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一種多晶硅鑄錠爐用坩堝保護(hù)板的制作方法

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一種多晶硅鑄錠爐用坩堝保護(hù)板的制造方法與工藝

本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能晶體硅技術(shù)領(lǐng)域。尤其涉及一種多晶硅鑄錠爐用坩堝保護(hù)板。



背景技術(shù):

目前,多晶鑄錠爐是主要是利用定向凝固技術(shù),在鑄錠爐內(nèi)的熱交換臺(tái)上放置一個(gè)裝好多晶硅原料的坩堝,坩堝四周有石墨側(cè)板保護(hù),坩堝頂部裝有碳-碳復(fù)合材料蓋板,硅料在坩堝內(nèi)經(jīng)過熔化、長(zhǎng)晶、退火、冷卻等步驟制成多晶硅錠。坩堝四周的側(cè)板主要起到支撐作用,防止坩堝在高溫下過度形變破裂,而頂部蓋板一方面是為了防止上部的石墨加熱器以及碳纖維保溫氈內(nèi)的碳雜質(zhì)掉入坩堝內(nèi),造成硅錠中碳雜質(zhì)含量偏高;另一方面也可以防止從熔融硅料中揮發(fā)的雜質(zhì)對(duì)石墨加熱器以及保溫氈產(chǎn)生侵蝕,加速其老化,影響使用壽命。

然而,在鑄錠過程中,由于蓋板的隔熱和保溫效果一般,加熱器對(duì)硅錠邊角的熱輻射大,導(dǎo)致固液界面不平整,邊角長(zhǎng)晶的時(shí)間更長(zhǎng),容易產(chǎn)生鼓包的現(xiàn)象。此外,加熱器直接輻射到硅液表面,固液界面處的雜質(zhì)容易產(chǎn)生大量位錯(cuò),位錯(cuò)增殖快,使得硅錠的質(zhì)量差。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

為解決上述問題,本實(shí)用新型的目的在于提供一種多晶硅鑄錠爐用坩堝保護(hù)板。

本實(shí)用新型提供了一種多晶硅鑄錠爐用坩堝保護(hù)板,包括蓋板和隔熱層,所述蓋板設(shè)置于多晶硅鑄錠爐坩堝頂部,所述蓋板為中間有圓形通孔的矩形體,所述隔熱層貼合在所述蓋板外側(cè)。

其中,所述隔熱層的材質(zhì)為石墨硬氈或石墨軟氈。

其中,所述隔熱層為矩形結(jié)構(gòu),四張所述隔熱層的外側(cè)邊緣與所屬蓋板外側(cè)邊緣對(duì)齊,貼合在所述蓋板外側(cè)四周邊緣,且相鄰所述隔熱層的邊緣拼接在一起,所述隔熱層的內(nèi)側(cè)邊緣不能遮擋住所述蓋板的圓形通孔。

其中,在實(shí)際生產(chǎn)操作過程中,在隔熱層的邊緣拼接過程中,為了保證所述隔熱層不要完全蓋住所述蓋板,所述隔熱層的外側(cè)邊緣與所屬蓋板的外側(cè)邊緣不需要完整對(duì)齊,所述隔熱層的長(zhǎng)度會(huì)小于所述蓋板的邊長(zhǎng),存在1~40mm的差異。

其中,所述隔熱層的寬度范圍為100mm-600mm,厚度為4mm-30mm。

其中,所述隔熱層的寬度范圍為100mm-200mm、200-300mm、300-400mm,400-500mm、500-600mm,厚度為4mm-10mm、10mm-20mm、20-30mm。

其中,所述隔熱層為中間有圓形通孔的矩形體,所述隔熱層的外側(cè)邊緣與所屬蓋板外側(cè)邊緣對(duì)齊,所述隔熱層通孔與所述蓋板通孔的圓心相同,所述隔熱層的通孔的直徑等于或大于所述蓋板的通孔的直徑。

其中,在實(shí)際生產(chǎn)操作過程中,在隔熱層的邊緣拼接過程中,為了保證所述隔熱層不要完全蓋住所述蓋板,所述隔熱層的外側(cè)邊緣與所屬蓋板的外側(cè)邊緣不需要完整對(duì)齊,所述隔熱層的長(zhǎng)度會(huì)小于所述蓋板的邊長(zhǎng),存在1~40mm的差異。

其中,所述隔熱層和通過螺桿螺帽組件固定在所述蓋板上。

其中,所述蓋板為碳-碳復(fù)合材料蓋板。

綜上所述,本實(shí)用新型在蓋板上覆蓋一層隔熱層,一方面利用隔熱層來(lái)阻擋頭部加熱器對(duì)硅錠邊角的直接熱輻射,起到調(diào)平固液界面的效果,有利于邊角長(zhǎng)晶;另一方面頭部加熱器輻射到硅液的熱量減少,頭部硅液對(duì)流會(huì)減弱,固液界面處的雜質(zhì)有利于向頭部區(qū)域擴(kuò)散,減少晶體中的雜質(zhì),提高硅錠的質(zhì)量。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的示意圖。

圖2為本實(shí)用新型第一實(shí)施例鋪設(shè)在坩堝頂部的示意圖。

圖3為本實(shí)用新型第二實(shí)施例的示意圖。

具體實(shí)施方式

為了使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本實(shí)用新型方案,下面將結(jié)合附圖和實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用型的進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。

實(shí)施例一:

請(qǐng)參考圖1、圖2,本實(shí)用新型提供了一種多晶硅鑄錠爐用坩堝保護(hù)板,包括蓋板1和隔熱層2,蓋板1設(shè)置于多晶硅鑄錠爐坩堝5頂部,蓋板1為碳-碳復(fù)合材料蓋板,蓋板1的邊長(zhǎng)為940mm,蓋板1上圓形通孔3的直徑為100mm,隔熱層2為兩張尺寸為930×150×10mm(長(zhǎng)×寬×厚),兩張尺寸為630×150×10mm(長(zhǎng)×寬×厚)的石墨硬氈,四張隔熱層2的外側(cè)邊緣與蓋板1的外側(cè)邊緣對(duì)齊,貼合在蓋板1外側(cè)四周邊緣,且相鄰隔熱層2的邊緣拼接在一起,隔熱層2和通過螺桿螺帽組件4固定在蓋板1上。

實(shí)施例二:

請(qǐng)參考圖2、圖3,本實(shí)用新型提供了一種多晶硅鑄錠爐用坩堝保護(hù)板,包括蓋板1和隔熱層2,蓋板1設(shè)置于多晶硅鑄錠爐坩堝5頂部,蓋板1為碳-碳復(fù)合材料蓋板,蓋板1的邊長(zhǎng)為1120mm,蓋板1上圓形通孔3的直徑為100mm,隔熱層2為中間有圓形通孔的矩形體,隔熱層2的邊長(zhǎng)為1116mm,隔熱層2上的圓形通孔的直徑為120mm,隔熱層2的外側(cè)邊緣與蓋板1外側(cè)邊緣對(duì)齊,隔熱層1的通孔與蓋板的通孔的圓心相同,隔熱層2和通過螺桿螺帽組件4固定在所述蓋板1上。

以上所述是本實(shí)用新型的優(yōu)先實(shí)施例,應(yīng)當(dāng)指出,對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō),在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下,還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾,這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。

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