技術總結
本實用新型提供一種氣浮基臺，屬于氣浮基臺技術領域。本實用新型的氣浮基臺包括基臺主體、第一真空管道、第一壓力管道、第一吹氣裝置、第一抽氣裝置、第二真空管道、第二壓力管道、第二吹氣裝置、第二抽氣裝置；第一壓力管道與基臺主體中的壓力管道氣路連接；第一真空管道與基臺主體中的真空管道連接；其特征在于，第二壓力管道與基臺主體中的壓力管道連接；第二抽氣裝置與基臺主體中的真空管道氣路連接；第一壓力管道和第二壓力管道中的至少一者的內部設置有第一壓力檢測器件；第一真空管道和第二真空管道中的至少一者的內部設置有第二壓力檢測器件；第二吹氣裝置的功率大于第一吹氣裝置的功率；第二抽氣裝置的功率大于第一抽氣裝置的功率。

技術研發(fā)人員：肖昂;張楊揚
受保護的技術使用者：京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司
文檔號碼：201720244863
技術研發(fā)日：2017.03.14
技術公布日：2017.10.24