技術(shù)編號(hào)：11366591
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種加熱器，且特別涉及一種電阻式加熱器與多晶硅長晶裝置。背景技術(shù)請(qǐng)參照?qǐng)D1，其繪示一種傳統(tǒng)多晶硅長晶裝置的裝置示意圖。傳統(tǒng)的多晶硅長晶裝置100主要包含爐體102、坩堝104、上加熱器106、下加熱器108以及側(cè)加熱器110，其中坩堝104、上加熱器106、下加熱器108以及側(cè)加熱器110均設(shè)于爐體102中。坩堝104可裝盛硅原料。上加熱器106設(shè)于坩堝104的上方，下加熱器108設(shè)于坩堝104的下方并與上加熱器106相對(duì)。側(cè)加熱器110則環(huán)設(shè)于坩堝104的側(cè)面旁。于長晶制程中，上...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。