技術總結
一種電阻式加熱器與多晶硅長晶裝置。電阻式加熱器的外輪廓大致呈矩形，且包含第一短連接器、第二短連接器、長連接器、多個第一加熱棒及多個第二加熱棒。第一短連接器和第二短連接器互相分離且依序設置于矩形的第一邊。長連接器設置于矩形的相對于第一邊的第二邊。每一第一加熱棒以一端連接于第一短連接器而以另一端連接于長連接器。每一第二加熱棒以一端連接于第二短連接器而以另一端連接于長連接器。長連接器具有中間段、和分別連接于中間段的第一端部段及第二端部段，且中間段的截面積大于第一端部段的截面積與第二端部段的截面積。藉此，可改善加熱器的熱點現(xiàn)象，而可降低多晶硅晶錠黏鍋風險，進而可提升多晶硅的晶錠良率。

技術研發(fā)人員：曾世凱;吳瑞彬;楊鎮(zhèn)豪
受保護的技術使用者：茂迪股份有限公司
文檔號碼：201720150700
技術研發(fā)日：2017.02.20
技術公布日：2017.09.19