技術總結
本發(fā)明公開了一種磷化銦多晶水平合成裝置及壓力平衡控制方法，所述磷化銦多晶水平合成裝置包括：合成爐，所述合成爐內(nèi)部設置合成爐加熱體，所述合成爐加熱體由多段加熱區(qū)構成的；石英管，位于合成爐加熱體內(nèi)部，其特征在于：所述磷化銦多晶水平合成裝置還包括充放氣控制系統(tǒng)，用于控制合成爐體內(nèi)壓力，以及溫度控制系統(tǒng)，用于控制合成爐爐體內(nèi)溫度。本發(fā)明通過控制溫度進而控制石英管內(nèi)部壓力，通過充放氣控制系統(tǒng)控制石英管外部壓力，有效的控制反應過程中石英管內(nèi)外的壓力平衡，避免合成過程中出現(xiàn)的由于石英管內(nèi)外壓力不平衡“炸管”產(chǎn)生，提高磷化銦多晶合成的效率和成品率。

技術研發(fā)人員：楊翠柏;趙有文;段滿龍;陳丙振;劉彤;盧偉;楊俊
受保護的技術使用者：珠海鼎泰芯源晶體有限公司
文檔號碼：201611227646
技術研發(fā)日：2016.12.27
技術公布日：2017.05.31