一種單晶爐導(dǎo)流筒的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于單晶爐設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種單晶爐導(dǎo)流筒。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的單晶爐導(dǎo)流筒的結(jié)構(gòu)通常為逐漸減小直徑的圓筒狀結(jié)構(gòu)，起高溫氣體導(dǎo)流的作用，高溫氣體一般為氬氣流，在氬氣流動(dòng)過程中，不斷的從晶體表面帶走熱量，因此，氬氣流對(duì)晶體表面的吹拂對(duì)于晶體中的徑向和縱向溫度分布有著重要的影響，而溫度梯度又對(duì)晶體中的雜質(zhì)狀況，原生缺陷的形成以及電阻率和氧含量的徑向分布，有著密切的關(guān)系。但現(xiàn)有的這種結(jié)構(gòu)，因?yàn)楦邷貧怏w在導(dǎo)流筒中流動(dòng)的速度快，流動(dòng)阻力小，所以晶體生長(zhǎng)過程中固液界面凹向固體的一側(cè)，如果凹陷過大，就會(huì)弓I起徑向含氧量、電阻率、原生缺陷的起伏過大，使晶體參數(shù)均勻性變差。一些單晶爐導(dǎo)流筒的開口處雖然設(shè)置擋板，但其結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)不合理，擋板的折角位置為死角，容易引起高溫氣體的氣流回旋，這樣雖然增設(shè)了擋板，但是不能均勻的控制導(dǎo)流筒中氣體的流速，難以保證晶體質(zhì)量。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型要解決的問題是提供一種單晶爐導(dǎo)流筒，能夠均勻的控制導(dǎo)流筒中氣體的流速，并能夠?yàn)閷?dǎo)流筒保溫，并且保溫箱為一體式結(jié)構(gòu)，能夠重復(fù)利用。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的:一種單晶爐導(dǎo)流筒，包括由上而下開口逐漸縮小的筒體、以及筒體外側(cè)環(huán)繞固定的封閉式保溫箱、以及筒體內(nèi)設(shè)置的數(shù)組開口調(diào)節(jié)裝置；所述開口調(diào)節(jié)裝置包括開口調(diào)節(jié)缸和調(diào)節(jié)板組；所述保溫箱中空的腔體內(nèi)填充有保溫材料；所述調(diào)節(jié)板組包括上調(diào)節(jié)板和下調(diào)節(jié)板；所述下調(diào)節(jié)板下端轉(zhuǎn)動(dòng)的連接在筒體開口的下端，其上端與上調(diào)節(jié)板的下端轉(zhuǎn)動(dòng)連接；所述開口調(diào)節(jié)缸伸出桿前端鉸接在上調(diào)節(jié)板的上端。
[0005]進(jìn)一步的，所述保溫箱橫截面呈梯形，其斜邊貼附于筒體外壁，保溫箱的外輪廓為圓柱形結(jié)構(gòu)。
[0006]進(jìn)一步的，所述保溫箱的外壁對(duì)稱的設(shè)有至少兩個(gè)吊耳。
[0007]進(jìn)一步的，所述開口調(diào)節(jié)裝置沿筒體中心均布設(shè)置。
[0008]進(jìn)一步的，所述開口調(diào)節(jié)缸為電動(dòng)缸。
[0009]進(jìn)一步的，所述上調(diào)節(jié)板和下調(diào)節(jié)板均為帶弧度的彎板，且上調(diào)節(jié)板與開口調(diào)節(jié)缸連接的一端設(shè)有鉸軸。
[0010]進(jìn)一步的，所述保溫箱的各棱角均倒圓角。
[0011]本實(shí)用新型具有的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是:
[0012]I)開口調(diào)節(jié)裝置的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)適應(yīng)氣體流動(dòng)特點(diǎn)，上調(diào)節(jié)板和下調(diào)節(jié)板各連接處均無死角，不會(huì)因氣流的突然轉(zhuǎn)向而形成旋流，能夠均勻的對(duì)氣流起到導(dǎo)向和流速調(diào)節(jié)作用。
[0013]2)保溫箱為整體式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，能夠提高導(dǎo)流筒的保溫效果，同時(shí)對(duì)導(dǎo)流筒起防護(hù)作用，防止導(dǎo)流筒受外力沖擊損壞，并且，保溫箱可以整體拆卸，重復(fù)利用。
[0014]3)保溫箱外形為圓柱狀，其上設(shè)有吊耳，易于安裝和吊運(yùn)。
[0015]4)開口調(diào)節(jié)缸為電動(dòng)缸，有利于自動(dòng)化控制，同時(shí)精確度高，可以實(shí)現(xiàn)定量調(diào)節(jié)。
【附圖說明】
[0016]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖2是本實(shí)用新型中保溫箱的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖3是本實(shí)用新型中上調(diào)節(jié)板的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]圖中:1-筒體；2_保溫箱；3_開口調(diào)節(jié)缸；4_調(diào)節(jié)板組；5_保溫材料；6_上調(diào)節(jié)板-J-下調(diào)節(jié)板;8_吊耳;9_鉸軸;10_斜邊;11_圓角ο
【具體實(shí)施方式】
[0020]需要說明的是，在不相沖突的情況下，本實(shí)用新型中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。
[0021]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例做詳細(xì)說明。
[0022]一種單晶爐導(dǎo)流筒，如圖1所示，包括由上而下開口逐漸縮小筒體1、以及筒體I外側(cè)環(huán)繞固定的封閉式保溫箱2、以及筒體I內(nèi)設(shè)置的數(shù)組開口調(diào)節(jié)裝置；所述開口調(diào)節(jié)裝置包括開口調(diào)節(jié)缸3和調(diào)節(jié)板組4 ;所述保溫箱2中空的腔體內(nèi)填充有保溫材料5 ;所述調(diào)節(jié)板組4包括上調(diào)節(jié)板6和下調(diào)節(jié)板7 ;所述下調(diào)節(jié)板7下端轉(zhuǎn)動(dòng)的連接在筒體I開口的下端，其上端與上調(diào)節(jié)板6的下端轉(zhuǎn)動(dòng)連接；所述開口調(diào)節(jié)缸3伸出桿前端鉸接在上調(diào)節(jié)板6的上端。
[0023]其中，如圖1和圖2所示，所述保溫箱2橫截面呈梯形，其斜邊10貼附于筒體I外壁，保溫箱2的外輪廓為圓柱形結(jié)構(gòu)，外形規(guī)則，易于整體結(jié)構(gòu)的布局。
[0024]實(shí)際生產(chǎn)中，可以在所述保溫箱2的外壁對(duì)稱的設(shè)置至少兩個(gè)吊耳8，這樣，易于保溫箱2以及裝配好的整個(gè)導(dǎo)流筒的安裝和吊運(yùn)。
[0025]其中，所述開口調(diào)節(jié)裝置沿筒體I中心均布設(shè)置，實(shí)現(xiàn)高溫氣流均勻的經(jīng)過，氣流穩(wěn)定，能有效控制晶體固液界面結(jié)晶潛熱的揮發(fā)。
[0026]其中，所述開口調(diào)節(jié)缸3為電動(dòng)缸。有利于自動(dòng)化控制，同時(shí)控制精度高，可以實(shí)現(xiàn)定量調(diào)節(jié)。
[0027]其中，如圖3所示，所述上調(diào)節(jié)板6和下調(diào)節(jié)板7均為帶弧度的彎板，且上調(diào)節(jié)板6與開口調(diào)節(jié)缸3連接的一端設(shè)有鉸軸9。
[0028]需要說明的是，通常上調(diào)節(jié)板6和下調(diào)節(jié)板7的彎曲弧度凹向下，這樣，氣流經(jīng)過更加的順暢，導(dǎo)向效果更佳。另外，設(shè)置的鉸軸9應(yīng)避免在安裝開口調(diào)節(jié)缸3后發(fā)生干涉。
[0029]其中，所述保溫箱2的各棱角均倒圓角11，在安裝筒體I時(shí)，可以避免刮傷筒體I。
[0030]當(dāng)開口調(diào)節(jié)缸3的伸出桿向下伸出時(shí)，上調(diào)節(jié)板6上端逐漸向下移動(dòng)，同時(shí)上調(diào)節(jié)板6和下調(diào)節(jié)板7像合頁(yè)一樣逐漸閉合，而上調(diào)節(jié)板6和下調(diào)節(jié)板7相連接位置被逐漸推向靠近筒體I中心的位置，使筒體I下端的開口逐漸減小，起到導(dǎo)向和調(diào)節(jié)氣流的效果。
[0031]本實(shí)用新型中的開口調(diào)節(jié)裝置的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)適應(yīng)氣體流動(dòng)特點(diǎn)，上調(diào)節(jié)板6和下調(diào)節(jié)板7各連接處均無死角，不會(huì)因氣流的突然轉(zhuǎn)向而形成旋流，能夠均勾的對(duì)氣流起到導(dǎo)向和流速調(diào)節(jié)作用。
[0032]同時(shí)，保溫箱2為整體式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，能夠提高導(dǎo)流筒筒體I的保溫效果，同時(shí)對(duì)導(dǎo)流筒筒體I起防護(hù)作用，防止筒體I受外力沖擊損壞，并且，保溫箱2可以整體拆卸，重復(fù)利用。
[0033]對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本實(shí)用新型不限于上述示范性實(shí)施例的細(xì)節(jié)，而且在不背離本實(shí)用新型的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型。
[0034]因此，無論從哪一點(diǎn)來看，均應(yīng)將實(shí)施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求而不是上述說明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本實(shí)用新型內(nèi)。不應(yīng)將權(quán)利要求中的任何附圖標(biāo)記視為限制所涉及的權(quán)利要求。
[0035]此外，應(yīng)當(dāng)理解，雖然本說明書按照實(shí)施方式加以描述，但并非每個(gè)實(shí)施方式僅包含一個(gè)獨(dú)立的技術(shù)方案，說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說明書作為一個(gè)整體，各實(shí)施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當(dāng)組合，形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實(shí)施方式。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種單晶爐導(dǎo)流筒，其特征在于:包括由上而下開口逐漸縮小的筒體、以及筒體外側(cè)環(huán)繞固定的封閉式保溫箱、以及筒體內(nèi)設(shè)置的數(shù)組開口調(diào)節(jié)裝置；所述開口調(diào)節(jié)裝置包括開口調(diào)節(jié)缸和調(diào)節(jié)板組；所述保溫箱中空的腔體內(nèi)填充有保溫材料；所述調(diào)節(jié)板組包括上調(diào)節(jié)板和下調(diào)節(jié)板；所述下調(diào)節(jié)板下端轉(zhuǎn)動(dòng)的連接在筒體開口的下端，其上端與上調(diào)節(jié)板的下端轉(zhuǎn)動(dòng)連接；所述開口調(diào)節(jié)缸伸出桿前端鉸接在上調(diào)節(jié)板的上端。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐導(dǎo)流筒，其特征在于:所述保溫箱橫截面呈梯形，其斜邊貼附于筒體外壁，保溫箱的外輪廓為圓柱形結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種單晶爐導(dǎo)流筒，其特征在于:所述保溫箱的外壁對(duì)稱的設(shè)有至少兩個(gè)吊耳。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐導(dǎo)流筒，其特征在于:所述開口調(diào)節(jié)裝置沿筒體中心均布設(shè)置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐導(dǎo)流筒，其特征在于:所述開口調(diào)節(jié)缸為電動(dòng)缸。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐導(dǎo)流筒，其特征在于:所述上調(diào)節(jié)板和下調(diào)節(jié)板均為帶弧度的彎板，且上調(diào)節(jié)板與開口調(diào)節(jié)缸連接的一端設(shè)有鉸軸。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐導(dǎo)流筒，其特征在于:所述保溫箱的各棱角均倒圓角。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種單晶爐導(dǎo)流筒，包括由上而下開口逐漸縮小的筒體、以及筒體外側(cè)環(huán)繞固定的封閉式保溫箱、以及筒體內(nèi)設(shè)置的數(shù)組開口調(diào)節(jié)裝置；開口調(diào)節(jié)裝置包括開口調(diào)節(jié)缸和調(diào)節(jié)板組；保溫箱中空的腔體內(nèi)填充有保溫材料；調(diào)節(jié)板組包括上調(diào)節(jié)板和下調(diào)節(jié)板；下調(diào)節(jié)板下端轉(zhuǎn)動(dòng)的連接在筒體開口的下端，其上端與上調(diào)節(jié)板的下端轉(zhuǎn)動(dòng)連接；開口調(diào)節(jié)缸伸出桿前端鉸接在上調(diào)節(jié)板的上端。本實(shí)用新型中的開口調(diào)節(jié)裝置的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，不會(huì)發(fā)生氣流的突然轉(zhuǎn)向而形成旋流，能對(duì)氣流起到均勻的導(dǎo)向和調(diào)節(jié)。同時(shí)，保溫箱為整體式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，能夠提高導(dǎo)流筒筒體的保溫效果，還對(duì)導(dǎo)流筒筒體起防護(hù)作用，保溫箱可以整體拆卸，實(shí)現(xiàn)重復(fù)利用。
【IPC分類】C30B35-00
【公開號(hào)】CN204550794
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520183536
【發(fā)明人】胡治軍
【申請(qǐng)人】安徽中晶光技術(shù)股份有限公司
【公開日】2015年8月12日
【申請(qǐng)日】2015年3月30日