本實用新型涉及超薄電子玻璃技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種超薄電子玻璃成型設(shè)備。
背景技術(shù):
超薄電子玻璃是指厚度在0.1~1.1mm范圍內(nèi)的電子玻璃。電子玻璃系指可應(yīng)用于電子、微電子、光電子領(lǐng)域的一類高技術(shù)產(chǎn)品,主要用于制作集成電路以及具有光電、熱電、聲光、磁光等功能元器件的玻璃材料。
基板玻璃作為超薄電子玻璃的一種,是目前在微電子、光電子和新能源等高新技術(shù)中應(yīng)用最廣、發(fā)展最快的特種超薄電子玻璃之一;主要包括液晶基板玻璃、太陽能電池用基板玻璃、存儲器用基板玻璃以及集成電路制作過程中制備光刻用的基板玻璃。
目前液晶基板玻璃全球市場份額美國康寧公司約占60%,日本的旭硝子公司約占 20%,其它公司如肖特、電氣硝子、國內(nèi)的彩虹等公司總共占20%左右的份額。此外,目前國內(nèi)使用的主要是G6代及以下的生產(chǎn)線(G6面板尺寸為1500×1800mm),而世代越高的生產(chǎn)線能夠生產(chǎn)出尺寸越大、板寬越寬、面積越大的基板玻璃,這樣的一塊基板玻璃上越能裁切成大板,能夠裁切出的產(chǎn)品就越多,裁切率越高,成本就越低。因此,G8.5代(面板尺寸為2200×2500mm)的生產(chǎn)線在生產(chǎn)60吋及以上的液晶基板玻璃上優(yōu)勢明顯。但是G8.5代及以上生產(chǎn)線生產(chǎn)出的液晶基板玻璃和蓋板的市場被國外公司壟斷,目前主流的成型方法有兩種:溢流法和浮法。
溢流法,美國康寧公司專利,生產(chǎn)出的玻璃質(zhì)量好,不需要研磨拋光等二次加工等,但生產(chǎn)線投資大,主要投資在于熔化和成型設(shè)備的內(nèi)襯全部要采用白金包裹,白金內(nèi)襯的投資巨大。且用溢流法生產(chǎn)世代越高的液晶基板玻璃(G8.5代及以上)的設(shè)備投資相應(yīng)越貴,技術(shù)要求也相應(yīng)越高。
浮法具有噸位大,板寬寬,和生產(chǎn)成本低的特點(diǎn);目前成功量產(chǎn)的只有旭硝子公司。然而浮法工藝中,采用錫槽作為成型設(shè)備,成型過程中將金屬錫加熱成液態(tài)并保持成型需要的溫度。雖然一般浮法玻璃的成型溫度只需650-1050℃,但是超薄電子玻璃由于其組成中氧化鋁含量高、粘度大,因此成型溫度也需要更高,一般要達(dá)到 700-1250℃。浮法成型玻璃時,因金屬錫的存在,玻璃下表面容易沾錫,需要研磨拋光等二次處理,后期加工成本高,使得利用浮法生產(chǎn)出的超薄電子玻璃產(chǎn)品性能達(dá)不到高世代液晶基板玻璃的要求,且加熱金屬錫需要較高能耗。因此,浮法高世代超薄電子玻璃技術(shù)發(fā)展遭遇了技術(shù)壁壘。
因此,一種能夠滿足應(yīng)用于超薄電子玻璃的成型設(shè)備是本領(lǐng)域亟需的。
技術(shù)實現(xiàn)要素:
本實用新型的目的是針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)缺陷,提供一種能夠顯著提高產(chǎn)品性能的超薄電子玻璃成型設(shè)備,包括成型槽、向成型槽中提供氣態(tài)成型介質(zhì)的成型介質(zhì)供給系統(tǒng)、用于檢測和控制成型介質(zhì)參數(shù)和成型參數(shù)的檢測控制裝置、用于達(dá)到成型介質(zhì)溫度和成型溫度的加熱裝置、以及設(shè)置在成型槽兩側(cè)上方用于牽引玻璃液使其成型的成型拉邊機(jī),所述成型槽沿其長度方向和玻璃液運(yùn)行方向依次分為高溫成型段和低溫成型段;所述成型槽內(nèi)的上部設(shè)有掛鉤,掛鉤上固定并鎖緊有兩層成型介質(zhì)混合器,成型槽內(nèi)的底部設(shè)有若干用于定期清理成型介質(zhì)混合器的吹掃器和用于定期排出冷卻水及雜質(zhì)的放水閥,成型槽的兩側(cè)還設(shè)有用于泄壓的排氣閥。
所述成型槽的本體為一縱剖面呈倒置梯形的殼體,殼體外包覆有保溫層,殼體的長度為35-42m,深度為180-350mm,側(cè)面與底面的角度為10-22°。
所述成型介質(zhì)混合器為均勻分布有若干通孔的不銹鋼板,兩層成型介質(zhì)混合器在成型槽內(nèi)由下至上依次設(shè)第一成型介質(zhì)混合器和第二成型介質(zhì)混合器,且兩者的通孔交錯設(shè)置。
所述第一成型介質(zhì)混合器的厚度為12-15mm,孔徑為40-60μm,相鄰兩孔的圓心距為90-120μm。
所述第二成型介質(zhì)混合器的厚度為7-8mm,其上分布的小孔孔徑為20-30μm,相鄰兩個小孔之間的圓心距離為60-90μm。
所述第二成型介質(zhì)混合器與玻璃液之間的距離為5-8mm,與第一成型介質(zhì)混合器之間的距離為10-25mm。
所述成型介質(zhì)供給系統(tǒng)包括提供氮?dú)夂蜌鍤獾牡尽⑻峁┤ルx子水的水站及均勻分布在成型槽底部的成型介質(zhì)出口;所述成型介質(zhì)出口分為設(shè)置在高溫成型段和低溫成型段的氮?dú)獬隹?、設(shè)置在高溫成型段的氬氣出口和設(shè)置在低溫成型段的水蒸氣出口;氮站通過氮?dú)夤艿篮蜌鍤夤艿琅c氮?dú)獬隹诤蜌鍤獬隹谙噙B,水站通過去離子水管道與水蒸氣出口相連;氮?dú)夤艿?、氬氣管道和去離子水管道上均設(shè)有閥門,還設(shè)有用于加熱管道中N2、Ar和去離子水使去離子水成為水蒸氣的煙氣余熱加熱系統(tǒng)。
所述煙氣余熱加熱系統(tǒng)與成型介質(zhì)出口之間的氮?dú)夤艿?、氬氣管道和去離子水管道外部還設(shè)有保溫隔層。
所述檢測控制裝置包括壓力檢測控制裝置、溫度檢測控制裝置和流量檢測控制裝置;其中,壓力檢測控制裝置設(shè)置在成型介質(zhì)混合器與玻璃液之間和成型介質(zhì)混合器與成型槽底部之間,溫度檢測控制裝置設(shè)置在兩層成型介質(zhì)混合器之間,流量檢測控制裝置設(shè)置在氮?dú)夤艿?、氬氣管道、去離子水管道上。
所述加熱裝置包括煙氣余熱加熱系統(tǒng)和設(shè)置在成型槽的殼體和保溫層之間的電加熱系統(tǒng)。
與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實用新型的有益效果是:
本實用新型的超薄電子玻璃成型設(shè)備,與現(xiàn)有錫槽成型設(shè)備相比,由于成型介質(zhì)不使用錫,因此徹底解決了玻璃表面沾錫和熔化錫單位能耗高的問題。還因為本實用新型的成型設(shè)備中成型介質(zhì)是氮?dú)?、氬氣和飽和水蒸氣,對環(huán)境沒有污染、對現(xiàn)有設(shè)備的改造程度低、成型介質(zhì)來源廣泛、成本低、并能充分利用玻璃熔窯產(chǎn)生的廢熱對成型介質(zhì)進(jìn)行加熱,能夠滿足國內(nèi)對超薄電子玻璃大型化的發(fā)展要求,生產(chǎn)出的玻璃尺寸可達(dá)2200×2500mm以上,完全能夠滿足G8.5代及以上電子玻璃的要求。用本實用新型的成型設(shè)備能達(dá)到以下效果:①實現(xiàn)薄型化,一次成型后的電子玻璃厚度在 0.5mm以下;②實現(xiàn)功能化,使電子玻璃達(dá)到GB/T20314-2006液晶顯示器用薄浮法玻璃標(biāo)準(zhǔn)中的各項規(guī)定,滿足后續(xù)加工使用要求;③實現(xiàn)環(huán)?;?,在超薄電子玻璃的成型過程中綠色成型、無毒、對環(huán)境無污染、同時成型介質(zhì)成本低。
附圖說明
圖1所示為本實用新型超薄電子玻璃成型設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖2所示為圖1中成型槽的縱剖面圖;
圖3所示為圖1中第二成型介質(zhì)混合器的俯視圖;
圖4所示為圖1中成型槽的側(cè)視圖。
具體實施方式
本實用新型用于超薄電子玻璃的成型設(shè)備包括成型槽、成型介質(zhì)供給系統(tǒng)、檢測控制裝置、加熱裝置。
其中,成型槽是用來將熔融好的玻璃液成型的裝置。成型介質(zhì)供給系統(tǒng)用來將成型介質(zhì)——高溫的氮?dú)狻鍤夂瓦^熱飽和水蒸氣分別通過管道輸送到成型槽中后,進(jìn)行混合,用于玻璃成型。檢測控制裝置是用來檢測、調(diào)節(jié)各管道、成型槽中參數(shù),并保證參數(shù)的穩(wěn)定。加熱裝置是為了保證成型溫度的要求而設(shè)置的,主要采用硅碳棒來加熱成型槽殼體,殼體再將熱量傳導(dǎo)給成型槽內(nèi)的成型介質(zhì),保證成型槽的溫度滿足成型的要求。
以下結(jié)合具體實施例,更具體地說明本實用新型的內(nèi)容,并對本實用新型作進(jìn)一步闡述,但這些實施例絕非對本實用新型進(jìn)行限制。
本實用新型提供的超薄電子玻璃成型設(shè)備,如圖1所示,包括成型槽2、成型介質(zhì)供給系統(tǒng)、檢測控制裝置、加熱裝置和成型拉邊機(jī)24。其中,
一、成型槽
成型槽2如圖2所示,包括殼體3和包覆在殼體3外部的保溫層4。殼體3為一長槽體,其縱剖面呈倒置梯形,即開口由下至上逐漸增大的梯形,梯形的斜邊與底邊的角度為10-22°,殼體3的長度為35-42m,深度為180-350mm。殼體3的上方為待成型的玻璃液1,并沿長度和玻璃液運(yùn)行方向(如圖4中箭頭所示)分為高溫成型段和低溫成型段。保溫層4采用多層保溫材料,以減少殼體3的散熱,節(jié)約能源。
殼體3內(nèi)的上部設(shè)有成型介質(zhì)混合器。成型介質(zhì)混合器為均勻分布有若干通孔的不銹鋼板,不銹鋼材質(zhì)選用310S,由下至上設(shè)置兩層,分別為第一成型介質(zhì)混合器6 和第二成型介質(zhì)混合器5。第一成型介質(zhì)混合器6的厚度為12-15mm,孔徑為40-60μ m,相鄰兩孔的圓心距為90-120μm。第二成型介質(zhì)混合器5如圖3所示,厚度為7-8mm,上面分布的小孔20的孔徑為20-30μm,相鄰兩個小孔之間的圓心距離為60-90μm。第二成型介質(zhì)混合器5與待成型的玻璃液1之間的距離為5-8mm,與第一成型介質(zhì)混合器6之間的距離為10-25mm。第二成型介質(zhì)混合器5與第一成型介質(zhì)混合器6的通孔交錯設(shè)置,以使成型介質(zhì)能夠得到進(jìn)一步的混合。
在殼體3內(nèi)部兩側(cè)對應(yīng)成型介質(zhì)混合器的位置還設(shè)置有掛鉤23,用來將成型介質(zhì)混合器固定并緊鎖在殼體3內(nèi)。成型槽2的底部與第一成型介質(zhì)混合器6之間的空間為底槽。成型槽2的殼體3底部內(nèi)側(cè)還設(shè)有若干吹掃器22,可以對成型介質(zhì)混合器定期進(jìn)行吹掃,將其表面的雜質(zhì)吹掃干凈,吹掃器22采用壓力為0.4-0.7MPa、流量為 40-60Nm3/h、溫度為150-280℃的氮?dú)膺M(jìn)行吹掃,由于吹掃時壓力急劇升高,因此需要在成型槽2的兩側(cè)對稱設(shè)置排氣閥17,自動泄壓。在成型槽2低溫成型段的底部還設(shè)有放水閥19,定期將成型過程中液化后的冷卻水及其它雜質(zhì)一起排出。
二、成型介質(zhì)供給系統(tǒng)
成型介質(zhì)供給系統(tǒng)包括提供氮?dú)夂蜌鍤獾牡?、提供去離子水的水站10及成型介質(zhì)出口7。
成型介質(zhì)出口7均勻分布在成型槽2的底部,分為氮?dú)獬隹?、氬氣出口和水蒸氣出口;其中,氮?dú)獬隹诰鶆蚍植荚诔尚筒鄹邷爻尚投魏偷蜏爻尚投蔚牡撞?,而氬氣出口僅分布在成型槽高溫成型段的底部,水蒸氣出口則分布在成型槽低溫成型段的底部。
氮站9利用空分法制備得到氮?dú)夂蜌鍤?,氮?上連接有氮?dú)夤艿?2和氬氣管道 11分別將氮?dú)夂蜌鍤廨斔椭恋獨(dú)獬隹诤蜌鍤獬隹凇K?0內(nèi)儲存有去離子水,并與去離子水管道13連接將去離子水輸送至水蒸氣出口。氮?dú)夤艿?2、氬氣管道11和去離子水管道13上均設(shè)有閥門8,還設(shè)有煙氣余熱加熱系統(tǒng)21,用來加熱管道中的N2、 Ar和去離子水,并將去離子水加熱至水蒸氣;為了減少管道的散熱,輸送加熱后成型介質(zhì)(N2、Ar和水蒸氣)的管道外設(shè)有保溫隔層14。
氮?dú)夂蜌鍤庾鳛楦邷爻尚投蔚某尚徒橘|(zhì),先在成型槽高溫成型段的下部進(jìn)行初步混合,然后向上運(yùn)行至第一成型介質(zhì)混合器6和第二成型介質(zhì)混合器5,得到充分混合后,作用在待成型的玻璃液底面,使其初步成型。氮?dú)夂退魵庾鳛榈蜏爻尚投蔚某尚徒橘|(zhì),先在成型槽低溫成型段的下部進(jìn)行初步混合,然后向上運(yùn)行至第一成型介質(zhì)混合器6和第二成型介質(zhì)混合器5,得到充分混合后,作用在初步成型的玻璃底面,使其最終成型。
高溫成型段和低溫成型段的交界處并不進(jìn)行嚴(yán)格的隔離,因此交界處實際上高溫成型介質(zhì)和低溫成型介質(zhì)都存在,即氮?dú)狻鍤夂退魵舛加?,溫度和壓力也介于高溫成型段和低溫成型段之間,以保證成型參數(shù)的連續(xù)性,從而使玻璃液在成型過程中性質(zhì)穩(wěn)定。
三、檢測控制裝置
檢測控制裝置分為壓力檢測控制裝置、溫度檢測控制裝置和流量檢測控制裝置,設(shè)置在氮?dú)夤艿?2、氬氣管道11、去離子水管道13和成型槽2上。
流量檢測控制裝置25僅設(shè)置在氮?dú)夤艿?2、氬氣管道11和去離子水管道13上,用來檢測和控制N2、Ar和去離子水(或水蒸氣)的流量。
成型槽2中的壓力檢測控制裝置15設(shè)置在第二成型介質(zhì)混合器5上方,玻璃液1 底面的下方,用來檢測成型介質(zhì)的壓力,并控制成型介質(zhì)的壓力保持在10-20Pa之間,當(dāng)壓力大于20Pa時,成型槽兩側(cè)的排氣閥17自動打開進(jìn)行泄壓,直到壓力下降到 10-20Pa為止,當(dāng)壓力小于10Pa時,控制系統(tǒng)通過提高成型介質(zhì)的供給壓力,來提高成型介質(zhì)的壓力在10-20Pa之間;壓力過高會將玻璃吹起,導(dǎo)致玻璃成型后表面不平整,壓力過低會使玻璃因重力作用產(chǎn)生向下的變形、翹曲,壓力過高或過低均不能使成型后的玻璃達(dá)到電子玻璃的使用要求。壓力檢測控制裝置15還設(shè)在第一成型介質(zhì)混合器6和成型槽2之間,即底槽中,用來調(diào)整成型介質(zhì)的溫度、壓力和流量參數(shù),底槽的空間較大,可用來穩(wěn)定成型介質(zhì)的壓力,并保證成型介質(zhì)的其它參數(shù)穩(wěn)定。
溫度檢測控制裝置16設(shè)置在第一成型介質(zhì)混合器6和第二成型介質(zhì)混合器5之間,用來檢測成型介質(zhì)的溫度。
四、加熱裝置
加熱裝置包括煙氣余熱加熱系統(tǒng)21和電加熱系統(tǒng)18。其中,煙氣余熱加熱系統(tǒng) 21設(shè)置在成型介質(zhì)供給系統(tǒng)中的氮?dú)夤艿?2、氬氣管道11和去離子水管道13上。電加熱系統(tǒng)18設(shè)置在成型槽2的殼體3和保溫層4之間,用來提供成型所需要的溫度。
由于成型槽內(nèi)采用分區(qū)控制溫度,因此可根據(jù)不同位置的溫度要求來采用不同的加熱功率,成型槽進(jìn)入端相對功率大,裝機(jī)功率為280kw,成型槽后端溫度低,相對功率低,同時成型介質(zhì)和玻璃本身也有一定溫度,裝機(jī)功率120kw,整個電加熱系統(tǒng)裝機(jī)功率為400kw。開始投產(chǎn)運(yùn)行時滿功率負(fù)荷,運(yùn)行加熱功率為300-350kw,正常運(yùn)行時由于成型介質(zhì)本身具有的溫度和玻璃余熱,需要加熱的功率下降了,這時加熱功率為150-220kw。
五、成型拉邊機(jī)
成型拉邊機(jī)24設(shè)置在成型槽2的上方,并沿成型槽2的長度方向?qū)ΨQ設(shè)置若干臺,待成型的玻璃液1在成型拉邊機(jī)24的牽引作用下成型。由于高溫成型段負(fù)責(zé)初步成型,低溫成型段負(fù)責(zé)準(zhǔn)確成型,因此,高溫成型段和低溫成型段兩側(cè)的成型拉邊機(jī)24工作時的參數(shù)不同,高溫成型段兩側(cè)的成型拉邊機(jī)24用來將待成型的玻璃液初步成型至所需厚度和尺寸的范圍內(nèi),低溫成型段兩側(cè)的成型拉邊機(jī)24用來將初步成型后的玻璃液精確成型至所需厚度和尺寸。
基于以上成型設(shè)備,對超薄電子玻璃的成型方法,包括以下步驟:
(1)高溫成型段成型介質(zhì)的調(diào)試:開啟氮?dú)夤艿?2和氬氣管道11的閥門,以及煙氣余熱加熱系統(tǒng)21,將N2和Ar加熱后通過氮?dú)獬隹诤蜌鍤獬隹趪娙氤尚筒?內(nèi)的高溫成型段,并以體積百分含量為85-95%的N2和5-15%Ar作為高溫段成型介質(zhì)依次經(jīng)第一成型介質(zhì)混合器6和第二成型介質(zhì)混合器5混合;混合后的高溫段成型介質(zhì)壓力為10-20Pa,溫度為960-1280℃;
(2)初步成型:成型槽2與熔化區(qū)相連接,將熔融狀態(tài)的玻璃液1通至成型槽2 的上方,此時高溫段成型介質(zhì)向上噴出,在玻璃液下表面形成微正壓,同時成型拉邊機(jī)24牽引玻璃液,使玻璃液初步成型成所需尺寸和厚度左右的初步玻璃液;
剛通入玻璃液時,為防止剛剛流入的玻璃液被吹起,高溫段成型介質(zhì)的壓力可以稍低,然后通過成型拉邊機(jī)固定玻璃兩側(cè)的位置,即確定尺寸,然后通過調(diào)整成型拉邊機(jī)的對數(shù)、速度、角度來確定成型玻璃的厚度;
(3)低溫成型段成型介質(zhì)的調(diào)試:開啟氮?dú)夤艿?2和去離子水管道13的閥門,以及煙氣余熱加熱系統(tǒng)21,將去離子水加熱成水蒸氣后和加熱后的N2分別通過水蒸氣出口和氮?dú)獬隹趪娙氤尚筒?的低溫成型段,并以體積百分含量為70-90%的N2和 10-30%的H2O(g)作為低溫段成型介質(zhì)依次經(jīng)第一成型介質(zhì)混合器6和第二成型介質(zhì)混合器5混合;混合后的低溫段成型介質(zhì)壓力為8-16Pa,溫度為690-960℃;
(4)準(zhǔn)確成型:達(dá)到此工序時的玻璃液粘度很大,主要對其尺寸和厚度進(jìn)行微調(diào),并保證最終玻璃產(chǎn)品的各項指標(biāo);于是初步成型后的初步玻璃液繼續(xù)沿成型槽2的方向行進(jìn)至低溫成型段,低溫段成型介質(zhì)向上噴出,在初步玻璃液下表面形成微正壓,同時成型拉邊機(jī)24牽引玻璃液,將處于要求尺寸和厚度左右的初步玻璃液微調(diào)至要求尺寸和厚度,完成準(zhǔn)確成型,得到超薄電子玻璃;成型槽的玻璃出口與退火窯相連,成型后的超薄電子玻璃再進(jìn)行退火工序,消除玻璃的應(yīng)力。
本實用新型的成型設(shè)備中成型介質(zhì)向上噴出,在玻璃液下表面形成微正壓,使玻璃液漂浮在具有一定壓力的成型介質(zhì)上方,同時通過成型拉邊機(jī)的牽引實現(xiàn)玻璃液在成型介質(zhì)上面成型,杜絕了現(xiàn)有技術(shù)中玻璃漂浮在熔融錫液上而使玻璃下表面發(fā)生沾錫的情況,減少了超薄電子玻璃成型后的二次加工工序,提高成品率,降低生產(chǎn)成本。本實用新型使用氮?dú)夂蜌鍤庾鳛楦邷爻尚投蔚某尚徒橘|(zhì),是因為氬氣是惰性氣體,不與其它介質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),性質(zhì)穩(wěn)定,且氬氣的密度為1.784kg/m3,比氮?dú)夂涂諝獾拿芏榷即螅嗤w積的氣體密度大產(chǎn)生的浮力大,有利于玻璃成型;生產(chǎn)過程中可直接使用現(xiàn)有錫槽成型技術(shù)中制備氮?dú)獾脑O(shè)備,只需再增加一個制備氬氣的分餾塔即可。本實用新型使用水蒸氣作為低溫成型段的成型介質(zhì),是因為低溫成型段屬于準(zhǔn)確成型階段,不需要那么高的成型溫度,用水蒸氣替代氬氣即可滿足成型溫度的要求,又可降低生產(chǎn)成本和能耗,還有利于與后續(xù)的退火工序銜接;此外,水蒸氣的來源是經(jīng)過凈化的去離子水,熱源來自煙氣余熱,實現(xiàn)能量綜合利用;不僅如此,水蒸氣可與玻璃表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)(H2O+Na+→NaOH+H+),使玻璃表面的堿金屬離子溶出,于是玻璃表面形成貧堿層,從而使玻璃表面形成富硅層,有利于提高電子玻璃的化學(xué)性質(zhì)和機(jī)械性能(如修復(fù)玻璃表面的微裂紋等)??梢姡捎帽緦嵱眯滦偷某尚驮O(shè)備,不僅能夠?qū)崿F(xiàn)超薄電子玻璃的成型,減少錫對玻璃的污染,還能夠減少玻璃表面的微裂紋,起到修復(fù)玻璃表面的作用。
本實用新型提供的超薄電子玻璃成型設(shè)備中成型介質(zhì)使用的是氮?dú)?、氬氣和水蒸氣,對環(huán)境沒有污染、對現(xiàn)有設(shè)備的改造程度低、成型介質(zhì)來源廣泛,成本低、并能充分利用玻璃熔窯產(chǎn)生的廢熱對成型介質(zhì)進(jìn)行加熱,能夠滿足國內(nèi)對電子玻璃在大型化,薄型化,功能化,環(huán)?;诔‰娮硬Aе圃爝^程中綠色、產(chǎn)品環(huán)保的要求,有益于推廣應(yīng)用。
以上所述僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式,應(yīng)當(dāng)指出的是,對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本實用新型原理的前提下,還可以做出若干改進(jìn)和潤飾,這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本實用新型的內(nèi)容。