亞銅的方法，或Gilliam所論述的還包括將鋅加入至硅中或?qū)~和鋅相結(jié)合的方法，或Maas等人在美國專利4，218，387號中所論述的方法，或者Ward等人在美國專利4，487，950號中所論述的使用甲酸銅的方法和Ward等人在美國專利4，500，724號中所論述的方法，只要其中也存在有本發(fā)明中所描述過的錫和磷即可。
這樣，本發(fā)明在此公開的是一種生產(chǎn)烷基囟硅烷的組合物即在銅、錫和磷的存在下，令烷基囟與硅相接觸，其中，磷如下文所述。
使用本發(fā)明方法得到的好處是提高總收率;有利于(CH3)2SiCl2選擇性的增高，以及提高原料成為有用產(chǎn)品的轉(zhuǎn)化率。
如果希望提高該方法的選擇性以主要地生成(CH3)2Si Cl2的話，則可選用特定的磷化合物，并使用一定量的該化合物以保證得到這種選擇性。
本發(fā)明的烷基囟硅烷是具有通式(Ⅰ)Rn Si X4-n和通式(Ⅱ)Rn Hm Si X4-n-m的那些硅烷，推薦使用通式(Ⅰ)代表的化合物。在上述通式中，每一個R都是獨(dú)立的選自1至4個碳原子的烷基，通式(Ⅰ)中的n值為1，2或3，通式(Ⅱ)中的n值為1或2，m值為1或2，m+n之和不能大于3，X為一囟素。推薦的硅烷是具有通式R2Si X2和R Si X3的那些硅烷，其中，R是甲基或乙基，X是氯。最理想的硅烷是(CH3)2Si Ci2。
盡管本發(fā)明推薦使用的烷基氯是氯甲烷，其它的烷基囟，例如，乙基氯，正丙基氯，異構(gòu)丙基氯均被使用。
本發(fā)明使用的硅是任意一種純度至少為95%(重量)、但低于100%(重量)的硅，最好是使用具有約98%(重量)、但低于100%(重量)的冶金級硅。對本發(fā)明來說，硅可以是細(xì)顆粒的硅或者可以是細(xì)顆粒的硅/銅，不論是以分散的銅顆粒和分散的硅顆粒形式，還是經(jīng)細(xì)顆?；墓?銅合金均可使用。
將硅或硅/銅按需要量加入至一只合適的反應(yīng)器中。該過程可在連續(xù)狀態(tài)下進(jìn)行，在流化床反應(yīng)器，攪拌床反應(yīng)器，固定床反應(yīng)器或間歇式反應(yīng)器中進(jìn)行，并且根據(jù)所需要的產(chǎn)物，反應(yīng)床可以是振動的也可以是非振動的。推薦的操作是連續(xù)型的操作。最好是一個連續(xù)的流化床操作。
為了使反應(yīng)器中的顆粒床層流態(tài)化，可以使用烷基囟或惰性氣體，如氬，或是它們的混合物。反應(yīng)器中的顆粒，平均粒度的范圍從大于0.1微米至800微米。推薦使用顆粒的粒度為0.1至150微米。
本發(fā)明的方法可以在約250℃至350℃溫度范圍內(nèi)進(jìn)行，推薦的溫度范圍為260℃至330℃，最好的溫度范圍為280℃至320℃。
通常，將系統(tǒng)中的組分與反應(yīng)物，除烷基囟以外，在反應(yīng)器中相混合，并加入至反應(yīng)溫度，在此溫度下保持一個短時(shí)間將烷基囟在惰性氣體相伴下(也可以不使用惰性氣體)通入至反應(yīng)器中，并使氣相反應(yīng)產(chǎn)物與氣相未反應(yīng)的烷基囟從反應(yīng)器中通過和移出，收集起來，然后再用蒸餾方法進(jìn)行分離。同時(shí)收集和除去那些被氣體流出物帶出的細(xì)顆粒物料，然后將其循環(huán)返回至反應(yīng)器中，或者廢棄排掉。
在本發(fā)明的范圍內(nèi)，其中包括使用美國專利3，133，109號的Dotson設(shè)備進(jìn)行本發(fā)明過程。不言而喻，Dotson設(shè)備可按Dotson描述的方法使用，當(dāng)然，也可被那些在工藝上有經(jīng)驗(yàn)的專家加以改進(jìn)，以促使獲得最佳選擇性和得到最大量的烷基囟硅烷。還應(yīng)該明白，本發(fā)明方法推薦使用純化的烷基囟，但并非所要求的。最后，需要進(jìn)一步說明和理解的是，由Shade在美國專利4，281，149號中論述硅微粒的處理法以及由Shah等人在美國專利4，307，242號中公開的改進(jìn)方法，在本發(fā)明中可有效地使用。
現(xiàn)有技術(shù)中，未被重視的是磷可做為添加劑用于直接法以促進(jìn)烷基囟硅烷的生成。正如由Lobusevich等人在“硅-銅合金中添加某些元素對其在與氯甲烷的反應(yīng)中活性的影響”(普通化學(xué)雜志(俄文)34卷8期2706-2708頁(1964))一文中所敘述過的觀點(diǎn)，其中磷、硫和鈹對于硅/銅合金與氯甲烷的反應(yīng)是毒物，而事實(shí)上，本發(fā)明者在本文中證實(shí)了這一觀點(diǎn)。在只使用磷、而無錫存在時(shí)，可以導(dǎo)致選擇性的提高，即提高(CH3)2Si Cl2的含量，但是反應(yīng)活性或硅的轉(zhuǎn)化卻顯著地下降。這樣，在直接法中，就失去了單獨(dú)使用磷或使用混合錫-磷的積極因素。不過，本專利發(fā)明者們卻發(fā)現(xiàn)在有錫存在時(shí)，磷對直接法的逆轉(zhuǎn)作用。
這樣，按照本發(fā)明，在反應(yīng)中除了需要直接法所要求的硅和銅外，還需要有錫做為催化劑和磷做為促進(jìn)劑，以獲取本文描述過的好處。本發(fā)明的催化劑或助催化劑的錫是下述形式的錫囟化烷基錫，四烷基錫，二氧化錫，囟化錫和金屬錫粉。
用做本發(fā)明促進(jìn)劑的關(guān)鍵性的磷是元素磷，例如紅磷，白磷和黑磷;金屬磷化物以及能在反應(yīng)(包括前述的用硅和烷基囟烷基囟硅烷反應(yīng))條件下轉(zhuǎn)化成金屬磷化物的磷化合物。
除了元素磷之外，在本發(fā)明中有用的是金屬磷化物。這種金屬磷化物包括(但不局限于)磷化鋁，磷化鈣，磷化銅，磷化鎳，磷化鈣，磷化鋅，包括Zn3P2和ZnP2，磷化鐵，包括Fe2P和Fe3P以及磷化硅。其中硅化硅的硅就是本發(fā)明定義的金屬硅。
除了磷和金屬磷化物以外，在本發(fā)明的范圍內(nèi)還可包括那些可以轉(zhuǎn)化成金屬磷化物的化合物，即在前文所述范圍內(nèi)的那些金屬磷化物。
這些物質(zhì)可以在制備烷基囟硅烷的直接法反應(yīng)條件下轉(zhuǎn)化成金屬磷化物，即它們在有硅、銅和錫存在條件下，在250℃至350℃溫度范圍內(nèi)轉(zhuǎn)化成金屬磷化物。
某些合金中均已知含有金屬磷化物，它可以在合金化過程中，由組成合金的金屬和本發(fā)明所使用的那些物質(zhì)生成。這些物質(zhì)是在市場上易于購買的商品，這一點(diǎn)在后面實(shí)施例中的報(bào)導(dǎo)中可看到。這些物質(zhì)的含磷量約占銅基質(zhì)合金的15%和7%(重量)。發(fā)明者們不希望使磷保持某一給定的重量百分比，在這一點(diǎn)上只要所需要的磷的量能有效保證反應(yīng)器中銅的量不大量過量即可。
在本發(fā)明中，做為促進(jìn)劑使用的磷的量，按反應(yīng)器投料的硅的量計(jì)，為25至2500ppm。
本發(fā)明中所用的錫的量是關(guān)鍵性的，而在直接法催化劑中通常的用量應(yīng)是本文指定的用量。例如在與本發(fā)明技術(shù)內(nèi)容無明顯出入的情況下，按使用的硅含量計(jì)，錫含量為5至200ppm。
這樣，可以將磷和錫與硅和銅以及其它所需物質(zhì)一起加入至反應(yīng)器中，作為接觸物質(zhì)。各組份可以單獨(dú)地依次分別加入，也可混合同時(shí)加入，投料方式也可以是整批物料，還可以是合金或者兩種或更多種不同組分的摻合物。
本發(fā)明的另一個部分是直接法中所使用的組分。例如，本發(fā)明包括的組成物質(zhì)還有冶金級硅，銅或銅化合物，錫或錫化合物，以及選自基本上由下述基團(tuán)組成的磷(Ⅰ)元素磷;
(Ⅱ)金屬磷化物，(Ⅲ)能夠形成金屬磷化物的化合物。
組成中除了硅以外，還含有0.2%至10%(重量)銅，5至200ppm的錫和25至2500ppm的磷。組分均按組成中硅的量為基準(zhǔn)計(jì)算的。
此外，組成中包含有鋁，鋅和鐵也是有益的，因此，它可以按硅量計(jì)，鋅量為100至10，000ppm，鋁量為0.02%至1%(重量)，鐵量最多達(dá)1%(重量)。
每當(dāng)本文涉及這些混合物組分的量時(shí)，總是以組成中實(shí)際存在的金屬量為基準(zhǔn)計(jì)算的。這樣組成物可以是所有這些組分的混合物，也可以是只有幾種組分的混合物，只要組成中含有所必需的硅、銅、錫和磷即可。
為了使那些熟悉現(xiàn)有技術(shù)的人能明白和理解，本發(fā)明，提供了下面的實(shí)施例。它們是為了說明本發(fā)明的細(xì)節(jié)而提供的。不過，不應(yīng)將它認(rèn)作為對本發(fā)明的限制，這將在附加的權(quán)利要求書中論述。
在實(shí)施例中所使用的反應(yīng)器與Maas等人在美國專利4，218，387號中所描述的反應(yīng)器相似，對于熟練用硅和氯甲烷生產(chǎn)甲基氯硅烷工藝的人來說是很熟悉的。通常，反應(yīng)的進(jìn)行方法是令氯甲烷以蒸汽(或氣態(tài))通過裝載在反應(yīng)器中的硅表面，將硅保持在較高的溫度。反應(yīng)混合物的加熱是通過將反應(yīng)器浸沒在沙浴中的方法來實(shí)現(xiàn)的，沙子即是傳熱介質(zhì)。
令反應(yīng)產(chǎn)物和所有未反應(yīng)的物質(zhì)冷凝，并收集在沒入干冰與醇中的冷阱中。產(chǎn)物和未反應(yīng)的物質(zhì)是用氣相色譜法進(jìn)行分析的。將所收集的物質(zhì)倒入冷卻的瓶中(用干冰/異丙醇冷卻)，并冷卻色譜用注射器，再將試樣盡可能快地注射到氣相色譜儀中。
為了裝填反應(yīng)器，首先將經(jīng)過研磨的硅和反應(yīng)所需要的其它固體物料放在一只瓶中，搖動二到三分鐘，然后再將其裝入反應(yīng)器中。密封反應(yīng)器，稱重，記錄初始裝載重量。通入氣流，形成流態(tài)化。將反應(yīng)器沒入沙浴中。將供流出物用的接受器稱重，然后，用管子將其與反應(yīng)器相連。反應(yīng)器用沙浴加熱，連續(xù)不斷地翻動浴中的沙，以保持溫度在接近容許的范圍內(nèi)。
將接受器置于干冰浴中。幾分鐘后開始向反應(yīng)器中通入氯甲烷。待過了一段時(shí)間后，并在不同的溫度下，(細(xì)節(jié)在下面加以敘述)，當(dāng)氯甲烷氣流通完以后，卸下接受器，并在進(jìn)行色譜分析之前稱重。將冷卻后的反應(yīng)器從沙浴中移出，也加以稱重。這里所述的這種方法基本上就是實(shí)施例中所使用的方法。
為了解釋這些實(shí)施例，并評價(jià)試驗(yàn)結(jié)果，可應(yīng)用下式Me/Me2比＝ (CH3Si Cl3%(重量))/((CH3)2Si Cl2%(重量))硅轉(zhuǎn)化%＝ (100%-硅剩余量)/(硅的總投料量)實(shí)施例1使用上述的反應(yīng)器。將下述組分進(jìn)行細(xì)顆?；?jīng)劇烈地混合后再加入至反應(yīng)器中100份冶金級硅(球狀)，其中85%的物料顆粒粒度小于70微米(除非另有說明，在以后的實(shí)施例中均使用這種硅)。
0.025份金屬鋅粉末，
6.3份氯化亞銅粉末，0.003份金屬錫粉末，以及不同份的磷，其用量如表Ⅰ所示。球狀冶金級硅采用美國俄亥俄州克利夫蘭市Pickands Mather公司的產(chǎn)品，含有下列雜質(zhì)化合物 量ppm鐵 5000鋁 3300鈣 720鈦 380釩 110鎳 70所用的磷為磷-銅合金的15%(重量)。該合金購自美國田納西州Greenback市的Greenback Industries公司，產(chǎn)品為銅-磷，批號為1384。
將反應(yīng)器密封，并稱重，并將反應(yīng)器置于315℃的沙浴中，將氯甲烷通入至反應(yīng)器中。反應(yīng)持續(xù)約44小時(shí)。將所有的產(chǎn)物與未反應(yīng)的物料收集在冷阱中。
在所有的實(shí)施例中，添加物的量自始至終按投入的硅的ppm計(jì)算。本實(shí)施例的結(jié)果可查見表Ⅰ。
本文中列出的CH3Si Cl3與(CH3)2Si Cl2之比，都是在反應(yīng)44小時(shí)之后測定的。
實(shí)施例2反應(yīng)基本上是按實(shí)施例1中所選用的相同的反應(yīng)條件進(jìn)行的。投料球狀硅100份，氯化亞銅6.3份;以及金屬錫0.003份，不過，沒有鋅存在。本例中使用的磷銅合金與實(shí)施例1中用的相同。結(jié)果參見表Ⅱ。
作為對比，進(jìn)行了在反應(yīng)中不加錫的試驗(yàn)?？梢钥吹剑鄙馘a不能得到滿意的結(jié)果。投料100份球狀硅，6.3份氯化亞銅粉末，0.025份鋅，磷的加入量為磷-銅合金的15%。結(jié)果如下所示。
實(shí)施例3-使用磷化鋁為了顯示磷化鋁在本發(fā)明中的作用，按實(shí)施例1的方法加入反應(yīng)物料，不同之處是將投料先用磷化鋁進(jìn)行處理，再加入至反應(yīng)器中。所使用的磷化鋁購自美國Johnson Matther公司的Aesar分部Eagleslanding，郵政信箱1087，Seabrook，新罕布什爾州03874美國。商品名為Aesar粉，批號為091484。結(jié)果注在表Ⅲ中。
表Ⅲ數(shù)據(jù)表明使用磷化鋁后，提高了反應(yīng)的選擇性，得到較多的所希望的(CH3)2Si Cl2產(chǎn)物。
實(shí)施例4-使用磷化鈣為了顯示在本發(fā)明中使用磷化鈣(Ca3P2)的好處，從美國Morton Thiokol公司Damers，Mass.01923的Alfa產(chǎn)品部購買了Ca3P2。將塊狀Ca3P2壓碎，用Ca3P2取代磷化鋁，與實(shí)施例3中的投料共同投入使用。結(jié)果參見表Ⅳ。
表Ⅳ數(shù)據(jù)表明使用本發(fā)明可以提高所需要的(CH3)2Si Cl2的收率和選擇性。
實(shí)施例5-使用磷化亞銅(Cu3P)為了顯示在本發(fā)明中使用Cu3P的好處，從Alfa產(chǎn)品部購買了粉末狀Cu3P。批號為＃26136。用Cu3P取代磷化鋁，與實(shí)施例3中的投料一起使用。結(jié)果參見表Ⅴ。
實(shí)施例6-使用第二種來源的磷化亞銅(Cu3P)粉末狀Cu3P，購自美國Cerac公司，Milwaukee，威斯康星州，53201。經(jīng)鑒定為100目粉末。用Cu3P取代磷化鋁，與實(shí)施例3中的投料一起使用。結(jié)果參見表Ⅵ。
實(shí)施例7-使用第三種來源的磷化亞銅(Cu3P)片狀Cu3P購自美國ICN藥品公司，生命科學(xué)集團(tuán)，KRK實(shí)驗(yàn)室，Plainview，紐約11803。用經(jīng)過壓碎或研磨的Cu3P片取代磷化鋁，使用實(shí)施例3的投料，使用壓碎Cu3P片的結(jié)果可查見表Ⅶ。使用研磨Cu3P片的結(jié)果可查見表Ⅷ。
實(shí)施例8-使用銅/磷合金形式的磷銅-磷合金形式磷經(jīng)研磨，使其平均粒度為325目(ASTM標(biāo)準(zhǔn))。該合金購自Greenback Industries公司，Greenback，田納西州，批號為＃1384。該合金約含磷15%(重量)。用該合金取代磷化鋁，使用實(shí)施例3的投料。用批號為＃170合金進(jìn)行二次試驗(yàn)，即試驗(yàn)樣9與10，用批號為＃119合金試樣(粉末，平均325目)進(jìn)行一次試驗(yàn)，用量為1000ppm，即試驗(yàn)樣品11。應(yīng)該注意到試驗(yàn)樣品10與11的情況不理想，并沒有得到這種特有物質(zhì)應(yīng)有的高水平，這應(yīng)與試驗(yàn)樣1相比較，其用量為992ppm粉末，結(jié)果并非最佳。結(jié)果可查見Ⅸ。
實(shí)施例9-使用磷-銅合金磷-銅合金購自美國冶金產(chǎn)品公司W(wǎng)estchester，PA，19380。經(jīng)鑒定為15%銅-磷合金片。用經(jīng)過壓碎或研磨的P-Cu合金取代磷化鋁，使用實(shí)施例3的投料。使用研磨合金結(jié)果，在表Ⅹ中給出。使用壓碎合金的結(jié)果在表Ⅺ中給出。
實(shí)施例10-使用含磷量低的磷-銅合金磷-銅合金產(chǎn)品批號為N.25G200TV。購自法國Baudier-Poudmet公司，60140 Liancourt，合金含磷7%用這種合金粉末形式物料取代磷化鋁，使用實(shí)施例3的投料。結(jié)果可查見表Ⅻ。
實(shí)施例11-使用紅磷紅磷購自Johnson Matthy公司Aesar分部。平均粒度約為100目(ASTM標(biāo)準(zhǔn))粉末。用這種粉末狀的磷作為磷添加物取代磷化鋁，使用實(shí)施例3的投料。結(jié)果可查見表Ⅷ。
實(shí)施例12-使用Zn3P磷以Zn3P形式，購自ICN公司，粉末狀。本例中使用的物料批號為＃88415X。當(dāng)按本發(fā)明使用時(shí)，用實(shí)施例3的投料，但不使用磷化鋁。實(shí)現(xiàn)了增進(jìn)(CH3)2SiCl2的收率，同時(shí)還增進(jìn)硅烷物質(zhì)的總收率。結(jié)果可查見表ⅩⅣ。
實(shí)施例13-使用ZnP2磷以ZnP2的形式，平均粒度為100目粉末(ASTM標(biāo)準(zhǔn))。購自Cerac公司。當(dāng)按照本發(fā)明使用時(shí)，用實(shí)施例3的投料，但不使用磷化鋁。結(jié)果在表ⅩⅤ中示出。
實(shí)施例14-使用NiP2用NiP2取代磷化鋁，按實(shí)施例3方法操作。所示結(jié)果在表ⅩⅥ。NiP2購自Cerac公司。庫存號N-1044。
實(shí)施例15-使用SnP用磷化錫取代在實(shí)施例3中的磷化鋁進(jìn)行操作。結(jié)果可查見表ⅩⅦ。磷化錫購自Aesar。產(chǎn)品目錄N.12827。
實(shí)施例16-使用FeP磷化鐵以粉末形式，購自ICN公司，批號＃23560，并用于直接法中，使用實(shí)施例3的投料，但不使用磷化鋁。結(jié)果可查見表ⅩⅧ。
實(shí)施例17-使用Fe2P磷化鐵以40目形式的粉末，購自Cerac公司。用實(shí)施例3中的投料，以磷化鐵取代磷化鋁。結(jié)果可查見表ⅩⅩ。
實(shí)施例18-使用Fe3PFe3P購自Cerac公司，為40目粉末。用實(shí)施例3中的投料，以Fe3P取代磷化鋁。結(jié)果可查見表ⅩⅪ。
實(shí)施例19-使用磷化硅磷化硅購自美國Metton公司，Allamrecky，新澤西州。以粉末狀形式使用，用實(shí)施例3中的投料，取代磷化鋁。結(jié)果在表ⅩⅫ衷示出。
實(shí)施例20-使用磷化硅使用實(shí)施例19中的磷化硅，用實(shí)施例3中的投料，取代磷化鋁。此外，投入到反應(yīng)器中的硅不含任何鋅。結(jié)果在表ⅩⅩⅢ中示出。
實(shí)施例21-使用第二種來源購得的硅進(jìn)行試驗(yàn)本實(shí)施例是用以說明本發(fā)明可以使用各種不同來源的硅。盡管在前面的實(shí)施例中使用的是球狀硅，而本例中使用的硅卻是來自挪威A.S.Meraker Smelteverk公司，并以粉末狀形式使用。使用實(shí)施例1的投料配方，反應(yīng)在約310℃下進(jìn)行44小時(shí)，不同之處是以硅粉代替了球狀硅。所示結(jié)果列于表ⅩⅩⅣ中，其中，試驗(yàn)樣1和2均含有Cu3P，試驗(yàn)樣3至6不含有磷。硅中含有下述雜質(zhì)鋁2300ppm，鈣1400ppm，鐵3200ppm，鈦200ppm，和無法檢測出的釩。
實(shí)施例22-使用第三種來源的硅進(jìn)行試驗(yàn)本例中使用的硅購自法國Pechiney電冶金(巴黎)公司。以粉末狀形式取代球狀硅使用，按實(shí)施例21的方法操作。結(jié)果查見表ⅩⅩⅤ。其中，試驗(yàn)樣1與2為使用Ca3P2的結(jié)果。試驗(yàn)樣3與4為使用15%銅/磷合金的結(jié)果。試驗(yàn)樣5至7不含有任何的磷。硅中含有下列雜質(zhì)鋁2100ppm，鈣2600ppm，鐵3700ppm。
實(shí)施例23-使用第四種來源的硅進(jìn)行試驗(yàn)硅購自Smelters(P.T.Y)有限公司，Peitersburg 0700南非。以粉末形式的硅代替球狀硅。按實(shí)施例21的方法操作，結(jié)果查見表ⅩⅩⅥ。其中，試驗(yàn)樣1與2為使用15%銅/磷合金的結(jié)果，試驗(yàn)樣3與4不含有磷。硅中含有下列雜質(zhì)鋁1500ppm，鈣300ppm，鐵1900ppm，鈦260ppm，釩120ppm。
表Ⅰ試驗(yàn)樣添加量理論加磷量重量% Me/Me2硅轉(zhuǎn)化%(ppm) (ppm) (CH3)2Si Cl21 2016 302 90.44 0.05 62.502 2500 375 91.26 0.05 40.10表Ⅱ投料中不含鋅試驗(yàn)樣添加量理論加磷量重量% Me/Me2硅轉(zhuǎn)化%(ppm) (ppm) (CH3)2Si Cl21 1521 228 77.51 0.13 75.782 1521 228 74.82 0.18 75.783 2000 300 76.48 0.16 15.36表Ⅲ添加磷化鋁試驗(yàn)樣添加量理論加磷量重量% Me/Me2硅轉(zhuǎn)化%(ppm) (ppm) (CH3)2Si Cl21 311 166 87.98 0.06 73.962 304 162 85.48 0.07 81.25
表Ⅳ磷化鈣試驗(yàn)添加量理論加磷量重量% Me/Me2硅轉(zhuǎn)化%(ppm) (ppm) (CH3)2Si Cl21 220 75 86.68 0.08 85.942 241 82 85.63 0.08 84.113 333 113 88.29 0.06 75.524 471 160 88.79 0.06 79.175 486 165 89.34 0.06 81.776 700 238 88.12 0.07 63.807 722 245 90.70 0.05 62.508 800 272 86.97 0.07 77.869 1096 373 92.03 0.04 52.3410 1140 388 90.27 0.05 65.1011 1187 404 90.91 0.05 82.5512 1420 483 90.99 0.05 70.3113 1556 529 89.25 0.06 71.8814 1865 634 91.59 0.05 52.0815 2044 695 88.94 0.07 32.5516 2521 857 88.96 0.07 52.0817 2737 931 90.00 0.07 43.49
表ⅤCu P試驗(yàn)添加量理論加磷量重量% Me/Me2硅轉(zhuǎn)化%(ppm) (ppm) (CH3)2Si Cl21 349 49 79.45 0.11 54.712 541 76 80.02 0.11 58.853 667 93 89.41 0.06 60.684 975 137 82.92 0.10 32.555 1114 156 90.52 0.05 73.446 1117 156 90.37 0.05 77.86表ⅥCerac Cu3P試驗(yàn)添加量理論加磷量重量% Me/Me2硅轉(zhuǎn)化%(ppm) (ppm) (CH3)2Si Cl21 180 25 88.94 0.05 71.882 180 25 86.51 0.07 53.913 992 139 89.43 0.05 56.774 1010 141 89.36 0.06 83.33
表ⅦICN壓碎的片Cu3P試驗(yàn)添加量理論加磷量重量% Me/Me2硅轉(zhuǎn)化%(ppm) (ppm) (CH3)2Si Cl21 229 32 84.64 0.09 75.782 339 47 89.82 0.05 75.263 346 48 84.41 0.08 63.024 492 69 74.65 0.16 46.885 505 71 78.63 0.12 48.446 558 78 91.20 0.05 73.187 655 92 89.64 0.04 60.948 779 109 89.65 0.05 67.719 953 133 86.62 0.07 43.2310 958 134 65.51 0.22 83.3311 984 138 89.43 0.06 72.6612 992 139 90.92 0.05 42.9713 1008 141 89.41 0.06 90.8914 1046 146 86.76 0.05 70.5715 1052 147 87.33 0.07 62.2416 1163 163 89.35 0.06 62.7617 1052 147 88.41 0.06 84.1118 1065 149 90.69 0.05 80.7319 1171 164 90.60 0.08 69.0120 1979 277 98.31 0.07 73.7021 2042 286 90.53 0.06 77.6022 2614 366 91.25 0.05 60.16
表ⅧICN研磨的片Cu3P試驗(yàn)添加量理論加磷量重量% Me/Me2硅轉(zhuǎn)化%(ppm) (ppm) (CH3)2Si Cl21 984 138 89.43 0.06 80.732 1052 147 87.33 0.07 69.013 1052 147 88.41 0.06 73.704 1065 149 90.69 0.05 77.60表Ⅸ15%磷-銅合金試驗(yàn)添加量理論加磷量重量% Me/Me2硅轉(zhuǎn)化%(ppm) (ppm) (CH3)2Si Cl21 992 149 88.01 0.07 82.552 1513 227 91.47 0.05 78.653 1513 227 91.47 0.05 78.654 1513 227 93.08 0.04 79.435 1580 237 90.00 0.06 87.766 2000 300 90.04 0.05 76.827 2018 303 91.13 0.05 83.338 2500 375 90.96 0.05 78.139 1515 227 89.33 0.05 74.7410 1521 228 84.61 0.10 85.9411 1000 150 85.00 0.10 88.001.在第20小時(shí)補(bǔ)加500ppm2.在第20小時(shí)補(bǔ)加577ppm，并加入1.43克硅表Ⅹ冶金級磷/銅合金(研磨)試驗(yàn)添加量理論加磷量重量% Me/Me2硅轉(zhuǎn)化%(ppm) (ppm) (CH3)2Si Cl21 997 150 84.22 0.09 79.822 1078 162 85.14 0.09 87.243 2000 300 90.69 0.05 79.434 2000 300 88.76 0.06 78.135 2000 300 90.92 0.05 74.226 2500 375 90.44 0.05 83.077 2500 375 88.90 0.06 85.94表Ⅺ冶金級磷/銅合金(壓碎)試驗(yàn)添加量理論加磷量重量% Me/Me2硅轉(zhuǎn)化%(ppm) (ppm) (CH3)2Si Cl21 1000 150 86.30 0.08 82.292 1000 150 85.44 0.08 85.893 1016 152 81.87 0.11 86.46
表ⅫPoudmet 7%磷/銅合金試驗(yàn)添加量理論加磷量重量% Me/Me2硅轉(zhuǎn)化%(ppm) (ppm) (CH3)2Si Cl21 372 26 86.01 0.07 69.012 377 26 87.99 0.06 70.833 755 53 90.19 0.05 84.904 755 53 90.28 0.05 50.265 755 53 90.12 0.05 65.366 2396 168 89.57 0.05 83.597 2421 169 90.83 0.05 56.258 2487 174 91.93 0.04 41.939 4005 280 91.40 0.05 51.3010 4010 281 92.51 0.04 84.1111 5732 401 88.67 0.06 56.1512 5747 402 88.12 0.06 81.77表ⅩⅢ紅磷試驗(yàn)添加量理論加磷量重量% Me/Me2硅轉(zhuǎn)化%(ppm) (ppm) (CH3)2Si Cl21 139 139 87.76 0.07 83.332 150 150 89.54 0.05 77.863 232 232 89.26 0.07 86.984 255 255 89.71 0.05 76.825 475 475 91.65 0.05 48.966 662 662 90.33 0.06 44.01
表ⅩⅣZn3P2試驗(yàn) 添加量 理論加磷量 重量% Me/Me 硅轉(zhuǎn)化%(ppm) (ppm) (CH3)2Si Cl21 188 45 86.82 0.07 82.292 285 68 86.78 0.07 50.003 568 136 88.94 0.06 84.904 575 138 90.58 0.05 60.68表ⅩⅤZn P2試驗(yàn)添加量理論加磷量重量% Me/Me2硅轉(zhuǎn)化%(ppm) (ppm) (CH3)2Si Cl21 330 161 87.97 0.06 56.252 333 162 87.89 0.06 83.07表ⅩⅥ試驗(yàn)添加量理論加磷量重量% Me/Me2硅轉(zhuǎn)化%(ppm) (ppm) (CH3)2Si Cl21 700 146 85.19 0.08 33.852 700 146 87.04 0.06 80.993 700 146 86.70 0.06 86.464 1400 293 86.70 0.05 63.02
表ⅩⅦSn P試驗(yàn)添加量理論加磷量重量% Me/Me2硅轉(zhuǎn)化%(ppm) (ppm) (CH3)2Si Cl21 26 5 78.68 0.13 66.672 28 6 80.64 0.12 78.653 312 65 77.71 0.16 63.544 607 126 82.03 0.13 44.015 612 127 76.92 0.17 39.066 1997 413 77.77 0.17 34.647 2000 414 76.26 0.20 34.908＊ 20 4 86.01 0.07 58.599＊＊ 49 10 82.27 0.09 79.6910＊＊＊ 55 11 74.50 0.21 87.50＊ 加14ppm Sn＊＊ 在標(biāo)準(zhǔn)反應(yīng)器中不投加Sn＊＊＊ 在標(biāo)準(zhǔn)反應(yīng)器中不投加Sn表ⅩⅧFe P試驗(yàn)添加量理論加磷量重量% Me/Me2硅轉(zhuǎn)化%(ppm) (ppm) (CH3)2Si Cl21 52 19 75.54 0.15 44.322 277 99 84.19 0.08 62.243 709 253 82.74 0.09 60.424 1979 707 82.73 0.10 34.115 2000 714 82.11 0.09 64.11
表ⅩⅩFe2P試驗(yàn)添加量理論加磷量重量% Me/Me2硅轉(zhuǎn)化%(ppm) (ppm) (CH3)2Si Cl21 722 151 86.00 0.07 67.452 767 160 86.79 0.07 75.52表ⅩⅪFe3P試驗(yàn)添加量理論加磷量重量% Me/Me2硅轉(zhuǎn)化%(ppm) (ppm) (CH3)2Si Cl21 892 134 83.69 0.07 65.632 1006 151 81.42 0.10 72.92表ⅩⅫ磷化硅試驗(yàn)添加量理論加磷量重量% Me/Me2硅轉(zhuǎn)化%(ppm) (ppm) (CH3)2Si Cl21 55 29 81.3 0.11 89.582 58 30 84.98 0.08 63.283 319 167 80.78 0.10 57.034 354 186 85.74 0.07 50.785 792 415 84.50 0.08 65.896 876 459 83.02 0.10 86.727 1096 475 88.69 0.06 36.208 1103 578 84.47 0.09 33.85
表ⅩⅩⅢ磷化硅試驗(yàn)添加量理論加磷量重量% Me/Me2硅轉(zhuǎn)化%(ppm) (ppm) (CH3)2Si Cl21 300 157 81.0 0.12 52.62 300 157 81.5 0.11 48.4表ⅩⅩⅣ試驗(yàn)添加量理論加磷量重量% Me/Me2硅轉(zhuǎn)化%(ppm) (ppm) (CH3)2Si Cl21 992 139 90.11 0.05 42.972 992 139 90.83 0.05 51.823 0 0 83.41 0.09 63.024 0 0 84.63 0.08 62.505 0 0 85.94 0.08 70.056 0 0 84.39 0.09 68.23表ⅩⅩⅤ試驗(yàn)樣添加量理論加磷量重量% Me/Me2硅轉(zhuǎn)化%(ppm) (ppm) (CH3)2Si Cl21 784 267 88.84 0.07 26.042 1248 424 89.84 0.07 33.333 1510 227 90.57 0.05 82.554 1518 228 89.58 0.06 88.545 0 0 84.17 0.08 35.686 0 0 81.14 0.10 37.767 0 0 85.21 0.08 39.58
表ⅩⅩⅥ試驗(yàn)樣添加量理論加磷量重量% Me/Me2硅轉(zhuǎn)化%(ppm) (ppm) (CH3)2Si Cl21 1505 226 92.40 0.04 78.12 1529 229 91.53 0.05 83.63 - - 84.60 0.09 60.24 - - 85.10 0.08 45.權(quán)利要求
1.一種用作由烷基鹵與硅在銅和助催化劑錫存在下反應(yīng)制備烷基鹵硅烷過程中的含硅接觸物料的組合物，其特征在于所述的組合物含有冶金級硅、以所存在的硅為基準(zhǔn)、按照單質(zhì)金屬計(jì)算的0.2-10%(重)銅或銅化合物以及5-200ppm錫或錫化合物，其特征還在于在所述的接觸物料中除了通常存在于冶金級硅中的一定量的磷以外還加入了25-2500ppm以所存在的硅為基準(zhǔn)、按照單質(zhì)金屬計(jì)算的選自下列組分的磷促進(jìn)劑(Ⅰ)單質(zhì)磷；(Ⅱ)金屬磷化物；(Ⅲ)能夠在反應(yīng)物料中形成金屬磷化物的化合物。
全文摘要
本文公開了一種用于從烷基鹵與硅制備烷基鹵硅烷過程的含硅物料組合物，使用磷和某些磷化物做為促進(jìn)劑，以提高選擇性，有用硅烷的總收率以及提高金屬硅的轉(zhuǎn)化。
文檔編號C07F7/16GK1065271SQ9210324
公開日1992年10月14日 申請日期1992年5月20日 優(yōu)先權(quán)日1985年11月12日
發(fā)明者羅蘭德·利·哈爾姆, 奧利沃·K·維爾丁格, 里吉·哈羅德·薩普 申請人:陶氏康寧公司