本實(shí)用新型屬于，具體涉及一種氣浮基臺(tái)。

背景技術(shù)：

在進(jìn)行FTE封裝過程中，為了防止因基臺(tái)表面不平整，在進(jìn)行有機(jī)層涂布之后出現(xiàn)Mura不良，因此采用氣浮基臺(tái)(Floating Glass Stage)來對(duì)玻璃進(jìn)行承接與控制，最大限度保證在進(jìn)行工藝過程中1玻璃表面的平坦度滿足要求。

結(jié)合圖1和2所示，在氣浮基臺(tái)表面有很多小的氣孔，這些氣孔按照要求與下方的基臺(tái)主體10中的真空管道12或是壓力管道11相連接，使得基板在進(jìn)行工藝時(shí)能夠穩(wěn)定地懸浮在基臺(tái)表面。在進(jìn)行工藝過程中，若是有機(jī)涂層溶液滴落到基臺(tái)表面，會(huì)被與連接真空管道12的小孔吸入到真空管道中，同時(shí)也可能會(huì)堵塞連接壓力管道11的小孔，因此可能會(huì)出現(xiàn)以下問題：當(dāng)氣浮基臺(tái)表面的小孔被堵塞，會(huì)使正在進(jìn)行工藝的玻璃基板受力不平衡，無法保證其表面的平坦度，在完成工藝之后容易出現(xiàn)Mura不良；若是有機(jī)溶液被連接真空管道12的小孔吸入到抽氣裝置內(nèi)部，會(huì)對(duì)裝置內(nèi)部管路造成腐蝕，引起設(shè)備故障。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一，提供一種氣浮基臺(tái)，用以解決現(xiàn)有技術(shù)中氣浮基臺(tái)被有機(jī)溶液堵塞后影響工藝的問題和有機(jī)溶液進(jìn)入設(shè)備內(nèi)部后對(duì)設(shè)備的影響問題，以及現(xiàn)有技術(shù)判斷氣孔堵塞效率低下的問題。

解決本實(shí)用新型技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種氣浮基臺(tái)，包括基臺(tái)主體、第一真空管道、第一壓力管道、第一吹氣裝置、第一抽氣裝置；其中，所述第一吹氣裝置通過所述第一壓力管道與所述基臺(tái)主體中的壓力管道氣路連接；所述第一抽氣裝置通過所述第一真空管道與所述基臺(tái)主體中的真空管道氣路連接；所述氣浮基臺(tái)還包括第二真空管道、第二壓力管道、第二吹氣裝置、第二抽氣裝置；其中，

所述第二吹氣裝置通過所述第二壓力管道與所述基臺(tái)主體中的壓力管道氣路連接；所述第二抽氣裝置通過所述第二抽氣裝置與所述基臺(tái)主體中的真空管道氣路連接；

所述第一壓力管道和所述第二壓力管道中的至少一者的內(nèi)部設(shè)置有第一壓力檢測(cè)器件；

所述第一真空管道和所述第二真空管道中的至少一者的內(nèi)部設(shè)置有第二壓力檢測(cè)器件；

所述第二吹氣裝置的功率大于所述第一吹氣裝置的功率；所述第二抽氣裝置的功率大于所述第一抽氣裝置的功率。

優(yōu)選的是，所述氣浮基臺(tái)還包括第一連接件、第二連接件、第一控制閥和第二控制閥；其中，

所述第一連接件的第一端與所述基臺(tái)主體中的壓力管道氣路連接，第二端與所述第一控制閥的第三端連接；所述第一控制閥的第一端連接所述第一壓力管道，第二端連接所述第二壓力管道；

所述第二連接件的第一端與所述基臺(tái)主體中的真空管道氣路連接，第二端與所述第二控制閥的第三端連接；所述第二控制閥的第一端連接所述第一真空管道，第二端連接所述第二真空管道。

進(jìn)一步優(yōu)選的是，所述第一控制閥和第二控制閥均為三通電磁閥。

進(jìn)一步優(yōu)選的是，所述氣浮基臺(tái)還包括基臺(tái)管路連接單元，其中，

所述基臺(tái)管路連接單元一端與所述第一連接件和所述第二連接件連接，另一端氣路連接所述基臺(tái)主體中的壓力管道和真空管道，所述基臺(tái)管路連接單元用于將所述第一連接件與所述壓力管道氣路連接，以及將所述第二連接件與所述真空管道氣路連接。

優(yōu)選的是，所述氣浮基臺(tái)還包括用于阻擋液體的第一阻隔物和第二阻隔物，其中，

所述第一阻隔物設(shè)置在所述第一真空管道中；

所述第二阻隔物設(shè)置在所述第二真空管道中。

進(jìn)一步優(yōu)選的是，所述氣浮基臺(tái)還包括水槽；其中，

所述水槽設(shè)置在第二真空管道中，所述第二阻隔物設(shè)置在所述水槽與所述第二抽氣裝置之間。

優(yōu)選的是，所述第一壓力檢測(cè)器件設(shè)置在所述第二壓力管道中。

優(yōu)選的是，所述第二壓力檢測(cè)器件設(shè)置在所述第二真空管道中。

優(yōu)選的是，所述第一吹氣裝置和所述第二吹氣裝置均包括壓力氣體源。

優(yōu)選的是，所述第一抽氣裝置和所述第二抽氣裝置均包括真空泵。

本實(shí)用新型具有如下有益效果：

由于本實(shí)用新型的氣浮基臺(tái)增加了第二壓力管道和第二真空管道，以及與第二壓力管道連接的第二吹氣裝置和與第二真空管道連接的第二抽氣裝置，當(dāng)在第二壓力管道設(shè)置有第一壓力檢測(cè)器件，在第二真空管道中設(shè)置有第二壓力檢測(cè)器件時(shí)，可以在氣浮基臺(tái)承載基板之前，通過第一吹氣裝置給第一壓力管道鼓氣，并通過第一壓力檢測(cè)裝置檢測(cè)此時(shí)第二壓力管道中的壓力，若此時(shí)的壓力值大于正常的壓力值，則說明基臺(tái)主體中的壓力管道堵塞，否則正常，而由于第二吹氣裝置的功率大于第一吹氣裝置的功率，此時(shí)可以通過第二吹氣裝置吹氣至第二壓力管道，再將氣體吹至基臺(tái)主體中的壓力管道將該壓力管道中的堵塞物吹出；同理，通過第二壓力檢測(cè)器件檢測(cè)第二抽氣單元抽氣時(shí)第二真空壓力管道中的壓力，當(dāng)該壓力值大于正常值時(shí)，則說明基臺(tái)主體中的真空管道堵塞，否則正常，而由于第二抽氣裝置的功率大于第一抽氣裝置的功率，此時(shí)可以通過第二抽氣裝置對(duì)基臺(tái)主體中的真空管道吸氣，將其中的堵塞物吸出。

同理，當(dāng)?shù)谝粔毫z測(cè)器件設(shè)置在第一壓力管道中，第二壓力檢測(cè)器件設(shè)置在第一真空管道中。此時(shí)按照上述的方法檢測(cè)第一壓力管道中的壓力和第一真空管道中的壓力，以判斷基臺(tái)主體中的壓力管道和真空管道是否存在堵塞的問題，若存在，由于第二吹氣裝置的功率大于第一吹氣裝置的功率；第二抽氣裝置的功率大于第一抽氣裝置的功率，故可以通過第二吹氣裝置將基臺(tái)主體中的壓力管道中的堵塞物吹出，通過第二抽氣裝置將基臺(tái)主體中的真空管道中的堵塞物抽出。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有的氣浮基臺(tái)的側(cè)視圖；

圖2為現(xiàn)有的氣浮基臺(tái)的剖視圖；

圖3為本實(shí)用新型的實(shí)施例1的氣浮基臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖。

其中附圖標(biāo)記為：10、基臺(tái)主體；11、基臺(tái)主體中的壓力管道；12、基臺(tái)主體中的真空管道；21、第一吹氣裝置；22、第二吹氣裝置；23、第一壓力管道；24、第二壓力管道；31、第一抽氣裝置；32、第二抽氣裝置；33、第一真空管道；34、第二真空管道；41、第一壓力檢測(cè)器件；42、第二壓力檢測(cè)器件；51、第一連接件；52、第二連接件；61、第一控制閥；62、第二控制閥；71、第一阻隔物；72、第二阻隔物；73、水槽；80、基臺(tái)管路連接單元。

具體實(shí)施方式

為使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本實(shí)用新型的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述。

實(shí)施例1：

如圖3所示，本實(shí)施例提供一種氣浮基臺(tái)，包括基臺(tái)主體10、第一真空管道33、第一壓力管道23、第一吹氣裝置21、第一抽氣裝置31、第二真空管道34、第二壓力管道24、第二吹氣裝置22、第二抽氣裝置32；其中，第一吹氣裝置21通過第一壓力管道23與基臺(tái)主體中的壓力管道11氣路連接；第一抽氣裝置31通過第一真空管道33與基臺(tái)主體中的真空管道12氣路連接；第二吹氣裝置22通過第二壓力管道24與基臺(tái)主體壓力管道11氣路連接；第二抽氣裝置32通過第二抽氣裝置32與基臺(tái)主體上的真空管道12氣路連接；第一壓力管道23和第二壓力管道24中的至少一者的內(nèi)部設(shè)置有第一壓力檢測(cè)器件41；第一真空管道33和第二真空管道34中的至少一者的內(nèi)部設(shè)置有第二壓力檢測(cè)器件42；第二吹氣裝置22的功率大于第一吹氣裝置21的功率；第二抽氣裝置32的功率大于第一抽氣裝置31的功率。

在此需要說明的是，上述的基臺(tái)主體中的真空管道12和壓力管道11是與基臺(tái)主體10上的氣孔連通的，其中每一個(gè)真空管道12對(duì)應(yīng)基臺(tái)主體10上的多個(gè)氣孔，每一個(gè)壓力管道11同樣對(duì)應(yīng)基臺(tái)主體10上的多個(gè)氣孔，且真空管道12和壓力管道11交替設(shè)置。此時(shí)，壓力管道11則通過與其連接第一壓力管道23和第二壓力管道24向基臺(tái)主體10上的氣孔吹氣；真空管道12則通過與其連接管道氣路連接第一真空管道33和第二真空管道34對(duì)基臺(tái)主體10上的氣孔進(jìn)行抽氣。

在本實(shí)施例的第一壓力管道23和第二壓力管道24的至少一者中設(shè)置第一壓力檢測(cè)器件41，在第一真空管道33和第二真空管道34中的至少一者中設(shè)置第二壓力檢測(cè)器件42，由于第二抽氣裝置32和第二吹起裝置的功率較大，為了便于壓力值的檢測(cè)，優(yōu)選的將第一壓力檢測(cè)器件41設(shè)置在第二壓力管道24中，第二壓力檢測(cè)器件42設(shè)置在第二真空管道34中。

以下以第一壓力檢測(cè)器件41設(shè)置在第二壓力管道24中，第二壓力檢測(cè)器件42設(shè)置在第二真空管道34中為例對(duì)本實(shí)施例的氣浮基臺(tái)進(jìn)行說明。

本實(shí)施例中的氣浮基臺(tái)，由于增加了第二壓力管道24和第二真空管道34，以及與第二壓力管道24連接的第二吹氣裝置22和與第二真空管道34連接的第二抽氣裝置32，且在第二壓力管道24設(shè)置有第一壓力檢測(cè)器件41，在第二真空管道34中設(shè)置有第二壓力檢測(cè)器件42，因此，可以在氣浮基臺(tái)承載基板之前，通過第一吹氣裝置21給第一壓力管道23鼓氣，并通過第一壓力檢測(cè)裝置檢測(cè)此時(shí)第二壓力管道24中的壓力，若此時(shí)的壓力值大于正常的壓力值(也即第一吹氣裝置21在基臺(tái)主體中的壓力管道11不堵塞的情況下，第二壓力管道24中的壓力值)，則說明基臺(tái)主體中的壓力管道11堵塞，否則正常，而由于第二吹氣裝置22的功率大于第一吹氣裝置21的功率，此時(shí)可以通過第二吹氣裝置22吹氣至第二壓力管道24，再將氣體吹至基臺(tái)主體中的壓力管道11將該壓力管道11中的堵塞物吹出；同理，通過第二壓力檢測(cè)器件42檢測(cè)第二抽氣單元抽氣時(shí)第二真空壓力管道中的壓力，當(dāng)該壓力值大于正常值(也即第一抽氣裝置31在基臺(tái)主體中的真空管道12不堵塞的情況下，第二真空管道34中的壓力值)時(shí)，則說明基臺(tái)主體中的真空管道12堵塞，否則正常，而由于第二抽氣裝置32的功率大于第一抽氣裝置31的功率，此時(shí)可以通過第二抽氣裝置32對(duì)基臺(tái)主體中的真空管道12吸氣，將其中的堵塞物吸出。

當(dāng)然，第一壓力檢測(cè)器件41是可以設(shè)置在第一壓力管道23中，第二壓力檢測(cè)器件42設(shè)置在第一真空管道33中。此時(shí)按照上述的方法檢測(cè)第一壓力管道23中的壓力和第一真空管道33中的壓力，以判斷基臺(tái)主體中的壓力管道11和真空管道12是否存在堵塞的問題，若存在，由于第二吹氣裝置22的功率大于第一吹氣裝置21的功率；第二抽氣裝置32的功率大于第一抽氣裝置31的功率，故可以通過第二吹氣裝置22將基臺(tái)主體中的壓力管道11中的堵塞物吹出，通過第二抽氣裝置32將基臺(tái)主體中的真空管道12中的堵塞物抽出。

同理，可以在第一壓力管道21和第二壓力管道22中均設(shè)置第一壓力檢測(cè)器件41；在第一真空管道31和第二真空管道32中均設(shè)置第二壓力檢測(cè)器件42。檢測(cè)方法與上述方法相同，在此不再詳細(xì)描述。

其中，本實(shí)施例中的氣浮基臺(tái)還包括第一連接件51、第二連接件52、第一控制閥61和第二控制閥62；其中，第一連接件51的第一端與基臺(tái)主體中的各個(gè)壓力管道11氣路連接，第二端與第一控制閥61的第三端連接；第一控制閥61的第一端連接第一壓力管道23，第二端連接第二壓力管道24；第二連接件52的第一端與基臺(tái)主體中的各個(gè)真空管道12氣路連接，第二端與第二控制閥62的第三端連接；第二控制閥62的第一端連接第一真空管道33，第二端連接第二真空管道34。

由于第一控制閥61和第二控制閥62的設(shè)置，因此可以在第一壓力檢測(cè)器件41檢測(cè)出基臺(tái)主體上壓力管道11堵塞時(shí)，通過第一控制閥61控制第二壓力管道24與第一連接件51連通，以使得第二吹氣裝置22所吹出的氣體將壓力管道11中的堵塞物吹出，之后第一控制閥61控制第一壓力管道23與第一連接件51連通，以使第一吹氣裝置21工作后，將基臺(tái)主體上的基板吹起；同理，可以在第二壓力檢測(cè)器件42檢測(cè)出基臺(tái)主體中的真空管道12堵塞時(shí)，通過第二控制閥62控制第二真空管道34與第二連接件52連通，以使得第二抽氣裝置32對(duì)真空管道12抽氣將其中的堵塞物抽出，之后第二控制閥62控制第一真空管道33與第二連接件52連通，以使第一抽氣裝置31工作后，將基臺(tái)主體上的基板鄉(xiāng)下吸，以使基板保持平衡。

優(yōu)選的，第一控制閥61和第二控制閥62均為三通電磁閥。當(dāng)然，只要是三通閥門即可。

進(jìn)一步的，本實(shí)施例中的氣浮基臺(tái)還可以包括基臺(tái)管路連接單元80，其中，基臺(tái)管路連接單元80一端與第一連接件51和第二連接件52連接，另一端氣路連接基臺(tái)主體中的壓力管道11和真空管道12，基臺(tái)管路連接單元用于將第一連接件51與壓力管道11氣路連接，以及將第二連接件52與真空管道12氣路連接。

其中，本實(shí)施例中的氣浮基臺(tái)還可以包括還用于阻擋液體的第一阻隔物71和第二阻隔物72，其中，第一阻隔物71設(shè)置在第一真空管道33中；第二阻隔物72設(shè)置在第二真空管道34中。

之所以設(shè)置第一阻隔物71和第二阻隔物72是因?yàn)椋ㄟ^氣浮基臺(tái)是用于有機(jī)溶液的涂覆過程中的，因此基臺(tái)主體中的真空管道12在被抽氣的過程中，很容易導(dǎo)有機(jī)溶液被抽入其中，直至進(jìn)入第一真空管道33和第二真空管中，若不設(shè)置第一阻隔物71和第二阻隔物72則會(huì)導(dǎo)致有機(jī)溶液進(jìn)入第一抽氣裝置31和第二抽氣裝置32中，造成設(shè)備的損壞，而本實(shí)施例由于設(shè)置了第一阻隔物71和第二阻隔，從而可以避免上述問題的發(fā)生。

進(jìn)一步的，在第二真空管道34中還設(shè)置有水槽73，第二阻隔物72設(shè)置在水槽73與所述第二抽氣裝置32之間。此時(shí)，基臺(tái)主體中的真空管道12在被抽氣的過程中，有機(jī)溶液被抽入其中的液體，此時(shí)可以流入至水槽73中，而該水槽73與第二真空管道34采用可拆卸連接的方式，故可以隨時(shí)將水槽73中的液體倒出。

其中，上述的第一吹氣裝置21和第二吹氣裝置22均包括壓力氣體源。上述的第一抽氣裝置31和所述第二抽氣裝置32均包括真空泵。

可以理解的是，以上實(shí)施方式僅僅是為了說明本實(shí)用新型的原理而采用的示例性實(shí)施方式，然而本實(shí)用新型并不局限于此。對(duì)于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本實(shí)用新型的精神和實(shí)質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。