本實用新型涉及碳化硅生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種可調(diào)節(jié)坩堝高度的保溫裝置，特別是一種適用于坩堝保溫的裝置。

背景技術(shù)：

現(xiàn)有的液相法生長碳化硅晶體技術(shù)，都是通過加熱的方式將硅在高純石墨坩堝中融化，形成碳在硅中的溶液，再將頭部貼付有籽晶的石墨軸伸入到溶液中進行生長；

現(xiàn)有技術(shù)中可以通過坩堝的升降或籽晶軸的升降來實現(xiàn)溫度的變化，但是現(xiàn)有的坩堝升降裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜，且由于晶體生長過程中對于溫度要求很高，現(xiàn)有的升降裝置難以適應(yīng)如此高的溫度，故障率極高，無法適應(yīng)晶體生長的要求，而如果采用高耐熱材料制備則會極大提高設(shè)備的成本和后期維護壓力，因此如何解決這一問題成為現(xiàn)有技術(shù)中的難題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供了一種可調(diào)節(jié)坩堝高度的保溫裝置，主要用于晶體生長時對坩堝的保溫，該保溫裝置包括主體和上蓋，所述主體內(nèi)部設(shè)置有空腔，所述空腔內(nèi)壁圓周方向上均勻設(shè)置有4個插孔，垂直方向上設(shè)置有5組，且每組間距相同；通過插孔連接有支撐架，所述支撐架包括基座和與基座連接的伸縮桿，所述伸縮桿前端通過石墨托連接有支撐盤；采用這種結(jié)構(gòu)的保溫裝置，使用時可以根據(jù)不同晶體生長的需要確定坩堝在保溫裝置內(nèi)的高度，然后將支撐架插入對應(yīng)水平位置的插孔內(nèi)，調(diào)節(jié)伸縮桿位置以適應(yīng)不同尺寸的坩堝，將坩堝放置在四個支撐架上即可，較之現(xiàn)有技術(shù)中采用的坩堝舉升裝置結(jié)構(gòu)更加簡單，可以適應(yīng)不同晶體的加工需要。

本實用新型的具體技術(shù)方案是：

一種可調(diào)節(jié)坩堝高度的保溫裝置，該保溫裝置包括主體和上蓋，所述主體內(nèi)部設(shè)置有空腔，所述空腔內(nèi)壁圓周方向上均勻設(shè)置有4個插孔，垂直方向上共設(shè)置有5組，且每組間距相同；通過插孔連接有支撐架，所述支撐架包括基座和與基座連接的伸縮桿，所述伸縮桿前端通過石墨托連接有支撐盤；

所述的基座與插孔的孔徑配合，方便基座可以穩(wěn)固的插入插孔中，確保使用過程中不發(fā)生位移；由于采用了伸縮桿的設(shè)計，使得支撐盤的位置可以隨之調(diào)節(jié)，以適應(yīng)不同大小坩堝的需要；所述的支撐架由石墨材質(zhì)制備而成；

采用這種結(jié)構(gòu)的保溫裝置，使用時可以根據(jù)不同晶體生長的需要確定坩堝在保溫裝置內(nèi)的高度，然后將支撐架基座插入對應(yīng)水平位置的插孔內(nèi)，這樣共4個支撐架彼此之間呈90度分布，之后調(diào)節(jié)伸縮桿位置以適應(yīng)不同尺寸的坩堝，然后確保每個支撐盤位置正確后即可將坩堝放置在支撐盤上，然后將上蓋扣好后即可開始晶體的生長；采用這種模式，可以方便的實現(xiàn)坩堝在保溫裝置內(nèi)的定位，同時確保在晶體生長過程中坩堝的穩(wěn)定性，較之現(xiàn)有的坩堝升降裝置結(jié)構(gòu)更加簡單，且成本大大降低；由于空腔內(nèi)壁圓周方向上均勻設(shè)置有4個插孔，垂直方向上共設(shè)置有5組，可以確保坩堝高度有五種可調(diào)模式，也可以根據(jù)實際需要多設(shè)置幾組。

由于采用了支撐架的方式，這樣當(dāng)坩堝放置在支撐盤上之后，坩堝底部懸空，這樣有利于熱量的傳遞，可以確保坩堝內(nèi)溫度均一性，同時當(dāng)生產(chǎn)完畢需要降溫時，上述方式也有利于坩堝底部溫度的降低；

所述保溫裝置上蓋上設(shè)置有通孔，方便籽晶軸的進出；

綜上所述，采用這種結(jié)構(gòu)的保溫裝置，使用時可以根據(jù)不同晶體生長的需要確定坩堝在保溫裝置內(nèi)的高度，然后將支撐架插入對應(yīng)水平位置的插孔內(nèi)，調(diào)節(jié)伸縮桿位置以適應(yīng)不同尺寸的坩堝，將坩堝放置在四個支撐架上即可，較之現(xiàn)有技術(shù)中采用的坩堝舉升裝置結(jié)構(gòu)更加簡單，可以適應(yīng)不同晶體的加工需要。

附圖說明

圖1為本實用新型所述保溫裝置的結(jié)構(gòu)剖視圖；

圖2為本實用新型所述保溫裝置主體的結(jié)構(gòu)剖視圖；

圖3為圖2中A-A剖視圖；

圖4為本實用新型所述支撐架的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中1為主體，2為插孔，3為基座，4為支撐盤，5為石墨托，6為伸縮桿，7為上蓋，8為支撐架。

具體實施方式

一種可調(diào)節(jié)坩堝高度的保溫裝置，該保溫裝置包括主體1和上蓋7，所述主體1內(nèi)部設(shè)置有空腔，所述空腔內(nèi)壁圓周方向上均勻設(shè)置有4個插孔2，垂直方向上共設(shè)置有5組，且每組間距相同；通過插孔2連接有支撐架8，所述支撐架8包括基座3和與基座3連接的伸縮桿6，所述伸縮桿6前端通過石墨托5連接有支撐盤4；

所述支撐架8采用石墨材料制成；

所述保溫裝置上蓋7上設(shè)置有方便籽晶軸的進出的通孔。