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氣浮基臺的制作方法

文檔序號:12015212閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種氣浮基臺,包括基臺主體、第一真空管道、第一壓力管道、第一吹氣裝置、第一抽氣裝置;其中,所述第一吹氣裝置通過所述第一壓力管道與所述基臺主體中的壓力管道氣路連接;所述第一抽氣裝置通過所述第一真空管道與所述基臺主體中的真空管道氣路連接;其特征在于,所述氣浮基臺還包括第二真空管道、第二壓力管道、第二吹氣裝置、第二抽氣裝置;其中,

所述第二吹氣裝置通過所述第二壓力管道與所述基臺主體中的壓力管道氣路連接;所述第二抽氣裝置通過所述第二抽氣裝置與所述基臺主體中的真空管道氣路連接;

所述第一壓力管道和所述第二壓力管道中的至少一者的內(nèi)部設(shè)置有第一壓力檢測器件;

所述第一真空管道和所述第二真空管道中的至少一者的內(nèi)部設(shè)置有第二壓力檢測器件;

所述第二吹氣裝置的功率大于所述第一吹氣裝置的功率;所述第二抽氣裝置的功率大于所述第一抽氣裝置的功率。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣浮基臺,其特征在于,還包括第一連接件、第二連接件、第一控制閥和第二控制閥;其中,

所述第一連接件的第一端與所述基臺主體中的壓力管道氣路連接,第二端與所述第一控制閥的第三端連接;所述第一控制閥的第一端連接所述第一壓力管道,第二端連接所述第二壓力管道;

所述第二連接件的第一端與所述基臺主體中的真空管道氣路連接,第二端與所述第二控制閥的第三端連接;所述第二控制閥的第一端連接所述第一真空管道,第二端連接所述第二真空管道。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣浮基臺,其特征在于,所述第一控制閥和第二控制閥均為三通電磁閥。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣浮基臺,其特征在于,還包括基臺管路連接單元,其中,

所述基臺管路連接單元一端與所述第一連接件和所述第二連接件連接,另一端氣路連接所述基臺主體中的壓力管道和真空管道,所述基臺管路連接單元用于將所述第一連接件與所述壓力管道氣路連接,以及將所述第二連接件與所述真空管道氣路連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣浮基臺,其特征在于,還包括用于阻擋液體的第一阻隔物和第二阻隔物,其中,

所述第一阻隔物設(shè)置在所述第一真空管道中;

所述第二阻隔物設(shè)置在所述第二真空管道中。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的氣浮基臺,其特征在于,還包括水槽;其中,

所述水槽設(shè)置在第二真空管道中,所述第二阻隔物設(shè)置在所述水槽與所述第二抽氣裝置之間。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一項(xiàng)所述的氣浮基臺,其特征在于,所述第一壓力檢測器件設(shè)置在所述第二壓力管道中。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一項(xiàng)所述的氣浮基臺,其特征在于,所述第二壓力檢測器件設(shè)置在所述第二真空管道中。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一項(xiàng)所述的氣浮基臺,其特征在于,所述第一吹氣裝置和所述第二吹氣裝置均包括壓力氣體源。

10.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一項(xiàng)所述的氣浮基臺,其特征在于,所述第一抽氣裝置和所述第二抽氣裝置均包括真空泵。

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