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一種帶有定位銷的石墨坩堝的制作方法

文檔序號(hào):11901351閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型屬于碳化硅生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域,具體涉及一種帶有定位銷的石墨坩堝,采用這種結(jié)構(gòu)的坩堝可對(duì)坩堝實(shí)施加速坩堝旋轉(zhuǎn)技術(shù),防止上保溫、上端蓋和坩堝在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中發(fā)生相對(duì)滑動(dòng),防止造成上保溫的損壞,解除了對(duì)碳化硅生長(zhǎng)帶來(lái)的隱患,提高生產(chǎn)效率和質(zhì)量,降低生產(chǎn)成本。

技術(shù)研發(fā)人員:朱燦;李加林;李長(zhǎng)進(jìn)
受保護(hù)的技術(shù)使用者:山東天岳晶體材料有限公司
文檔號(hào)碼:201621061366
技術(shù)研發(fā)日:2016.09.19
技術(shù)公布日:2017.05.17

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