技術(shù)編號(hào)：12015212
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型屬于，具體涉及一種氣浮基臺(tái)。背景技術(shù)在進(jìn)行FTE封裝過程中，為了防止因基臺(tái)表面不平整，在進(jìn)行有機(jī)層涂布之后出現(xiàn)Mura不良，因此采用氣浮基臺(tái)(FloatingGlassStage)來對(duì)玻璃進(jìn)行承接與控制，最大限度保證在進(jìn)行工藝過程中1玻璃表面的平坦度滿足要求。結(jié)合圖1和2所示，在氣浮基臺(tái)表面有很多小的氣孔，這些氣孔按照要求與下方的基臺(tái)主體10中的真空管道12或是壓力管道11相連接，使得基板在進(jìn)行工藝時(shí)能夠穩(wěn)定地懸浮在基臺(tái)表面。在進(jìn)行工藝過程中，若是有機(jī)涂層溶液滴落到基臺(tái)表面，會(huì)被與連接...
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